JP2001056027A - 静圧気体軸受 - Google Patents
静圧気体軸受Info
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- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C32/00—Bearings not otherwise provided for
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- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C32/00—Bearings not otherwise provided for
- F16C32/06—Bearings not otherwise provided for with moving member supported by a fluid cushion formed, at least to a large extent, otherwise than by movement of the shaft, e.g. hydrostatic air-cushion bearings
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- F16C32/0666—Details of hydrostatic bearings independent of fluid supply or direction of load of bearing pads
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- Engineering & Computer Science (AREA)
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- Mechanical Engineering (AREA)
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 特性の均一性に優れ且つ高剛性を備えた静圧
気体軸受を提供する。 【解決手段】 本発明に基づく静圧気体軸受１０は、軸
受ケース３、母材１及び表面絞り層２などから構成され
る。この例では、母材１は、平均粒径６０μｍの１０％
Ｓｎ青銅多孔質体からなる円板であり、軸受ケース３の
前面に取り付けられ、その裏面側には圧力室５が形成さ
れている。母材１の直径は３６ｍｍ、板厚は６ｍｍであ
る。母材１の上には、表面絞り層２が接合されている。
この表面絞り層２は、銅合金製（９４．９ｗｔ％Ｃｕ−
５．５ｗｔ％Ｓｎ−０．１ｗｔ％Ｐ）の多孔板からな
り、その厚さは４５μｍであり、平均直径５μｍの貫通
孔が、１，６００個／ｍｍ２の分布密度（気孔率４％）
で形成されている。多孔板は、フォトリソグラフィ法を
用いて貫通孔を形成した後、拡散接合によって母材１に
接合されている。
気体軸受を提供する。 【解決手段】 本発明に基づく静圧気体軸受１０は、軸
受ケース３、母材１及び表面絞り層２などから構成され
る。この例では、母材１は、平均粒径６０μｍの１０％
Ｓｎ青銅多孔質体からなる円板であり、軸受ケース３の
前面に取り付けられ、その裏面側には圧力室５が形成さ
れている。母材１の直径は３６ｍｍ、板厚は６ｍｍであ
る。母材１の上には、表面絞り層２が接合されている。
この表面絞り層２は、銅合金製（９４．９ｗｔ％Ｃｕ−
５．５ｗｔ％Ｓｎ−０．１ｗｔ％Ｐ）の多孔板からな
り、その厚さは４５μｍであり、平均直径５μｍの貫通
孔が、１，６００個／ｍｍ２の分布密度（気孔率４％）
で形成されている。多孔板は、フォトリソグラフィ法を
用いて貫通孔を形成した後、拡散接合によって母材１に
接合されている。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、静圧気体軸受に係
り、特に、特性の均一性に優れ且つ高剛性を備えた静圧
気体軸受の構造に関する。
り、特に、特性の均一性に優れ且つ高剛性を備えた静圧
気体軸受の構造に関する。
【０００２】
【従来の技術】高い機械加工精度が要求される際、高速
性及び回転精度に優れたエアスピンドル、あるいは高速
性及び案内精度に優れたエアスライダなどの静圧気体軸
受が使用される。これらの静圧気体軸受として、近年、
多孔質体を用いた静圧多孔質軸受が使用されている。
性及び回転精度に優れたエアスピンドル、あるいは高速
性及び案内精度に優れたエアスライダなどの静圧気体軸
受が使用される。これらの静圧気体軸受として、近年、
多孔質体を用いた静圧多孔質軸受が使用されている。
【０００３】静圧多孔質軸受において、軸受面にグラフ
ァイトなどの多孔質体をそのまま使用した場合、最終絞
り部の空気だまり内の空気の圧縮性に起因して、ニュー
マチックハンマ（自励振動）が発生し、高剛性、高精度
を実現することができないという問題がある。このた
め、多孔質の表層部（軸受面）に更に表面絞り層を設
け、軸受面からの空気透過量を調整することによって、
ニューマチックハンマの発生を防止することが行われて
いる。
ァイトなどの多孔質体をそのまま使用した場合、最終絞
り部の空気だまり内の空気の圧縮性に起因して、ニュー
マチックハンマ（自励振動）が発生し、高剛性、高精度
を実現することができないという問題がある。このた
め、多孔質の表層部（軸受面）に更に表面絞り層を設
け、軸受面からの空気透過量を調整することによって、
ニューマチックハンマの発生を防止することが行われて
いる。
【０００４】例えば、特開平２−２５６９１５号公報に
は、次の様な方法が記載されている。カーボンあるいは
グラファイトなどの多孔質体からなる母材の表面に、機
械加工を施した後、フェノール樹脂などの熱硬化性樹脂
中に浸漬する。樹脂が表面から所定深さまで浸透したと
きに浸漬を終了し、その後、樹脂を熱硬化させ、これに
よって多孔質体の表面に表面絞り層を形成する。この方
法において、樹脂の粘度を適切に選定すれば、樹脂が母
材中の小さな気孔には含浸されずに大きな気孔のみに含
浸され、表面絞り層が形成される。
は、次の様な方法が記載されている。カーボンあるいは
グラファイトなどの多孔質体からなる母材の表面に、機
械加工を施した後、フェノール樹脂などの熱硬化性樹脂
中に浸漬する。樹脂が表面から所定深さまで浸透したと
きに浸漬を終了し、その後、樹脂を熱硬化させ、これに
よって多孔質体の表面に表面絞り層を形成する。この方
法において、樹脂の粘度を適切に選定すれば、樹脂が母
材中の小さな気孔には含浸されずに大きな気孔のみに含
浸され、表面絞り層が形成される。
【０００５】しかし、この方法では、表面絞り層の厚さ
の調整を樹脂の含浸時間の設定により行っているので、
含浸層の厚さ及び気孔の分布状態について、均一性が得
られにくいと言う欠点がある。このため、軸受面内にお
いて空気透過量及び圧力分布がばらつくので、高剛性の
実現が難しく、また、性能が均一な静圧多孔質軸受を安
定的に製造することは容易ではない。
の調整を樹脂の含浸時間の設定により行っているので、
含浸層の厚さ及び気孔の分布状態について、均一性が得
られにくいと言う欠点がある。このため、軸受面内にお
いて空気透過量及び圧力分布がばらつくので、高剛性の
実現が難しく、また、性能が均一な静圧多孔質軸受を安
定的に製造することは容易ではない。
【０００６】なお、多孔質グラファイトからなる母材の
表層部（軸受面）に、樹脂を含浸させた後、軸受面から
の空気の透過流量を測定しながら、溶剤を用いて樹脂を
除去し、空気の透過流量を調整する方法も提案されてい
る。しかし、樹脂の含浸、あるいは含浸した樹脂の除去
に時間と熟練が要求されるので、生産性の面で問題があ
る。
表層部（軸受面）に、樹脂を含浸させた後、軸受面から
の空気の透過流量を測定しながら、溶剤を用いて樹脂を
除去し、空気の透過流量を調整する方法も提案されてい
る。しかし、樹脂の含浸、あるいは含浸した樹脂の除去
に時間と熟練が要求されるので、生産性の面で問題があ
る。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、以上の様な
従来の静圧気体軸受の問題点に鑑み成されたもので、本
発明の目的は、特性の均一性に優れ且つ高剛性を備えた
静圧気体軸受を提供することにある。
従来の静圧気体軸受の問題点に鑑み成されたもので、本
発明の目的は、特性の均一性に優れ且つ高剛性を備えた
静圧気体軸受を提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明の静圧気体軸受
は、多孔質体からなる母材と、母材の上に接合され、予
め所望の空気透過量になるように貫通孔の径及び分布を
調整して作成された多孔板からなる表面絞り層とを備
え、表面絞り層を介して気体を噴出させて、その静圧に
よって被支持部材を支持することを特徴とする。
は、多孔質体からなる母材と、母材の上に接合され、予
め所望の空気透過量になるように貫通孔の径及び分布を
調整して作成された多孔板からなる表面絞り層とを備
え、表面絞り層を介して気体を噴出させて、その静圧に
よって被支持部材を支持することを特徴とする。
【０００９】本発明によれば、表面絞り層を構成する多
孔板の空気透過量を、予め適切な値に調整しておくこと
ができるので、特性の均一性に優れ且つ高剛性を備えた
静圧気体軸受を得ることができる。
孔板の空気透過量を、予め適切な値に調整しておくこと
ができるので、特性の均一性に優れ且つ高剛性を備えた
静圧気体軸受を得ることができる。
【００１０】好ましくは、前記多孔板は、直径０．１μ
ｍ以上、１００μｍ以下の多数の貫通孔を有し、これら
の貫通孔の断面積の合計値は、前記多孔板の表面積の
０．１％以上、１０％以下である。
ｍ以上、１００μｍ以下の多数の貫通孔を有し、これら
の貫通孔の断面積の合計値は、前記多孔板の表面積の
０．１％以上、１０％以下である。
【００１１】この様に多孔板の貫通孔の径を規定したの
は、次の理由による。貫通孔の直径が０．１μｍ以下の
場合には、多孔板の製造が容易ではなく、仮に入手でき
る場合であっても大変高価なものになってしまう。一
方、貫通孔の直径が１００μｍ以上の場合には、開口径
が大き過ぎて、多孔板を焼結して収縮させたり、もしく
は複数の多孔板を重ねてその厚さを増しても、適正な絞
り効果を得ることが難しいからである。
は、次の理由による。貫通孔の直径が０．１μｍ以下の
場合には、多孔板の製造が容易ではなく、仮に入手でき
る場合であっても大変高価なものになってしまう。一
方、貫通孔の直径が１００μｍ以上の場合には、開口径
が大き過ぎて、多孔板を焼結して収縮させたり、もしく
は複数の多孔板を重ねてその厚さを増しても、適正な絞
り効果を得ることが難しいからである。
【００１２】好ましくは、前記多孔板の厚さを１０μｍ
以上、５００μｍ以下とする。これは、前記表面絞り層
の厚さが１０μｍ以下になると製造が難しく、また、給
気圧いよって撓んだり変形したりする可能性が高くな
り、一方、５００μｍ以上になると、ニューマチックハ
ンマが生じる確率が高くなることによる。なお、仮に供
給空気量を減らせばニューマチックハンマは生じなくな
るが、剛性が得られなくなる。
以上、５００μｍ以下とする。これは、前記表面絞り層
の厚さが１０μｍ以下になると製造が難しく、また、給
気圧いよって撓んだり変形したりする可能性が高くな
り、一方、５００μｍ以上になると、ニューマチックハ
ンマが生じる確率が高くなることによる。なお、仮に供
給空気量を減らせばニューマチックハンマは生じなくな
るが、剛性が得られなくなる。
【００１３】好ましくは、前記多孔質体は、金属多孔質
体であり、例えば、銅合金、ステンレス鋼またはサーメ
ットのいずれかからなる多孔質体である。
体であり、例えば、銅合金、ステンレス鋼またはサーメ
ットのいずれかからなる多孔質体である。
【００１４】好ましくは、前記多孔板は、金属の多孔板
からなり、例えば、銅合金、ステンレス鋼またはサーメ
ットのいずれかからなる多孔板である。
からなり、例えば、銅合金、ステンレス鋼またはサーメ
ットのいずれかからなる多孔板である。
【００１５】なお、前記多孔質体（母材）に対する前記
多孔板（表面絞り層）の接合を容易に行うため、前記多
孔質体及び前記多孔板は、ともに金属製であることが望
ましい。この場合、ロウ付け法などを使用せずに、拡散
接合によって両者を一体化することができる。従って、
前記多孔質体及び前記多孔板に目詰まりが生じるおそれ
がない。
多孔板（表面絞り層）の接合を容易に行うため、前記多
孔質体及び前記多孔板は、ともに金属製であることが望
ましい。この場合、ロウ付け法などを使用せずに、拡散
接合によって両者を一体化することができる。従って、
前記多孔質体及び前記多孔板に目詰まりが生じるおそれ
がない。
【００１６】好ましくは、前記多孔板に、フォトリソグ
ラフィ法を用いて貫通孔を形成する。フォトリソグラフ
ィ法を用いることによって、小さな径の貫通孔を比較的
容易に形成することが可能になり、径及びピッチ（従っ
て、分布密度）を正確に制御することが可能になる。更
に、フォトリソグラフィ法は、繰り返しによる大量生産
プロセスに適しており、特性の均一性に優れた静圧気体
軸受を安定的に供給することを可能にする。
ラフィ法を用いて貫通孔を形成する。フォトリソグラフ
ィ法を用いることによって、小さな径の貫通孔を比較的
容易に形成することが可能になり、径及びピッチ（従っ
て、分布密度）を正確に制御することが可能になる。更
に、フォトリソグラフィ法は、繰り返しによる大量生産
プロセスに適しており、特性の均一性に優れた静圧気体
軸受を安定的に供給することを可能にする。
【００１７】なお、前記多孔板を前記母材に拡散接合に
よって接合する上記の方法に代わり、前記母材の上にメ
ッキ層を形成し、次いで、このメッキ層にフォトリソグ
ラフィ法を用いて貫通孔を開けることによって、前記表
面絞り層を形成することもできる。
よって接合する上記の方法に代わり、前記母材の上にメ
ッキ層を形成し、次いで、このメッキ層にフォトリソグ
ラフィ法を用いて貫通孔を開けることによって、前記表
面絞り層を形成することもできる。
【００１８】本発明の静圧気体軸受によれば、表面絞り
層の厚さが多孔板の厚さによって決定されるので、母材
の表面に表面絞り層を均一な厚さで形成することが可能
になる。また、多孔板の厚さ、及び多孔板に設けられる
貫通孔の径及び分布密度を調整することによって、軸受
面からの空気透過量を、正確に調整することが可能であ
り、更に、軸受面内での空気透過量の均一性を確保する
こともできる。従って、本発明の静圧気体軸受によれ
ば、特性の均一性及び高剛性を比較的容易に実現するこ
とができる。
層の厚さが多孔板の厚さによって決定されるので、母材
の表面に表面絞り層を均一な厚さで形成することが可能
になる。また、多孔板の厚さ、及び多孔板に設けられる
貫通孔の径及び分布密度を調整することによって、軸受
面からの空気透過量を、正確に調整することが可能であ
り、更に、軸受面内での空気透過量の均一性を確保する
こともできる。従って、本発明の静圧気体軸受によれ
ば、特性の均一性及び高剛性を比較的容易に実現するこ
とができる。
【００１９】
【発明の実施の形態】図１に、本発明に基づく静圧気体
軸受の構造の一例を示す。この静圧気体軸受１０は、軸
受ケース３、母材１及び表面絞り層２などから構成され
る。
軸受の構造の一例を示す。この静圧気体軸受１０は、軸
受ケース３、母材１及び表面絞り層２などから構成され
る。
【００２０】母材１は、平均粒径６０μｍの１０％Ｓｎ
青銅多孔質体からなる円板である。母材１は、軸受ケー
ス３の前面に取り付けられ、母材１の裏面の周縁部にお
いて軸受ケース３の周壁に接着されている。この例で
は、母材１の直径は３６ｍｍ、板厚は６ｍｍである。
青銅多孔質体からなる円板である。母材１は、軸受ケー
ス３の前面に取り付けられ、母材１の裏面の周縁部にお
いて軸受ケース３の周壁に接着されている。この例で
は、母材１の直径は３６ｍｍ、板厚は６ｍｍである。
【００２１】母材１の上には、表面絞り層２が接合され
ている。この表面絞り層２は、銅合金製（９４．９ｗｔ
％Ｃｕ−５．５ｗｔ％Ｓｎ−０．１ｗｔ％Ｐ）の多孔板
からなり、その厚さは４５μｍであり、平均直径５μｍ
の貫通孔が、１，６００個／ｍｍ２の分布密度（気孔率
４％）で形成されている。
ている。この表面絞り層２は、銅合金製（９４．９ｗｔ
％Ｃｕ−５．５ｗｔ％Ｓｎ−０．１ｗｔ％Ｐ）の多孔板
からなり、その厚さは４５μｍであり、平均直径５μｍ
の貫通孔が、１，６００個／ｍｍ２の分布密度（気孔率
４％）で形成されている。
【００２２】母材１の裏面側と軸受ケース３との間に
は、圧縮空気が収容される圧力室５が形成されている。
軸受ケース３には、上記の圧力室５に圧縮空気を送り込
むための空気供給孔６が形成されている。
は、圧縮空気が収容される圧力室５が形成されている。
軸受ケース３には、上記の圧力室５に圧縮空気を送り込
むための空気供給孔６が形成されている。
【００２３】次に、上記の静圧気体軸受の製造方法の例
について説明する。
について説明する。
【００２４】先ず、厚さ５０μｍの上記銅合金製のシー
トにフォトリソグラフィ法を用いて貫通孔を加工し、表
面絞り層２を構成する多孔板を製作した。即ち、銅合金
製のシートの上にフォトレジストを塗布し、貫通孔の平
面パターンが形成されたフォトマスクを用いてフォトレ
ジストを露光し、現像、ベーキングを行って、フォトレ
ジスト膜にマスクパターンを転写した。このフォトレジ
スト膜を用いて、上記の銅合金製のシートのエッチング
を行い、所定のピッチで多数の貫通孔が形成された多孔
板を製作した。
トにフォトリソグラフィ法を用いて貫通孔を加工し、表
面絞り層２を構成する多孔板を製作した。即ち、銅合金
製のシートの上にフォトレジストを塗布し、貫通孔の平
面パターンが形成されたフォトマスクを用いてフォトレ
ジストを露光し、現像、ベーキングを行って、フォトレ
ジスト膜にマスクパターンを転写した。このフォトレジ
スト膜を用いて、上記の銅合金製のシートのエッチング
を行い、所定のピッチで多数の貫通孔が形成された多孔
板を製作した。
【００２５】次に、この多孔板（表面絞り層２）を、治
具の上に置き、その上に、目詰まりしない様に接合面に
機械加工が施された母材１を載せ、次いで、両者を加熱
炉内に収容して両者の拡散接合を行った。なお、加熱温
度を、母材１を構成する１０％Ｓｎ青銅の融点以下であ
る７８０℃とし、保持時間を４０ｍｉｎとした。
具の上に置き、その上に、目詰まりしない様に接合面に
機械加工が施された母材１を載せ、次いで、両者を加熱
炉内に収容して両者の拡散接合を行った。なお、加熱温
度を、母材１を構成する１０％Ｓｎ青銅の融点以下であ
る７８０℃とし、保持時間を４０ｍｉｎとした。
【００２６】次に、表面絞り層２の接合が終わった母材
１を直径３６ｍｍに加工し、更に、表面絞り層２の表面
を切削加工によって鏡面に仕上げ、表面絞り層２の厚さ
を４５μｍとした。最後に、これらを、軸受ケース３に
取り付けて、静圧気体軸受を完成させた。
１を直径３６ｍｍに加工し、更に、表面絞り層２の表面
を切削加工によって鏡面に仕上げ、表面絞り層２の厚さ
を４５μｍとした。最後に、これらを、軸受ケース３に
取り付けて、静圧気体軸受を完成させた。
【００２７】次に、上記方法によって製作された静圧気
体軸受の性能評価試験（空気透過量及び剛性の測定）を
実施した。図２に、使用した試験装置の概要を示す。
体軸受の性能評価試験（空気透過量及び剛性の測定）を
実施した。図２に、使用した試験装置の概要を示す。
【００２８】静圧気体軸受１０を、表面絞り層２を下向
きにして定盤２０の上に置き、母材１の裏面側の圧力室
５に圧縮空気を送り込んで、静圧気体軸受１０を定盤２
０から浮上させた。次いで、静圧気体軸受１０の裏面側
（図では、上面側）から、荷重Ｗを加え、圧縮空気の圧
力（給気圧Ｐｓ）と、流量（空気透過量Ｑ）、及び静圧
気体軸受１０と定盤２０の間の隙間（軸受隙間Ｈ）の関
係を、流量計及びマイクロメータ２５を用いて測定し
た。
きにして定盤２０の上に置き、母材１の裏面側の圧力室
５に圧縮空気を送り込んで、静圧気体軸受１０を定盤２
０から浮上させた。次いで、静圧気体軸受１０の裏面側
（図では、上面側）から、荷重Ｗを加え、圧縮空気の圧
力（給気圧Ｐｓ）と、流量（空気透過量Ｑ）、及び静圧
気体軸受１０と定盤２０の間の隙間（軸受隙間Ｈ）の関
係を、流量計及びマイクロメータ２５を用いて測定し
た。
【００２９】具体的な実験条件は、給気圧Ｐｓを一定に
保った状態で、荷重Ｗと、それに対応する空気透過量Ｑ
及び軸受隙間Ｈの関係を求め、それらのデータに基づ
き、静圧気体軸受１０の特性を、次の式で表される無次
元剛性Ｋの値で評価した。
保った状態で、荷重Ｗと、それに対応する空気透過量Ｑ
及び軸受隙間Ｈの関係を求め、それらのデータに基づ
き、静圧気体軸受１０の特性を、次の式で表される無次
元剛性Ｋの値で評価した。
【００３０】Ｋ＝（Ｓ・Ｈ）／（Ａ・Ｐｓ） 但し；Ｓ（剛性） ＝ｄＷ／ｄＨ Ａ（軸受面積）＝１０．２ｃｍ２ Ｐｓ（給気圧）＝０．５ＭＰａ 図３に、その結果を示す。軸受隙間Ｈが５．８μｍのと
き、無次元剛性Ｋは、最大値の０．６３を示した。その
時の空気透過量Ｑは、３．５Ｎリットル／ｍｉｎであ
り、非常に少ない消費量であると言える。なお、軸受隙
間Ｈが２〜１３μｍの範囲から外れる場合には、無次元
剛性Ｋの値が大きく低下してしまうので、使用に適さな
い。
き、無次元剛性Ｋは、最大値の０．６３を示した。その
時の空気透過量Ｑは、３．５Ｎリットル／ｍｉｎであ
り、非常に少ない消費量であると言える。なお、軸受隙
間Ｈが２〜１３μｍの範囲から外れる場合には、無次元
剛性Ｋの値が大きく低下してしまうので、使用に適さな
い。
【００３１】比較のため、従来の樹脂含浸方式によって
製作された静圧気体軸受についても同様の評価試験を行
ったところ、その無次元剛性Ｋの最大値は、約０．５５
であった。従って、本発明による静圧気体軸受の無次元
剛性値Ｋは、従来のものと比べて約１５％程度高いこと
になる。
製作された静圧気体軸受についても同様の評価試験を行
ったところ、その無次元剛性Ｋの最大値は、約０．５５
であった。従って、本発明による静圧気体軸受の無次元
剛性値Ｋは、従来のものと比べて約１５％程度高いこと
になる。
【００３２】
【発明の効果】本発明の静圧気体軸受によれば、母材の
表面に表面絞り層を均一な厚さで形成することができ
る。また、表面絞り層を構成する多孔板の厚さ、及び多
孔板に設けられる貫通孔の径及び分布密度を調整するこ
とによって、軸受面からの空気透過量を、正確に調整す
ることが可能であり、軸受面内での空気透過量の均一性
を確保することもできる。従って、本発明の静圧気体軸
受によれば、特性の均一性及び高剛性を比較的容易に実
現することが可能になる。
表面に表面絞り層を均一な厚さで形成することができ
る。また、表面絞り層を構成する多孔板の厚さ、及び多
孔板に設けられる貫通孔の径及び分布密度を調整するこ
とによって、軸受面からの空気透過量を、正確に調整す
ることが可能であり、軸受面内での空気透過量の均一性
を確保することもできる。従って、本発明の静圧気体軸
受によれば、特性の均一性及び高剛性を比較的容易に実
現することが可能になる。
【図１】本発明に基づく静圧気体軸受の概略構成図。
【図２】静圧気体軸受の特性評価試験に用いた装置の概
要を示す図。
要を示す図。
【図３】本発明に基づく静圧気体軸受の無次元剛性の測
定結果の一例を示す図。
定結果の一例を示す図。
１・・・母材、 ２・・・表面絞り層、 ３・・・軸受ケース ５・・・圧力室、 ６・・・空気供給孔、 １０・・・静圧気体軸受、 ２０・・・定盤、 ２５・・・マイクロメータ。
Claims (12)
- 【請求項１】 多孔質体からなる母材と、 母材の上に接合され、予め所望の空気透過量になるよう
に貫通孔の径及び分布を調整して作成された多孔板から
なる表面絞り層とを備え、 表面絞り層を介して気体を噴出させて、その静圧によっ
て被支持部材を支持する静圧気体軸受。 - 【請求項２】 前記多孔板は、直径０．１μｍ以上、１
００μｍ以下の多数の貫通孔を有し、これらの貫通孔の
断面積の合計値が、前記多孔板の表面積の０．１％以
上、１０％以下であることを特徴とする静圧気体軸受。 - 【請求項３】 前記多孔板は、その厚さが１０μｍ以
上、５００μｍ以下であることを特徴とする請求項１ま
たは２に記載の静圧気体軸受。 - 【請求項４】 前記多孔質体は、金属多孔質体であるこ
とを特徴とする請求項１、２または３に記載の静圧気体
軸受。 - 【請求項５】 前記多孔質体は、銅合金、ステンレス鋼
またはサーメットのいずれかからなる多孔質体であるこ
とを特徴とする請求項４に記載の静圧気体軸受。 - 【請求項６】 前記多孔板は、金属の多孔板であること
を特徴とする請求項１、２または３に記載の静圧気体軸
受。 - 【請求項７】 前記多孔板は、銅合金、ステンレス鋼ま
たはサーメットのいずれかからなる多孔板であることを
特徴とする請求項６に記載の静圧気体軸受。 - 【請求項８】 前記多孔質体は、金属多孔質体であり、 前記多孔板は、金属の多孔板であることを特徴とする請
求項１、２または３に記載の静圧気体軸受。 - 【請求項９】 前記多孔質体は、金属多孔質体であり、 前記多孔板は、銅合金、ステンレス鋼またはサーメット
のいずれかからなる多孔板であることを特徴とする請求
項８に記載の静圧気体軸受。 - 【請求項１０】 前記多孔板の貫通孔は、フォトリソグ
ラフィ法を用いて形成されていることを特徴とする請求
項１から請求項９のいずれかに記載の静圧気体軸受。 - 【請求項１１】 前記多孔板の貫通孔は、フォトリソグ
ラフィ法を用いて形成され、前記多孔質体と前記多孔板
は、拡散接合によって互い接合されていることを特徴と
する請求項８または請求項９に記載の静圧気体軸受。 - 【請求項１２】 前記多孔板は、前記母材の上にメッキ
層を設け、次いで、このメッキ層にフォトリソグラフィ
法を用いて貫通孔を開けることによって形成されている
ことを特徴とする請求項８または請求項９に記載の静圧
気体軸受。
Priority Applications (1)
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|---|---|---|---|
| JP22921699A JP2001056027A (ja) | 1999-08-13 | 1999-08-13 | 静圧気体軸受 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22921699A JP2001056027A (ja) | 1999-08-13 | 1999-08-13 | 静圧気体軸受 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001056027A true JP2001056027A (ja) | 2001-02-27 |
Family
ID=16888654
Family Applications (1)
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|---|---|---|---|
| JP22921699A Pending JP2001056027A (ja) | 1999-08-13 | 1999-08-13 | 静圧気体軸受 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2001056027A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2004079197A1 (ja) * | 2003-03-03 | 2004-09-16 | Tadahiro Ohmi | 真空ポンプ |
| CN1309516C (zh) * | 2002-08-28 | 2007-04-11 | 奥依列斯工业株式会社 | 用于多孔质流体静压空气轴承的轴承材料及使用其的轴承 |
| US7686600B2 (en) * | 2004-03-02 | 2010-03-30 | Foundation For Advancement Of International Science | Vaccum pump having shaft seal to prevent corrosion and to ensure smooth operation |
| WO2013038625A1 (ja) | 2011-09-16 | 2013-03-21 | オイレス工業株式会社 | 静圧気体軸受及びその製造方法 |
| CN113090659A (zh) * | 2021-03-04 | 2021-07-09 | 湖南大学 | 一种仿生主动静压气体轴承 |
-
1999
- 1999-08-13 JP JP22921699A patent/JP2001056027A/ja active Pending
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| CN113090659A (zh) * | 2021-03-04 | 2021-07-09 | 湖南大学 | 一种仿生主动静压气体轴承 |
| CN113090659B (zh) * | 2021-03-04 | 2022-03-29 | 湖南大学 | 一种仿生主动静压气体轴承 |
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