JP4406252B2 - 磁気センサ - Google Patents
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を透過する。
(7)式に示すように高い値が得られた。
まず、磁性積層膜11中のスピン減衰長に関する測定結果について説明する。
(比較例1)
実施例1における磁性積層膜11(Ni81Fe19層とCu層の積層膜)を厚さ約5nmのNi81Fe19単層に置き換えた素子を、実施例1と同様な方法により作製した。この素子について約0.4mAの電流の下で実施例1と同様な測定を行ったところ、2つの磁化が平行および反平行の電圧は、それぞれ約1.4μV、約1.8μVに減少しMR比も約3%となった。
3 反強磁性層
5 強磁性層
7 トンネル絶縁層
9 非磁性電極層
11 磁性積層膜
11a 強磁性層
11b 非磁性層
13 第2電極
15 第1の層間絶縁膜
17 第2の層間絶縁膜
Claims (1)
- 磁化が固着された強磁性層と、
前記強磁性層に隣接して形成されたトンネル絶縁層と、
前記トンネル絶縁層に隣接して形成された非磁性電極層と、
前記磁化固着された強磁性層と共に前記トンネル絶縁層及び前記非磁性電極層を挟み、非磁性層と複数の強磁性層が交互に積層され、前記非磁性層を介して隣り合う前記強磁性層は互いに強磁性結合されており、外部磁場を受けて強磁性結合を保ちつつ前記強磁性層の磁化方向が変化する磁性積層膜と、
前記磁化が固着された強磁性層に電気接続された第1電極と、
前記非磁性電極層と共に前記磁性積層膜を挟み、前記磁性積層膜に電気接続された第2電極と、
前記第1電極と前記第2電極との間に電圧を印加し、流れる電流の変化による電圧変化を検知するため、前記非磁性電極層及び前記第2電極に電気接続された電圧検知部とを備える磁気センサにおいて、
前記非磁性電極層の前記トンネル絶縁層と前記磁性積層膜との間の厚さが20nm以下、及び前記複数の強磁性層の膜厚の総和が6nm以下であって、前記複数の強磁性層の一つは前記非磁性電極層に隣接し、1nm以下の膜厚を備え、アップスピン電子は磁性積層膜中において緩和することなく磁性積層膜を透過し、ダウンスピン電子は磁性積層膜中において緩和し伝導電子として磁性積層膜中を輸送され、緩和した伝導電子が作る電流により磁性積層膜の両端に電圧が発生することを特徴とする磁気センサ。
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