JP4301623B2 - 耐摩耗部材 - Google Patents

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    • H01L2924/09701—Low temperature co-fired ceramic [LTCC]

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明はセラミックス焼結体を用いた耐磨耗部材に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来、産業機器、自動車において用いられるカムローラ、ベアリングボール、チェックボール、ウエアパッド、プランジャーなどの磨耗部品には金属製部品が用いられていた。しかし、金属製部品を上記のような場所に用いた場合、摩擦によりこれらの部品が激しく磨耗し、所定の性能を発揮することができなくなったり、ひどい場合には破損することがあった。また、これらの金属製部品は重量が重いため、軽量化、高性能化には不向きであり、さらに耐熱性や耐食性が低いため過酷な環境下では耐用年数が短くなり、経済性が優れなかった。このため金属製部品に代わる、高性能部品が望まれていた。
【０００３】
これらの問題を解決するため、近年では、セラミックス焼結体を耐磨耗部品に用いるようになってきている。これらのセラミックス焼結体は金属製部品に比べて、耐磨耗性に優れているため、長期間にわたって所定の性能を維持することができ、破損なども起こらないため経済性に優れていた。また、金属製部品に比べて軽量であるため、高回転化が可能となり、これまでより高性能化することができた。
【０００４】
しかしながら、このようなセラミックス焼結体を機器に用いた場合、セラミックス焼結体自身は磨耗しないが、セラミックス焼結体と接する部品は逆に磨耗してしまうことがわかった。このようなことは、自動車などの燃料噴射装置に用いられる耐磨耗部品、特にカムローラなどにおいて問題となってきている。この原因としては、セラミックス焼結体の硬度が高いが、セラミックス焼結体と接する金属製部品の硬度が低いことなどが挙げられる。このような問題を解決するため、全ての部品をセラミックス焼結体にすることが考えられるが、加工の容易性や経済性に優れないため行われていない。
【０００５】
一方、電子産業の分野においては、高電力を扱う半導体部品の搭載用基板などにおいて、セラミックス基板上に銅板等の金属板を接合したセラミックス回路基板が用いられている。セラミックス焼結体は絶縁性、耐熱性、熱伝導度に優れているため、基板や放熱板などに好んで用いられている。
【０００６】
しかしながら、セラミックス焼結体を基板として用いた場合、金属との接合性に優れないため、剥がれや破損が起きることがあった。このため、セラミックス焼結体の組成や構造を制御することによって金属との接合性を高め、剥がれや破損などを防止することが試みられたが、依然としてこのような問題は発生し続けている。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
機器などの部品として、金属製部品の代用にセラミックス焼結体を用いた場合、高硬度材であるセラミックス焼結体製部品が相手部品である金属製部品を攻撃してしまい、金属製部品を用いた場合より金属製相手部品の磨耗量が増えてしまうことがあった。特に自動車などの燃料噴射装置に用いられる耐磨耗部品においては重要な問題となってきている。
【０００８】
また、電子産業の分野においては、高電力を扱う半導体部品の搭載用基板などにおいては、セラミックス基板上に銅板等の金属板を接合したセラミックス回路基板が用いられている。しかしながら、セラミックス焼結体を基板として用いた場合、金属との接合性に優れないため、剥がれや破損が起きることがあった。
【０００９】
本発明ではこのようなことに鑑み、金属製部品からなる相手部材を磨耗させにくい耐磨耗部材の提供を目的としている。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
本発明の耐磨耗部材は、請求項１に記載されるように、窒化珪素セラミックス焼結体からなり、ディーゼルエンジン用のカムローラ、ベアリングボール、チェックボール、ウエアパッド、プランジャーまたはコロとして用いられる耐磨耗部材であって、金属製部品からなる相手部材との摺接面がスキューネス−０．１〜−１．１の研磨面であり、かつ、前記摺接面から５００μｍの深さまでにポアが占める面積が単位面積（１ｍｍ２）当たり１％以下、さらに平均ポアサイズが３０μｍ以下であることを特徴とするものである。
【００１２】
また、本発明の耐磨耗部材は、前記摺接面がスキューネス−０．１〜−１の研磨面であることが好ましい。
【００２０】
本発明の耐磨耗部材は金属製部品からなる相手部材との摺接面をスキューネス−０．１〜−１．１の研磨面としたものである。このように、耐磨耗部材の金属製部品からなる相手部材との摺接面をスキューネス−０．１〜−１．１の研磨面とすることによって、金属で作製された相手部材の磨耗を防ぐことができる。
【００２１】
また、耐磨耗部材を窒化珪素からなるものとすることで、耐磨耗部材自身の磨耗を防ぐことができる。
【００２２】
さらに、本発明の耐磨耗部材では、摺接面から５００μｍの深さまでにポアが占める面積が単位面積（１ｍｍ２）当たり１％以下となるようにすることで、金属製部品からなる相手部材の磨耗を一層減少させることができる。
【００２３】
特に、摺接面のスキューネスを−０．１〜−１とすることによって、金属でできた相手部材の磨耗を大幅に減少させることができる。
【００２４】
本発明の耐磨耗部材は、ディーゼルエンジン用のカムローラ、ベアリングボール、チェックボール、ウエアパッド、プランジャーまたはコロとして用いることで、これらの部材を用いた機器の耐用年数を大幅に長くすることができる。
【００２８】
【発明の実施の形態】
以下、本発明を実施するための形態について説明する。
【００２９】
本発明に用いられるセラミックス焼結体は、原料を成形し、焼結することによって作製されるセラミックス焼結体であって、当該セラミックス焼結体における接面をスキューネス−０．１〜−１．１の研磨面としたことを特徴とするものである。
【００３０】
スキューネス（Ｓｋ）とは表面粗さのパラメータでありゆがみとも呼ばれるものである。スキューネスは振幅分布曲線の縦倍率方向の対象性を表す値で次式により与えられる値である。
【００３１】
【数１】
Figure 0004301623
すなわち、図１（ａ）に示すように、表面粗さの上下方向にほぼ均等の場合にスキューネスは零（０）となる。一方図１（ｂ）に示すように、 表面粗さの振幅が上方向に偏っている場合には、スキューネスは正（＞０）となる。このような状態は表面に対して凸の部分が多いことを示している。そして、図１（ｃ）にしめすように表面に対して凸の部分を減少させ、表面粗さの振幅を下方向に偏らせた場合にはスキューネスは負（＜０）となる。
【００３２】
セラミックス焼結体の接面のスキューネスを−０．１以下とすることによって、例えば構造部材として用いた場合には、接触する相手部材の磨耗を減少させることができる。特に、相手部材が金属材料よりなる場合は、この磨耗を減少させる効果が高い。
【００３３】
このようなセラミックス焼結体は、材料として窒化珪素を用いて作製される。このような材料は耐熱性、耐食性などに優れており、耐磨耗部材の材料にこのような物質を用いることによって、金属製部品からなる相手部材の磨耗を減らすと同時に耐磨耗部材自身の磨耗も大幅に減らすことができる。
【００３４】
また、このようなセラミックス焼結体においては、接面から５００μｍの深さまでにポアが占める面積が単位面積（１ｍｍ２）当り１％を超えないことが好ましい。接面から５００μｍの深さまでにポアが占める面積が単位面積当り１％を超えると、接面が粗くなり、相手部材を磨耗させやすくなる。従って、スキューネスを−０．１以下とし、接面から５００μｍの深さまでにポアが占める面積が単位面積当り１％を超えないようにすることによって、例えば構造部材として用いた場合には、相手部材などの磨耗を大幅に減少させることができる。また、このようなセラミックス焼結体の平均ポアサイズは３０μｍ以下である。平均ポアサイズを３０μｍ以下とすることで、一層、磨耗を減少させることができる。
【００３５】
本発明の耐磨耗部材は上記したようなセラミックス焼結体からなるものである。本発明の耐磨耗部材においては、接面（摺接面）のスキューネスが−０．１〜−１．１である。
【００３６】
耐磨耗部材において、摺接面のスキューネスを−０．１以下としたのは、摺接面のスキューネスを−０．１より大きくすると、表面粗さ上の凸部の分布が大きくなり金属製部品からなる相手部材への攻撃性が増え、金属製部品からなる相手部材を磨耗させやすくなるためである。また、摺接面のスキューネスを−１．１以上としたのは、摺接面のスキューネスを−１．１より小さくすると、耐磨耗部材自体の強度（耐磨耗性）が低下するため、自身（耐磨耗部材）を磨耗させやすくなるためである。従って、本発明の耐磨耗部材は、上記のようなセラミックス焼結体を用い、摺接面のスキューネスを−０．１〜−１．１とすることによって、金属製部品からなる相手部材の磨耗を大幅に減少させることができる。より好ましくは、摺接面のスキューネスを−０．１〜−１の範囲にすることがよい。このようにすることで自部材（耐磨耗部材）並びに金属製部品からなる相手部材の磨耗を一層減少させることができる。
【００３７】
このような耐磨耗部材は、材料として窒化珪素を用いて作製する。このような材料は耐熱性、耐食性などに優れており、耐磨耗部材の材料にこのような物質を用いることによって、金属製部品からなる相手部材の磨耗を減らすと同時に耐磨耗部材自身の磨耗も大幅に減らすことができる。
【００３８】
耐磨耗部材は、ディーゼルエンジン用のカムローラ、ベアリングボール、チェックボール、ウエアパッド、プランジャー、コロに用いられる。
【００３９】
カムローラは例えばディーゼルエンジンの燃料噴射装置などに用いられ、燃料噴射のタイミングをとるためのものである。このカムローラは円筒のカムリングの内側に高速で接しているため、カムローラを金属で作製した場合、カムローラが磨耗してしまう。また、カムローラに従来のセラミックス焼結体を用いた場合、カムローラは磨耗しなくなるが、反対にカムリングが磨耗してしまう。このため、燃料噴射のタイミングにずれが発生し、所定の性能を発揮できなくなる。本発明の耐磨耗部材によりカムローラを作製することによって、このような磨耗による性能低下を防止することができる。
【００４０】
ベアリングボールは球状をしており、回転軸を支えるものである。ベアリングボールは回転軸と高速で接し、かつ高い圧力がかかるため、強度や耐磨耗性が要求され、さらに相手部材を磨耗させないことも要求される。このようなベアリングボールに本発明の耐磨耗性部材を用いることにより、これらの課題を解決し、信頼性のある高性能のベアリングボールを作製することができる。
【００４１】
チェックボールは球状であり、気体などの流量を測るために流量計中に設けられている。このチェックボールは、流量計の内側壁面と接し、常に移動を繰り返しているため磨耗しやすく、また流量計の内側壁面も磨耗させてしまう。このような磨耗は流量計の精度を悪くし、不正確な値を与えてしまう。従って、本発明の耐磨耗部材を用いてチェックボールを作製することにより、このような磨耗を防ぎ、流量計の精度を一定にすることができる。
【００４２】
ウエアパッドは、例えば自動車エンジンのロッカーアームと摺動する部品であり、本発明の耐磨耗部材をウエアパッドに用いることにより、耐磨耗性を向上させ、安定した燃焼を実現し、不完全燃焼を低減させることができる。
【００４３】
プランジャーはディーゼルエンジンの燃料噴射装置などに用いられ、カムローラの動きを伝達するものであり、ローターの内部に接し、高速で往復運動するものである。従って、プランジャーは非常に磨耗しやすく、ロータも磨耗させてしまう。このようなプランジャーに本発明の耐磨耗部材を用いることにより、このような磨耗を防ぎ、正確に燃料噴射を行うことができる。
【００４６】
本発明に用いられるセラミックス焼結体は、例えば次のようにして作製される。
【００４７】
原料粉末として例えば窒化珪素粉末などを用い、これに焼結助剤としてイットリアなどを添加し、所定の組成となるように調合する。これをイソプロピルアルコール中などで窒化珪素ボールを用いて２４時間混合後、バインダを添加し冷間静水圧成形（ＣＩＰ）などを用いて１ｔｏｎの圧力で成形する。得られた成形体を５００℃で４時間脱脂した後、１８００℃で４時間焼成する。このような成形・焼成方法としては、公知の方法を適用することができる。さらに、表面をダイヤモンド砥石等で研削し、さらにこの表面をバレル研磨またはラップ加工することによって表面粗さ上の凸部を除去してセラミックス焼結体のスキューネスを−０．１以下にすることができる。
【００４８】
また、表面の表面変質層を上記研削加工等によって除去することによって、表面から５００μｍの深さまでにポアが占める面積が単位面積（１ｍｍ２）当たり１％を越えないようなセラミックス焼結を作製することができる。
【００４９】
本発明の耐磨耗部材については、このようなセラミックス焼結体を所定の形状に加工する前または後に上記研削加工を施してスキューネスを−０．１〜−１．１とすることが好ましい。
【００５１】
【実施例】
次に、本発明の具体的な実施例およびその評価結果について述べる。
【００５２】
実施例１
原料粉末として窒化珪素、イットリア、アルミナを用い、これらを造粒して１ｔｏｎ／ｃｍ２の圧力でラバープレス成形し、φ１２．５×２６ｍｍの円柱体を成形し、これを脱脂後Ｎ２雰囲気中で１８００℃、４時間焼結を行い、密度３．３３ｇ／ｃｃのＳｉ３Ｎ４円柱焼結体を得た。
【００５３】
これにダイヤモンド加工を施し、φ９．５２５±０．００１×２０．１５±０．００１ｍｍのカムローラを作製した。
【００５４】
さらに、アルミナメディアを使用して湿式遠心バレル加工することにより、異なる４種のＳｋ値を持つカムローラＡ、Ｂ、Ｃ、Ｄを作製した。なお、カムローラＡは、Ｓｋ値が本発明の範囲外となるものであり、本発明の実施例に対する比較例となるものである。このような異なるＳｋ値をもつセラミックス焼結体の磨耗量を検討するために、ディーゼルエンジン用燃料噴射ポンプに搭載し総磨耗量を測定した。評価はＲＡＩＬ ＰＲＥＳＳＵＲＥ １０００ＢＡＲ、２０００ＥＲＰＭで４００時間試験を行った。また、比較例としてスチール製のカムローラＥを作製し、同様の試験を行った。
【００５５】
試験の結果を表１に示す。
【００５６】
表１に示すようにＳｋの値が０以下であるＡ、Ｂ、Ｃのうち、Ｂ、Ｃでは、磨耗量が大幅に減少した。Ｓｋの値が０を大きく下回るＡは、磨耗量が逆に増える結果となった。Ｓｋの値が０より大きいＤでは磨耗量が５．５ｍｍ３／Ｎ・ｍｍとなり、従来のスチールカムローラＥより磨耗量が高くなっていた。
【００５７】
【表１】
Figure 0004301623
実施例２
ローラの転がり寿命特性に影響を及ぼす表面ならびに表面近傍の許容ポアサイズ分布の許容範囲を検討するするため、表２に記載されるような６種類のローラを作製し、これらのローラのインジェクションポンプローラとしての適用性を評価した。
【００５８】
ローラとしては、粉末を一軸加圧成形することにより、φ１２．５×２６．０ｍｍの円柱体としたものを用いた。接面のスキューネスは−１とし、ポアの占有面積は一軸加圧成形の圧力を変化させることにより表２のような値にした。
【００５９】
【表２】
Figure 0004301623
このようにして得られた６種類のローラを用いて、ＥＲＰＭ、ＲＡＩＬ ＰＲＥＳＳＵＲＥを変化させて耐久性試験を行った。
【００６０】
耐久性試験の結果を図２に示す。
【００６１】
平均ポアサイズが等しいＣ、Ｄ、Ｆでは、ポアの占有面積が最も低い、Ｃの耐久性が最も高い結果となった。また、ＤとＥでは、一部の例外を除いて、占有面積の低いＤの耐久性がＥより高くなった。
【００６２】
ポアの占有面積が０．８％と等しい、Ｂ、Ｄ、Ｆでは、平均ポアサイズの小さいＢの耐久性が最も高く、次いでＤ、Ｆの順となった。平均ポアサイズの大きいＦは所定の耐久性を有せず、破損してしまった。
【００６３】
ポアの占有面積が１％であっても、平均ポアサイズが小さいＡは、非常に高い耐久性を持つ結果となった。
【００６４】
実施例３
実施例２で用いたＡ及びＣの部材を用い、表３に示すようにスキューネス値を変化させた場合の磨耗量を測定した。なお、磨耗量の測定条件は実施例２と同様のものとした。
【００６５】
【表３】
Figure 0004301623
表３に示されるように、平均ポアサイズおよびポア占有面積が同一であってもスキューネスが異なることによって磨耗量に大きな違いがでることが分かった。
参考例１
基板表面のスキューネスが接合力に及ぼす影響を調べるために、異なるスキューネスをもつＡｌＮ基板に、直接接合法（ＤＢＣ法）を用いて銅板を接合し、ピール強度を測定した。表４に示すように実施例としてスキューネスが０と−１のＡｌＮ基板を用い、比較例としてスキューネスが＋０．５のＡｌＮ基板を用いた。ＡｌＮ基板は縦５０ｍｍ×横２５ｍｍ×厚さ０．８ｍｍ、銅板は厚さ０．２５ｍｍのタフピッチ銅を用いて、温度１０７５℃に設定した加熱炉中に１分間保持することによって、ＡｌＮ基板と銅板とを接合した。
【００６６】
【表４】
Figure 0004301623
表４に示されるように、スキューネスを０以下としたものは、スキューネスを＋０．５としたものと比べて、銅板との接合強度が高いことが分かる。特にスキューネスを−１としたものは、接合強度が大幅に向上することが分かる。
【００６７】
【発明の効果】
以上詳述したように、本発明の耐磨耗部材は、金属製部品からなる相手部材との摺接面をスキューネス−０．１〜−１．１の研磨面とし、かつ、この摺接面から５００μｍの深さまでにポアが占める面積が単位面積（１ｍｍ２）当たり１％を越えないようにし、さらに平均ポアサイズを３０μｍ以下としたものである。このようにすることで、金属製部品からなる相手部材を磨耗させにくい耐磨耗部材とすることができ、より耐久性のある機器を作製することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】 スキューネスを説明するための図である。
【図２】 本発明の耐磨耗部材の耐久性試験の結果を示す図である。

Claims (1)

  1. 窒化珪素セラミックス焼結体からなり、ディーゼルエンジン用のカムローラ、ベアリングボール、チェックボール、ウエアパッド、プランジャーまたはコロとして用いられる耐磨耗部材であって、
    金属製部品からなる相手部材との摺接面がスキューネス−０．１〜−１．１の研磨面であり、かつ、前記摺接面から５００μｍの深さまでにポアが占める面積が単位面積（１ｍｍ２）当たり１％以下、さらに平均ポアサイズが３０μｍ以下であることを特徴とする耐磨耗部材。
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Families Citing this family (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4248173B2 (ja) * 2000-12-04 2009-04-02 株式会社東芝 窒化アルミニウム基板およびそれを用いた薄膜基板
JP3935037B2 (ja) * 2002-09-30 2007-06-20 Ｄｏｗａホールディングス株式会社 アルミニウム−セラミックス接合基板の製造方法
AU2003281962A1 (en) * 2002-10-18 2004-05-13 Schumag Ag Tool head, adjuster ring and cutting machine in particular a scalping machine
JP4710263B2 (ja) * 2004-07-01 2011-06-29 日産自動車株式会社 摺動装置
JP4538375B2 (ja) * 2005-05-31 2010-09-08 日鉱金属株式会社 プリント配線基板用金属材料
JP4713981B2 (ja) * 2005-08-08 2011-06-29 コバレントマテリアル株式会社 セラミック電子部品焼成用容器
JP2009202307A (ja) * 2008-02-28 2009-09-10 Nsk Ltd 転動摺動装置部材の研磨方法及び転動摺動装置部材
US8845951B2 (en) 2010-10-29 2014-09-30 James R. Glidewell Dental Ceramics, Inc. Method of rapid sintering of ceramics
DE102012213279A1 (de) 2012-07-27 2014-01-30 Sirona Dental Systems Gmbh Sinterofen für Bauteile aus einem Sinterwerkstoff, insbesondere für Dentalbauteile und Verfahren zur Sinterung derartiger Bauteile
JP6208646B2 (ja) * 2014-09-30 2017-10-04 信越化学工業株式会社 貼り合わせ基板とその製造方法、および貼り合わせ用支持基板
JP6867102B2 (ja) * 2014-10-22 2021-04-28 Ｊｘ金属株式会社 銅放熱材、キャリア付銅箔、コネクタ、端子、積層体、シールド材、プリント配線板、金属加工部材、電子機器、及び、プリント配線板の製造方法
JP6417998B2 (ja) * 2015-02-18 2018-11-07 日立金属株式会社 軸受
WO2016143741A1 (ja) * 2015-03-10 2016-09-15 住友重機械工業株式会社 摺動部材、摺動機構、及び摺動部材の製造方法
CN108314455B (zh) * 2018-03-29 2020-06-23 深圳市商德先进陶瓷股份有限公司 碳化硅陶瓷及其制备方法和应用
CN114560686B (zh) * 2022-03-24 2023-01-17 东莞市西陶精密陶瓷有限公司 一种陶瓷方孔管及其制备方法和应用

Family Cites Families (18)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4106782A (en) 1977-08-18 1978-08-15 Koppers Company, Inc. Ceramic coated piston rings
EP0120849B1 (en) * 1982-09-30 1987-05-27 Ford Motor Company Method of making high strength hot pressed silicon nitride
EP0218853B1 (en) * 1985-09-06 1994-11-09 Toray Industries, Inc. Method for manufacturing a sintered zirconia material
US4738885A (en) 1986-02-24 1988-04-19 Kyocera Corporation Magnetic disk, substrate therefor and process for preparation thereof
US4820665A (en) * 1986-12-16 1989-04-11 Ngk Insulators, Ltd. Ceramic sintered bodies and a process for manufacturing the same
JP2760626B2 (ja) 1990-02-28 1998-06-04 エヌティエヌ株式会社 等速自在継手
JP2999544B2 (ja) 1990-11-06 2000-01-17 エヌティエヌ株式会社 スタータ用針状ころ軸受
JPH0822467B2 (ja) 1991-02-27 1996-03-06 日本碍子株式会社 窒化珪素セラミックガイドピン及びその製造方法
JPH04347076A (ja) 1991-05-24 1992-12-02 Ngk Spark Plug Co Ltd セラミック製摺動部材および該摺動部材を用いたバルブ装置
JPH05163909A (ja) 1991-12-12 1993-06-29 Toyota Motor Corp 内燃機関の動弁機構のカム接触部構造
JPH05305561A (ja) * 1992-05-01 1993-11-19 Sumitomo Electric Ind Ltd 窒化ケイ素系セラミックスの研削加工方法及びその加工製品
JP2915763B2 (ja) 1993-10-26 1999-07-05 日本碍子株式会社 ピストンピン及びその製造方法
JPH07197236A (ja) 1994-01-10 1995-08-01 Tokuyama Corp セラミックス−金接合構造体
US5508241A (en) * 1994-03-22 1996-04-16 Saint Gobain/Norton Industrial Ceramics Corp. Silicon nitride bearing ball having a high rolling contact fatigue life
US5850329A (en) 1994-10-31 1998-12-15 Sullivan; Thomas Milton Magnetic recording device components
DE69533280D1 (de) * 1994-11-14 2004-08-26 Sumitomo Electric Industries Keramisches gleitstück
JPH10103356A (ja) 1996-09-30 1998-04-21 Nippon Seiko Kk 転がり軸受
JP3249428B2 (ja) 1997-06-02 2002-01-21 三菱重工業株式会社 圧延設備のコイル搬送装置

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