JP2007066736A - 接点開閉装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】接点開閉装置は、一面に流体の流路となる溝部2及び液溜め部3が形成されたシリコン基板1と、溝部2及び液溜め部3内に移動自在に配置された導電性流体6と、溝部2及び液溜め部3を塞ぐようにしてシリコン基板1の一面に陽極接合されたガラス基板7と、ガラス基板7において溝部2に対向する部位にそれぞれ形成された複数のコンタクト10a〜10dとを備え、通電に応じて圧電アクチュエータ8がシリコン基板1に設けたダイアフラム4を押圧することによって溝部2内の導電性流体6を移動させ、コンタクト10a…の間を導電性流体6を介して導通又は開放させる。ここで、シリコン基板1には、それぞれ各コンタクト10a…の投影範囲を少なくとも含む複数の領域に、導電性流体6が表面張力によって入り込めない程度の深さの凹所20を形成してある。
【選択図】図1
Description
本発明の実施形態1を図1及び図2に基づいて説明する。本実施形態の接点開閉装置は、一面に流体の流路となる溝部2及び当該溝部2に連通する液溜め部3が形成されるとともに、液溜め部3の裏側をエッチングすることによってダイアフラム4が形成されたシリコン基板1と、溝部2の一端側(液溜め部3と反対側)に存在する非導電性流体(例えば空気)5と、例えば常温で液体の金属(水銀)からなり溝部2の残部及び液溜め部3に存在する導電性流体6と、溝部2及び液溜め部3を塞ぐようにしてシリコン基板1の一面に被着されるガラス基板7と、圧電材料により短冊状に形成され、シリコン基板1の他面におけるダイアフラム4の周縁部に長手方向一端部が固着されるとともに、長手方向他端部がダイアフラム4の表面に設けたピボット4aに対向する圧電アクチュエータ8とを備えている。
本発明の実施形態2を図3に基づいて説明する。尚、接点部及び凹所20以外の構成は実施形態1と同様なので、共通する構成要素には同一の符号を付して、その説明は省略する。
2 溝部
3 液溜め部
4 ダイアフラム
6 導電性流体
7 ガラス基板
8 圧電アクチュエータ
10a〜10d コンタクト
20 凹所
Claims (4)
- 一面に流体の流路となる溝部が形成されたシリコン基板と、溝部内に移動自在に配置された導電性流体と、溝部を塞ぐようにしてシリコン基板の一面に陽極接合されたガラス基板と、少なくとも一部を溝部に臨ませるようにしてガラス基板にそれぞれ形成された複数の接点部と、溝部内で導電性流体を移動させることによって接点部の間を導電性流体を介して導通又は開放させる駆動手段とを備え、シリコン基板においてそれぞれ各接点部の投影範囲を少なくとも含む複数の領域に、導電性流体が表面張力によって入り込めない程度の深さの凹所を形成したことを特徴とする接点開閉装置。
- 上記各接点部は、ガラス基板における溝部と対向する部位に形成されたコンタクトからなることを特徴とする請求項1記載の接点開閉装置。
- 上記各接点部は、ガラス基板における溝部と対向する部位以外の部位に形成されたコンタクトと、導電性流体に対して反応性が低い金属材料からなり、ガラス基板の表面において溝部と対向する位置からコンタクトまで形成された導体パターンとで構成されることを特徴とする請求項1記載の接点開閉装置。
- 上記溝部の少なくとも一部を平面視円弧状に形成するとともに、上記ガラス基板において円弧状の溝部の内側に上記コンタクトを形成したことを特徴とする請求項3記載の接点開閉装置。
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