JP4386013B2 - 接点開閉装置 - Google Patents
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Description
本実施形態の接点開閉装置は、図1に示すように導電性を有する流体3を移動自在に収納する収納部2が設けられた半導体基板1と、収納部2内に露出する複数の接点4が設けられて半導体基板1の表面に接合される絶縁基板5と、半導体基板1の絶縁基板5との接合面と反対側の面に形成され半導体基板1を部分的に変形させて収納部2内で導電性流体3を移動させるアクチュエータ6とを備える。
本実施形態は、図7に示すようにシム6aの片面に圧電素子6bを取着してなるユニモルフ型の圧電振動体でアクチュエータ6を構成するとともに、圧電素子6b並びにシム6aの端部を半導体基板1の外側にはみ出させた点に特徴がある。但し、他の構成並びに動作については実施形態1と共通するので、共通の構成要素には同一の符号を付して説明を省略する。
1b ダイアフラム部
2 収納部
2a 空洞部
2b 溝部
3 導電性流体
4 接点
5 絶縁基板
5a 貫通孔
6 アクチュエータ
10 突部
Claims (9)
- 導電性を有する流体を移動自在に収納する収納部が設けられた半導体基板と、収納部内に露出する複数の接点が設けられて半導体基板の表面に接合される絶縁基板と、半導体基板を部分的に変形させて収納部内で導電性流体を移動させるアクチュエータとを備え、半導体基板においてアクチュエータにより変形させられる部分がダイアフラム状に形成されるとともに当該ダイアフラム状の部分から突出してアクチュエータに当接する突部が半導体基板に設けられるとともに、アクチュエータによる半導体基板の部分的な変形の変形量を規制する規制手段が半導体基板又は絶縁基板に設けられた接点開閉装置であって、当該規制手段は、アクチュエータと対向する半導体基板の一面に設けられ、変形量が所定量を超える前にアクチュエータに当接する当接部からなることを特徴とする接点開閉装置。
- 突部は、各角部が面取りされた略角柱形に形成されたことを特徴とする請求項1記載の接点開閉装置。
- 突部は、アクチュエータに当接する先端部分が先細りとなる角錐台形又は円錐台形に形成されたことを特徴とする請求項2記載の接点開閉装置。
- 半導体基板の表面に設けられた凹所にアクチュエータの一部を嵌合してなることを特徴とする請求項1〜3の何れかに記載の接点開閉装置。
- アクチュエータは、突部を挟んで対向する両端部が半導体基板に固定された両持ち梁構造を有することを特徴とする請求項1〜4の何れかに記載の接点開閉装置。
- アクチュエータは、突部を挟んで対向する一方の端部が半導体基板に固定された片持ち梁構造を有することを特徴とする請求項1〜4の何れかに記載の接点開閉装置。
- アクチュエータは、弾性材料からなる板状のシムと該シムの片面に取着される板状の圧電素子を有する圧電振動体からなることを特徴とする請求項1〜6の何れかに記載の接点開閉装置。
- アクチュエータは、弾性材料からなる板状のシムと該シムの両面に取着される板状の一対の圧電素子を有する圧電振動体からなることを特徴とする請求項1〜6の何れかに記載の接点開閉装置。
- 圧電素子並びにシムの端部を半導体基板の外側にはみ出させたことを特徴とする請求項7記載の接点開閉装置。
Priority Applications (8)
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EP06796926A EP1921648A1 (en) | 2005-08-31 | 2006-08-29 | Relay device using conductive fluid |
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KR1020077018423A KR100928914B1 (ko) | 2005-08-31 | 2006-08-29 | 도전성 유체를 사용한 릴레이 장치 |
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Applications Claiming Priority (1)
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Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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Country Status (1)
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JP (1) | JP4386013B2 (ja) |
-
2005
- 2005-08-31 JP JP2005252201A patent/JP4386013B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
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JP2007066728A (ja) | 2007-03-15 |
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