JP2006294505A - リレー - Google Patents
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Abstract
【課題】 マイクロマシン技術を用いて高信頼性で低コスト化を図った長寿命のリレーを実現する。
【解決手段】 2枚の絶縁部材を張り合わせて形成された狭い絞りと広い絞りを有する流路と、前記絞りにより形成された複数の液体室と、これらの液体室のそれぞれに配置された複数の電極と、前記流路の両端に連通して配置された第1、第2の気体室と、これら第1、第2の気体室に封入された気体およびこの気体を加熱する加熱手段と、前記絶縁部材の一方に形成され前記流路に導通する穴と、
からなり、前記穴から前記流路に導電流体を導入すると共にこの穴の導入口を封止した。
【選択図】 図1
【解決手段】 2枚の絶縁部材を張り合わせて形成された狭い絞りと広い絞りを有する流路と、前記絞りにより形成された複数の液体室と、これらの液体室のそれぞれに配置された複数の電極と、前記流路の両端に連通して配置された第1、第2の気体室と、これら第1、第2の気体室に封入された気体およびこの気体を加熱する加熱手段と、前記絶縁部材の一方に形成され前記流路に導通する穴と、
からなり、前記穴から前記流路に導電流体を導入すると共にこの穴の導入口を封止した。
【選択図】 図1
Description
本発明は、導電流体(例えば水銀、GaIn、GaInSn)を用いたリレーに関し、高信頼性と低コスト化をはかったリレーに関する。
従来よりリレーとして、金属接点を有するメカリレー、水銀リレー、リードリレーなどの有接点式リレーが用いられている。
リレーの大きな課題は接点寿命である。寿命が長く信頼性の高いリレーはさまざまな分野で求められているが決定的なものがないのが実状である。一方水銀リレーは信頼性は高いが、環境汚染の問題や高コストであることから敬遠されている。水銀リレーや水銀リレーに変わる半導体リレーの先行文献としては次のようなものがある。
リレーの大きな課題は接点寿命である。寿命が長く信頼性の高いリレーはさまざまな分野で求められているが決定的なものがないのが実状である。一方水銀リレーは信頼性は高いが、環境汚染の問題や高コストであることから敬遠されている。水銀リレーや水銀リレーに変わる半導体リレーの先行文献としては次のようなものがある。
上記特許文献1に記載された技術は水銀リレー内に封入された水素ガスの圧力低下を検出する装置に関するものであり、特許文献2に記載された技術は接点導通/遮断時のオン抵抗と接点遮断/導通時の容量との積が低い半導体リレーに関するもので、低圧領域において低出力端子間容量で低オン抵抗を実現して、高周波信号での用途展開を可能としたものである。
一般的な水銀リレーは接点をガラス封着した容器の中に入れ、容器の中に入れた水銀により、接点が常に濡れているものであり、これにより接点の信頼性をあげている。
しかしコストは高く、廃棄する場合の環境への影響から敬遠されており本当に信頼性の必要な部分のみに限定的に用いられている。
本発明は信頼性の高い水銀リレーをマイクロマシン(microelectromechanical・systems=MEMS)技術により形成することにより高い信頼性を実現するとともに、使用する導電流体(例えば水銀、GaIn、GaInSn)の量を減らして環境への影響を少なくしたリレーを提供することを目的とする。
しかしコストは高く、廃棄する場合の環境への影響から敬遠されており本当に信頼性の必要な部分のみに限定的に用いられている。
本発明は信頼性の高い水銀リレーをマイクロマシン(microelectromechanical・systems=MEMS)技術により形成することにより高い信頼性を実現するとともに、使用する導電流体(例えば水銀、GaIn、GaInSn)の量を減らして環境への影響を少なくしたリレーを提供することを目的とする。
このような課題を達成するために、本発明のうち請求項1記載のリレーの発明は、
2枚の絶縁部材を張り合わせて形成された狭い絞りと広い絞りを有する流路と、前記絞りにより形成された複数の液体室と、これらの液体室のそれぞれに配置された複数の電極と、前記流路の両端に連通して配置された第1、第2の気体室と、これら第1、第2の気体室に封入された気体およびこの気体を加熱する加熱手段と、前記絶縁部材の一方に形成され前記流路に導通する穴と、
からなり、前記穴から前記流路に導電流体を導入すると共にこの穴の導入口を封止したことを特徴とする。
2枚の絶縁部材を張り合わせて形成された狭い絞りと広い絞りを有する流路と、前記絞りにより形成された複数の液体室と、これらの液体室のそれぞれに配置された複数の電極と、前記流路の両端に連通して配置された第1、第2の気体室と、これら第1、第2の気体室に封入された気体およびこの気体を加熱する加熱手段と、前記絶縁部材の一方に形成され前記流路に導通する穴と、
からなり、前記穴から前記流路に導電流体を導入すると共にこの穴の導入口を封止したことを特徴とする。
請求項2記載の発明は、請求項1記載のリレーにおいて、
前記複数の電極は一端が前記流路に封入された導電流体に接して配置され、前記電極の一端は前記加熱手段のオンオフに基づく前記気体の膨張/収縮により前記流路内を移動する導電流体に対して接触又は非接触となるように構成されたことを特徴とする。
前記複数の電極は一端が前記流路に封入された導電流体に接して配置され、前記電極の一端は前記加熱手段のオンオフに基づく前記気体の膨張/収縮により前記流路内を移動する導電流体に対して接触又は非接触となるように構成されたことを特徴とする。
請求項3記載のリレーの発明は、
2枚の絶縁部材を張り合わせて形成された狭い絞りと広い絞りを有する流路と、前記絞りにより形成された複数の液体室と、前記流路の両端に連通して配置された第1、第2の気体室と、これら第1、第2の気体室に封入された気体およびこの気体を加熱する加熱手段と、前記絶縁部材の一方に形成され前記流路に導通する穴と、
からなり、前記少なくとも2つの穴の少なくとも一方から前記流路に導電流体を導入し、この穴の導入口を導電部材で封止すると共に前記導電流体と導電部材が接するようにしたことを特徴とする。
2枚の絶縁部材を張り合わせて形成された狭い絞りと広い絞りを有する流路と、前記絞りにより形成された複数の液体室と、前記流路の両端に連通して配置された第1、第2の気体室と、これら第1、第2の気体室に封入された気体およびこの気体を加熱する加熱手段と、前記絶縁部材の一方に形成され前記流路に導通する穴と、
からなり、前記少なくとも2つの穴の少なくとも一方から前記流路に導電流体を導入し、この穴の導入口を導電部材で封止すると共に前記導電流体と導電部材が接するようにしたことを特徴とする。
請求項4記載の発明は、請求項1乃至3のいずれかに記載のリレーにおいて、
前記2枚の絶縁部材は一方の面積が他方の面積より大きく(または小さく)形成されていることを特徴とする請求項1乃至5のいずれかに記載のリレー。
前記2枚の絶縁部材は一方の面積が他方の面積より大きく(または小さく)形成されていることを特徴とする請求項1乃至5のいずれかに記載のリレー。
請求項5記載の発明は、請求項1乃至4のいずれかに記載のリレーにおいて、
前記流路、電極、液体室および気体室はマイクロマシン(microelectromechanical・systems=MEMS)
技術により形成したことを特徴とする。
前記流路、電極、液体室および気体室はマイクロマシン(microelectromechanical・systems=MEMS)
技術により形成したことを特徴とする。
請求項6記載の発明は、請求項1乃至5のいずれかに記載のリレーにおいて、
前記導電流体は水銀、GaIn、GaInSnのいずれかを含み、前記気体は空気、窒素、アルゴン、水素、アンモニアのいずれかを含むことを特徴とする。
前記導電流体は水銀、GaIn、GaInSnのいずれかを含み、前記気体は空気、窒素、アルゴン、水素、アンモニアのいずれかを含むことを特徴とする。
以上説明したことから明らかなように本発明によれば次のような効果がある。
請求項1および2の発明によれば、
2枚の絶縁部材を張り合わせて形成された狭い絞りと広い絞りを有する流路と、絞りにより形成された複数の液体室と、これらの液体室のそれぞれに配置された複数の電極と、流路の両端に連通して配置された第1、第2の気体室と、これら第1、第2の気体室に封入された気体およびこの気体を加熱する加熱手段と、絶縁部材の一方に形成され流路に導通する穴を有し、この穴から流路に導電流体を導入すると共にこの穴の導入口を封止した。
請求項1および2の発明によれば、
2枚の絶縁部材を張り合わせて形成された狭い絞りと広い絞りを有する流路と、絞りにより形成された複数の液体室と、これらの液体室のそれぞれに配置された複数の電極と、流路の両端に連通して配置された第1、第2の気体室と、これら第1、第2の気体室に封入された気体およびこの気体を加熱する加熱手段と、絶縁部材の一方に形成され流路に導通する穴を有し、この穴から流路に導電流体を導入すると共にこの穴の導入口を封止した。
そして、複数の電極は一端が流路に封入された導電流体に接して配置され、電極の一端は加熱手段のオンオフに基づく気体の膨張/収縮により流路内を移動する導電流体に対して接触又は非接触となるように構成ので、
1) 可動部がなく接触不良もないので、高信頼性で長寿命のリレーが実現できる。
2) 基板を用いて多数のリレーチップを同時に多数製造可能なため低コスト化を図ることができる。
1) 可動部がなく接触不良もないので、高信頼性で長寿命のリレーが実現できる。
2) 基板を用いて多数のリレーチップを同時に多数製造可能なため低コスト化を図ることができる。
請求項3の発明によれば、
2枚の絶縁部材を張り合わせて形成された狭い絞りと広い絞りを有する流路と、絞りにより形成された複数の液体室と、流路の両端に連通して配置された第1、第2の気体室と、これら第1、第2の気体室に封入された気体およびこの気体を加熱する加熱手段と、絶縁部材の一方に形成され流路に導通する穴と、
からなり、少なくとも2つの穴の少なくとも一方から流路に導電流体を導入し、この穴の導入口を導電部材で封止すると共に前記導電流体と導電部材が接するようにした。
この結果、流路の中の導電流体が電気的リード線として機能するので容易に低抵抗化を実現できる(請求項1のリレーでは金属薄膜を電気的リード線として使用していたため、電気抵抗を下げるためには膜厚を非常に厚くする必要があった。また、導電流体と接する接点電極の導電流体による耐融解性や、異種金属間の熱起電力の問題がある)。
2枚の絶縁部材を張り合わせて形成された狭い絞りと広い絞りを有する流路と、絞りにより形成された複数の液体室と、流路の両端に連通して配置された第1、第2の気体室と、これら第1、第2の気体室に封入された気体およびこの気体を加熱する加熱手段と、絶縁部材の一方に形成され流路に導通する穴と、
からなり、少なくとも2つの穴の少なくとも一方から流路に導電流体を導入し、この穴の導入口を導電部材で封止すると共に前記導電流体と導電部材が接するようにした。
この結果、流路の中の導電流体が電気的リード線として機能するので容易に低抵抗化を実現できる(請求項1のリレーでは金属薄膜を電気的リード線として使用していたため、電気抵抗を下げるためには膜厚を非常に厚くする必要があった。また、導電流体と接する接点電極の導電流体による耐融解性や、異種金属間の熱起電力の問題がある)。
請求項5、6の発明によれば、
流路、電極および室はマイクロマシン(microelectromechanical・systems=MEMS)
技術により形成したので、流路の容積が小さく水銀の量を少なく(例えば1×10−6g)することができる。その結果、環境への影響を少なくすることができ、蛍光灯一本分に相当する水銀(約0.1g)で1万個のリレーを作製可能である。
流路、電極および室はマイクロマシン(microelectromechanical・systems=MEMS)
技術により形成したので、流路の容積が小さく水銀の量を少なく(例えば1×10−6g)することができる。その結果、環境への影響を少なくすることができ、蛍光灯一本分に相当する水銀(約0.1g)で1万個のリレーを作製可能である。
図1(a〜c)は、本発明の実施形態の一例を示す要部構成説明図で、図1(a)は平面図、図1(b)は図1(a)のa−a‘断面図、図1(c)は図1(a)のb−b‘断面図である。但し、図1(a)の平面図は点線で表示すべき部分も実線で表示している。
これらの図において、第1基板1は絶縁体からなる矩形状のガラスで形成されている。この基板1上には並列状態で所定の間隔を隔てて金属薄膜からなる電極2a及び2bが形成され、これらの電極2a,2b間には同形状の金属薄膜からなる電極2cが対向した状態で形成されている。これらの電極は棒状に形成され一端に電極パッド3a,3b,3cが形成されている。基板1上には途中が櫛状に形成されたヒータ4a,4bが形成されている。
これらの図において、第1基板1は絶縁体からなる矩形状のガラスで形成されている。この基板1上には並列状態で所定の間隔を隔てて金属薄膜からなる電極2a及び2bが形成され、これらの電極2a,2b間には同形状の金属薄膜からなる電極2cが対向した状態で形成されている。これらの電極は棒状に形成され一端に電極パッド3a,3b,3cが形成されている。基板1上には途中が櫛状に形成されたヒータ4a,4bが形成されている。
第2基板5は第1基板1と同様に矩形状に形成されたガラスであり、第1基板1の電極2やヒータ4が形成された面に接着などにより固定される。この第2基板5の固定面には横方向流路6が形成されるとともに、この流路の両端には流路6に連通して気体室7a,7bが形成されている。また横方向流路6には所定の間隔で狭い絞り8a,8dおよび広い絞り8b,8cが形成されており、この実施例ではこれらの絞りにより横方向流路6を3つの液体室6a,6b,6cに仕切った状態となるように形成されている。
また、第2基板5には基板の表面から電極2a,2bに対向する位置に垂直方向に2つの貫通孔10a,10bが形成され、これらの貫通孔10a,10bの底部には液体室6a,6cに連通する縦方向流路11a,11bが形成されている。
図1のリレーは、第1基板1と第2基板5の電極2及びヒータ4を形成した側と第2基板5の横方向流路6や気体室7a,7bを形成した側を合わせて気密に対向させた状態を示すもので、熱圧着や接着剤(図示省略)などにより接着したものである。
なお、この例では第2基板5は第1基板1に対して小さく形成されており、これらを接着した状態で第1基板1に形成した電極パッド部分(3a,3b,3c)およびヒータ4a,4bの両端のパッド部分(3d,3e)がはみ出す程度に形成されている。
そして、この例では電極2aの先端は仕切られた液体室6aに、電極2bの先端は仕切られた液体室6cに配置され、電極2cの先端は仕切られた液体室6bに電極2a,2bに対向するように配置されている。ヒータ4a,4bの櫛状部分4a,4bは気体室7a,7bに密封された状態で配置されている。
そして、横方向流路6を構成する液体室6a,6b,6cには貫通孔10a,10bおよび縦方向流露11a,11bを介して導電流体12(例えば水銀)が封入される。
その場合、右側の貫通孔11bから導入した導電液体12は、ちょうど横方向流路6の液体室6cに達したところで導入を停止する。
その場合、右側の貫通孔11bから導入した導電液体12は、ちょうど横方向流路6の液体室6cに達したところで導入を停止する。
また、左側の貫通孔11aから導入した導電流体12は横方向流路6の液体室6aに達しても導入を続け、横方向流路6の中央の部屋が満たされるまで導入を行う。ここで横方向流路6とヒータ4a,4bが配置された気体室7a,7bとの間の絞り8a,8dは水銀の表面張力により気体室7a,7b側に移動しない程度に狭い絞りとし、液体室6a,6b,6cを繋ぐ絞り8a,8b,8cは定常状態では水銀の表面張力により移動しないが導電流体に所定の圧力が印加されると移動可能な程度に形成されている。
気体室7a,7b内には例えば空気や窒素ガスなどの気体が封入されている。なお、導電流体12を導入する前に、導電流体の酸化を防止するために縦横方向流路6の内部を真空引きしたり、窒素やアルゴンなどの不活性ガスを用いてパージを行うこともできる。また不活性ガスを流路内に導入した後に導電流体を導入して孔を塞ぐことにより不活性ガスの封入ができる。不活性ガスのかわりに水素や一酸化炭素などの還元性ガスを用いたり、不活性ガスと還元性ガスの混合ガスを用いたりすることにより更に酸化防止効果を上げることができる。
これらの酸化防止策は、導電流体として表面が酸化されやすいGaInSnを用いる場合は特に重要である。
上側の第2基板5の貫通孔10a,10bの周囲には電極が形成されており、はんだ付けあるいは銀ペーストなどの導電性接着材13を用いて貫通孔10a,10bの入り口をふさぐ。
上側の第2基板5の貫通孔10a,10bの周囲には電極が形成されており、はんだ付けあるいは銀ペーストなどの導電性接着材13を用いて貫通孔10a,10bの入り口をふさぐ。
なお、定常状態では導電流体(例えば水銀)12は液体流路6aと6b内に位置し、水銀の表面張力と絞り8a,8cにより図示の位置で安定している。この状態では接点電極2a,2cが導通状態となり、電極2bと2cはオフ状態となっている。
図2は気体室7a内のヒータ4に電源14により通電し、ヒータ4の熱により気体室7a内の気体(空気や窒素ガスなど)を膨張させた状態を示している。
その結果、導電流体(水銀)12に所定の圧力が印加され矢印Aで示すように液体室6a側から液体室6b,6c側に移動する。その結果、電極2aと電極2cはオフ状態となり、電極2cと電極2bがオン状態となる。
次にヒータ7aの電源14をオフとし、図示しない電源を用いてヒータ7bに通電すれ
ば図1の状態に戻る。
その結果、導電流体(水銀)12に所定の圧力が印加され矢印Aで示すように液体室6a側から液体室6b,6c側に移動する。その結果、電極2aと電極2cはオフ状態となり、電極2cと電極2bがオン状態となる。
次にヒータ7aの電源14をオフとし、図示しない電源を用いてヒータ7bに通電すれ
ば図1の状態に戻る。
図3(a,b,c)は他の実施例を示すものである。この実施例においては図1に示す金属薄膜からなる電極2a,2b,2cの代わりに流路を形成しこの流路に導電流体を充填して電極とする。図3(a)は平面図、図3(b)は図3(a)のa−a‘断面図、図3(c)は図3(a)のb−b‘断面図である。なお、流路の構成以外は図1に示すものと同様なのでここでの説明は省略する。
第2基板5aの一方の面には図1に示す電極パッド3a,3b,3cの位置に電極パッド3d,3e,3fを形成し、これらの電極の上から貫通孔10d,10e,10fを形成する。そして貫通した他方の面から液体室6a,6b,6cに連通する縦方向流路11d,11e,11fを形成する。
そして、図1に示すものと同様に第1基板1aと張り合わせ、貫通孔から導電流体(例えば水銀、GaInSn合金)を導入する。この実施例では、3個の貫通孔のそれぞれから導電流体を導入するが、図3の右上の貫通孔10eから導入した導電流体は、ちょうど液体室6cに達したところで導入を停止する。
左上および中央部下の貫通孔10d,10fから導入した導電流体は液体室6a,6bに達しても導入を続け、図示のように左上孔の縦方向流路11dからと中央部下孔の縦方向流路11fからの導電流体が液体室6a,6bで合流するまで導入を行う。
なお、先に述べたようにこの実施例においても導電流体を導入する前に、導電流体の酸化を防止するために流路の内部を真空引きしたり、窒素やアルゴンなどの不活性ガスによるパージを行うこともできる。
なお、先に述べたようにこの実施例においても導電流体を導入する前に、導電流体の酸化を防止するために流路の内部を真空引きしたり、窒素やアルゴンなどの不活性ガスによるパージを行うこともできる。
また、不活性ガスを流路内に導入した後に導電流体を導入して孔を塞ぐことにより不活性ガスの封入ができる。不活性ガスのかわりに水素や一酸化炭素などの還元性ガスを用いたり、不活性ガスと還元性ガスの混合ガスを用いたりすることによりすることにより更に酸化防止効果を上げることができる。また、第2基板5aの貫通孔10d,10e,10fの周囲には電極パッド3d,3e,3fが形成されており、はんだ13やあるいは銀ペースト(図示省略)などの導電性接着材を用いて貫通孔を封止する。
図4は気体室7a内のヒータ4に電源14により通電し、ヒータ4の熱により気体室7a内の気体(空気や窒素ガスなど)を膨張させた状態を示している。
その結果、導電流体(水銀)12が矢印Aで示すように液体室6a側から6b,6c側に移動し、電極2aと電極2cはオフ状態となり、電極2cと電極2bがオン状態となる。
この実施例においてもヒータ7aの電源14をオフとし、図示しない電源を用いてヒータ7bに通電すれば図3の状態に戻る。
その結果、導電流体(水銀)12が矢印Aで示すように液体室6a側から6b,6c側に移動し、電極2aと電極2cはオフ状態となり、電極2cと電極2bがオン状態となる。
この実施例においてもヒータ7aの電源14をオフとし、図示しない電源を用いてヒータ7bに通電すれば図3の状態に戻る。
上述の構成によれば、流路の中の導電流体が電気的リード線として機能するので容易に低抵抗化を実現できる。図1に示すリレーでは金属薄膜を電気的リード線として使用しているため、電気抵抗を下げるためには膜厚を非常に厚くする必要がある。また、導電流体と接する接点電極の導電流体による耐融解性や、異種金属間の熱起電力の問題がある。
図5は2電極型リレーの実施例を示す平面図である。この例においても第1基板1bと第2基板5bを張り合わせてリレーを作製するのは前述の図1および図3と同様なのでここでの断面図は省略する。
第2基板5bの一方の面には図1に示す電極パッド3aおよびこの電極パッドに対向する位置に電極パッド3bを形成し、これらの電極の上から貫通孔10a,10bを形成する。そして貫通した他方の面から液体室6a,6bに連通する縦方向流路11g,11hを形成する。
第2基板5bの一方の面には図1に示す電極パッド3aおよびこの電極パッドに対向する位置に電極パッド3bを形成し、これらの電極の上から貫通孔10a,10bを形成する。そして貫通した他方の面から液体室6a,6bに連通する縦方向流路11g,11hを形成する。
そして、図1に示すものと同様に第1基板1bと張り合わせ、貫通孔10a,10bから導電流体(例えば水銀、GaInSn合金)を導入する。この実施例では、例えば貫通孔10aから導電流体12を導入し液体室6aに達しても導入を続け、図示のように貫通孔10bに達するまで導入を行う。
この場合、第1,第2気体室7a,7bと液体室6a,6bを繋ぐ狭い絞り8a,8cは導電流体は表面張力により移動しない程度の大きさに形成されており、液体室6a,6bを繋ぐ広い絞り8bは定常状態では移動しないが導電流体12に所定の圧力が印加されると移動可能な程度の大きさに形成されている。
なお、先に述べたようにこの実施例においても導電流体を導入する前に、導電流体の酸化を防止するために流路の内部を真空引きしたり、窒素やアルゴンなどの不活性ガスによるパージを行うこともできる。
なお、先に述べたようにこの実施例においても導電流体を導入する前に、導電流体の酸化を防止するために流路の内部を真空引きしたり、窒素やアルゴンなどの不活性ガスによるパージを行うこともできる。
第2基板5bの貫通孔10a,10bの周囲には電極パッド3a,3bが形成されているので、図では省略するが先に述べたと同様にはんだ13やあるいは銀ペースト(図示省略)などの導電性接着材を用いて貫通孔の入口を封止する。
図6は気体室7a内のヒータ4aに電源14により通電し、ヒータ4aの熱により第1気体室7a内の気体(空気や窒素ガスなど)を膨張させた状態を示している。
その結果、導電流体(例えば水銀)12が矢印Aで示すように液体室6a側から6b側に移動し、電極2gと電極2hはオフ状態となる。
この実施例においてもヒータ4aの電源14をオフとし、図示しない電源を用いてヒータ4bに通電すれば図5の状態に戻る。
その結果、導電流体(例えば水銀)12が矢印Aで示すように液体室6a側から6b側に移動し、電極2gと電極2hはオフ状態となる。
この実施例においてもヒータ4aの電源14をオフとし、図示しない電源を用いてヒータ4bに通電すれば図5の状態に戻る。
図7は上述のリレーにおける貫通孔10と縦および横方向の流路の製作工程を示す要部断面図である。
工程(a)において、第2基板(ガラス)5の所定の位置に電極3を形成する。
工程(b)において、電極3の上から貫通孔を10を形成する。この場合貫通孔10の外周を取り囲んで電極3が十分に残るようにそれぞれの大きさを設計する。
工程(c)において、電極3が形成された他方の面側に縦,横方向の流路を形成する。
工程(d)において、第2基板5の流路を形成した側と第1基板1の一方の面を張り合わせる。
工程(e)において、貫通孔10の入口から導電流体12を流し込みはんだ13を用いて貫通孔10の入口を封止する。
工程(a)において、第2基板(ガラス)5の所定の位置に電極3を形成する。
工程(b)において、電極3の上から貫通孔を10を形成する。この場合貫通孔10の外周を取り囲んで電極3が十分に残るようにそれぞれの大きさを設計する。
工程(c)において、電極3が形成された他方の面側に縦,横方向の流路を形成する。
工程(d)において、第2基板5の流路を形成した側と第1基板1の一方の面を張り合わせる。
工程(e)において、貫通孔10の入口から導電流体12を流し込みはんだ13を用いて貫通孔10の入口を封止する。
上述のリレーではマイクロマシン技術を用いて作製するので小型化が可能であり、流路の容積も小さくなり、封入する水銀も例えば1×10−5g程度にすることができる(蛍光灯一本分に相当する水銀(約0.1g)で1万個のリレーを作製可能である)ので環境への影響を少なくすることができる。
なお、以上の説明は、本発明の説明および例示を目的として特定の好適な実施例を示したに過ぎない。例えば実施例では導電流体を水銀としたが、同様の機能を有するものであれば他の導電流体(例えばGaIn、GaInSn)でもよく、気体も空気や窒素以外のもの(例えば水素やアルゴン、アンモニアなど)でも良い。また、流路の形状、電極の形状、ヒータや液体,気体室の形状も図示のものに限定するものではない。
また、図1では3極の電極を示したが図5に示すような2極の電極でもよい。
また、図1では3極の電極を示したが図5に示すような2極の電極でもよい。
また、基板はガラスとしたが絶縁性がありフォトリソグラフィやエッチングが可能であれば他の部材(例えばシリコン基板の表面に酸化膜や窒化膜を形成したもの)でも良く、形状も矩形に限るものではない。
また、本実施例ではヒータを用いて気体を膨張させたが、冷却手段(例えばペルチェ素子等)を用いて気体を収縮させて導電流体を移動させるようにしても良い。したがって本発明は、上記実施例に限定されることなく、その本質から逸脱しない範囲で更に多くの変更、変形を含むものである。
また、本実施例ではヒータを用いて気体を膨張させたが、冷却手段(例えばペルチェ素子等)を用いて気体を収縮させて導電流体を移動させるようにしても良い。したがって本発明は、上記実施例に限定されることなく、その本質から逸脱しない範囲で更に多くの変更、変形を含むものである。
1 第1基板
2 電極
3 電極パッド
4 ヒータ
5 第2基板
6 横方向流路
7 気体室
8 絞り
10 貫通孔
11 縦方向流路
12 導電流体
13 はんだ
14 電源
2 電極
3 電極パッド
4 ヒータ
5 第2基板
6 横方向流路
7 気体室
8 絞り
10 貫通孔
11 縦方向流路
12 導電流体
13 はんだ
14 電源
Claims (6)
- 2枚の絶縁部材を張り合わせて形成された狭い絞りと広い絞りを有する流路と、前記絞りにより形成された複数の液体室と、これらの液体室のそれぞれに配置された複数の電極と、前記流路の両端に連通して配置された第1、第2の気体室と、これら第1、第2の気体室に封入された気体およびこの気体を加熱する加熱手段と、前記絶縁部材の一方に形成され前記流路に導通する穴と、
からなり、前記穴から前記流路に導電流体を導入すると共にこの穴の導入口を封止したことを特徴とするリレー。 - 前記複数の電極は一端が前記流路に封入された導電流体に接して配置され、前記電極の一端は前記加熱手段のオンオフに基づく前記気体の膨張/収縮により前記流路内を移動する導電流体に対して接触又は非接触となるように構成されたことを特徴とする請求項1に記載のリレー。
- 2枚の絶縁部材を張り合わせて形成された狭い絞りと広い絞りを有する流路と、前記絞りにより形成された複数の液体室と、前記流路の両端に連通して配置された第1、第2の気体室と、これら第1、第2の気体室に封入された気体およびこの気体を加熱する加熱手段と、前記絶縁部材の一方に形成され前記流路に導通する穴と、
からなり、前記少なくとも2つの穴の少なくとも一方から前記流路に導電流体を導入し、この穴の導入口を導電部材で封止すると共に前記導電流体と導電部材が接するようにしたことを特徴とするリレー。 - 前記2枚の絶縁部材は一方の面積が他方の面積より大きく(または小さく)形成されていることを特徴とする請求項1乃至5のいずれかに記載のリレー。
- 前記流路、電極、液体室および気体室はマイクロマシン(microelectromechanical・systems=MEMS)
技術により形成したことを特徴とする請求項1乃至4のいずれかに記載のリレー。 - 前記導電流体は水銀、GaIn、GaInSnのいずれかを含み、前記気体は空気、窒素、アルゴン、水素、アンモニアのいずれかを含むことを特徴とする請求項1乃至5のいずれかに記載のリレー。
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