JP2008159472A - リレー装置 - Google Patents
リレー装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2008159472A JP2008159472A JP2006348542A JP2006348542A JP2008159472A JP 2008159472 A JP2008159472 A JP 2008159472A JP 2006348542 A JP2006348542 A JP 2006348542A JP 2006348542 A JP2006348542 A JP 2006348542A JP 2008159472 A JP2008159472 A JP 2008159472A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- fluid
- relay device
- contacts
- resistance increasing
- contact
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Images
Landscapes
- Contacts (AREA)
Abstract
【課題】接点間を絶縁させやすくする。
【解決手段】アクチュエータ2への通電が行われていないとき、導電性流体5は少なくとも接点3,4間で分断しているから、接点3,4間は絶縁している。その後、アクチュエータ2への通電が行われると、基体1に設けられたダイアフラム11が変形し、内部空間10の容積が減少するので、導電性流体5が流体通路13を移動し、導電性流体5を介して接点3,4間は導通する。その後、アクチュエータ2への通電が行われなくなると、ダイアフラム11及び内部空間10の容積が元に戻るので、接点3側の導電性流体5は流体通路13を液溜め部12側に移動する。これに対して、接点4側の導電性流体5は流体抵抗増加部130によって流体通路13を液溜め部12側に移動しにくいので、導電性流体5は流体抵抗増加部130を挟んで分断する。これにより、接点3,4間は絶縁する。
【選択図】図1
【解決手段】アクチュエータ2への通電が行われていないとき、導電性流体5は少なくとも接点3,4間で分断しているから、接点3,4間は絶縁している。その後、アクチュエータ2への通電が行われると、基体1に設けられたダイアフラム11が変形し、内部空間10の容積が減少するので、導電性流体5が流体通路13を移動し、導電性流体5を介して接点3,4間は導通する。その後、アクチュエータ2への通電が行われなくなると、ダイアフラム11及び内部空間10の容積が元に戻るので、接点3側の導電性流体5は流体通路13を液溜め部12側に移動する。これに対して、接点4側の導電性流体5は流体抵抗増加部130によって流体通路13を液溜め部12側に移動しにくいので、導電性流体5は流体抵抗増加部130を挟んで分断する。これにより、接点3,4間は絶縁する。
【選択図】図1
Description
本発明は、複数の接点間の導通と絶縁を切り替えるリレー装置に関するものである。
複数の接点間の導通と絶縁を切り替える従来のリレー装置として、特許文献1には、スイッチング流体(導電性流体)を用いて電極(接点)間の導通と絶縁を切り替える流体式スイッチ(第1従来例のリレー装置)が開示されている。特許文献1の流体式スイッチは、複数のキャビティ(内部空間)が基板(基体)に形成され、一のキャビティにスイッチング流体が保持され、他のキャビティに作動流体が保持されているものである。このような構成の流体式スイッチにおいて、作動流体を加熱して作動流体の圧力を変化させると、スイッチング流体は、一のキャビティで形状が変化し、移動し、分岐する。このような一のキャビティでのスイッチング流体の変化に基づいて電極間を導通させたり絶縁させたりする。
ところが、上記第1従来例のリレー装置には、作動流体を加熱する必要があることから、消費電力が大きくなるという問題があった。また、加熱による温度上昇によって品質劣化しやすくなることから、寿命を長くすることができないという問題もあった。
上記問題を解決するものとして、アクチュエータの撓みで、基体に形成された内部空間の容積を変化させることによって、この内部空間に収納された導電性流体が内部空間内を移動し、複数の接点間の導通と絶縁を切り替える第2従来例のリレー装置がある。
特開2005−158717号公報(段落0006〜0030及び第5〜7図)
しかしながら、上記第2従来例のリレー装置には、導電性流体と基体の間において濡れ性が大きすぎるために、接点間を導通から絶縁に瞬時に切り替えることができない場合が発生するという問題があった。
本発明は上記の点に鑑みて為されたものであり、その目的とするところは、接点間を絶縁させやすくすることができるリレー装置を提供することにある。
請求項1の発明は、液溜め部及び一端が当該液溜め部に接続され他端が閉じられた流体通路で構成され流体を収納可能とする内部空間と、弾性変形することで前記内部空間の容積を変化させるダイアフラムとが形成された基体と、それぞれが離隔して前記流体通路に露出する複数の接点と、前記内部空間に封入された導電性流体と、前記ダイアフラムを弾性変形させ、前記導電性流体を前記内部空間内で移動させることで当該導電性流体を介して前記接点間を導通させるアクチュエータとを備え、前記流体通路における複数の接点間のうち少なくとも1つの接点間に、前記流体通路の他の部分より流体抵抗が大きい流体抵抗増加部が形成されていることを特徴とする。
請求項2の発明は、請求項1の発明において、前記流体抵抗増加部が、他の部分より断面積が小さく形成された部分であることを特徴とする。
請求項3の発明は、請求項1の発明において、前記流体抵抗増加部が、2つの接点の一方側を頂点に他方側を底辺とする三角形状に形成された部分であることを特徴とする。
請求項4の発明は、請求項1の発明において、前記流体抵抗増加部が、前記複数の接点が露出する面及びその対向面の少なくとも一部が粗面に形成された部分であることを特徴とする。
請求項5の発明は、請求項1の発明において、前記流体抵抗増加部が、前記複数の接点が露出する面の垂直面の少なくとも一部が粗面に形成された部分であることを特徴とする。
請求項6の発明は、請求項1の発明において、前記流体抵抗増加部が、凹部が形成された部分であることを特徴とする。
請求項7の発明は、請求項1の発明において、前記流体抵抗増加部が、他の部分より浅溝に形成された部分であることを特徴とする。
請求項8の発明は、請求項1の発明において、前記流体抵抗増加部が、フッ素コーティングが施された部分であることを特徴とする。
請求項9の発明は、請求項8の発明において、前記フッ素コーティングが施された部分が、前記接点の周辺であることを特徴とする。
請求項10の発明は、請求項6の発明において、前記凹部が、2つの接点のうちの一方の周囲のうち少なくとも他方の接点側に形成されたことを特徴とする。
請求項11の発明は、請求項10の発明において、前記凹部が、前記一方の接点の周囲全体に形成されたことを特徴とする。
請求項12の発明は、請求項4の発明において、前記粗面に形成された部分が、2つの接点のうちの一方の周囲のうち少なくとも他方の接点側に形成されたことを特徴とする。
請求項13の発明は、請求項12の発明において、前記粗面に形成された部分が、前記一方の接点の周囲全体に形成されたことを特徴とする。
請求項1の発明によれば、流体抵抗増加部の流体抵抗が他より大きいことから、流体抵抗増加部で導電性流体が分断し、接点間を絶縁させやすくすることができる。
請求項2の発明によれば、流体抵抗増加部が他より細くなることで、流体抵抗が大きくなるので、流体抵抗増加部で導電性流体が分断し、接点間を絶縁させやすくすることができる。
請求項3の発明によれば、導電性流体が三角形の底辺部にひっかかることによって、流体抵抗が大きくなるので、流体抵抗増加部で導電性流体が分断し、接点間を絶縁させやすくすることができる。
請求項4の発明によれば、流体抵抗増加部が粗面に形成されることによって、導電性流体と基体の間における濡れ性を他の部分より低減することができるので、流体抵抗増加部で導電性流体が分断し、接点間を絶縁させやすくすることができる。
請求項5の発明によれば、流体抵抗増加部が粗面に形成されることによって、導電性流体と基体の間における濡れ性を他の部分より低減することができるので、流体抵抗増加部で導電性流体が分断し、接点間を絶縁させやすくすることができる。
請求項6の発明によれば、導電性流体と基体の間における濡れ性を低減することができるので、流体抵抗増加部で導電性流体が分断し、接点間を絶縁させやすくすることができる。
請求項7の発明によれば、幅が狭くてこれ以上細くできない場合に深さ方向を浅くすることで、断面積を小さくすることができるので、流体抵抗増加部で導電性流体が分断し、接点間を絶縁させやすくすることができる。
請求項8の発明によれば、フッ素コーティングが施された部分において、導電性流体と基体の間における濡れ性を他の部分より低減することができるので、流体抵抗増加部で導電性流体が分断し、接点間を絶縁させやすくすることができる。
請求項9の発明によれば、フッ素コーティングが施された部分において、導電性流体と基体の間における濡れ性を他の部分より低減することができるので、流体抵抗増加部で導電性流体が分断し、接点間を絶縁させやすくすることができる。
請求項10の発明によれば、導電性流体と基体の間における濡れ性を低減することができ、流体抵抗増加部で導電性流体が分断されやすくなり、接点間を絶縁させやすくすることができる。
請求項11の発明によれば、アライメントしやすくなる。
請求項12の発明によれば、導電性流体と基体の間における濡れ性を他の部分より低減することができるので、流体抵抗増加部で導電性流体が分断し、接点間を絶縁させやすくすることができる。
請求項13の発明によれば、導電性流体と基体の間における濡れ性を他の部分より低減することができるので、流体抵抗増加部で導電性流体が分断し、接点間を絶縁させやすくすることができる。
(実施形態1)
まず、本発明の実施形態に係るリレー装置の構成について図1を用いて説明する。このリレー装置は、複数の接点間の導通と絶縁を切り替えるものであり、内部空間10及びダイアフラム11が形成された基体(積層体)1と、ダイアフラム11を弾性変形させる動作を行うアクチュエータ2と、それぞれが離隔して内部空間10に露出する2つの接点3,4と、内部空間10に収納された導電性流体(液体金属)5とを備えている。
まず、本発明の実施形態に係るリレー装置の構成について図1を用いて説明する。このリレー装置は、複数の接点間の導通と絶縁を切り替えるものであり、内部空間10及びダイアフラム11が形成された基体(積層体)1と、ダイアフラム11を弾性変形させる動作を行うアクチュエータ2と、それぞれが離隔して内部空間10に露出する2つの接点3,4と、内部空間10に収納された導電性流体(液体金属)5とを備えている。
基体1は、図1(c)に示すように、シリコン基板6と、このシリコン基板6と接合するガラス基板7と、後述の注入口15を封止するガラス蓋8とを備えている。
シリコン基板6の下面60には、図1(b)に示すように、導電性流体5を収納可能とする内部空間10として、下面60側(図1(b)の正面側)から見て菱形状に形成された液溜め部12と、下面60側から見てJ字状に形成され一端が液溜め部12の図1(b)の左側角部と連通する流体通路13と、液溜め部12の図1(b)の右側角部と連通する注入用通路14とが形成されている。流体通路13は液溜め部12より断面積が小さく、他端が閉塞されている。また、シリコン基板6には、図1(c)に示すように、注入用通路14と連通し導電性流体5を外部から注入するための注入口15が下面60から上面61まで貫通して形成されている。注入口15は、上面61側から下面60側に向けて徐々に内径が小さくなるテーパ状のものである。
一方、シリコン基板6の上面61には、上面61側(図1(a)の正面側)から見て正方形状となるダイアフラム11が、液溜め部12の裏側にエッチングによって形成されている。ダイアフラム11は、弾性変形することで内部空間10の容積を変化させる。具体的に説明すると、ダイアフラム11が下側に押されて弾性変形すると内部空間10の容積が減少する。
ガラス基板7には、図1(b)に示すように、下面70側(図1(b)の正面側)から見てそれぞれが円状となる2つの貫通孔71,72が流体通路13と対向する位置に形成されている。図1(d)に示すように、それぞれの貫通孔71,72は下側から上側に向けて徐々に内径が小さくなるテーパ状のものであり、流体通路13と連通している。ガラス基板7は上面73を接合面として、液溜め部12、流体通路13及び注入用通路14を塞ぐようにシリコン基板6と陽極接合している。
ここで、流体通路13のうち接点間3,4には、図1(b)に示すように、他の部分より断面積が小さく形成された流体抵抗増加部130が形成されている。流体抵抗増加部130では、シリコン基板6の下面60側から見て、幅が他の部分より狭くなっている。この流体抵抗増加部130は、流体通路13の他の部分より導電性流体5の移動がしにくい部分である。
図1(c)に示すガラス蓋8は、導電性流体5が注入口15から内部空間10に注入された後、注入口15を封止するものである。
アクチュエータ2は例えば圧電材料で短冊状に形成されたものであり、図1(e)に示すように、シリコン基板6の上面61におけるダイアフラム11の周縁部に長手方向の一端部20が固着されるとともに、長手方向の他端部21がダイアフラム11のピボット110に対向している。このアクチュエータ2は通電すると、他端部21が下側に撓んでピボット110を押圧し、ダイアフラム11を液溜め部12側に弾性変形させる。一方、アクチュエータ2への通電が停止されると、他端部21がピボット110を押圧する力がなくなり、ダイアフラム11は元に戻る。
各接点3,4は、図1(d)に示すように、例えば銅やニッケルなど導電性を有する金属材料がガラス基板7の貫通孔71,72に設けられたものである。各接点3,4の上側は閉塞し、流体通路13に露出している。また、図1(b)に示すように、接点3は、導電パターン30を介して電極パッド31と電気的に接続している。同様に、接点4は、導電パターン40を介して電極パッド41と電気的に接続している。導電パターン30,40及び電極パッド31,41はガラス基板7の下面70上に形成されている。
導電性流体5は例えば水銀などであり、注入口15(図1(c)参照)から注入されて液溜め部12及び流体通路13の一部に移動自在に収納されている。この導電性流体5は、アクチュエータ2(図1(c)参照)の動作停止時において、少なくとも接点3,4間で分断し、接点3と接点4を絶縁させているのに対し、アクチュエータ2の動作時において、内部空間10の容積が減少することで、先端が流体通路13内を液溜め部12とは反対側に移動し、接点3と接点4を導通させる。その後、アクチュエータ2の動作が停止すると内部空間10が元に戻り、接点3と接点4を絶縁させる。
次に、実施形態1に係るリレー装置の製造方法について説明する。最初に導電性流体5の注入前までの工程について図1を用いて説明する。まず、シリコン基板6の下面60をエッチングして液溜め部12、流体通路13及び注入用通路14を形成するとともに、下面60から上面61まで貫通させて注入口15を形成する。このとき、流体通路13に、他の部分より断面積が小さい流体抵抗増加部130を形成する(第1工程)。一方、シリコン基板6の上面61を異方性エッチングしてダイアフラム11を形成する(第2工程)。第1,2工程とは別に、ガラス基板7に2つの貫通孔71,72を形成する(第3工程)。第3工程後、それぞれの貫通孔71,72の孔壁をめっきして孔内に金属材料を設けて接点3,4を形成する(第4工程)。また、ガラス基板7の下面70に導電パターン30,40及び電極パッド31,41を形成する(第5工程)。第1〜5工程後に、シリコン基板6の下面60とガラス基板7の上面73とを対向させて、シリコン基板6とガラス基板7を陽極接合してサンプル9(図2参照)を形成する(第6工程)。なお、第1,2工程と第3〜5工程の順序は限定されるものではなく、どちらの工程を先に行ってもよい。
続いて、導電性流体5の注入工程について図2を用いて説明する。まず、第6工程後、図2(a)に示すように、導電性流体5が入った液溜め槽Bが設置された真空チャンバA内にサンプル9を収納する(第7工程)。このとき、サンプル9の内部空間10内の圧力P1、真空チャンバA内の圧力P2及び真空チャンバA外の圧力P3はすべて等しい。第7工程後、真空チャンバAの真空引きを行う(第8工程)。圧力P1〜P3の関係は、P1=P2、P1(P2)<P3となる。第8工程後、図2(b)に示すように、サンプル9を液溜め槽Bの導電性流体5の中に浸す(第9工程)。第9工程後、図2(c)に示すように、真空チャンバA内の圧力P2を上昇させて、圧力P1〜P3の関係をP1<P2<P3とし、液溜め槽Bの導電性流体5をサンプル9の内部空間10に注入する(第10工程)。図2(d)に示すように、真空チャンバA内の圧力P2を目標値まで上昇させて、導電性流体5を所定量注入する(第11工程)。第11工程後に、サンプル9を液溜め槽Bから取り出して注入口15をガラス蓋8(図1(a)参照)で封止し、サンプル9を真空チャンバA内から取り出す(第12工程)。
その後、図1(a)に示すように、シリコン基板6のダイアフラム11の周縁部に一端部20を固着して、他端部21をダイアフラム11のピボット110に対向させて、アクチュエータ2を取り付ける(第13工程)。
次に、実施形態1に係るリレー装置の動作について図1を用いて説明する。アクチュエータ2への通電が行われていないとき、導電性流体5は少なくとも接点3,4間で分断しているから、接点3,4間は絶縁している。その後、アクチュエータ2への通電が行われると、このアクチュエータ2によってダイアフラム11が図1(c)の下側に弾性変形し、内部空間10の容積が減少するので、導電性流体5が流体通路13を移動する。これにより、導電性流体5が接点3,4上及び接点3,4間に存在するので、導電性流体5を介して接点3,4間は導通する。その後、アクチュエータ2への通電が行われなくなると、ダイアフラム11の弾性変形が元に戻り、内部空間10の容積も元に戻るので、接点3側の導電性流体5は流体通路13を液溜め部12側に移動する。これに対して、接点4側の導電性流体5は流体抵抗増加部130によって流体通路13を液溜め部12側に移動しにくいので、導電性流体5は流体抵抗増加部130を挟んで分断する。これにより、接点3,4間は絶縁する。
以上、実施形態1によれば、流体抵抗増加部130が他の部分より細くなることで、流体抵抗増加部130の流体抵抗が大きくなるので、流体抵抗増加部130で導電性流体5が分断し、接点3,4間を絶縁させやすくすることができる。
(実施形態2)
まず、本発明の実施形態2に係るリレー装置の構成について図3を用いて説明する。このリレー装置は、実施形態1のリレー装置(図1参照)と同様に、基体1と、アクチュエータ2(図1参照)と、2つの接点3,4と、導電性流体5とを備えているが、実施形態1のリレー装置にはない以下に記載の特徴部分を有する。
まず、本発明の実施形態2に係るリレー装置の構成について図3を用いて説明する。このリレー装置は、実施形態1のリレー装置(図1参照)と同様に、基体1と、アクチュエータ2(図1参照)と、2つの接点3,4と、導電性流体5とを備えているが、実施形態1のリレー装置にはない以下に記載の特徴部分を有する。
実施形態2の流体通路13には、実施形態1の流体抵抗増加部130(図1参照)に代えて、接点4側を頂点に接点3側を底辺とする三角形状に形成された流体抵抗増加部130aが形成されている。なお、実施形態2の流体通路13は上記以外の点で実施形態1の流体通路13(図1参照)と同様である。
次に、実施形態2に係るリレー装置の製造方法において、導電性流体5の注入前までの工程について図3を用いて説明する。まず、実施形態1と同様に、液溜め部12、流体通路13、注入用通路14及び注入口15(図1参照)をシリコン基板6(図1参照)に形成する。このとき、実施形態2では、流体通路13に、接点4側を頂点に接点3側を底辺とする三角形状に形成された流体抵抗増加部130aを形成する(第1工程)。第1工程後の工程は実施形態1の第2〜6工程と同様である。また、導電性流体5の注入工程及びアクチュエータ2(図1参照)の取付工程も実施形態1の第7〜13工程と同様である。
次に、実施形態2に係るリレー装置の動作について図3を用いて説明する。まず、アクチュエータ2への通電が行われていないとき、実施形態1と同様に、接点3,4間は絶縁している。その後、アクチュエータ2への通電が行われると、実施形態1と同様に、導電性流体5が接点3,4上及び接点3,4間に存在するので、導電性流体5を介して接点3,4間は通電する。その後、アクチュエータ2への通電が行われなくなると、ダイアフラム11の弾性変形が元に戻り、内部空間10の容積も元に戻るので、接点3側の導電性流体5は流体通路13を液溜め部12側に移動する。これに対して、接点4側の導電性流体5は流体抵抗増加部130aによって流体通路13を液溜め部12側に移動しにくいので、導電性流体5は流体抵抗増加部130aで分断する。これにより、接点3,4間は絶縁する。
以上、実施形態2によれば、導電性流体5が三角形の底辺部にひっかかることによって、流体抵抗が大きくなるので、流体抵抗増加部130aで導電性流体5が分断し、接点3,4間を絶縁させやすくすることができる。
(実施形態3)
まず、本発明の実施形態3に係るリレー装置の構成について図4を用いて説明する。このリレー装置は、実施形態1のリレー装置(図1参照)と同様に、基体1と、アクチュエータ2(図1参照)と、2つの接点3,4と、導電性流体5とを備えているが、実施形態1のリレー装置にはない以下に記載の特徴部分を有する。
まず、本発明の実施形態3に係るリレー装置の構成について図4を用いて説明する。このリレー装置は、実施形態1のリレー装置(図1参照)と同様に、基体1と、アクチュエータ2(図1参照)と、2つの接点3,4と、導電性流体5とを備えているが、実施形態1のリレー装置にはない以下に記載の特徴部分を有する。
実施形態3の流体通路13には、実施形態1の流体抵抗増加部130(図1参照)に代えて、複数の接点3,4が露出する面及びその対向面の少なくとも一部が流体通路13の他の部分より粗面に形成された流体抵抗増加部130bが形成されている。なお、実施形態3の流体通路13は上記以外の点で実施形態1の流体通路13(図1参照)と同様である。
次に、実施形態3に係るリレー装置の製造方法において、導電性流体5の注入前までの工程について図4を用いて説明する。まず、実施形態1と同様に、液溜め部12、流体通路13、注入用通路14及び注入口15(図1参照)をシリコン基板6(図1参照)に形成する。その後、実施形態3では、流体通路13の接点3,4間の相当する位置の外周上面にブラスト加工を施して流体通路13の他の部分より粗面にした流体抵抗増加部130bを形成する(第1工程)。第1工程後の工程は実施形態1の第2〜6工程と同様である。また、導電性流体5の注入工程及びアクチュエータ2(図1参照)の取付工程も実施形態1の第7〜13工程と同様である。
次に、実施形態3に係るリレー装置の動作について図4を用いて説明する。まず、アクチュエータ2への通電が行われていないとき、実施形態1と同様に、接点3,4間は絶縁している。その後、アクチュエータ2への通電が行われると、実施形態1と同様に、導電性流体5が接点3,4上及び接点3,4間に存在するので、導電性流体5を介して接点3,4間は通電する。その後、アクチュエータ2への通電が行われなくなると、ダイアフラム11の弾性変形が元に戻り、内部空間10の容積も元に戻るので、接点3側の導電性流体5は流体通路13を液溜め部12側に移動する。これに対して、接点4側の導電性流体5は流体抵抗増加部130bによって流体通路13を液溜め部12側に移動しにくいので、導電性流体5は流体抵抗増加部130bを挟んで分断する。これにより、接点3,4間は絶縁する。
以上、実施形態3によれば、流体抵抗増加部130bが粗面に形成されることによって、導電性流体5と基体1の間における濡れ性を他の部分より低減することができるので、流体抵抗増加部130bで導電性流体5が分断し、接点3,4間を絶縁させやすくすることができる。
(実施形態4)
本発明の実施形態4に係るリレー装置の構成について図4を用いて説明する。このリレー装置は、実施形態3のリレー装置と同様に、基体1と、アクチュエータ2(図1参照)と、2つの接点3,4と、導電性流体5とを備えているが、実施形態3のリレー装置にはない以下に記載の特徴部分を有する。
本発明の実施形態4に係るリレー装置の構成について図4を用いて説明する。このリレー装置は、実施形態3のリレー装置と同様に、基体1と、アクチュエータ2(図1参照)と、2つの接点3,4と、導電性流体5とを備えているが、実施形態3のリレー装置にはない以下に記載の特徴部分を有する。
実施形態4の流体通路13には、実施形態1の流体抵抗増加部130(図1参照)に代えて、複数の接点3,4が露出する面と垂直な外周側面の少なくとも一部が流体通路13の他の部分より粗面に形成された流体抵抗増加部130bが形成されている。なお、実施形態3の流体通路13は上記以外の点で実施形態1の流体通路13(図1参照)と同様である。
次に、実施形態4に係るリレー装置の製造方法において、導電性流体5の注入前までの工程について図4を用いて説明する。まず、実施形態1と同様に、液溜め部12、流体通路13、注入用通路14及び注入口15(図1参照)をシリコン基板6(図1参照)に形成する。その後、実施形態4では、流体通路13の接点3,4間の相当する位置の外周側面にICPによって流体通路13の他の部分より粗面にした流体抵抗増加部130bを形成する(第1工程)。第1工程後の工程は実施形態1の第2〜6工程と同様である。また、導電性流体5の注入工程及びアクチュエータ2(図1参照)の取付工程も実施形態1の第7〜13工程と同様である。
次に、実施形態4に係るリレー装置の動作について図4を用いて説明する。まず、アクチュエータ2への通電が行われていないとき、実施形態1と同様に、接点3,4間は絶縁している。その後、アクチュエータ2への通電が行われると、実施形態1と同様に、導電性流体5が接点3,4上及び接点3,4間に存在するので、導電性流体5を介して接点3,4間は通電する。その後、アクチュエータ2への通電が行われなくなると、ダイアフラム11の弾性変形が元に戻り、内部空間10の容積も元に戻るので、接点3側の導電性流体5は流体通路13を液溜め部12側に移動する。これに対して、接点4側の導電性流体5は流体抵抗増加部130bによって流体通路13を液溜め部12側に移動しにくいので、導電性流体5は流体抵抗増加部130bを挟んで分断する。これにより、接点3,4間は絶縁する。
以上、実施形態4によれば、流体抵抗増加部130bが粗面に形成されることによって、導電性流体5と基体1の間における濡れ性を他の部分より低減することができるので、流体抵抗増加部130bで導電性流体5が分断し、接点3,4間を絶縁させやすくすることができる。
(実施形態5)
まず、本発明の実施形態5に係るリレー装置の構成について図5を用いて説明する。このリレー装置は、実施形態1のリレー装置(図1参照)と同様に、基体1と、アクチュエータ2(図1参照)と、2つの接点3,4と、導電性流体5とを備えているが、実施形態1のリレー装置にはない以下に記載の特徴部分を有する。
まず、本発明の実施形態5に係るリレー装置の構成について図5を用いて説明する。このリレー装置は、実施形態1のリレー装置(図1参照)と同様に、基体1と、アクチュエータ2(図1参照)と、2つの接点3,4と、導電性流体5とを備えているが、実施形態1のリレー装置にはない以下に記載の特徴部分を有する。
実施形態5の流体通路13には、実施形態1の流体抵抗増加部130(図1参照)に代えて、流体抵抗増加部130cとして凹部が形成されている。なお、実施形態5の流体通路13は上記以外の点で実施形態1の流体通路13(図1参照)と同様である。
次に、実施形態5に係るリレー装置の製造方法において、導電性流体5の注入前までの工程について図5を用いて説明する。まず、実施形態1と同様に、液溜め部12、流体通路13、注入用通路14及び注入口15(図1参照)をシリコン基板6(図1参照)に形成する(第1工程)。さらに、シリコン基板6にはダイアフラム11を形成する(第2工程)。第1,2工程とは別に、実施形態5では、ガラス基板7の流体通路13の接点3,4間に相当する部分に凹部を形成して流体抵抗増加部130cを形成する。その後の工程は実施形態1の第3〜6工程と同様である。また、導電性流体5の注入工程及びアクチュエータ2(図1参照)の取付工程も実施形態1の第7〜13工程と同様である。
次に、実施形態5に係るリレー装置の動作について図5を用いて説明する。まず、アクチュエータ2への通電が行われていないとき、実施形態1と同様に、接点3,4間は絶縁している。その後、アクチュエータ2への通電が行われると、実施形態1と同様に、導電性流体5が接点3,4上及び接点3,4間に存在するので、導電性流体5を介して接点3,4間は通電する。その後、アクチュエータ2への通電が行われなくなると、ダイアフラム11の弾性変形が元に戻り、内部空間10の容積も元に戻るので、接点3側の導電性流体5は流体通路13を液溜め部12側に移動する。これに対して、接点4側の導電性流体5は流体抵抗増加部130cによって流体通路13を液溜め部12側に移動しにくいので、導電性流体5は流体抵抗増加部130cを挟んで分断する。これにより、接点3,4間は絶縁する。
以上、実施形態5によれば、導電性流体5と基体1の間における濡れ性を低減することができるので、流体抵抗増加部130cで導電性流体5が分断し、接点3,4間を絶縁させやすくすることができる。
(実施形態6)
まず、本発明の実施形態6に係るリレー装置の構成について図6を用いて説明する。このリレー装置は、実施形態1のリレー装置(図1参照)と同様に、基体1と、アクチュエータ2(図1参照)と、2つの接点3,4と、導電性流体5とを備えているが、実施形態1のリレー装置にはない以下に記載の特徴部分を有する。
まず、本発明の実施形態6に係るリレー装置の構成について図6を用いて説明する。このリレー装置は、実施形態1のリレー装置(図1参照)と同様に、基体1と、アクチュエータ2(図1参照)と、2つの接点3,4と、導電性流体5とを備えているが、実施形態1のリレー装置にはない以下に記載の特徴部分を有する。
実施形態6の流体通路13には、実施形態1の流体抵抗増加部130(図1参照)に代えて、他の部分より浅溝の流体抵抗増加部130dが形成されている。なお、実施形態6の流体通路13は上記以外の点で実施形態1の流体通路13(図1参照)と同様である。
次に、実施形態6に係るリレー装置の製造方法において、導電性流体5の注入前までの工程について図6を用いて説明する。まず、実施形態1と同様に、液溜め部12、流体通路13、注入用通路14及び注入口15(図1参照)をシリコン基板6(図1参照)に形成する(第1工程)。さらに、シリコン基板6にはダイアフラム11を形成する(第2工程)。第1,2工程とは別に、実施形態6では、ガラス基板7の流体通路13に相当する部分に、他の部分より浅い溝を形成して流体抵抗増加部130dを形成する。その後の工程は実施形態1の第3〜6工程と同様である。また、導電性流体5の注入工程及びアクチュエータ2(図1参照)の取付工程も実施形態1の第7〜13工程と同様である。
次に、実施形態6に係るリレー装置の動作について図6を用いて説明する。まず、アクチュエータ2への通電が行われていないとき、実施形態1と同様に、接点3,4間は絶縁している。その後、アクチュエータ2への通電が行われると、実施形態1と同様に、導電性流体5が接点3,4上及び接点3,4間に存在するので、導電性流体5を介して接点3,4間は通電する。その後、アクチュエータ2への通電が行われなくなると、ダイアフラム11の弾性変形が元に戻り、内部空間10の容積も元に戻るので、接点3側の導電性流体5は流体通路13を液溜め部12側に移動する。これに対して、接点4側の導電性流体5は流体抵抗増加部130dによって流体通路13を液溜め部12側に移動しにくいので、導電性流体5は流体抵抗増加部130dを挟んで分断する。これにより、接点3,4間は絶縁する。
以上、実施形態6によれば、幅が狭くてこれ以上細くできない場合に深さ方向を浅くすることで、断面積を小さくすることができるので、流体抵抗増加部130dで導電性流体5が分断し、接点3,4間を絶縁させやすくすることができる。
(実施形態7)
まず、本発明の実施形態7に係るリレー装置の構成について図4を用いて説明する。このリレー装置は、実施形態1のリレー装置(図1参照)と同様に、基体1と、アクチュエータ2(図1参照)と、2つの接点3,4と、導電性流体5とを備えているが、実施形態1のリレー装置にはない以下に記載の特徴部分を有する。
まず、本発明の実施形態7に係るリレー装置の構成について図4を用いて説明する。このリレー装置は、実施形態1のリレー装置(図1参照)と同様に、基体1と、アクチュエータ2(図1参照)と、2つの接点3,4と、導電性流体5とを備えているが、実施形態1のリレー装置にはない以下に記載の特徴部分を有する。
実施形態7の流体通路13には、実施形態1の流体抵抗増加部130(図1参照)に代えて、フッ素コーティングが施された流体抵抗増加部130bが形成されている。なお、実施形態7の流体通路13は上記以外の点で実施形態1の流体通路13(図1参照)と同様である。
次に、実施形態7に係るリレー装置の製造方法において、導電性流体5の注入前までの工程について図4を用いて説明する。まず、実施形態1と同様に、液溜め部12、流体通路13、注入用通路14及び注入口15をシリコン基板6に形成する。その後、実施形態7では、流体通路13の接点3,4間の相当する位置に対してフッ素コーティングを行って流体抵抗増加部130bを形成する(第1工程)。第1工程後の工程は実施形態1の第2〜6工程と同様である。また、導電性流体5の注入工程及びアクチュエータ2の取付工程も実施形態1の第7〜13工程と同様である。
次に、実施形態7に係るリレー装置の動作について図4を用いて説明する。まず、アクチュエータ2への通電が行われていないとき、実施形態1と同様に、接点3,4間は絶縁している。その後、アクチュエータ2への通電が行われると、実施形態1と同様に、導電性流体5が接点3,4上及び接点3,4間に存在するので、導電性流体5を介して接点3,4間は通電する。その後、アクチュエータ2への通電が行われなくなると、ダイアフラム11の弾性変形が元に戻り、内部空間10の容積も元に戻るので、接点3側の導電性流体5は流体通路13を液溜め部12側に移動する。これに対して、接点4側の導電性流体5は流体抵抗増加部130bによって流体通路13を液溜め部12側に移動しにくいので、導電性流体5は流体抵抗増加部130bを挟んで分断する。これにより、接点3,4間は絶縁する。
以上、実施形態7によれば、フッ素コーティングが施された部分において、導電性流体5と基体1の間における濡れ性を他の部分より低減することができるので、流体抵抗増加部130bで導電性流体5が分断し、接点3,4間を絶縁させやすくすることができる。
(実施形態8)
本発明の実施形態8に係るリレー装置の構成について図4を用いて説明する。このリレー装置は、実施形態7のリレー装置と同様に、基体1と、アクチュエータ2(図1参照)と、2つの接点3,4と、導電性流体5とを備えているが、実施形態7のリレー装置にはない以下に記載の特徴部分を有する。
本発明の実施形態8に係るリレー装置の構成について図4を用いて説明する。このリレー装置は、実施形態7のリレー装置と同様に、基体1と、アクチュエータ2(図1参照)と、2つの接点3,4と、導電性流体5とを備えているが、実施形態7のリレー装置にはない以下に記載の特徴部分を有する。
実施形態8の流体抵抗増加部130bは、フッ素コーティングが施された部分が接点4の周辺である。なお、実施形態8の流体抵抗増加部130bは上記以外の点で実施形態7の流体抵抗増加部130bと同様である。
なお、実施形態8のリレー装置の製造方法及び動作は実施形態7と同様である。
以上、実施形態8によれば、フッ素コーティングが施された部分において、導電性流体5と基体1の間における濡れ性を他の部分より低減することができるので、流体抵抗増加部130bで導電性流体5が分断し、接点3,4間を絶縁させやすくすることができる。
(実施形態9)
本発明の実施形態9に係るリレー装置の構成について図7を用いて説明する。このリレー装置は、実施形態5のリレー装置(図5参照)と同様に、基体1と、アクチュエータ2(図1参照)と、2つの接点3,4と、導電性流体5とを備えているが、実施形態5のリレー装置にはない以下に記載の特徴部分を有する。
本発明の実施形態9に係るリレー装置の構成について図7を用いて説明する。このリレー装置は、実施形態5のリレー装置(図5参照)と同様に、基体1と、アクチュエータ2(図1参照)と、2つの接点3,4と、導電性流体5とを備えているが、実施形態5のリレー装置にはない以下に記載の特徴部分を有する。
実施形態9の流体抵抗増加部130eは、接点4の周囲のうち接点3側に形成された凹部である。なお、実施形態9の流体抵抗増加部130eは上記以外の点で実施形態5の流体抵抗増加部130c(図5参照)と同様である。
なお、実施形態9のリレー装置の製造方法及び動作は実施形態5と同様である。
以上、実施形態9によれば、導電性流体5と基体1の間における濡れ性を低減することができ、流体抵抗増加部130eで導電性流体5が分断されやすくなり、接点3,4間を絶縁させやすくすることができる。
(実施形態10)
本発明の実施形態10に係るリレー装置の構成について図8を用いて説明する。このリレー装置は、実施形態9のリレー装置(図7参照)と同様に、基体1と、アクチュエータ2(図1参照)と、2つの接点3,4と、導電性流体5とを備えているが、実施形態9のリレー装置にはない以下に記載の特徴部分を有する。
本発明の実施形態10に係るリレー装置の構成について図8を用いて説明する。このリレー装置は、実施形態9のリレー装置(図7参照)と同様に、基体1と、アクチュエータ2(図1参照)と、2つの接点3,4と、導電性流体5とを備えているが、実施形態9のリレー装置にはない以下に記載の特徴部分を有する。
実施形態10の流体抵抗増加部130fは、接点4の周囲全体に形成された凹部である。なお、実施形態10の流体抵抗増加部130fは上記以外の点で実施形態9の流体抵抗増加部130e(図7参照)と同様である。
なお、実施形態10のリレー装置の製造方法及び動作は実施形態5と同様である。
以上、実施形態10によれば、アライメントしやすくなる。
(実施形態11)
本発明の実施形態11に係るリレー装置の構成について図9を用いて説明する。このリレー装置は、実施形態3のリレー装置(図4参照)と同様に、基体1と、アクチュエータ2(図1参照)と、2つの接点3,4と、導電性流体5とを備えているが、実施形態3のリレー装置にはない以下に記載の特徴部分を有する。
本発明の実施形態11に係るリレー装置の構成について図9を用いて説明する。このリレー装置は、実施形態3のリレー装置(図4参照)と同様に、基体1と、アクチュエータ2(図1参照)と、2つの接点3,4と、導電性流体5とを備えているが、実施形態3のリレー装置にはない以下に記載の特徴部分を有する。
実施形態11の流体通路13には、実施形態3の流体抵抗増加部130b(図4参照)に代えて、流体通路13の他の部分より粗面に形成された部分が接点4の周囲のうち接点3側に形成された流体抵抗増加部130gが形成されている。なお、実施形態11の流体通路13は上記以外の点で実施形態3の流体通路13(図4参照)と同様である。
なお、実施形態11のリレー装置の製造方法及び動作は実施形態3と同様である。
以上、実施形態11によれば、導電性流体5と基体1の間における濡れ性を他の部分より低減することができるので、流体抵抗増加部130gで導電性流体5が分断し、接点3,4間を絶縁させやすくすることができる。
(実施形態12)
本発明の実施形態12に係るリレー装置の構成について図10を用いて説明する。このリレー装置は、実施形態11のリレー装置(図9参照)と同様に、基体1と、アクチュエータ2(図1参照)と、2つの接点3,4と、導電性流体5とを備えているが、実施形態11のリレー装置にはない以下に記載の特徴部分を有する。
本発明の実施形態12に係るリレー装置の構成について図10を用いて説明する。このリレー装置は、実施形態11のリレー装置(図9参照)と同様に、基体1と、アクチュエータ2(図1参照)と、2つの接点3,4と、導電性流体5とを備えているが、実施形態11のリレー装置にはない以下に記載の特徴部分を有する。
実施形態12の流体通路13には、実施形態11の流体抵抗増加部130g(図9参照)に代えて、流体通路13の他の部分より粗面に形成された部分が接点4の周囲全体に形成された流体抵抗増加部130hが形成されている。なお、実施形態12の流体通路13は上記以外の点で実施形態11の流体通路13(図4参照)と同様である。
なお、実施形態12のリレー装置の製造方法及び動作は実施形態11と同様である。
以上、実施形態12によれば、導電性流体5と基体1の間における濡れ性を他の部分より低減することができるので、流体抵抗増加部130hで導電性流体5が分断し、接点3,4間を絶縁させやすくすることができる。
なお、実施形態1乃至12のいずれかの変形例として、接点3,4を3個以上備えるものであってもよい。このような構成では、流体通路13のうち複数の接点間の少なくともいずれかに流体抵抗増加部130,130a〜130hが形成されることになる。このような構成であっても、実施形態1乃至13のいずれかと同様の効果を奏することができる。
1 基体
10 内部空間
11 ダイアフラム
12 液溜め部
13 流体通路
130,130a〜130h 流体抵抗増加部
2 アクチュエータ
3,4 接点
5 導電性流体
10 内部空間
11 ダイアフラム
12 液溜め部
13 流体通路
130,130a〜130h 流体抵抗増加部
2 アクチュエータ
3,4 接点
5 導電性流体
Claims (13)
- 液溜め部及び一端が当該液溜め部に接続され他端が閉じられた流体通路で構成され流体を収納可能とする内部空間と、弾性変形することで前記内部空間の容積を変化させるダイアフラムとが形成された基体と、
それぞれが離隔して前記流体通路に露出する複数の接点と、
前記内部空間に封入された導電性流体と、
前記ダイアフラムを弾性変形させ、前記導電性流体を前記内部空間内で移動させることで当該導電性流体を介して前記接点間を導通させるアクチュエータと
を備え、
前記流体通路における複数の接点間のうち少なくとも1つの接点間に、前記流体通路の他の部分より流体抵抗が大きい流体抵抗増加部が形成されている
ことを特徴とするリレー装置。 - 前記流体抵抗増加部が、他の部分より断面積が小さく形成された部分であることを特徴とする請求項1記載のリレー装置。
- 前記流体抵抗増加部が、2つの接点の一方側を頂点に他方側を底辺とする三角形状に形成された部分であることを特徴とする請求項1記載のリレー装置。
- 前記流体抵抗増加部が、前記複数の接点が露出する面及びその対向面の少なくとも一部が粗面に形成された部分であることを特徴とする請求項1記載のリレー装置。
- 前記流体抵抗増加部が、前記複数の接点が露出する面の垂直面の少なくとも一部が粗面に形成された部分であることを特徴とする請求項1記載のリレー装置。
前記粗面に形成された部分が、ブラスト加工が施された部分であることを特徴とする請求項4記載のリレー装置。 - 前記流体抵抗増加部が、凹部が形成された部分であることを特徴とする請求項1記載のリレー装置。
- 前記流体抵抗増加部が、他の部分より浅溝に形成された部分であることを特徴とする請求項1記載のリレー装置。
- 前記流体抵抗増加部が、フッ素コーティングが施された部分であることを特徴とする請求項1記載のリレー装置。
- 前記フッ素コーティングが施された部分が、前記接点の周辺であることを特徴とする請求項8記載のリレー装置。
- 前記凹部が、2つの接点のうちの一方の周囲のうち少なくとも他方の接点側に形成されたことを特徴とする請求項6記載のリレー装置。
- 前記凹部が、前記一方の接点の周囲全体に形成されたことを特徴とする請求項10記載のリレー装置。
- 前記粗面に形成された部分が、2つの接点のうちの一方の周囲のうち少なくとも他方の接点側に形成されたことを特徴とする請求項4記載のリレー装置。
- 前記粗面に形成された部分が、前記一方の接点の周囲全体に形成されたことを特徴とする請求項12記載のリレー装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006348542A JP2008159472A (ja) | 2006-12-25 | 2006-12-25 | リレー装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006348542A JP2008159472A (ja) | 2006-12-25 | 2006-12-25 | リレー装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008159472A true JP2008159472A (ja) | 2008-07-10 |
Family
ID=39660139
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006348542A Withdrawn JP2008159472A (ja) | 2006-12-25 | 2006-12-25 | リレー装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2008159472A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2013183598A1 (ja) * | 2012-06-04 | 2013-12-12 | 本田技研工業株式会社 | 燃料電池スタックにおけるガス出口領域の水切り構造 |
-
2006
- 2006-12-25 JP JP2006348542A patent/JP2008159472A/ja not_active Withdrawn
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2013183598A1 (ja) * | 2012-06-04 | 2013-12-12 | 本田技研工業株式会社 | 燃料電池スタックにおけるガス出口領域の水切り構造 |
JP5759627B2 (ja) * | 2012-06-04 | 2015-08-05 | 本田技研工業株式会社 | 燃料電池スタックにおけるガス出口領域の水切り構造 |
US9368813B2 (en) | 2012-06-04 | 2016-06-14 | Honda Motor Co., Ltd. | Drainage structure for gas outlet region in fuel cell stack |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US7482733B2 (en) | Piezoactuator | |
EP1235238B1 (en) | Latching switch device | |
JP2008159472A (ja) | リレー装置 | |
KR100928914B1 (ko) | 도전성 유체를 사용한 릴레이 장치 | |
KR20210104105A (ko) | 박형 방열 장치 및 그의 제조 방법 | |
JP2012523322A (ja) | 半田付けプレフォーム | |
US20030234166A1 (en) | Switch device and method of making same | |
JP2008159484A (ja) | リレー装置 | |
JP2008159471A (ja) | リレー装置 | |
JP2006523926A (ja) | 液体電極を備えた基板 | |
TW202130960A (zh) | 均溫板 | |
JP4386014B2 (ja) | 接点開閉装置 | |
JP2007066737A (ja) | 接点開閉装置 | |
WO2007094068A1 (ja) | 回路基板 | |
JP2007066734A (ja) | 接点開閉装置 | |
JP2007299628A (ja) | 接点開閉装置 | |
JP2008159322A (ja) | 接点開閉装置 | |
JP2011023189A (ja) | 電気コネクタにおけるコンタクトの接触構造 | |
JP2007066733A (ja) | 接点開閉装置 | |
JP2007299633A (ja) | 接点開閉装置 | |
JP4307439B2 (ja) | 固体電解コンデンサの製造方法 | |
JP2007066731A (ja) | 液体金属リレー | |
WO2019123829A1 (ja) | スイッチ装置 | |
JP2007066736A (ja) | 接点開閉装置 | |
JP2007299632A (ja) | 接点開閉装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20100302 |