JP4406396B2 - 電子部品用部材および電子部品 - Google Patents
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原料粉末として窒化珪素、イットリア、アルミナを用い、これらを造粒して1ton/cm2の圧力でラバープレス成形し、φ12.5×26mmの円柱体を成形し、これを脱脂後N2雰囲気中で1800℃、4時間焼結を行い、密度3.33g/ccのSi3N4円柱焼結体を得た。これにダイヤモンド加工を施し、φ9.525±0.001×20.15±0.001mmのカムローラを作製した。
ローラの転がり寿命特性に影響を及ぼす接面ならびに接面近傍の許容ポアサイズ分布の許容範囲を検討するため、表2に記載されるような6種類のローラを作製し、これらのローラのインジェクションポンプローラとしての適用性を評価した。
参考例2で用いたA及びCの部材を用い、表3に示すようにスキューネス値を変化させた場合の磨耗量を測定した。なお、磨耗量の測定条件は参考例2と同様のものとした。
基板接面のスキューネスが接合力に及ぼす影響を調べるために、異なるスキューネスをもつAlN基板に、直接接合法(DBC法)を用いて銅板を接合し、ピール強度を測定した。表4に示すように実施例1、2としてそれぞれスキューネスが0と−1のAlN基板を用い、比較例1としてスキューネスが+0.5のAlN基板を用いた。AlN基板は縦50mm×横25mm×厚さ0.8mm、銅板は厚さ0.25mmのタフピッチ銅を用いて、温度1075℃に設定した加熱炉中に1分間保持することによって、AlN基板と銅板とを接合した。
Claims (5)
- セラミックス基板上に金属板を接合したセラミックス回路基板からなる電子部品用部材であって、
前記セラミックス基板の回路形成面のスキューネスが−1以上0以下であることを特徴とする電子部品用部材。 - 前記セラミックス基板が窒化珪素、窒化アルミニウムおよびアルミナの中から選択される少なくとも1種からなることを特徴とする請求項1記載の電子部品用部材。
- 前記セラミックス基板における前記回路形成面から500μmの深さまでにポアが占める面積が単位面積(1mm2)当たり5%を越えないことを特徴とする請求項1または2記載の電子部品用部材。
- 前記セラミックス基板における前記回路形成面から500μmの深さまでにポアが占める面積が単位面積(1mm2)当たり1%を越えないことを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項記載の電子部品用部材。
- 請求項1乃至4のいずれか1項記載の電子部品用部材に半導体素子を搭載してなることを特徴とする電子部品。
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JP2005367471A JP4406396B2 (ja) | 2005-12-21 | 2005-12-21 | 電子部品用部材および電子部品 |
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JPWO2018221379A1 (ja) * | 2017-05-30 | 2020-02-06 | 京セラ株式会社 | 支持基板 |
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