JP2010003573A - 接点開閉装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】比較的簡易な構造により、オン状態からオフ状態に切り換えたときに接点間が短絡するのを防止可能な接点開閉装置を提供することにある。
【解決手段】接点開閉装置は、ベース基板1の一表面側に形成されたチャンネル形成用溝部1bの内面とカバー5とで囲まれた空間からなるチャンネル2bの一部、および上記一表面側に形成されたチャンバ形成用凹部1aの内面とカバー5とで囲まれた空間からなるチャンバ2aに液体金属3が収納されるとともに、チャンネル2b内においてチャンバ2a側とは反対側の端部側に非導電性の気体が収納されている。そして、チャンネル2b内において上記端部とチャンネル形成用溝部1bの延長方向に離間して設けられた一対の隣り合う接点41,42の間の部位でチャンネル2bに連通する側路11が設けられている。
【選択図】図1
【解決手段】接点開閉装置は、ベース基板1の一表面側に形成されたチャンネル形成用溝部1bの内面とカバー5とで囲まれた空間からなるチャンネル2bの一部、および上記一表面側に形成されたチャンバ形成用凹部1aの内面とカバー5とで囲まれた空間からなるチャンバ2aに液体金属3が収納されるとともに、チャンネル2b内においてチャンバ2a側とは反対側の端部側に非導電性の気体が収納されている。そして、チャンネル2b内において上記端部とチャンネル形成用溝部1bの延長方向に離間して設けられた一対の隣り合う接点41,42の間の部位でチャンネル2bに連通する側路11が設けられている。
【選択図】図1
Description
本発明は、接点開閉装置に関するものである。
従来から、液体金属などの導電性液体を介して接点間を開閉する接点開閉装置が知られている(例えば、特許文献1,2参照)。
ここにおいて、上記特許文献1に開示された接点開閉装置には、図5に示すように、厚み方向の一表面側に、液体金属3を収納するチャンバ2aを形成するためのチャンバ形成用凹部1aと、チャンバ形成用凹部1aに連続し液体金属3を移動自在に収納するチャンネル2bを形成するためのチャンネル形成用溝部1bとが形成され、且つ厚み方向の他表面側においてチャンバ形成用凹部1aに対応する部位にダイヤフラム部1dが形成され、ダイヤフラム部1dの中央部に突設されダイヤフラム部1dをチャンバ2aの容積を縮小するように変形させる際に先端部が押圧される凸部10とが形成されたベース基板1と、ベース基板1の前記一表面側に固着されるとともにベース基板1のチャンネル形成用溝部1bを臨む部分にチャンネル形成用溝部1bの延長方向に離間した4つの接点41,42,41,42が設けられ且つベース基板1側とは反対側の表面に接点41,42,41,42それぞれに電気的に接続される電極パッド81,82および接点41,42,41,42と電極パッド81,82とを電気的に接続するための配線91,92が形成されたカバー5と、ベース基板1の前記他表面側に設けられるとともに凸部10の先端部を押圧する押圧手段であるアクチュエータ6とを備え、チャンバ形成用凹部1aの内面とカバー5とで囲まれた空間からなるチャンバ2aには液体金属3が収納されるとともに、チャンネル形成用溝部1bの内面とカバー5とで囲まれた空間からなるチャンネル2bにおいてチャンバ2a側に液体金属3が収納され且つチャンバ側とは反対側の端部側に非導電性の気体(図示せず)が収納されてなる。なお、図5(b)においてハッチングを施した部分は液体金属3を表す。
図5に示す接点開閉装置では、2つの接点41,41が、電極パッド81に配線パターン91によって接続され、残りの2つの接点42,42が、電極パッド82に配線パターン92によって接続されている。ここで、電極パッド81に接続される2つの接点41,41と電極パッド82に接続される2つの接点42,42とは、チャンネル2bに沿って交互に並設されている。なお、接点開閉動作において、不要な接点41,42に接続されている配線パターン91または配線パターン92の一部をレーザ等で切断して使用することができる。
ここで、図5に示す構成の接点開閉装置の動作について説明する。まず、オフ状態では、図6(b)に示すように、チャンネル2b内において4つの接点41,42,41,42が露出した部位は非導電性の気体で充たされ、接点41と接点42との間は開放されている。オフ状態から、アクチュエータ6を駆動させて凸部10を押圧しチャンバ2aの容積を減少させると、チャンバ2aに収納された液体金属3がチャンネル2bに押し出される。すると、図6(a)に示すように、チャンネル2bにおいてチャンバ2a側の一対の接点41,42とが露出した部位は液体金属3で充たされ、当該一対の接点41,42との間が短絡し、オン状態となる。そして、オン状態からアクチュエータ6への電圧の印加を停止すると、アクチュエータ6によって変形させられていたダイアフラム部1dが元の状態に復帰し、チャンバ2aの容積が元に戻る。このとき、チャンネル2bの液体金属3が、チャンネル2b内で圧縮されていた気体の圧力によってチャンバ2a側に戻されることで、接点41,42との間が開放されてオフ状態に戻る。
また、上記特許文献2には、図7に示すように、液体金属3が収納された細長のチャンネル2bと、チャンネル2bの長手方向に互いに離間して設けられた4つの接点4とを備え、一端部でチャンネル2bにおける4つの接点4の間からチャンネル2bに連通するサブチャンネル111と、サブチャンネル111の他端部で連続する非導電性の気体を封入した封入部12と、封入部12内の非導電性の気体を温めるためのヒータ21とが設けられ、ヒータ21により封入部12内の非導電性の気体を温めて非導電性の気体を膨張させることにより、封入部12内の非導電性の気体をサブチャンネル111を通してチャンネル2b内に導入することで4つの接点4それぞれの間をオン状態からオフ状態に変化させることができる接点開閉装置が提案されている。
特開2007−66734号公報
特開2002−260498号公報
しかしながら、特許文献1の接点開閉装置では、当該接点開閉装置をオン状態からオフ状態に切り換えるときに、チャンネル2bを移動する液体金属3がチャンネル2bにおいて隣り合う接点41,42の間の内壁面に濡れ残り、当該隣り合う接点41,42間が濡れ残った液体金属3により短絡し、オフ状態が実現できないおそれがあった。
また、特許文献1に記載の接点開閉装置について、チャンネル2bにおいて接点41,42の間に液体金属3が濡れ残るのを防止するために、接点41,42の間に非導電性の気体を導入する技術として、上記特許文献2に記載された技術を適用すると、アクチュエータ6の他に封入部12、ヒータ21、およびサブチャンネル111を設ける必要があるため、構造が複雑になり製造コストが上昇するおそれがあった。
本願発明は、上記事由に鑑みてなされたものであり、その目的は、比較的簡易な構造により、オン状態からオフ状態に切り換えたときに接点間が短絡するのを防止可能な接点開閉装置を提供することにある。
請求項1の発明は、上記目的を達成するために、厚み方向の一表面側に、導電性液体を収納するチャンバを形成するためのチャンバ形成用凹部と、チャンバ形成用凹部に連続し前記導電性液体を移動自在に収納するチャンネルを形成するためのチャンネル形成用溝部とが形成され、且つ厚み方向の他表面側においてチャンバ形成用凹部に対応する部位にダイヤフラム部が形成され、ダイヤフラム部の中央部に突設されダイヤフラム部をチャンバの容積を縮小するように変形させる際に先端部が押圧される凸部とが形成されたベース基板と、ベース基板の前記一表面側に固着されるとともにベース基板のチャンネル形成用溝部に臨む部分にチャンネル形成用溝部の延長方向に離間して少なくとも2つの接点が設けられ且つベース基板側とは反対側の表面に前記各接点それぞれに電気的に接続される複数の導電パターンが形成されたカバーと、ベース基板の前記他表面側に設けられ前記凸部の先端部を押圧する押圧手段とを備え、チャンバ形成用凹部の内面とカバーとで囲まれた空間からなるチャンバに導電性液体が収納されるとともに、チャンネル形成用溝部の内面とカバーとで囲まれた空間からなるチャンネルにおいてチャンバ側に導電性液体が収納され且つチャンバ側とは反対側の端部側に非導電性の気体が収納されてなるものであって、チャンネルにおいて前記端部と一対の隣り合う接点の間の部位とで連通する側路が設けられてなることを特徴とする。
この発明によれば、オン状態からオフ状態に切り換わるときに、アクチュエータを駆動してチャンバの容積を変化させてチャンネル内の液体金属を移動させるとともに、側路からチャンネル内の一対の隣り合う接点の間の部位に気体を流入し、当該部位でチャンネル内の液体金属を分断することにより、一対の隣り合う接点の間を電気的に開放するので、チャンネル内に濡れ残った液体金属を介して接点間が短絡するのを防止できる。また、側路は、チャンネル形成用溝部と同時に形成することができるので、側路形成用の製造工程を追加する必要がなく、更に、チャンネル内の接点の間の部位に気体を流入する構造が当該側路のみで構成され、構造が比較的簡易なので、製造工程の簡素化を図ることができ、コストを低減することができる。
請求項2の発明は、請求項1の発明において、前記側路は、前記チャンネルの幅方向の両側に設けられてなることを特徴とする。
この発明によれば、オン状態からオフ状態に切り換わるときに、前記チャンネルの隣り合う前記接点の間の部位により効率よく気体が流入し、隣り合う前記接点の間をより確実に電気的に開放するので、前記チャンネル内に濡れ残った前記液体金属を介して隣り合う前記接点の間が短絡するのを防止できる。
請求項3の発明は、請求項1の発明において、前記側路は、一端側が前記チャンネルにおいて前記端部で連通し他端側が少なくとも2つ以上に枝分かれして前記チャンネルの延長方向に離間して設けられた少なくとも3つ以上の前記接点それぞれの間の部位に連通してなることを特徴とする。
この発明によれば、前記チャンネルの延長方向に沿って離間した少なくとも3つ以上の前記接点それぞれが別々の前記導電パターンに接続される構造であっても、前記側路から前記チャンネルにおける前記接点それぞれの間の部位に気体が流入し、当該各部位で前記チャンネル内の前記液体金属が分断し、前記接点それぞれの間を電気的に開放するので、前記チャンネル内に濡れ残った前記液体金属を介して前記各接点の間が短絡するのを防止できる。
請求項4の発明は、請求項1乃至請求項3の発明において、前記側路は、前記チャンネルとの連通口に複数の仕切壁からなる格子状構造を有することを特徴とする
この発明によれば、前記側路において前記チャンネルとの連通口が、複数の仕切壁からなる格子状構造を有していることにより、前記チャンネル内に収納された液体金属が前記側路に流入するのを抑制することができるので、接点開閉動作の動作不良を防止することができる。
この発明によれば、前記側路において前記チャンネルとの連通口が、複数の仕切壁からなる格子状構造を有していることにより、前記チャンネル内に収納された液体金属が前記側路に流入するのを抑制することができるので、接点開閉動作の動作不良を防止することができる。
請求項1の発明によれば、オン状態からオフ状態に切り換えるときに、側路からチャンネル内に接点が設けられた部位の間の部位に気体が流入し、当該部位でチャンネル内の液体金属が分断されることにより、2つの接点間が濡れ残った液体金属で短絡するのを防止することができる。
(実施形態1)
以下、本実施形態の接点開閉装置について図1に基づいて説明する。
以下、本実施形態の接点開閉装置について図1に基づいて説明する。
本実施形態の接点開閉装置の基本構成は、図5に示す構成と略同じであって、図1に示すように、厚み方向の一表面側に、導電性液体である液体金属3を収納するチャンバ2aを形成するためのチャンバ形成用凹部1aと、チャンバ形成用凹部1aに連続し液体金属3を移動自在に収納するチャンネル2bを形成するためのチャンネル形成用溝部1bとが形成され、且つ厚み方向の他表面側においてチャンバ形成用凹部1aに対応する部位にダイヤフラム部1dが形成され、ダイヤフラム部1dの中央部に突設されダイヤフラム部1dをチャンバ2aの容積を縮小するように変形させる際に先端部が押圧される凸部10とが形成されたベース基板1と、ベース基板1の上記一表面側に固着されるとともにベース基板1のチャンネル形成用溝部1bを臨む部分にチャンネル形成用溝部1bの延長方向に離間した4つの接点41,42,41,42が設けられ且つベース基板1側とは反対側の表面に接点41,42,41,42それぞれに電気的に接続される電極パッド81,82および接点41,42,41,42と電極パッド81,82とを電気的に接続するための配線91,92が形成されたカバー5と、ベース基板1の前記他表面側に設けられるとともに凸部10の先端部を押圧する押圧手段であるアクチュエータ6とを備え、チャンバ形成用凹部1aの内面とカバー5とで囲まれた空間からなるチャンバ2aに液体金属3が収納されるとともに、チャンネル形成用溝部1bの内面とカバー5とで囲まれた空間からなるチャンネル2bにおいてチャンバ2a側に液体金属3が収納され且つチャンバ側とは反対側の端部側に非導電性の気体(図示せず)が収納されてなる。なお、図1(a),(b)においてハッチングを施した部分は液体金属3を表す。
ベース基板1は、単結晶のシリコン基板などの半導体基板で形成されている。ここで、ベース基板1は、上記一表面側に形成されたチャンバ形成用凹部1aの底と、上記他表面側に形成されたダイヤフラム形成用凹部1cの底との間の部位が他の部位よりも薄肉に形成されたダイヤフラム部1dを構成している。また、チャンバ2aは、チャンバ2a内に液体金属3を注入するための注入チャンネル2cを有する。そして、チャンバ形成用凹部1aにおいて、チャンネル形成用溝部1bに連続する側とは反対側から注入チャンネル形成用溝部1eが延出している。ここで、注入チャンネル形成用溝部1e内においてチャンバ形成用凹部1aとは反対側の端部にベース基板1の厚み方向に貫通する貫通穴1fが形成されている。ここに、上述のチャンネル形成用溝部1b、チャンバ形成用凹部1a、凸部10が中央部から突出したダイヤフラム形成用凹部1c、注入チャンネル形成用溝部凹部1eおよび貫通穴1fは、例えば、エッチング法などによって形成すればよい。また、ベース基板1の上記他表面側には、貫通穴1fの上記他表面側の開口部を塞ぐ形で蓋体7が固着されている。
チャンネル形成用溝部1bは、断面形状が矩形溝状であり、ベース基板1の上記一表面上において平面視J字状に形成されている。なお、チャンネル形成用溝部1bの平面視形状は、J字状に限らず、例えば、蛇行した形状(例えば、略S字形状)や直線状であってもよい。
チャンバ形成用凹部1aは、平面視菱形状に形成されている。なお、チャンバ形成用凹部1aの平面視形状は、本実施例の菱形状に限られず、例えば、矩形状であってもよい。
ダイヤフラム形成用凹部1cは、平面視正方形状に形成され、中央部には凸部10が突設されている。凸部10は、平面視矩形状に形成されている。なお、凸部10の平面視形状は、矩形状に限定されるものではなく、例えば円形状等の他の形状であってもよい。
注入チャンネル形成用溝部1eは、チャンネル形成用溝部1bに比べて幅寸法が大きくなるように形成されている。注入チャンネル形成用溝部1eに形成された貫通穴1fの開口形状は、平面視矩形状であり、開口面積がベース基板1の上記一表面側からベース基板1の厚み方向に向かって漸増する形に形成されている。なお、貫通穴1fの形状は、これに限定されるものではなく、例えば平面視円形状等の他の形状であってもよい。
蓋体7は、ガラスからなり、平面視矩形状に形成されている。なお、蓋体7は、シリコン基板をエッチング又は研磨によって薄膜化することにより形成したシリコン薄膜により構成してもよい。
カバー5は、ガラスで形成され、外周形状がベース基板1と略同一に形成されている。ここで、カバー5は、ベース基板1の上記一表面側に陽極接合により接合されている。カバー5には、ベース基板1のチャンネル形成用溝部1bに臨む部分にチャンネル形成用溝部1bの延長方向に離間して接点41,42,41,42が形成されている。また、ベース基板1とは反対側の表面には、導電パターンである配線91,92および電極パッド81,82が形成されている。
接点41,42,41,42は、後述のスルーホール(図示せず)のチャンネル2b側の開口部を閉塞する金属部分からなる。各スルーホールは、ベース基板1のチャンネル形成用溝部1bに臨む部分にチャンネル形成用溝部1bの延長方向に離間して形成されている。各スルーホールは、開口面積がチャンネル2b側に近づくほど漸減するように形成されている。また、ベース基板1側とは反対側の面に開口する開口部の周縁部は、配線91,92を介して2つの電極パッド81,82に電気的に接続されている。ここに、接点41,42,41,42、配線91,92および電極パッド81,82の材料としては、例えば、Cr、Ti、Pt、Co、Cu、Ni、Au、又はこれらの合金などの導電性材料を採用すればよい。なお、接点41,42,41,42、配線91,92および電極パッド81,82は、例えば、めっき法、蒸着法、スパッタ法などによって形成される。
ここで、配線91に接続される2つの接点41,41と配線92に接続される2つの接点42,42とは、チャンネル形成用溝部1bに沿って交互に並設されている。そして、本実施形態の接点開閉装置では、オン状態で、図1(a)に示すように、チャンネル2b内の4つの接点41,42,41,42が設けられた部位の全てが液体金属3で充たされた状態となり、オフ状態で、図1(b)に示すように、チャンネル2b内でチャンバ2aに連続する側に配置された一対の隣り合う接点41,42が液体金属3で充たされた状態となる。従って、チャンネル2bにおいてチャンバ2a側に配置された一対の接点41,42は接点開閉動作に不要であり、接点41,42に接続される配線91および配線92の一部91a,92aがレーザ等で切断されている。
押圧手段であるアクチュエータ6は、圧電素子を用いた圧電型アクチュエータからなり、一端部がベース基板1の上記他表面に接合されるとともに、揺動可能な他端部が凸部10の先端部に当接している。ここで、アクチュエータ6に対して厚み方向に電圧を印加すると、アクチュエータ6の先端部がダイヤフラム部1bに近づく方向に撓み、アクチュエータ6の先端部が凸部10を押圧する。しかして、ダイヤフラム部1bをチャンバ2aの内側に撓ませることにより、チャンバ2aの容積を縮小させることができる。一方、アクチュエータ6への電圧の印加を停止すると、ダイヤフラム部1bは元の形に復元する。
また、上述のように、チャンバ形成用凹部1aの内面とカバー5とで囲まれた空間からなるチャンバ1a、およびチャンネル形成用溝部1bの内面とカバー5とで囲まれた空間からなるチャンネル2bの一部に導電性液体である液体金属3が収納されている。なお、注入チャンネル2cは、注入チャンネル形成用溝部1eの内面とカバー5とで囲まれた空間からなる。
液体金属3としては、例えば、水銀等を用いることができる。ここで、液体金属3は、注入チャンネル2cを介してチャンバ2a内に注入される。
チャンネル2bにおいてチャンバ2a側とは反対側の端部側に収納される非導電性の気体としては、窒素、アルゴン、またはヘリウム等の不活性気体、或いはこれらを混合した気体、或いは不活性気体ではないが空気などの気体を用いることができる。
次に、本実施形態の接点開閉装置の動作について図1に基づいて説明する。
まず、接点開閉装置がオフ状態では、チャンネル2b内において電極パッド81に電気的に接続される2つの接点41,41のうち上記端部側に配置された接点41が露出した部位は非導電性の気体で充たされ、当該接点41の上記端部側に配置され電極パッド82に電気的に接続される接点42との間は開放されている。ここで、オフ状態において、アクチュエータ6を駆動させて凸部10を押圧しチャンバ2aの容積を減少させると、チャンバ2a内に収納された液体金属3が、チャンネル2b内に押し出される。すると、図1(a)に示すように、液体金属3がチャンネル2bにおいてチャンバ2aとは反対側の端部側へ移動し、チャンネル2b内における4つの接点41,42,41,42が露出した部位は液体金属3で充たされる。このとき、接点開閉装置は、一対の隣り合う接点41,42間が液体金属3を介して短絡し、オン状態となる。一方、オン状態から電圧の印加を停止すると、アチュエータ6によって変形させられていたダイヤフラム部1dが元の状態に復帰する。すると、チャンバ2aの容積が元に戻るとともに、チャンネル2b内の液体金属3の一部がチャンバ2a内に戻される(図1(b)参照)。
ところで、本実施形態の接点開閉装置では、図1に示すように、チャンネル2b内において、チャンバ2a側とは反対側の端部と、当該端部に最も近い位置に配置された一対の隣り合う接点41,42の間の部位とでチャンネル2b内に連通する側路11が設けられている。
ここで、側路11は、チャンネル形成用溝部1bに沿って形成され且つチャンネル形成用溝部1bにおいてチャンバ形成用凹部1aとは反対側の端部と上記一対の隣り合う接点41,42の間の部位とで連続している第1の側路形成用溝部11bと、カバー5とで閉塞される空間で構成されている。
接点開閉装置がオン状態のときは、上述のように、液体金属3がチャンネル2bにおいて上記端部側へ移動することにより、図1に示すように、チャンネル2b内において4つの接点41,42,41,42が露出した部位が液体金属3で充たされるとともに、チャンネル2bにおいて上記端部側に収納されている気体が圧縮された状態となる。そして、オン状態からオフ状態に切り換わるときに、気体がチャンネル2bの上記端部から側路11を介して上記一対の接点41,42の間の部位からチャンネル2b内に流入する。
しかして、本実施形態の接点開閉装置では、オン状態からオフ状態に切り換わるときに、アクチュエータ6を駆動してチャンバ2aの容積を変化させてチャンネル2b内の液体金属3を移動させるとともに、側路11からチャンネル2b内において上記一対の隣り合う接点41,42の間の部位に気体が流入し、チャンネル2b内の液体金属3が分断されることにより、当該接点41,42間を電気的に開放するので、オン状態からオフ状態に切り換わるときに、チャンネル2bに濡れ残った液体金属3を介して接点41,42間が短絡するのを防止することができる。
また、側路11を形成するための第1の側路形成用溝部11bは、チャンネル形成用溝部1bと同時に形成することができるので、側路11形成用の製造工程を追加する必要がなく、また、チャンネル2b内の一対の隣り合う接点41,42の間に気体を流入する構造が側路11のみで構成され、側路11以外の構造、例えば、当該気体を封入した封入部(図示せず)、封入部に封入された気体を温めるためのヒータ(図示せず)、およびサブチャンネル(図示せず)が不要であり比較的簡易な構造なので、製造工程の簡素化を図ることができ、製造コストの低減を図ることができる。
(実施形態2)
本実施形態の接点開閉装置の基本構成は、実施形態1と略同じであり、図2に示すように、側路11がチャンネル2bの幅方向の両側に2つ設けられてなる点が相違する。ここで、2つの側路11,11は、チャンネル2bにおいて、チャンバ2a側とは反対側の端部と、当該端部に最も近い位置に配置された一対の隣り合う接点41,42の間の部位でチャンネル2b内に連通している。なお、実施形態1と同様の構成要素については同一の符号を付して説明を省略する。また、図2において、ハッチングを施した部分は液体金属3を表す。
本実施形態の接点開閉装置の基本構成は、実施形態1と略同じであり、図2に示すように、側路11がチャンネル2bの幅方向の両側に2つ設けられてなる点が相違する。ここで、2つの側路11,11は、チャンネル2bにおいて、チャンバ2a側とは反対側の端部と、当該端部に最も近い位置に配置された一対の隣り合う接点41,42の間の部位でチャンネル2b内に連通している。なお、実施形態1と同様の構成要素については同一の符号を付して説明を省略する。また、図2において、ハッチングを施した部分は液体金属3を表す。
従って、本実施形態の接点開閉装置では、オン状態からオフ状態に切り換わるときに、チャンネル2bの両側に沿って設けられた2つの側路11から、チャンネル2bにおける上記一対の隣り合う接点41,42の間の部位に気体が流入することにより、当該部位で液体金属3がより確実に分断されるので、上記一対の隣り合う接点41,42間が、チャンネル2b内に濡れ残った液体金属3により短絡するのを防止することができる。
また、実施形態1と同様に、側路11を形成するための第1の側路形成用溝部11bは、チャンネル形成用溝部1bと同時に形成することができるので、側路11を形成するための製造工程を追加する必要がなく、更に、比較的簡易な構造なので、製造工程の簡素化を図ることができるので、製造コストを低減することができる。
(実施形態3)
本実施形態の接点開閉装置の基本構成は、実施形態1と略同じであり、図3に示すように、側路11の一端側がチャンネル2bにおいてチャンバ2a側とは反対側の端部で連通し他端側が3つに枝分かれしてチャンネル2bの延長方向に離間して設けられた4つの接点42,41,44,43それぞれの間の部位に連通してなる点が相違する。なお、実施形態1と同様の構成要素については同一の符号を付して説明を省略する。また、図3において、ハッチングを施した部分は液体金属3を表す。
本実施形態の接点開閉装置の基本構成は、実施形態1と略同じであり、図3に示すように、側路11の一端側がチャンネル2bにおいてチャンバ2a側とは反対側の端部で連通し他端側が3つに枝分かれしてチャンネル2bの延長方向に離間して設けられた4つの接点42,41,44,43それぞれの間の部位に連通してなる点が相違する。なお、実施形態1と同様の構成要素については同一の符号を付して説明を省略する。また、図3において、ハッチングを施した部分は液体金属3を表す。
ここで、側路11は、チャンネル形成用溝部1bに沿って形成され一端部がチャンネル形成用溝部1bにおいてチャンバ形成用凹部1aとは反対側の端部に連続し、他端部が枝分かれして4つの接点41,42,41,42それぞれの間の部位でチャンネル形成用溝部1bに連続する第2の側路形成用溝部11cと、カバー5とで囲まれた空間で構成されている。また、本実施形態の接点開閉装置は、チャンネル2bの延長方向に沿って設けられた4つの接点42,41,44,43が、各配線92,91,94,93を介して4つの別々の電極パッド82,81,84,83に接続される構造を有している。
接点開閉装置がオン状態のときは、上述のように、液体金属3がチャンネル2bにおいてチャンバ2a側とは反対側の端部側へ移動することにより、チャンネル2b内において4つの接点42,41,44,43が露出した部位が液体金属3で充たされるとともに、チャンネル2bに収納されている気体が圧縮された状態となる。そして、オン状態からオフ状態に切り換わるときに、気体がチャンネル2bの上記端部から側路11を介してチャンネル2bにおける4つの接点42,41,44,43それぞれの間の部位に流入する(図3参照)。
しかして、上述のように、チャンネル2bの延長方向に沿って設けられた4つの接点42,41,44,43が各々別個の配線92,91,94,93を介して各々別個の4つの電極パッド82,81,84,83に接続される構造であっても、側路11からチャンネル2bにおける接点42,41,44,43それぞれの間の部位に気体が流入し、チャンネル2b内の液体金属3が分断され、接点42,41,44,43それぞれの間を電気的に開放するので、チャンネル2b内に濡れ残った液体金属3を介して接点42,41,44,43それぞれの間が短絡するのを防止することができる。
また、実施形態1と同様に、側路11を形成するための第2の側路形成用溝部11cは、チャンネル形成用溝部1bと同時に形成することができるので、側路11形成用の製造工程を追加する必要がなく、更に、比較的簡易な構造なので、製造工程の簡素化を図ることができるので、製造コストを低減することができる。
(実施形態4)
本実施形態の接点開閉装置の基本構成は、実施形態1と略同じであり、図4に示すように、側路11が、チャンネル2bとの連通口11dを複数の仕切壁1gにより仕切ってなる格子状構造を有する点が相違する。なお、実施形態1と同様の構成要素については同一の符号を付して説明を省略する。また、図4(a)において、ハッチングを施した部分は液体金属3を表す。
本実施形態の接点開閉装置の基本構成は、実施形態1と略同じであり、図4に示すように、側路11が、チャンネル2bとの連通口11dを複数の仕切壁1gにより仕切ってなる格子状構造を有する点が相違する。なお、実施形態1と同様の構成要素については同一の符号を付して説明を省略する。また、図4(a)において、ハッチングを施した部分は液体金属3を表す。
ところで、実施形態1乃至3の接点開閉装置では、液体金属3が側路11に流入してしまうことが考えられる。
これに対して、本実施形態の接点開閉装置は、図4に示すように、側路11が、チャンネル2bへの連通口11dを複数の仕切壁1gで仕切ってなる格子状構造を有することにより、側路11に液体金属3が流入するのを抑制することができる。
1 ベース基板
1a チャンバ形成用凹部
1b チャンネル形成用溝部
1c ダイヤフラム形成用凹部
1d ダイヤフラム部
2a チャンバ
2b チャンネル
3 液体金属(導電性液体)
41,42 接点
5 カバー
6 アクチュエータ(押圧手段)
10 凸部
11 側路
1a チャンバ形成用凹部
1b チャンネル形成用溝部
1c ダイヤフラム形成用凹部
1d ダイヤフラム部
2a チャンバ
2b チャンネル
3 液体金属(導電性液体)
41,42 接点
5 カバー
6 アクチュエータ(押圧手段)
10 凸部
11 側路
Claims (4)
- 厚み方向の一表面側に、導電性液体を収納するチャンバを形成するためのチャンバ形成用凹部と、チャンバ形成用凹部に連続し前記導電性液体を移動自在に収納するチャンネルを形成するためのチャンネル形成用溝部とが形成され、且つ厚み方向の他表面側においてチャンバ形成用凹部に対応する部位にダイヤフラム部が形成され、ダイヤフラム部の中央部に突設されダイヤフラム部をチャンバの容積を縮小するように変形させる際に先端部が押圧される凸部とが形成されたベース基板と、ベース基板の前記一表面側に固着されるとともにベース基板のチャンネル形成用溝部に臨む部分にチャンネル形成用溝部の延長方向に離間して少なくとも2つの接点が設けられ且つベース基板側とは反対側の表面に前記各接点それぞれに電気的に接続される複数の導電パターンが形成されたカバーと、ベース基板の前記他表面側に設けられ前記凸部の先端部を押圧する押圧手段とを備え、チャンバ形成用凹部の内面とカバーとで囲まれた空間からなるチャンバに導電性液体が収納されるとともに、チャンネル形成用溝部の内面とカバーとで囲まれた空間からなるチャンネルにおいてチャンバ側に導電性液体が収納され且つチャンバ側とは反対側の端部側に非導電性の気体が収納されてなり、チャンネルにおいて前記端部と一対の隣り合う接点の間の部位とで連通する側路が設けられてなることを特徴とする接点開閉装置。
- 前記側路は、前記チャンネルの幅方向の両側に設けられてなることを特徴とする請求項1記載の接点開閉装置。
- 前記側路は、一端側が前記チャンネルにおいて前記端部で連通し他端側が少なくとも2つ以上に枝分かれして前記チャンネルの延長方向に離間して設けられた少なくとも3つ以上の前記接点それぞれの間の部位に連通してなることを特徴とする請求項1記載の接点開閉装置。
- 前記側路は、前記チャンネルとの連通口に複数の仕切壁からなる格子状構造を有することを特徴とする請求項1乃至請求項3のいずれか1項に記載の接点開閉装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008162239A JP2010003573A (ja) | 2008-06-20 | 2008-06-20 | 接点開閉装置 |
Applications Claiming Priority (1)
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JP2008162239A JP2010003573A (ja) | 2008-06-20 | 2008-06-20 | 接点開閉装置 |
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JP2010003573A true JP2010003573A (ja) | 2010-01-07 |
Family
ID=41585130
Family Applications (1)
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JP2008162239A Withdrawn JP2010003573A (ja) | 2008-06-20 | 2008-06-20 | 接点開閉装置 |
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Country | Link |
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JP (1) | JP2010003573A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN110752110A (zh) * | 2019-10-09 | 2020-02-04 | 南京理工大学 | 一种可双向识别的微流体惯性接电开关 |
CN113544519A (zh) * | 2019-03-11 | 2021-10-22 | 日本麦可罗尼克斯股份有限公司 | 电性连接装置 |
EP3822225A4 (en) * | 2018-07-13 | 2022-04-13 | Institute of Flexible Electronics Technology of Thu, Zhejiang | MICROFLUID DEVICE AND METHOD OF MANUFACTURE THEREOF AND MICROFLUID SYSTEM |
-
2008
- 2008-06-20 JP JP2008162239A patent/JP2010003573A/ja not_active Withdrawn
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