JP2007066737A - 接点開閉装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】応答性が高い常閉型の接点開閉装置を提供する。
【解決手段】接点開閉装置は、シリコン基板1と、シリコン基板1に設けた溝部2及び液溜め部3を覆うようにしてシリコン基板1に被着されたガラス基板7と、溝部2に対向するガラス基板7の部位に設けられた2つのコンタクト10a,10bと、通電に応じて液溜め部3の裏側に形成されたダイアフラム4を押圧する圧電アクチュエータ8と、圧電アクチュエータ8に通電していない状態でコンタクト10a,10b間に介在するようにして溝部2内に配置された導電性流体6と、溝部2内で導電性流体6の両側に配置された非導電性流体5a,5bとを備える。圧電アクチュエータ8に通電すると、ダイアフラム4が液溜め部3側に撓められ、液溜め部3内の流体5aが溝部2側へ移動するので、コンタクト10a,10b間に導電性流体6が介在しなくなり、接点間がオフになる。
【選択図】図1
【解決手段】接点開閉装置は、シリコン基板1と、シリコン基板1に設けた溝部2及び液溜め部3を覆うようにしてシリコン基板1に被着されたガラス基板7と、溝部2に対向するガラス基板7の部位に設けられた2つのコンタクト10a,10bと、通電に応じて液溜め部3の裏側に形成されたダイアフラム4を押圧する圧電アクチュエータ8と、圧電アクチュエータ8に通電していない状態でコンタクト10a,10b間に介在するようにして溝部2内に配置された導電性流体6と、溝部2内で導電性流体6の両側に配置された非導電性流体5a,5bとを備える。圧電アクチュエータ8に通電すると、ダイアフラム4が液溜め部3側に撓められ、液溜め部3内の流体5aが溝部2側へ移動するので、コンタクト10a,10b間に導電性流体6が介在しなくなり、接点間がオフになる。
【選択図】図1
Description
本発明は、接点開閉装置に関するものである。
従来より、常温で液体の金属(水銀)を利用した接点開閉装置が提案されている(例えば特許文献1参照)。
上記特許文献1に示される接点開閉装置は、半導体基板の内部に所定の体積を有する能動貯蔵庫および受動貯蔵庫を設け、両貯蔵庫の間を液体金属の流路となるチャンネルで連通している。チャンネルの内部には、液体金属を介して導通する各一対の第1信号電極と第2信号電極とが間隔を開けて配置されている。また各貯蔵庫にはヒータが設けられており、一方のヒータに通電して貯蔵庫内部の気体を加熱、膨張させることで、チャンネル内部の液体金属を移動させ、第1信号電極及び第2信号電極の一方を導通させるとともに、他方を遮断させている。
特開平9−161640号公報
上記構成の接点開閉装置は、両貯蔵庫内の気体をヒータにより加熱し、その体積を膨張させることで、チャンネル内部の液体金属を移動させているため、応答性が悪いという問題があった。そこで、液体金属に直接外力を加えて、チャンネル内部を移動させることで応答性を改善することが考えられるが、その場合は液体金属に外力を加えていない状態で液体金属と接触していない位置に接点を配置し、液体金属に外力を加えてチャンネル内部を移動させた際に、接点間が液体金属を介して導通するため、常開型の接点開閉装置しか実現できないという問題があった。
本発明は上記問題点に鑑みて為されたものであり、その目的とするところは、応答性が高い常閉型の接点開閉装置を提供することにある。
上記目的を達成するために、請求項1の発明は、一面に流体の流路となる溝部及び該溝部の一端に連通した液溜め部が形成されるとともに、液溜め部の裏側をエッチングすることによってダイアフラムが形成された半導体基板と、溝部及び液溜め部を覆うようにして半導体基板の一面に被着された封止基板と、溝部に対向する封止基板の部位に設けられた複数の接点と、溝部の中間部に移動自在に配置された導電性流体と、溝部内で当該溝部の他端側から導電性流体までの間に配置される第1の非導電性流体と、溝部の残部及び液溜め部内に配置される第2の非導電性流体と、ダイアフラムを撓ませることによって液溜め部内の流体を溝部側に押し出して各流体を移動させる駆動手段とを備え、導電性流体は、駆動手段により各流体を移動させていない状態で、複数の接点の間に介在するように配置されたことを特徴とする。
この発明によれば、駆動手段によりダイアフラムを撓ませることによって、液溜め部内の流体を溝部側に押し出して、接点の開閉を行わせているので、応答性を向上させることができる。しかも、駆動手段により各流体を移動させていない状態で、複数の接点の間に介在するように導電性流体が配置され、この導電性流体の両側に第1及び第2の非導電性流体が配置されているので、駆動手段を動作させていない状態では接点間が導電性流体を介して導通し、駆動手段により導電性流体を移動させると、接点間が非導電性流体を介して遮断されるから、応答性が高い常閉型の接点開閉装置を提供することができる。
請求項2の発明は、請求項1の発明において、第1及び第2の非導電性流体が気体であることを特徴とする。
この発明によれば、請求項1の発明と同様に、応答性が高い常閉型の接点開閉装置を提供することができる。
請求項3の発明は、請求項1の発明において、第1及び第2の非導電性流体が非導電性の液体であることを特徴とする。
この発明によれば、請求項1の発明と同様に、応答性が高い常閉型の接点開閉装置を提供することができる。さらに、第1及び第2の非導電性流体に気体を用いる場合、気体は圧縮性流体なので、導電性流体を移動させるためにはダイアフラムの撓み量を大きくする必要があるが、請求項3の発明によれば第1及び第2の非導電性流体として非導電性の液体を用いており、液体は非圧縮性の流体なので、ダイアフラムの撓み量を小さくでき、駆動手段による駆動力を小さくできる。
請求項4の発明は、一面に流体の流路となる溝部が形成された半導体基板と、溝部を覆うようにして半導体基板の一面に被着された封止基板と、溝部に対向する封止基板の部位に設けられた複数の接点と、溝部の中間部に移動自在に配置された導電性流体と、溝部内で当該溝部の一端側から導電性流体までの間に配置される磁性流体と、溝部の残部に配置される非導電性の液体と、溝部内に磁界を発生させることで磁性流体を移動させる駆動手段とを備え、導電性流体は、駆動手段により磁性流体を移動させていない状態で、複数の接点の間に介在するように配置されたことを特徴とする。
この発明によれば、駆動手段が溝部内に磁界を発生させることで磁性流体を移動させ、磁性流体の移動に応じて導電性流体を移動させることにより、接点の開閉を行わせているので、応答性を向上させることができる。しかも、駆動手段により各流体を移動させていない状態で、複数の接点の間に介在するように導電性流体が配置され、この導電性流体の両側に第1及び第2の非導電性流体が配置されているので、駆動手段を動作させていない状態では接点間が導電性流体を介して導通し、駆動手段により導電性流体を移動させると、接点間が非導電性流体を介して遮断されるから、応答性が高い常閉型の接点開閉装置を提供することができる。
請求項1の発明によれば、駆動手段によりダイアフラムを撓ませることによって、液溜め部内の流体を溝部側に押し出して、接点の開閉を行わせているので、応答性を向上させることができる。しかも、駆動手段により各流体を移動させていない状態で、複数の接点の間に介在するように導電性流体が配置され、この導電性流体の両側に第1及び第2の非導電性流体が配置されているので、駆動手段を動作させていない状態では接点間が導電性流体を介して導通し、駆動手段により導電性流体を移動させると、接点間が非導電性流体を介して遮断されるから、応答性が高い常閉型の接点開閉装置を提供することができる。
請求項2の発明によれば、請求項1の発明と同様に、応答性が高い常閉型の接点開閉装置を提供することができる。
請求項3の発明によれば、請求項1の発明と同様に、応答性が高い常閉型の接点開閉装置を提供することができる。さらに、第1及び第2の非導電性流体に気体を用いる場合、気体は圧縮性流体なので、導電性流体を移動させるためにはダイアフラムの撓み量を大きくする必要があるが、請求項3の発明によれば第1及び第2の非導電性流体として非導電性の液体を用いており、液体は非圧縮性の流体なので、ダイアフラムの撓み量を小さくでき、駆動手段による駆動力を小さくできる。
請求項4の発明によれば、駆動手段が溝部内に磁界を発生させることで磁性流体を移動させ、磁性流体の移動に応じて導電性流体を移動させることにより、接点の開閉を行わせているので、応答性を向上させることができる。しかも、駆動手段により各流体を移動させていない状態で、複数の接点の間に介在するように導電性流体が配置され、この導電性流体の両側に第1及び第2の非導電性流体が配置されているので、駆動手段を動作させていない状態では接点間が導電性流体を介して導通し、駆動手段により導電性流体を移動させると、接点間が非導電性流体を介して遮断されるから、応答性が高い常閉型の接点開閉装置を提供することができる。
以下に本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。
(実施形態1)
本発明の実施形態1を図1に基づいて説明する。本実施形態の接点開閉装置は、一面に流体の流路となる溝部2及び当該溝部2に連通する液溜め部3が形成されるとともに、液溜め部3の裏側をエッチングすることによってダイアフラム4が形成されたシリコン基板1と、溝部2及び液溜め部3を塞ぐようにしてシリコン基板1の一面に被着されるガラス基板(封止基板)7と、溝部2に対向するガラス基板7の部位に設けられた複数(例えば2個)のコンタクト10a,10bと、溝部2の中間部に移動自在に配置された導電性流体6と、溝部2内で当該溝部2の他端側から導電性流体6までの間に配置される第1の非導電性流体(以下、非導電性流体と言う。)5bと、溝部2の残部及び液溜め部3内に配置される第2の非導電性流体(以下、非導電性流体と言う。)5aと、圧電材料により短冊状に形成され、シリコン基板1の他面におけるダイアフラム4の周縁部に長手方向一端部が固着されるとともに、長手方向他端部がダイアフラム4の表面に設けたピボット4aに対向する圧電アクチュエータ(駆動手段)8とを備えている。ここで、導電性流体6は、圧電アクチュエータ8により各流体5a,5b,6を移動させていない状態で、コンタクト10a,10b間に介在するように溝部2内に配置されている。また非導電性流体5a,5bとしては例えば空気(気体)を用いている。
本発明の実施形態1を図1に基づいて説明する。本実施形態の接点開閉装置は、一面に流体の流路となる溝部2及び当該溝部2に連通する液溜め部3が形成されるとともに、液溜め部3の裏側をエッチングすることによってダイアフラム4が形成されたシリコン基板1と、溝部2及び液溜め部3を塞ぐようにしてシリコン基板1の一面に被着されるガラス基板(封止基板)7と、溝部2に対向するガラス基板7の部位に設けられた複数(例えば2個)のコンタクト10a,10bと、溝部2の中間部に移動自在に配置された導電性流体6と、溝部2内で当該溝部2の他端側から導電性流体6までの間に配置される第1の非導電性流体(以下、非導電性流体と言う。)5bと、溝部2の残部及び液溜め部3内に配置される第2の非導電性流体(以下、非導電性流体と言う。)5aと、圧電材料により短冊状に形成され、シリコン基板1の他面におけるダイアフラム4の周縁部に長手方向一端部が固着されるとともに、長手方向他端部がダイアフラム4の表面に設けたピボット4aに対向する圧電アクチュエータ(駆動手段)8とを備えている。ここで、導電性流体6は、圧電アクチュエータ8により各流体5a,5b,6を移動させていない状態で、コンタクト10a,10b間に介在するように溝部2内に配置されている。また非導電性流体5a,5bとしては例えば空気(気体)を用いている。
液溜め部3は平面視の形状が略菱形に形成され、図1(a)中左側の角部から平面視の形状が略J字状の溝部2が延長形成されている。また、液溜め部3の右側の角部からは注入溝11が延長形成されており、注入溝11の端部はシリコン基板1を厚み方向に貫通する注入用孔12に連通している。この接点開閉装置を製造する際には、シリコン基板1とガラス基板7とを陽極接合した後に、溝部2内を非導電性流体5bで満たした状態で、シリコン基板1の注入用孔12から導電性流体6を所定量注入し、さらに非導電性流体5bを所定量注入した後、ガラス蓋13をシリコン基板1の表面に固着して注入用孔12を塞いでいる。なお、溝部2における液溜め部3と反対側の端部には、導電性流体6及び非導電性流体5aを注入用孔12から注入する際に溝部2内の空気(非導電性流体5a)を抜くための空気抜き孔(図示せず)が形成されており、この空気抜き孔もガラス蓋13で塞がれるようになっている。
圧電アクチュエータ8はシリコン基板1に片持ち支持されており、圧電アクチュエータ8に通電すると、圧電アクチュエータ8の長手方向他端部が厚み方向に撓んでピボット4aを押圧し、ダイアフラム4が液溜め部3側に撓められるから、液溜め部3の容積が減少する。この時、液溜め部3内の非導電性流体5aが溝部2側に押し出され、非導電性流体5aが圧縮されるとともに、非導電性流体5aの反発力を受けて導電性流体6が液溜め部3と反対側に移動するので、コンタクト10a,10b間に導電性流体6が介在しなくなって、接点間が遮断される。なお、導電性流体6が液溜め部3と反対側に移動することによって、非導電性流体5bが圧縮される。一方、圧電アクチュエータ8の通電を止めると、圧電アクチュエータ8がピボット4aを押圧する力が無くなり、ダイアフラム4が元の状態に戻るので、非導電性流体5aが溝部2から液溜め部3側へ移動するとともに、導電性流体6がコンタクト10a,10b間の初期位置に移動し、接点間が導通する。
ガラス基板7には、溝部2の直線部分2aと対向する部位に、ガラス基板7を厚み方向に貫通する貫通孔9が2個形成され、各貫通孔9の孔壁をめっきして孔内に金属(例えば銅など)を充填することによって、溝部2内に先端が露出する2個のコンタクト10a,10bを形成している。これらのコンタクト10a,10bは、液溜め部3に近い側からコンタクト10a,10bの順番に配置されている。またガラス基板7の表面には一対の電極パッド14,15が形成されており、一方の電極パッド14とコンタクト10aとの間が導電パターン16を介して電気的に接続されるとともに、他方の電極パッド15とコンタクト10bとの間が導電パターン17を介して電気的に接続されている。
次に、この接点開閉装置の製造方法について説明する。先ずシリコン基板1の一面をエッチングすることによって溝部2及び液溜め部3を形成するとともに、シリコン基板1の他面を異方性エッチングすることによってダイアフラム4を形成する。次にガラス基板7の所定の位置に貫通孔9を2個形成し、各貫通孔9の孔壁をめっきして孔内に金属(例えば銅など)を充填することによって、2つのコンタクト10a,10bを形成した後、ガラス基板7の表面に電極パッド14,15と導電パターン16,17を形成する。そして、シリコン基板1の一面にガラス基板7を陽極接合し、溝部2及び液溜め部3を覆った後、溝部2及び液溜め部3の内部に非導電性流体5bを満たした状態で、シリコン基板1の注入用孔12から導電性流体6を所定量注入し、さらに非導電性流体5bを所定量注入する。導電性流体6及び非導電性流体5a,5bの注入を終えると、ガラス蓋13をシリコン基板1の表面に固着して注入用孔12及び空気抜き孔を閉塞する。また、シリコン基板1の他面においてダイアフラム4の周縁部に、圧電アクチュエータ8の長手方向一端部を固着して、長手方向の他端部をダイアフラム4のピボット4aに対向させる。なお、導電性流体6は溝部2の内部においてコンタクト10a,10bの間に介在するように配置され、溝部2の他端側(液溜め部3と反対側の端部)から導電性流体6までの間に非導電性流体5bが配置されるとともに、溝部2の残部と液溜め部3とに非導電性流体5aが配置されている。
而して、圧電アクチュエータ8に通電していない状態では、導電性流体6がコンタクト10a,10b間に介在しているから、コンタクト10a,10b間が導電性流体6を介して導通し、電極パッド14,15間がオンになる。一方、圧電アクチュエータ8に通電すると、圧電アクチュエータ8が厚み方向に撓んでピボット4aを押圧し、ダイアフラム4が液溜め部3側に膨らむので、液溜め部3の容積が減少する。このとき、液溜め部3内に注入されていた非導電性流体5aが溝部2側に押し出され、非導電性流体5aが圧縮されるので、非導電性流体5aの反発力を受けて導電性流体6が溝部2内を液溜め部3と反対側へ移動し、コンタクト10a,10b間に導電性流体6が介在しなくなって、電極パッド14,15間はオフになる。その後、圧電アクチュエータ8の通電を止めると、圧電アクチュエータ8がピボット4aを押圧する力が無くなり、ダイアフラム4が元の状態に戻るので、非導電性流体5aが溝部2から液溜め部3側へ移動するとともに、導電性流体6がコンタクト10a,10b間の初期位置に移動し、接点間が導通する。このとき、コンタクト10a,10b間に導電性流体6が存在するから、電極パッド14,15間はオンになる。つまり、この接点開閉装置は常閉型の接点装置として機能する。
ところで、本実施形態では第1及び第2の非導電性流体5a,5bとして気体を用いているが、第1及び第2の非導電性流体5a,5bを気体に限定する趣旨のものではなく、非絶縁性の液体(例えば純水やフッ素系の不活性液体など)を用いても良い。第1及び第2の非導電性流体5a,5bに気体を用いる場合、気体は圧縮性流体なので、圧電アクチュエータ8によりダイアフラム4を撓ませて、液溜め部3内の非導電性流体5aを溝部2側へ移動させたとしても、非導電性流体5a自体が収縮するため、溝部2内で導電性流体6を移動させるためには、液溜め部3から溝部2側へより多くの非導電性流体5aを押し出す必要があり、結果ダイアフラム4の撓み量を大きくする必要があった。それに対して、第1及び第2の非導電性流体5a,5bに非導電性の液体を用いた場合、液体は非圧縮性の流体なので、液溜め部3から溝部2側へ押し出す流体の体積が少なくて済み、ダイアフラム4の撓み量を小さくできるから、圧電アクチュエータ8による駆動力を小さくできる。
(実施形態2)
本発明の実施形態2を図2に基づいて説明する。上述の実施形態1では第1及び第2の非導電性流体5a,5bとして気体又は非導電性の液体を用いているが、本実施形態では、溝部2内で溝部2の他端側(液溜め部3と反対側)から導電性流体6までの間に配置される第1の非導電性流体として非導電性の液体5dを用いるとともに、溝部2の残部及び液溜め部3内に配置される第2の非導電性流体として磁性流体5cを用いている。また液溜め部3の裏側にはダイアフラム4を形成しておらず、駆動手段として圧電アクチュエータ8の代わりに、溝部2内に磁界を発生させることで磁性流体5cを移動させるマグネット20、及び、マグネット20を磁性流体5cに近付ける状態と遠ざける状態とを切り替える切替手段(図示せず)を用いている。尚、第1及び第2の非導電性流体と駆動手段以外の構成は実施形態1と同様であるので、共通する構成要素には同一の符号を付して、その説明は省略する。
本発明の実施形態2を図2に基づいて説明する。上述の実施形態1では第1及び第2の非導電性流体5a,5bとして気体又は非導電性の液体を用いているが、本実施形態では、溝部2内で溝部2の他端側(液溜め部3と反対側)から導電性流体6までの間に配置される第1の非導電性流体として非導電性の液体5dを用いるとともに、溝部2の残部及び液溜め部3内に配置される第2の非導電性流体として磁性流体5cを用いている。また液溜め部3の裏側にはダイアフラム4を形成しておらず、駆動手段として圧電アクチュエータ8の代わりに、溝部2内に磁界を発生させることで磁性流体5cを移動させるマグネット20、及び、マグネット20を磁性流体5cに近付ける状態と遠ざける状態とを切り替える切替手段(図示せず)を用いている。尚、第1及び第2の非導電性流体と駆動手段以外の構成は実施形態1と同様であるので、共通する構成要素には同一の符号を付して、その説明は省略する。
本実施形態では、第2の非導電性流体として磁性流体5cを用いており、図示しない切替手段によりマグネット20を近付けたり、遠ざけたりすることで、磁性流体5cをマグネット20で吸引する状態と、吸引しない状態とを切り替えている。
而して、切替手段によりマグネット20を磁性流体5cから遠ざけている状態では、導電性流体6がコンタクト10a,10b間に介在しているから、コンタクト10a,10b間が導電性流体6を介して導通し、電極パッド14,15間がオンになる。一方、切替手段によりマグネット20を磁性流体5cに近付けると、磁性流体5cがマグネット20に吸引されて溝部2の他端側(液溜め部3と反対側)へ移動し、導電性流体6が磁性流体5cに押されて溝部2内を他端側へ移動するから、コンタクト10a,10b間に導電性流体6が介在しなくなって、電極パッド14,15間はオフになる。なお、磁性流体5cはマグネット20の吸引力を受けて体積が膨張することで、マグネット20に近付く方向へ移動し、導電性流体6を溝部2の他端側へ移動させている。またこの時、非導電性の液体5dは、導電性流体6の移動に伴って圧縮されている。その後、切替手段によりマグネット20を磁性流体5cから遠ざけると、マグネット20による吸引力が無くなって、磁性流体5cが元の体積に収縮すると共に、非導電性の液体5dが元の体積まで膨張することで、導電性流体6がコンタクト10a,10b間の初期位置に移動し、接点間が導通する。つまり、この接点開閉装置は常閉型の接点装置として機能する。
本実施形態では、マグネット20と切替手段とで構成される駆動手段により溝部2内に磁界を発生させることで磁性流体5cを移動させ、磁性流体5cの移動に応じて導電性流体6を移動させることで、コンタクト10a,10b間を導通又は開放させているので、応答性を向上させることができる。しかも、駆動手段により各流体5c,5d,6を移動させていない状態で、コンタクト10a,10bの間に介在するように導電性流体6が配置され、この導電性流体6の両側に磁性流体5cおよび非導電性の液体5dが配置されているので、駆動手段を動作させていない状態ではコンタクト10a,10b間が導電性流体6を介して導通し、駆動手段により導電性流体6を移動させると、コンタクト10a,10b間が非導電性の磁性流体5cを介して遮断されるから、応答性が高い常閉型の接点開閉装置を提供することができる。
なお、本発明の精神と範囲に反することなしに、広範に異なる実施形態を構成することができることは明白なので、この発明は、特定の実施形態に制約されるものではない。
1 シリコン基板
2 溝部
3 液溜め部
4 ダイアフラム
5a,5b 非導電性流体
6 導電性流体
7 ガラス基板
8 圧電アクチュエータ
10a,10b コンタクト
2 溝部
3 液溜め部
4 ダイアフラム
5a,5b 非導電性流体
6 導電性流体
7 ガラス基板
8 圧電アクチュエータ
10a,10b コンタクト
Claims (4)
- 一面に流体の流路となる溝部及び該溝部の一端に連通した液溜め部が形成されるとともに、液溜め部の裏側をエッチングすることによってダイアフラムが形成された半導体基板と、溝部及び液溜め部を覆うようにして半導体基板の一面に被着された封止基板と、溝部に対向する封止基板の部位に設けられた複数の接点と、溝部の中間部に移動自在に配置された導電性流体と、溝部内で当該溝部の他端側から導電性流体までの間に配置される第1の非導電性流体と、溝部の残部及び液溜め部内に配置される第2の非導電性流体と、ダイアフラムを撓ませることによって液溜め部内の流体を溝部側に押し出して前記各流体を移動させる駆動手段とを備え、導電性流体は、駆動手段により前記各流体を移動させていない状態で、複数の接点の間に介在するように配置されたことを特徴とする接点開閉装置。
- 前記第1及び第2の非導電性流体が気体であることを特徴とする請求項1記載の接点開閉装置。
- 前記第1及び第2の非導電性流体が非導電性の液体であることを特徴とする請求項1記載の接点開閉装置。
- 一面に流体の流路となる溝部が形成された半導体基板と、溝部を覆うようにして半導体基板の一面に被着された封止基板と、溝部に対向する封止基板の部位に設けられた複数の接点と、溝部の中間部に移動自在に配置された導電性流体と、溝部内で当該溝部の一端側から導電性流体までの間に配置される磁性流体と、溝部の残部に配置される非導電性の液体と、溝部内に磁界を発生させることで磁性流体を移動させる駆動手段とを備え、導電性流体は、駆動手段により磁性流体を移動させていない状態で、複数の接点の間に介在するように配置されたことを特徴とする接点開閉装置。
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JP2005252210A Withdrawn JP2007066737A (ja) | 2005-08-31 | 2005-08-31 | 接点開閉装置 |
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JP (1) | JP2007066737A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2018517135A (ja) * | 2015-05-21 | 2018-06-28 | ノキア テクノロジーズ オーユー | 時変電圧を供給するための装置および方法 |
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2005
- 2005-08-31 JP JP2005252210A patent/JP2007066737A/ja not_active Withdrawn
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2018517135A (ja) * | 2015-05-21 | 2018-06-28 | ノキア テクノロジーズ オーユー | 時変電圧を供給するための装置および方法 |
US10926255B2 (en) | 2015-05-21 | 2021-02-23 | Nokia Technologies Oy | Apparatus and method for providing a time varying voltage |
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