JP4385618B2

JP4385618B2 - 多孔質静圧気体軸受用の軸受素材及びこれを用いた多孔質静圧気体軸受

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Publication number: JP4385618B2
Application number: JP2003041558A
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Inventors: 博嗣冨田; 真文熊谷
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Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、多孔質焼結金属層を具備した静圧気体軸受用の軸受素材及びこの軸受素材を用いた多孔質静圧気体軸受に関する。
【０００２】
【従来の技術】
多孔質静圧気体軸受は、すぐれた高速安定性と高い負荷容量をもつものとして、従来から注目されており、種々研究もされているが実用化に際してはいくつかの克服すべき問題がある。
【０００３】
多孔質静圧気体軸受には、圧縮気体の供給手段を施した裏金に多孔質焼結金属体を組み付けてなる軸受素材が多く用いられ、この軸受素材における多孔質焼結金属体の形成材料としては、青銅、アルミニウム合金、ステンレス鋼を主体としたもの、特に青銅を主体としたものが多く用いられている。
【０００４】
ところで、多孔質静圧気体軸受に用いる軸受素材には充分な通気性と１０^−３ｍｍオーダーの表面粗さとが要求されるが、上記の軸受素材を静圧気体軸受に用いるには、多孔質焼結金属体それ自体は一応好ましい通気性を有するが、多孔質焼結金属体の寸法精度や表面粗さが充分でないので、多くの場合には、その表面に機械加工が施される。
【０００５】
この機械加工は、主として旋盤及びフライス加工や研削により行われるが、この旋盤及びフライス加工や研削により多孔質焼結金属体の表面に目詰まりを惹起させ、その通気性（絞り特性）に大きく影響を与えることになる。とくに、研削においては、多孔質焼結金属体の表面に塑性流動を惹起させ、カエリやバリを生じさせる。
【０００６】
また、多孔質焼結金属体は、上記のように、圧縮気体の供給手段を施した裏金に組み付けられ、例えば多孔質静圧ラジアル気体軸受の場合では、この組み付けに際しては、円筒状の裏金に円筒状の多孔質焼結金属体を圧入嵌着する手段が採られる。
【０００７】
単なる滑り軸受の場合は、このような圧入嵌着手段を採ることでもそれ程問題を生じないが、多孔質静圧気体軸受においては、一見密に圧入嵌着されている両者の接触部に微細な隙間が存在するために、多孔質焼結金属体内の圧縮気体の本来の流通よりも、この隙間からの気体の漏洩が大きくなる場合がある。この隙間からの気体の漏洩は、当然、多孔質静圧気体軸受としての負荷容量の減少など性能の低下を来すことになるので極力これを防止することが好ましい。
【０００８】
これに対処するために、締代を大きくして大きな圧入力で嵌着すれば、この部分の隙間はほぼ完全に無くすことができるが、逆に、裏金によって極めて大きな絞りを受ける多孔質焼結金属体の外表面側で焼結金属の塑性流動が生じる虞があり、したがって、裏金に嵌着後、圧縮気体の流通が多孔質焼結金属体の嵌着面側で大きく阻害されるという問題が生じる。
【０００９】
【特許文献】
特開平１１−１５８５１１号公報
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】
上記問題に鑑み、本出願人は特願平９−３４２２４２号（特開平１１−１５８５１１号）に記載のような技術（以下「先行技術」という）を提案し、上記問題を解決した。すなわち、先行技術は、裏金と、この裏金の少なくとも一方の面に接合された多孔質焼結金属層とを具備しており、多孔質焼結金属層の粒界には無機物質粒子が含有されている多孔質静圧気体軸受用の軸受素材に関するものである。そして、先行技術には、無機物質粒子に加えて、具体例として、重量比で錫４〜１０％、ニッケル１０〜４０％、燐０．５〜４％、黒鉛３〜１０％及び残部銅からなる多孔質焼結金属層が開示されている。
【００１１】
この先行技術に開示された軸受素材は、（１）多孔質焼結金属層の粒界には黒鉛等の無機物質粒子が含有されているので、機械加工を施してもその表面の目詰まりが抑制されて理想的な絞り構造となること、（２）多孔質焼結金属層が裏金に接合一体化されているので、この接合部からの圧縮気体の漏洩もなく、給気圧による焼結層の変形を極めて小さくすることができる、という効果を奏するものである。
【００１２】
この先行技術に開示された軸受素材の多孔質焼結金属層は、成分中のニッケル（Ｎｉ）及び燐（Ｐ）が焼結過程において液相のＮｉ_３Ｐを発生し、焼結温度の上昇とともに次第に活発となる固相−液相間での相互拡散でもって焼結層の合金化が行われ、また裏金（鋼材）への液相のＮｉ_３Ｐの良好なぬれ性でもって多孔質焼結金属層と裏金との接合一体化が行われて作製されるものである。
【００１３】
しかしながら、裏金として耐腐食性、特に耐錆性に優れたステンレス鋼を使用した場合には、該裏金と多孔質焼結金属層との接合一体化にあたり、いくつかの問題点が提起された。すなわち、（１）ステンレス鋼からなる裏金の少なくとも一方の面に多孔質焼結金属層を焼結時に接合する場合には、裏金の表面、換言すれば裏金と多孔質焼結金属層との接合界面に酸化クロム（Ｃｒ_２Ｏ_３）等のクロム酸化物が生成され、接合界面にクロム酸化物が介在することにより多孔質焼結金属層の裏金表面への接合一体化が阻害されること、（２）焼結時において液相のＮｉ_３Ｐの発生量が多いと斯かる液相のＮｉ_３Ｐが焼結中に流れ出し、多孔質焼結金属層を裏金の表面に接合するに必要なＮｉ_３Ｐの液相量が減少して該多孔質焼結金属層と裏金との接合力が弱められ、焼結後の冷却（放冷）時の温度の下降に伴う多孔質焼結金属層と裏金との間の接合面での該多孔質焼結金属層の収縮によって当該接合面で剥離を生じること、などの問題である。とくに上記（２）の問題は、多孔質静圧気体軸受においては、当該接合面からの圧縮気体の漏洩等の欠点を惹起することになる。
【００１４】
本発明者は上記問題に鑑み鋭意研究を重ねた結果、上記（１）の問題点に対しては、ステンレス鋼からなる裏金の表面にメッキ層を施し、斯かるメッキ層からなる接合層を裏金と多孔質焼結金属層との間に介在させることにより、裏金と多孔質焼結金属層との接合界面にクロム酸化物の生成を防止し、ステンレス鋼からなる裏金の表面に接合層を介して多孔質焼結金属層を接合一体化させることができることを見出し、また上記（２）の問題点に対しては、液相のＮｉ_３Ｐの発生量を少なくすることにより焼結後の冷却時の多孔質焼結金属層の収縮量を少なくし、多孔質焼結金属層と裏金との間の接合面で剥離を生じることなく接合一体化させ得るとともに多孔質焼結金属層の気孔率を高めることができ、当該多孔質焼結金属層を流通する圧縮気体による浮上量を高めることを見出した。
【００１５】
本発明は上記知見に基づきなされたものであり、その目的とするところは、多孔質焼結金属層とステンレス鋼からなる裏金との間に剥離等を生じることなく強固な接合一体化を行わしめることができると共に多孔質焼結金属層の気孔率を高めて当該多孔質焼結金属層を流通する圧縮気体による浮上量を高めることができる多孔質静圧気体軸受用の軸受素材及びこれを用いた多孔質静圧気体軸受を提供することにある。
【００１６】
また斯かる多孔質静圧気体軸受用の軸受素材において、その裏金には多孔質焼結金属層に圧縮気体を供給する供給手段が設けられるのであるが、この供給手段は圧縮気体を多孔質焼結金属層の表面から満遍なく均等に噴出させるように構成されているのが好ましく、しかも、特に、多孔質静圧気体ラジアル軸受用の軸受素材に用いられる裏金であって円筒状の内面に斯かる圧縮気体の供給手段を設けるものの場合には、容易にそれを形成できて製造性に優れていることが要求される。
【００１７】
本発明の他の目的とするところは、多孔質焼結金属層の表面からの圧縮気体の噴出の偏倚をできるだけ少なくすることができる上に、製造性にも優れた多孔質静圧気体ラジアル軸受用の軸受素材及びこれを用いた多孔質静圧気体ラジアル軸受を提供することにある。
【００１８】
【課題を解決するための手段】
本発明の第一の態様の多孔質静圧気体軸受用の軸受素材は、ステンレス鋼からなる裏金と、この裏金の少なくとも一方の面に接合層を介して一体にされた多孔質焼結金属層とを具備しており、多孔質焼結金属層の粒界に無機物質粒子が分散含有されており、ここで、無機物質粒子を含有する多孔質焼結金属層は、４重量％以上１０重量％以下の錫と、１０重量％以上４０重量％以下のニッケルと、０．１重量％以上０．５重量％未満の燐と、残部が銅からなる。
【００１９】
第一の態様の多孔質静圧気体軸受用の軸受素材によれば、焼結過程において液相のＮｉ_３Ｐを発生する燐成分が０．１重量％以上０．５重量％未満の含有量であることから、液相のＮｉ_３Ｐの発生量が少なくなり、焼結時に液相のＮｉ_３Ｐが流れ出すことがなく、多孔質焼結金属層を接合層に接合するに必要な量の液相のＮｉ_３Ｐとなり、接合層を介する該多孔質焼結金属層と裏金との接合力が高められ、しかも、液相のＮｉ_３Ｐの発生量が少ないことにより焼結後の冷却（放冷）時の多孔質焼結金属層の収縮量が少ないので、該多孔質焼結金属層の収縮に起因する裏金と多孔質焼結金属層との接合層を介する各接合面で該多孔質焼結金属層の剥離を生じることがない。
【００２０】
また、液相のＮｉ_３Ｐの生成量が少ない上に、接合層が介在しているので、裏金と一体化された多孔質焼結金属層の気孔率が高められる結果、多孔質焼結金属層を流通する圧縮気体の圧力損失が低下し、該多孔質焼結金属層の表面（軸受面）に噴出す給気圧力が相対的に高まることにより浮上量を高めることができる。したがって、多孔質焼結金属層と裏金とが接合層を介して強固に一体化され、多孔質焼結金属層の気孔率が高められることに起因する浮上量を高めることができる多孔質静圧気体軸受用の軸受素材とすることができる。
【００２１】
本発明の第二の態様の多孔質静圧気体軸受用の軸受素材では、第一の態様の軸受素材において、無機物質粒子は多孔質焼結金属層に２重量％以上１０重量％以下の割合で含有されており、無機物質粒子は、本発明の第三の態様の軸受素材のように、黒鉛、窒化ホウ素、フッ化黒鉛、フッ化カルシウム、酸化アルミニウム、酸化ケイ素及び炭化ケイ素のうちの少なくとも一つからなる。
【００２２】
多孔質焼結金属層の粒界に分散含有された無機物質粒子は、このもの自体が機械加工によって塑性変形することがなく、加えて多孔質焼結金属層の素地の金属部分の塑性変形を分断して軽減する働きにより、機械加工における多孔質焼結金属層の目詰まりを抑えることができる。
【００２３】
裏金は、本発明の第四の態様の多孔質静圧気体軸受用の軸受素材のように、円筒状に形成されていても、これに代えて、本発明の第五の態様の多孔質静圧気体軸受用の軸受素材のように、平板状に形成されていてもよく、前者の場合には、無機物質粒子を含有する多孔質焼結金属層は、裏金の円筒状の一方の面に接合層を介して一体にされており、後者の場合には、無機物質粒子を含有する多孔質焼結金属層は、裏金の平板状の一方の面に接合層を介して一体にされている。
【００２４】
接合層は、本発明の第六の態様の多孔質静圧気体軸受用の軸受素材のように、少なくともニッケルメッキ層を含んでいても、また本発明の第七の態様の多孔質静圧気体軸受用の軸受素材のように、ニッケルメッキ層と銅メッキ層との二層のメッキ層を含んでいてもよく、ニッケルメッキ層は、いずれの場合にも、裏金の少なくとも一方の面に接合されているとよく、接合層がニッケルメッキ層と銅メッキ層との二層のメッキ層を含んでいる場合には、多孔質焼結金属層は、銅メッキ層に接合されているとよい。このニッケルメッキ層及び銅メッキ層は、それぞれ電気メッキによって形成される。
【００２５】
本発明の第六の態様の軸受素材のように、ステンレス鋼からなる裏金の表面にニッケルメッキ層を含んだ接合層が形成されていて、当該ニッケルメッキ層が裏金の少なくとも一方の面に接合されていると、両者間に強固な接合一体化が行われる。また、本発明の第七の態様の軸受素材のように、裏金の表面に形成される接合層がニッケルメッキ層と銅メッキ層との二層のメッキ層を含んで、ニッケルメッキ層が裏金の少なくとも一方の面に接合され、多孔質焼結金属層が銅メッキ層に接合されていても、同様に両者間に強固な接合一体化が行われる。したがって、いずれにしてもステンレス鋼からなる裏金、多孔質焼結金属層及び接合層における接合部に剥離等を生じることはない。更に、第七の態様の軸受素材における銅メッキ層が本発明の第八の態様の軸受素材のようにニッケルメッキ層の表面に形成されていると、二層のメッキ層の強固な接合一体化を得ることができる上に、上述の通りの裏金と多孔質焼結金属層との両者間の強固な一体化を確保できる。
【００２６】
銅メッキ層は、好ましくは本発明の第九の態様の軸受素材のように、１０μｍ以上２５μｍ以下の厚みを有しており、より好ましくは本発明の第十の態様の軸受素材のように、１０μｍ以上２０μｍ以下の厚みを有しており、ニッケルメッキ層は、好ましくは本発明の第十一の態様の軸受素材のように、２μｍ以上２０μｍ以下の厚みを有しており、より好ましくは本発明の第十二の態様の軸受素材のように、３μｍ以上１５μｍ以下の厚みを有している。
【００２７】
本発明の多孔質静圧気体軸受は、第一から第十二のいずれかの態様の多孔質静圧気体軸受用の軸受素材を用いたものであって、裏金に設けられていると共に、無機物質粒子を分散含有する多孔質焼結金属層に圧縮気体を供給する手段を具備している。
【００２８】
本発明の多孔質静圧気体軸受によれば、第四の態様のような軸受素材を用いることにより多孔質静圧気体ラジアル軸受として適用でき、または第五の態様のような軸受素材を用いることにより、多孔質静圧気体スラスト軸受として適用できる。
【００２９】
本発明の第一の態様の多孔質静圧気体ラジアル軸受用の軸受素材は、ステンレス鋼からなると共に円筒状の内面を有した裏金と、軸方向に並んで裏金の内面に当該内面側で開口して設けられている複数個の環状溝と、この複数個の環状溝を相互に連通させるべく、裏金の一方の環状の端面から他方の環状の端面に向けて軸方向に延びて裏金の内部に設けられた相互連通用の行き止り孔と、裏金の内面側における各環状溝の開口を覆蓋すると共に裏金の円筒状の内面に接合層を介して一体にされた円筒状の多孔質焼結金属層とを具備している。
【００３０】
第一の態様の多孔質静圧気体ラジアル軸受用の軸受素材によれば、複数個の環状溝を相互に連通させる相互連通用の行き止り孔が裏金の内面側で開口しないように裏金の内部に設けられているために、行き止り孔から直接的に裏金の内面を介する多孔質焼結金属層への圧縮気体の供給を回避できて、この相互連通用の行き止り孔に供給された圧縮気体を環状溝の夫々を介して多孔質焼結金属層へ供給できる結果、多孔質焼結金属層の表面から圧縮気体を略均等に噴出でき、しかも、相互連通用の行き止り孔が裏金の内部に設けられているために、斯かる行き止り孔を裏金の一方の環状の端面からドリル等を用いて容易に形成できるために、円筒状の内面への相互連通用の溝の形成と比較して極めて製造性に優れたものとなる。
【００３１】
相互連通用の行き止り孔の両端は、対応の環状の端面で開口していてもよいが、好ましくは、本発明の第二の態様の多孔質静圧気体ラジアル軸受用の軸受素材のように、相互連通用の行き止り孔の一端は裏金の環状の端面で開口しており、相互連通用の行き止り孔の他端は、裏金の他方の環状の端面の手前で裏金自体で閉塞されており、この場合、多孔質静圧気体ラジアル軸受用の軸受素材は、本発明の第三の態様のそれのように、相互連通用の行き止り孔の一端を閉塞する栓を嵌合するための嵌合手段を更に具備しているとよく、嵌合手段は、本発明の第四の態様の多孔質静圧気体ラジアル軸受用の軸受素材のように、ねじ溝を具備していてもよい。相互連通用の行き止り孔の両端が開口されている場合にも、本発明の軸受素材は、これら両端を閉塞する栓を嵌合するためのねじ溝等からなる嵌合手段を具備しているとよい。
【００３２】
本発明では、相互連通用の行き止り孔を圧縮気体供給用の行き止り孔としても用いてもよいのであるが、本発明の多孔質静圧気体ラジアル軸受用の軸受素材は、好ましくは、その第五の態様のそれのように、裏金の外面で開口していると共に裏金の外面から相互連通用の行き止り孔に向けて径方向に延びて裏金の内部に設けられた圧縮気体供給用の行き止り孔を更に具備している。
【００３３】
多孔質静圧気体軸受用の軸受素材と同様に、本発明の多孔質静圧気体ラジアル軸受用の軸受素材において、その第六の態様のそれのように、多孔質焼結金属層は、錫、ニッケル、燐及び銅を含んだ焼結金属の粒界と、焼結金属の粒界に分散された無機物質粒子とを含有しており、この場合、その第七の態様の多孔質静圧気体ラジアル軸受用の軸受素材のように、焼結金属の粒界は、４重量％以上１０重量％以下の錫と、１０重量％以上４０重量％以下のニッケルと、０．１重量％以上０．５重量％未満の燐と、残部が銅を含んでおり、その第八の態様の多孔質静圧気体ラジアル軸受用の軸受素材のように、無機物質粒子は、２重量％以上１０重量％以下の割合で含有されており、その第九の態様の多孔質静圧気体ラジアル軸受用の軸受素材のように、無機物質粒子は、黒鉛、窒化ホウ素、フッ化黒鉛、フッ化カルシウム、酸化アルミニウム、酸化ケイ素及び炭化ケイ素のうちの少なくとも一つからなるとよい。また、多孔質静圧気体軸受用の軸受素材と同様に、接合層は、本発明の第十の多孔質静圧気体ラジアル軸受用の軸受素材のように、少なくともニッケルメッキ層を含んでいてもよく、この場合、ニッケルメッキ層は、裏金の円筒状の内面に接合されている。接合層はまた、本発明の第十一の態様の多孔質静圧気体ラジアル軸受用の軸受素材のように、ニッケルメッキ層と該ニッケルメッキ層の表面に形成された銅メッキ層との二層のメッキ層からなっていてもよく、この場合、ニッケルメッキ層は、裏金の円筒状の内面に接合されており、多孔質焼結金属層は、銅メッキ層に接合されているとよい。
【００３４】
本発明の多孔質静圧気体ラジアル軸受用の軸受素材では、銅メッキ層は、好ましくは、その第十二の態様のそれのように、１０μｍ以上２５μｍ以下の厚みを有しており、より好ましくは、その第十三の態様のそれのように、１０μｍ以上２０μｍ以下の厚みを有しており、ニッケルメッキ層は、好ましくは、その第十三の態様のそれのように、２μｍ以上２０μｍ以下の厚みを有しており、より好ましくは、その第十四の態様のそれのように、３μｍ以上１５μｍ以下の厚みを有している。
【００３５】
第六の態様から第十四の態様の多孔質静圧気体ラジアル軸受用の軸受素材の夫々によれば、上述の多孔質静圧気体軸受用の軸受素材の場合と同様の効果を得ることができる。
【００３６】
以下、本発明及び本発明の実施の形態を、図面を参照してその好ましい例に基づいて説明する。なお、本発明はこれらの例に限定されないのである。
【００３７】
【発明の実施の形態】
多孔質静圧気体軸受において図１及び図２に示す本例の多孔質静圧気体ラジアル軸受１は、ステンレス鋼からなって円筒状に形成された裏金２と、裏金２の円筒状の一方の面である内面９に接合層３を介して一体にされた多孔質焼結金属層４と、裏金２に設けられた圧縮気体供給用の孔５と、軸方向に並んで裏金２の内面９に当該内面９側で開口して形成されて設けられていると共に当該内面９側の開口が多孔質焼結金属層４によって覆われて蓋されている、即ち覆蓋されている複数個の環状溝６と、裏金２の内面９に当該内面９側で開口して形成され環状溝６を相互に連通するように軸方向に伸びた相互連通用の溝７とを具備しており、多孔質焼結金属層４の円筒状の内面を軸受面８としており、裏金２に設けられた孔５、環状溝６及び溝７によって多孔質焼結金属層４に圧縮気体を供給する供給手段が構成されている。
【００３８】
多孔質静圧気体軸受において図３及び図４に示す本例の多孔質静圧気体スラスト軸受１１は、ステンレス鋼からなって平板状に形成された裏金２と、裏金２の平板状の一方の面である平坦表面に接合層３を介して一体にされた多孔質焼結金属層４と、裏金２に設けられた圧縮気体供給用の孔５と、裏金２の一方の平坦表面に形成された複数個の環状溝６と、裏金２の一方の平坦表面に形成され環状溝６を相互に連通する相互連通用の溝７とを具備しており、多孔質焼結金属層４の平坦外面を軸受面８としており、裏金２に設けられた孔５、環状溝６及び溝７によって多孔質焼結金属層４に圧縮気体を供給する供給手段が構成されている。
【００３９】
多孔質静圧気体ラジアル軸受１及び多孔質静圧気体スラスト軸受１１において、裏金２を形成するステンレス鋼としては、オーステナイト系ステンレス鋼、マルテンサイト系ステンレス鋼あるいはフェライト系ステンレス鋼が使用される。とくに、クロム（Ｃｒ）含有量の少ないマルテンサイト系ステンレス鋼あるいはフェライト系ステンレス鋼は好ましいものである。
【００４０】
接合層３は、裏金２の一方の面に接合されたニッケルメッキ層と該ニッケルメッキ層の表面に接合されていると共に多孔質焼結金属層４が表面に接合されている銅メッキ層との二層のメッキ層を含んでいる。接合層３を介する裏金２と多孔質焼結金属層４との各接合部に剥離等を生じさせないためには、多孔質焼結金属層４の形成時の加圧の程度にもよるが、ニッケルメッキ層は、２μｍ以上２０μｍ以下、好ましくは３μｍ以上１５μｍ以下の厚さを有しており、銅メッキ層は、１０μｍ以上２５μｍ以下、好ましくは１０μｍ以上２０μｍ以下の厚みを有している。
【００４１】
多孔質焼結金属層４は、４重量％以上１０重量％以下の錫と、１０重量％以上４０重量％以下のニッケルと、０．１重量％以上０．５重量％未満の燐と、２重量％以上１０重量％以下の無機物質と、残部が銅からなる。成分中の燐成分は、焼結過程において液相のＮｉ_３Ｐを生成し、焼結を進行させるとともに裏金２の一方の面に形成された接合層３へのニッケル成分の拡散を助長し、多孔質焼結金属層４を強固に一体にさせる役割を果たす。
【００４２】
また、燐成分の配合量を０．１重量％以上０．５重量％未満とすることにより、多孔質焼結金属層４の焼結後冷却時の収縮量を低く抑えることができ、多孔質焼結金属層４の収縮に起因する多孔質焼結金属層４の裏金２の一方の面からの剥離等を生じることはない。さらに、燐成分の配合量を少なくして液相のＮｉ_３Ｐの生成量を少なくすることにより、多孔質焼結金属層４の気孔率が高められ、多孔質焼結金属層４を流通する圧縮気体の圧力損失が低下することによって、該多孔質焼結金属層４の軸受面８に噴出す給気圧力が相対的に高まり浮上量を高めることができる。
【００４３】
多孔質焼結金属層４に分散含有される無機物質粒子は、黒鉛、窒化ホウ素、フッ化黒鉛、フッ化カルシウム、酸化アルミニウム、酸化ケイ素及び炭化ケイ素のうちの少なくとも一つからなる。これらは、多くの金属材料のように塑性変形することはなく、無機物質である。このような無機物質が多孔質焼結金属層４の錫、ニッケル、燐及び銅からなる素地（粒界）中に分散含有されていると、このもの自体が機械加工によって塑性変形することがなく、加えて、多孔質焼結金属層４の素地の金属部分の塑性変形を分断し軽減する働きがあるため、機械加工における多孔質焼結金属層の目詰まりを抑えることができる。そして、これら無機物質粒子の配合量は、２重量％以上１０重量％以下の割合が適当である。配合量が２重量％未満では多孔質焼結金属層４の素地の金属部分の塑性変形を分断し軽減する働きが充分発揮されず、また配合量が１０重量％を超えて配合すると、多孔質焼結金属層４の焼結性を阻害する。
【００４４】
つぎに、多孔質静圧気体軸受用の軸受素材及びこの軸受素材を使用した多孔質静圧気体軸受の製造方法について説明する。
【００４５】
〔多孔質静圧気体スラスト軸受１１の製造方法〕
オーステナイト系ステンレス鋼、マルテンサイト系ステンレス鋼あるいはフェライト系ステンレス鋼からなる円板状の裏金２を用意し、この裏金２の一方の面に同心円状の複数個の環状溝６と該環状溝６を相互に連通する溝７とを夫々形成するとともに、裏金２の他方の面から溝７に開口する圧縮気体供給用の孔５を形成する。
【００４６】
環状溝６、溝７及び孔５が形成された裏金２のこれら溝６、７及び孔５を除く一方の面である平坦表面に厚さ２〜２０μｍ、好ましくは３〜１５μｍのニッケルメッキ層を形成して、該ニッケルメッキ層の表面に厚さ１０〜２５μｍ、好ましくは１０〜２０μｍの銅メッキ層を形成して、裏金２の溝６、７及び孔５を除く一方の平坦表面にニッケルメッキ層と銅メッキ層とからなる二層のメッキ層を形成する。この二層のメッキ層が裏金２と多孔質焼結金属層４との接合層３となる。
【００４７】
２５０メッシュの篩を通過するアトマイズ錫粉末４重量％以上１０重量％以下と、２５０メッシュの篩を通過する電解ニッケル粉末１０重量％以上４０重量％以下と、１２０メッシュの篩を通過する銅燐（燐１４．５％）粉末０．７重量％以上３．４重量％未満の燐と、１５０メッシュの篩を通過する無機物質粒子３重量％以上１０重量％以下と、１５０メッシュの篩を通過する電解銅粉末残部をミキサーにて混合して混合粉末を作製する。
【００４８】
ヒドロキシプロピルセルロース（ＨＰＣ）、ポリビニールアルコール（ＰＶＡ）、カルボキシメチルセルロース（ＣＭＣ）、ヒドロキシエチルセルロース（ＨＥＣ）、メチルセルロース（ＭＣ）、ゼラチン、アラビアゴム及びスターチから選択される粉末結合剤の１〜１５重量％水溶液を該混合粉末に対して０．１〜５．０重量％添加し、均一に混合して湿潤性を有する原料粉末を得る。ここで、粉末結合剤水溶液の添加量は金属混合粉末に対して、０．１〜５．０重量％が好ましい。とくに、５．０重量％を超えて添加すると焼結体組織中に制御できないポア（孔）が増加し、多孔質焼結金属層４の強度を低下させる原因となる。また、粉末結合剤の溶媒としては、水以外に、エチルアルコール等の親水性化合物の５〜２０重量％の水溶液を使用することができる。
【００４９】
湿潤性を有する原料粉末は、コンベア及びホッパーによって圧延ロールに供給される。原料粉末の圧延は、双ロールを有する通常の横型圧延機を使用することができる。この横型圧延機を使用しておおよそ厚さ２〜２．５ｍｍの圧粉体シートを作製する。
【００５０】
この圧粉体シートを、環状溝６、溝７及び孔５を除く一方の面にメッキ層を有する裏金２上に重ね合わせ、これを還元性雰囲気もしくは真空中で８００〜１１５０℃、好ましくは８５０〜１０００℃の温度で０．１〜５．０ｋｇｆ／ｃｍ^２、好ましくは０．５〜３．０ｋｇｆ／ｃｍ^２の圧力をかけて２０〜１２０分間、好ましくは３０〜９０分間焼結する。
【００５１】
この焼結過程において、成分中のニッケル（Ｎｉ）及び燐（Ｐ）が液相のＮｉ_３Ｐを発生するが、液相のＮｉ_３Ｐを発生する燐成分が０．１重量％以上０．５重量％未満の含有量であることから、液相のＮｉ_３Ｐの発生量が少なくなり、焼結時に流れ出すことがなく、多孔質焼結金属層４を接合層３に接合するに必要な量の液相のＮｉ_３Ｐとなり、焼結後の冷却（放冷）時の温度の下降に伴って、裏金２、多孔質焼結金属層４及び接合層３における各接合面で該多孔質焼結金属層４の収縮に起因する当該接合面で剥離を生じることがない。
【００５２】
また、裏金２の一方の面にはニッケルメッキ層と銅メッキ層との二層のメッキ層からなる接合層３が形成されているので、焼結過程において、多孔質焼結金属層４と裏金２との両者間に接合層３を介する強固な一体化が行われる。さらに、液相のＮｉ_３Ｐの生成量を少なくすることにより、多孔質焼結金属層４の気孔率が高められ、多孔質焼結金属層４を流通する圧縮気体の圧力損失が低下することによって、該多孔質焼結金属層４の軸受面８に噴出す給気圧力が相対的に高まり、浮上量を高めることができる。したがって、多孔質焼結金属層４と裏金２とが接合層３を介して強固に一体化された多孔質静圧気体スラスト軸受１１用の軸受素材とすることができる。
【００５３】
図５は、上記成分組成からなる圧粉体シートを、表面に（１）厚さ３μｍのニッケルメッキ層と厚さ１０μｍの銅メッキ層、（２）厚さ３μｍのニッケルメッキ層と厚さ１５μｍの銅メッキ層、（３）厚さ３μｍのニッケルメッキ層と厚さ２０μｍの銅メッキ層の三種類の接合層３を形成した裏金２上に重ね合わせ、これを還元性雰囲気中で９３０℃の温度で、１．０ｋｇｆ／ｃｍ^２の圧力をかけて８５分間焼結して得た軸受素材について、裏金２と多孔質焼結金属層４との接合強さ（せん断強さ：Ｎ／ｍｍ^２）を示すグラフである。
【００５４】
図５からわかるように、（１）のメッキ層においては、裏金２と多孔質焼結金属層４との接合強さ（せん断強さ）が６．５〜７．２Ｎ／ｍｍ^２を示し、（２）のメッキ層においては、裏金２と多孔質焼結金属層４との接合強さ（せん断強さ）が７．１〜７．７Ｎ／ｍｍ^２を示し、（３）のメッキ層においては、裏金２と多孔質焼結金属層４との接合強さ（せん断強さ）が６．８〜７．４Ｎ／ｍｍ^２を示している。このように（１）〜（３）のメッキ層においては、いずれも裏金２と多孔質焼結金属層４との接合強さは、６．５Ｎ／ｍｍ^２以上を示しており、最終の多孔質焼結金属層４の平坦面に研削やラッピング等の機械加工を施しても、裏金２と多孔質焼結金属層４との間に剥離等を生じることがない。
【００５５】
このようにして円板状の裏金２の一方の面に接合層３を介して焼結された多孔質焼結金属層４を具備したスラスト軸受素材を得る。得られた軸受素材の多孔質焼結金属層４の平坦表面をその粗さが１０^−３ｍｍ以下となるように研削やラッピングにより機械加工を施して、軸受面８を有した所望の多孔質静圧気体スラスト軸受１１を得る。
【００５６】
〔多孔質静圧気体ラジアル軸受１の製造方法〕
オーステナイト系ステンレス鋼、マルテンサイト系ステンレス鋼あるいはフェライト系ステンレス鋼からなる円筒状の裏金２を用意し、この裏金２の内面９にその軸方向に沿って等間隔に複数個の環状溝６と、該環状溝６を相互に連通する軸方向に沿う溝７とを夫々形成するとともに、裏金２の外面２５から溝７に開口する圧縮気体供給用の孔５を形成する。
【００５７】
環状溝６、溝７及び孔５が形成された裏金２のこれら溝６、７及び孔５を除く内面９に厚さ２〜２０μｍ、好ましくは３〜１５μｍのニッケルメッキ層を形成して、該ニッケルメッキ層の表面に厚さ１０〜２５μｍ、好ましくは１０〜２０μｍの銅メッキ層を形成して、裏金２の溝６、７及び孔５を除く内面９にニッケルメッキ層と銅メッキ層とからなる二層のメッキ層を形成する。この二層のメッキ層が裏金２と多孔質焼結金属層４との接合層３となる。
【００５８】
２５０メッシュの篩を通過するアトマイズ錫粉末４重量％以上１０重量％以下と、２５０メッシュの篩を通過する電解ニッケル粉末１０重量％以上４０重量％以下と、１２０メッシュの篩を通過する銅燐（燐１４．５％）粉末０．７重量％以上３．４重量％未満と、１５０メッシュの篩を通過する無機物質粒子２重量％以上１０重量％以下と、１５０メッシュの篩を通過する電解銅粉末残部をミキサーにて混合して混合粉末を作製する。
【００５９】
この混合粉末を金型中に装填し、成形圧力３トン／ｃｍ^２〜７トン／ｃｍ^２の範囲で圧縮成形し、円筒状の圧粉体を作製する。
【００６０】
この円筒状の圧粉体を、内面９に環状溝６、溝７及び孔５が形成され、かつこれら溝６、７及び孔５を除く内面９にニッケルメッキ層と銅メッキ層とからなる二層のメッキ層が形成された円筒状の裏金２の内面９に圧入嵌合する。内面９に円筒状の圧粉体を圧入嵌合した円筒状の裏金２の該圧粉体の内面に金属製中子を挿入するとともに該圧粉体の内面と該金属製中子の外面との隙間にセラミック粉末を充填する。
【００６１】
セラミック粉末は、焼結温度範囲内で溶融しないものであり、圧粉体の配合組成各成分に対して中性または還元性雰囲気中で非反応のものであれば任意のものでよい。例えば、黒鉛、炭素、アルミナ（Ａｌ_２Ｏ_３）、酸化ケイ素（ＳｉＯ_２）、酸化ジルコニウム（ＺｒＯ_２）及び酸化マグネシウム（ＭｇＯ）並びにこれらの複合酸化物が挙げられる。これらセラミック粉末はその粒度があまり細かいものであると、取扱い上難点が生じ、充填性にも劣るので、３５〜２００メッシュの範囲のものが好ましい。
【００６２】
金属製中子としては、熱膨張係数が大きく、耐用性のあるもの、例えば、オーステナイト系ステンレス鋼（熱膨張係数約１．５×１０^−５／℃）が好適なものとして例示される。この中子は丸棒または中空の形態を取り得る。なお、金属製中子の外径は圧粉体の内径よりも１０〜３０ｍｍ程度小さいものが好ましい。
【００６３】
ついで、還元性雰囲気もしくは真空中で８００〜１１５０℃、好ましくは８５０〜１０００℃の温度で２０〜１２０分間、好ましくは３０〜９０分間焼結する。この焼結過程において、該セラミック粉末により該圧粉体の焼結時における内径側への膨張量及び焼結後の冷却時における内径側への収縮量を拘束し、さらに該中子の焼結時の膨張を利用することにより、接合層３への圧粉体の高い接触圧力を生じせしめる。
【００６４】
この焼結過程において、成分中のニッケル（Ｎｉ）及び燐（Ｐ）が液相のＮｉ_３Ｐを発生するが、液相のＮｉ_３Ｐを発生する燐成分が０．１重量％以上０．５重量％未満の含有量であることから、液相のＮｉ_３Ｐの発生量が少なくなり、焼結時に流れ出すことがなく、多孔質焼結金属層４を接合層３に接合するに必要な量の液相のＮｉ_３Ｐとなり、焼結後の冷却（放冷）時の温度の下降に伴って、裏金２、多孔質焼結金属層４及び接合層３における各接合面で該多孔質焼結金属層４の収縮に起因する剥離を生じることがない。
【００６５】
また、裏金２の円筒状の内面９にはニッケルメッキ層と銅メッキ層との二層のメッキ層からなる接合層３が形成されているので、焼結過程において、裏金２と多孔質焼結金属層４との両者間に接合層３を介する強固な一体化がなされる。さらに、燐成分の配合量を少なくして液相のＮｉ_３Ｐの生成量を少なくすることにより、多孔質焼結金属層４の気孔率が高められ、多孔質焼結金属層４を流通する圧縮気体の圧力損失が低下することによって、該多孔質焼結金属層４の軸受面８に噴出す給気圧力が相対的に高まり、浮上量を高めることができる。したがって、多孔質焼結金属層４と裏金２とが接合層３を介して強固に一体化された多孔質静圧気体ラジアル軸受１用の軸受素材とすることができる。
【００６６】
このようにして円筒状の裏金２の内面９に接合層３を介して焼結された多孔質焼結金属層４を具備したラジアル軸受素材を得る。このラジアル軸受素材において、円筒状の裏金２と裏金２の内面９に接合層３を介して焼結された多孔質焼結金属層４との接合強さ（せん断強さ）は、６．５Ｎ／ｍｍ^２以上を示し、最終の多孔質焼結金属層４の円筒状の内面に研削やラッピング等の機械加工を施しても、裏金２と多孔質焼結金属層４との間に剥離等を生じることがない。得られた軸受素材の多孔質焼結金属層４の円筒状の内面をその粗さが１０^−３ｍｍ以下となるように研削やラッピングにより機械加工を施して、軸受面８を有した所望の多孔質静圧気体ラジアル軸受１を得る。
【００６７】
以下、本発明の実施例について詳細に説明する。なお、以下の実施例及び比較例において、比較例の多孔質焼結金属層４はステンレス鋼からなる裏金２に接合できないため、比較例においては裏金２に機械構造用炭素鋼（Ｓ４５Ｃ）を使用した。
【００６８】
実施例１
内径３０ｍｍ、外径４５ｍｍ、長さ３０ｍｍのマルテンサイト系ステンレス鋼〔ＳＵＳ４２０Ｊ２（Ｂ）〕からなる円筒状の裏金２を準備し、この円筒状の裏金２の内面９に、該裏金２の軸方向に沿って等間隔に幅２ｍｍ、深さ２ｍｍの３個の環状溝６と、該環状溝６を相互に連通する該裏金２の軸方向に沿う１個の溝７とを夫々形成するとともに、該裏金２の外面２５から該溝７に開口する１個の孔５を形成した。
【００６９】
環状溝６、溝７及び孔５が形成された円筒状の裏金２のこれら溝６、７及び孔５を除く内面９に厚さ３μｍのニッケルメッキ層と該ニッケルメッキ層の表面に厚さ１０μｍの銅メッキ層との二層のメッキ層を形成した。
【００７０】
２５０メッシュの篩を通過するアトマイズ錫粉末８重量％と、２５０メッシュの篩を通過する電解ニッケル粉末２８重量％と、１２０メッシュの篩を通過する銅燐（燐１４．５％）粉末１．０重量％と、１５０メッシュの篩を通過する黒鉛粉末（無機物質粒子）５重量％と、１５０メッシュの篩を通過する電解銅粉末残部をＶ型ミキサーにて５分間混合して混合粉末（銅：５８．８５重量％、錫：８重量％、ニッケル：２８重量％、燐：０．１５重量％、黒鉛：５重量％）を作製した。
【００７１】
この混合粉末を金型内に装填し、成形圧力３トン／ｃｍ^２で内径２６ｍｍ、外径３０ｍｍ、長さ３０ｍｍの円筒状の圧粉体を作製した。
【００７２】
円筒状の圧粉体を前記円筒状の裏金２の内面９に圧入嵌合した。裏金２の内面９に圧入嵌合された圧粉体の内面に、外径１６ｍｍ、長さ３０ｍｍのオーステナイト系ステンレス鋼からなる丸棒（中子）を挿入するとともに該円筒状の圧粉体の内面と該丸棒の外面との隙間にセラミック粉末（Ａｌ_２Ｏ_３：８３重量％とＳｉＯ_２：１７重量％の混合物、３５〜１５０メッシュ）を充填したのち、アンモニア分解ガス雰囲気中で９３０℃の温度で６０分間焼結し、円筒状の裏金２の内面９に接合層３を介して多孔質焼結金属層４を一体に接合した多孔質静圧気体ラジアル軸受１用の軸受素材を得た。この軸受素材における裏金２と裏金２の内面９に一体に接合された多孔質焼結金属層４との接合強さ（せん断強さ）は、６．７Ｎ／ｍｍ^２であった。この軸受素材の多孔質焼結金属層４の気孔率を図６に示す。
【００７３】
ついで、多孔質焼結金属層４の内面に研削加工を施し、軸受面８を有した厚さ１．７ｍｍの多孔質焼結金属層４を円筒状の裏金２の内面９に備えた多孔質静圧気体ラジアル軸受１を得た。
【００７４】
実施例２
前記実施例１と同様、環状溝６、溝７及び孔５を具備し、これら溝６、７及び孔５を除く内面９に厚さ３μｍのニッケルメッキ層と該ニッケルメッキ層の表面に厚さ１５μｍの銅メッキ層との二層のメッキ層を具備した円筒状の裏金２を準備した。
【００７５】
２５０メッシュの篩を通過するアトマイズ錫粉末８重量％と、２５０メッシュの篩を通過する電解ニッケル粉末２８重量％と、１２０メッシュの篩を通過する銅燐（燐１４．５％）粉末２．０重量％と、１５０メッシュの篩を通過する黒鉛粉末（無機物質粒子）５重量％と、１５０メッシュの篩を通過する電解銅粉末残部をＶ型ミキサーにて５分間混合して混合粉末（銅：５８．７１重量％、錫：８重量％、ニッケル：２８重量％、燐：０．２９重量％、黒鉛：５重量％）を作製した。
【００７６】
以下、前記実施例１と同様の方法で、円筒状の裏金２の内面９に接合層３を介して多孔質焼結金属層４を一体に接合した多孔質静圧気体ラジアル軸受１用の軸受素材を得た。この軸受素材における裏金２と裏金２の内面９に一体に接合された多孔質焼結金属層４との接合強さ（せん断強さ）は、７．２Ｎ／ｍｍ^２であった。この軸受素材の多孔質焼結金属層４の気孔率を図６に示す。ついで、多孔質焼結金属層４の内面に研削加工を施し、軸受面８を有した厚さ１．７ｍｍの多孔質焼結金属層４を円筒状の裏金２の内面９に備えた多孔質静圧気体ラジアル軸受１を得た。
【００７７】
実施例３
前記実施例１と同様、環状溝６、溝７及び孔５を具備し、これら溝６、７及び孔５を除く内面９に厚さ１０μｍのニッケルメッキ層と該ニッケルメッキ層の表面に厚さ２０μｍの銅メッキ層との二層のメッキ層を具備した円筒状の裏金２を準備した。
【００７８】
２５０メッシュの篩を通過するアトマイズ錫粉末８重量％と、２５０メッシュの篩を通過する電解ニッケル粉末２８重量％と、１２０メッシュの篩を通過する銅燐（燐１４．５％）粉末３．０重量％と、１５０メッシュの篩を通過する黒鉛粉末（無機物質粒子）５重量％と、１５０メッシュの篩を通過する電解銅粉末残部をＶ型ミキサーにて５分間混合して混合粉末（銅：５８．５８重量％、錫：８重量％、ニッケル：２８重量％、燐：０．４２重量％、黒鉛：５重量％）を作製した。
【００７９】
以下、前記実施例１と同様の方法で、円筒状の裏金２の内面９に接合層３を介して多孔質焼結金属層４を一体に接合した多孔質静圧気体ラジアル軸受１用の軸受素材を得た。この軸受素材における裏金２と裏金２の内面９に一体に接合された多孔質焼結金属層４との接合強さ（せん断強さ）は、７．０Ｎ／ｍｍ^２であった。この軸受素材の多孔質焼結金属層４の気孔率を図６に示す。ついで、多孔質焼結金属層４の内面に研削加工を施し、軸受面８を有した厚さ１．７ｍｍの多孔質焼結金属層４を円筒状の裏金２の内面９に備えた多孔質静圧気体ラジアル軸受１を得た。
【００８０】
比較例１
内径３０ｍｍ、外径４５ｍｍ、長さ３０ｍｍの機械構造用炭素鋼（Ｓ４５Ｃ）からなる円筒状の裏金を準備し、この円筒状の裏金の内面に、該裏金の軸方向に沿って等間隔に幅２ｍｍ、深さ２ｍｍの３個の環状溝と、該環状溝を相互に連通する該裏金の軸方向に沿う１個の連通溝とを夫々形成するとともに、該裏金の外面から該連通溝に開口する１個の供給孔を形成した。
【００８１】
２５０メッシュの篩を通過するアトマイズ錫粉末８重量％と、２５０メッシュの篩を通過する電解ニッケル粉末２８重量％と、１２０メッシュの篩を通過する銅燐（燐１４．５％）粉末４．０重量％と、１５０メッシュの篩を通過する黒鉛粉末（無機物質粒子）５重量％と、１５０メッシュの篩を通過する電解銅粉末残部をＶ型ミキサーにて５分間混合して混合粉末（銅：５８．４２重量％、錫：８重量％、ニッケル：２８重量％、燐：０．５８重量％、黒鉛：５重量％）を作製した。
【００８２】
以下、前記実施例１と同様の方法で、円筒状の裏金の内面に多孔質焼結金属層を一体に接合した多孔質静圧気体ラジアル軸受用の軸受素材を得た。この軸受素材の多孔質焼結金属層の気孔率を図６に示す。ついで、多孔質焼結金属層の内面に研削加工を施し、軸受面を有した厚さ１．７ｍｍの多孔質焼結金属層を円筒状の裏金の内面に備えた多孔質静圧気体ラジアル軸受を得た。
【００８３】
比較例２
前記比較例１と同様の円筒状の裏金を準備した。
【００８４】
２５０メッシュの篩を通過するアトマイズ錫粉末８重量％と、２５０メッシュの篩を通過する電解ニッケル粉末２８重量％と、１２０メッシュの篩を通過する銅燐（燐１４．５％）粉末７．０重量％と、１５０メッシュの篩を通過する黒鉛粉末（無機物質粒子）５重量％と、１５０メッシュの篩を通過する電解銅粉末残部をＶ型ミキサーにて５分間混合して混合粉末（銅：５７．９８重量％、錫：８重量％、ニッケル：２８重量％、燐：１．０２重量％、黒鉛：５重量％）を作製した。
【００８５】
以下、前記実施例１と同様の方法で、円筒状の裏金の内面に多孔質焼結金属層を一体に接合した多孔質静圧気体ラジアル軸受用の軸受素材を得た。この軸受素材の多孔質焼結金属層の気孔率を図６に示す。ついで、多孔質焼結金属層の内面に研削加工を施し、軸受面を有した厚さ１．７ｍｍの多孔質焼結金属層を円筒状の裏金の内面に備えた多孔質静圧気体ラジアル軸受を得た。
【００８６】
上記実施例１ないし実施例３及び比較例１及び比較例２で得た軸受素材の開放流量（Ｎｌ／ｈｒ）と多孔質静圧気体ラジアル軸受の開放流量をそれぞれ測定して流量比（多孔質静圧気体ラジアル軸受の開放流量／軸受素材の開放流量）について調べた。開放流量の測定方法は、各軸受素材及び多孔質静圧気体ラジアル軸受の供給孔から給気圧力５ｋｇ／ｃｍ^２の圧縮空気を導入し、多孔質焼結金属層を流通する圧縮空気の１時間当たりの流量（Ｎｌ／ｈｒ）を測定した。
【００８７】
図７は、実施例１ないし実施例３並びに比較例１及び比較例２で得た多孔質静圧気体ラジアル軸受と軸受素材との開放流量及びこれらの比（多孔質静圧気体ラジアル軸受の開放流量／軸受素材の開放流量）を示したグラフである。この図から多孔質焼結金属層を形成する成分中の燐成分の配合量が０．５重量％を境に流量比が増加していることが判る。
【００８８】
つぎに、上記流量比を示した実施例１ないし実施例３並びに比較例１及び比較例２の多孔質静圧気体ラジアル軸受について、供給孔から給気圧力５ｋｇ／ｃｍ^２の圧縮空気を導入し、多孔質焼結金属層を流通する圧縮空気によって該ラジアル軸受の軸受面に挿入された軸の浮上量（μｍ）について調べた。
【００８９】
図８は、実施例１ないし実施例３並びに比較例１及び比較例２の多孔質静圧気体ラジアル軸受における負荷荷重（ｋｇｆ）と浮上量との関係を示すグラフである。このグラフから実施例１ないし実施例３の多孔質静圧気体ラジアル軸受１は、いずれの負荷荷重においても比較例１及び比較例２の多孔質静圧気体ラジアル軸受よりも浮上量が大きいことが判る。
【００９０】
図８の結果から、実施例１ないし実施例３の多孔質静圧気体ラジアル軸受１と比較例１及び比較例２の多孔質静圧気体ラジアル軸受の開放流量はほぼ同じ（図７参照）であるにも拘わらず、各実施例の多孔質静圧気体ラジアル軸受１が各比較例の多孔質静圧気体ラジアル軸受よりも浮上量が大きいのは、各実施例及び比較例の軸受素材の気孔率の多寡（図６参照）に起因するものと推察される。すなわち、各実施例の軸受素材における多孔質焼結金属層４の気孔率は３０％を超えており、孔５から導入された圧縮気体は多孔質焼結金属層４の内部を流通する際の圧力損失が小さいので、軸受面８に噴出した給気の圧力が相対的に高まり、軸受面８への給気の噴出しが多孔質焼結金属層４の全面にわたっており、それによって浮上量を大きくするものと推察される。これに対し、各比較例の軸受素材における多孔質焼結金属層の多孔率は２１ないし２２％であり、軸受面への給気の噴出しが連通溝部分に多く発生し、その他の多孔質焼結金属層からの給気の噴出しが極めて少ないため、軸受面への給気がアンバランスとなるためであると推察される。
【００９１】
図１及び図２に示す多孔質静圧気体ラジアル軸受１では、相互連通用の溝７を内面９側で開口して裏金２に設けたが、これに代えて、図９から図１２に示すように、行き止り孔２１を裏金２の軸方向の一方の環状の端面２２から他方の環状の端面２３に向けて軸方向に延びて裏金２の内部に設けて環状溝６を相互に連通させてもよく、斯かる相互連通用の行き止り孔２１を具備した多孔質静圧気体ラジアル軸受１でも、多孔質焼結金属層４は、裏金２の内面９側における各環状溝６の開口を覆蓋すると共に裏金２の円筒状の内面９に接合層３を介して一体にされており、多孔質焼結金属層４の円筒状の内面が軸受面８となっている。
【００９２】
図９から図１２に示す多孔質静圧気体ラジアル軸受１はまた、行き止り孔２１及び環状溝６と共に圧縮気体の供給手段を構成するように、裏金２の径方向の円筒状の外面２５で開口していると共に裏金２の外面２５から相互連通用の行き止り孔２１に向けて径方向に延びて裏金２の内部に設けられた圧縮気体供給用の行き止り孔２６を更に具備している。
【００９３】
裏金２の端面２２で開口した行き止り孔２１の軸方向の一端２７は、栓２８を嵌合するための嵌合手段としてのねじ溝２９を具備しており、行き止り孔２１の軸方向の他端３０は、裏金２の端面２３の手前で裏金２自体で閉塞されている一方、行き止り孔２６に連通されており、ねじ溝２９に螺着して一端２７に嵌合した栓２８は一端２７を閉塞しており、行き止り孔２６は、行き止り孔２１及び環状溝６に連通している。
【００９４】
図９から図１２に示す多孔質静圧気体ラジアル軸受１用のラジアル軸受素材によれば、上記のラジアル軸受素材と同等の効果を得ることができる上に、裏金２の内面９側で開口しないように、環状溝６を相互に連通させる相互連通用の行き止り孔２１が裏金２の内部に設けられているために、行き止り孔２１から直接的に裏金２の内面９を介する多孔質焼結金属層４への圧縮気体の供給を回避できて、行き止り孔２１に供給された圧縮気体を環状溝６の夫々を介して多孔質焼結金属層４へ圧縮気体を供給できる結果、多孔質焼結金属層４の表面、即ち軸受面８から圧縮気体を略均等に噴出でき、しかも、相互連通用の行き止り孔２１が裏金２の内部に設けられているために、斯かる行き止り孔２１を裏金２の端面２２からドリル等を用いて容易に形成できるために、内面９への相互連通用の溝７の形成と比較して極めて製造性に優れている。
【００９５】
また、図９から図１２に示す多孔質静圧気体ラジアル軸受１用のラジアル軸受素材において、裏金２を図１３及び図１４に示すように円筒部３１と円筒部３１に一体に形成された鍔部３２とでもって構成し、鍔部３２に圧縮気体供給用の行き止り孔２６を設けて鍔付ラジアル軸受素材を構成してもよい。図１３及び図１４に示す多孔質静圧気体ラジアル軸受１用のラジアル軸受素材もまた、図９から図１２に示すそれと同様に、多孔質焼結金属層４の表面、即ち軸受面８から圧縮気体を略均等に噴出でき、しかも、行き止り孔２１を裏金２の円筒部３１の端面２２からドリル等を用いて容易に形成できて極めて製造性に優れている上に、多孔質焼結金属層４とステンレス鋼からなる裏金２との間に剥離等を生じることなく強固な接合一体化を行わしめることができると共に多孔質焼結金属層４の気孔率を高めて当該多孔質焼結金属層４を流通する圧縮気体による浮上量を高めることができる。
【００９６】
【発明の効果】
本発明によれば、多孔質焼結金属層は焼結後の収縮量が少ないため、ステンレス鋼からなる裏金に接合層を介して強固に一体にすることができるものである。また、多孔質焼結金属層の気孔率が高められているので多孔質焼結金属層を流通する圧縮気体の圧力損失が低下し、結果として該多孔質焼結金属層の表面（軸受面）に噴出す給気圧力が相対的に高まり、浮上量を高めることができる。
【００９７】
また本発明によれば、多孔質焼結金属層の表面からの圧縮気体の噴出の偏倚をできるだけ少なくすることができる上に、製造性にも優れた多孔質静圧気体ラジアル軸受用の軸受素材及びこれを用いた多孔質静圧気体ラジアル軸受を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の多孔質静圧気体ラジアル軸受を示す断面図である。
【図２】図１に示すＩＩ−ＩＩ線断面図である。
【図３】本発明の多孔質静圧気体スラスト軸受を示す平面図である。
【図４】図３に示すＩＶ−ＩＶ線断面図である。
【図５】本発明の多孔質静圧気体軸受の接合層の厚みとせん断強さとの関係のグラフである。
【図６】多孔質焼結金属層の気孔率を示すグラフである。
【図７】多孔質静圧気体ラジアル軸受及び軸受素材の開放流量及びその流量比を示したグラフである。
【図８】多孔質静圧気体ラジアル軸受における負荷荷重（ｋｇｆ）と浮上量（μｍ）との関係を示すグラフである。
【図９】本発明の多孔質静圧気体ラジアル軸受の他の例を示し、図１０のＩＸ−ＩＸ線断面図である。
【図１０】図９に示すＸ−Ｘ線断面図である。
【図１１】図９の例のラジアル軸受素材を示し、図１２のＸＩ−ＸＩ線断面図である。
【図１２】図１１に示すＸＩＩ−ＸＩＩ線断面図である。
【図１３】本発明の多孔質静圧気体ラジアル軸受の更に他の例を示し、図１４のＸＩＩＩ−ＸＩＩＩ線断面図である。
【図１４】図１３に示す例の左側面図である。
【符号の説明】
１多孔質静圧気体ラジアル軸受
２裏金
３接合層
４多孔質焼結金属層

Claims

ステンレス鋼からなる裏金と、この裏金の少なくとも一方の面に接合層を介して一体にされた多孔質焼結金属層とを具備しており、多孔質焼結金属層の粒界に無機物質粒子が分散含有されている多孔質静圧気体軸受用の軸受素材であって、無機物質粒子を含有する多孔質焼結金属層は、４重量％以上１０重量％以下の錫と、１０重量％以上４０重量％以下のニッケルと、０．１重量％以上０．５重量％未満の燐と、残部が銅からなり、接合層は、ニッケルメッキ層と銅メッキ層との二層のメッキ層を含んでおり、ニッケルメッキ層は、裏金の少なくとも一方の面に接合されており、多孔質焼結金属層は、銅メッキ層に接合されていることを特徴とする多孔質静圧気体軸受用の軸受素材。
無機物質粒子は、２重量％以上１０重量％以下の割合で多孔質焼結金属層に含有されている請求項１に記載の多孔質静圧気体軸受用の軸受素材。
無機物質粒子は、黒鉛、窒化ホウ素、フッ化黒鉛、フッ化カルシウム、酸化アルミニウム、酸化ケイ素及び炭化ケイ素のうちの少なくとも一つからなる請求項１又は２に記載の多孔質静圧気体軸受用の軸受素材。
裏金は、円筒状に形成されており、無機物質粒子を分散含有する多孔質焼結金属層は、裏金の円筒状の一方の面に接合層を介して一体にされている請求項１から３のいずれか一項に記載の多孔質静圧気体軸受用の軸受素材。
裏金は、平板状に形成されており、無機物質粒子を分散含有する多孔質焼結金属層は、裏金の平板状の一方の面に接合層を介して一体にされている請求項１から３のいずれか一項に記載の多孔質静圧気体軸受用の軸受素材。
銅メッキ層は、ニッケルメッキ層の表面に接合されている請求項１から５のいずれか一項に記載の多孔質静圧気体軸受用の軸受素材。
銅メッキ層は、１０μｍ以上２５μｍ以下の厚みを有している請求項１から６のいずれか一項に記載の多孔質静圧気体軸受用の軸受素材。
銅メッキ層は、１０μｍ以上２０μｍ以下の厚みを有している請求項１から６のいずれか一項に記載の多孔質静圧気体軸受用の軸受素材。
ニッケルメッキ層は、２μｍ以上２０μｍ以下の厚みを有している請求項１から８のいずれか一項に記載の多孔質静圧気体軸受用の軸受素材。
ニッケルメッキ層は、３μｍ以上１５μｍ以下の厚みを有している請求項１から８のいずれか一項に記載の多孔質静圧気体軸受用の軸受素材。
請求項１から１０のいずれか一項に記載の軸受素材を用いた多孔質静圧気体軸受であって、裏金には、無機物質粒子を分散含有する多孔質焼結金属層に圧縮気体を供給する手段が設けられている多孔質静圧気体軸受。