JP4378285B2 - 製造可能な光接続アセンブリおよび方法 - Google Patents
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Description
12 はんだ
13 段差の垂直縁
15−i VCSELアレイ
17 基準マーク
20 光転送ユニット
22 はんだ
23 縁
24 スタッド
25−i レンズ・アレイ
30 コネクタ
34 レセプタクル
35 光転送部材
36 スタッド
110 ボード
120 導波路
120−i 導波路
210 セラミック・チップ・キャリヤ
220 電子チップ
221 コンタクト
230 光チップ
232 ワイヤ・ボンド・リード線
Claims (14)
- VCSELダイの2次元エリア・アレイをボードに接続するための光アセンブリ構造であって、
前記VCSELエリア・アレイ(15−i)を含むVCSELダイ(10)であって、前記エリア・アレイが、前記VCSELダイの上面の金属被覆された接合シーム(12)によって取り囲まれている、VCSELダイと、
精密光転送ユニット(20)であって、前記光転送ユニット(20)が、前記VCSELダイ(10)上の前記金属被覆された接合シーム(12)に対応する底面の接合シーム(22)を含み、対応する前記シーム(22)が縁(23)の底面に配置されており、その結果、ダイ(10)の前記上面にエッチングされた段差の垂直縁(13)と嵌り合うように適合された縁(23)によって、前記ダイ(10)と前記光転送ユニット(20)との間の位置合わせがされる、精密光転送ユニットと、
前記光転送ユニット(20)の、上面の第1のスタッド・アレイ(24)であって、前記光転送ユニット(20)がさらに、前記VCSEL(15−i)のエリア・アレイから発射された放射光を転送する光転送手段(25−i)を含み、前記光転送手段(25−i)の画定および配置の許容限界が10μm、前記光転送手段(25−i)と前記VCSELダイ(10)の間の垂直距離の許容限界が50μmである、第1のスタッド・アレイと、
プラグ接続可能な光コネクタ(30)であって、
そのキャビティ中に挿入された光伝送ユニット(35)と、前記光転送ユニット(20)の前記上面の前記第1のスタッド・アレイ(24)と嵌合するその底面のインタロック・レセプタクル(34)のアレイと、前記ボードと嵌合するための前記プラグ接続可能なコネクタ(30)の上面の第2のスタッド・アレイ(36)とを有するプラグ接続可能な光コネクタ(30)と、を含み、
前記VCSELダイ(10)と前記光転送ユニット(20)が一体に接合されている、光アセンブリ構造。 - 前記光転送手段(25−i)がレンズである、請求項1に記載のアセンブリ構造。
- 前記VCSELダイの第1の寸法が前記転送ユニット(20)の対応する第2の寸法と適合することができるように、前記VCSELダイ(10)と前記光転送ユニット(20)が一体に接合されている、請求項1に記載のアセンブリ構造。
- 前記VCSELダイ(10)と前記光転送ユニット(20)とを含む光モジュールが前記光コネクタ(30)にプラグ接続している、請求項1に記載のアセンブリ構造。
- 前記光伝送ユニット(35)が、前記ボード上の一組の光伝送部材に接続されるように適合される受動的光ルータを含む、請求項4に記載のアセンブリ構造。
- 前記光伝送部材が前記ボード内に形成された導波路(120−1;120−2)を含む、請求項5に記載のアセンブリ構造。
- VCSELのアレイを含むVCSELダイをボードに接続するための光アセンブリ構造を製造する方法であって、
前記VCSELエリア・アレイ(15−i)を含むVCSELダイ(10)を準備するステップであって、前記エリア・アレイを、前記VCSELダイの上面の金属被覆された接合シーム(12)によって取り囲むステップと、
精密光転送ユニット(20)を準備するステップであって、前記光転送ユニット(20)が、前記VCSELダイ(10)上の金属被覆された前記接合シーム(12)に対応する底面の接合シーム(22)を含み、それによって対応する前記シーム(22)が縁(23)の底面に配置されており、その結果、ダイ(10)の上面にエッチングされた段差の垂直縁(13)と嵌り合う縁(23)によって、前記ダイ(10)と前記光転送ユニット(20)との間の位置合わせがされ、前記光転送ユニット(20)がさらに、前記VCSELアレイ(15−i)と整列して配置された前記光転送ユニット(20)の上面の第1のスタッド・アレイ(24)を含み、前記光転送ユニット(20)がさらに、前記VCSEL(15−i)のエリア・アレイから発射された放射光を転送する光転送手段(25−i)を含み、前記光転送手段(25−i)の画定および配置の許容限界が10μm、前記光転送手段(25−i)と前記VCSELダイ(10)の間の垂直距離の許容限界が50μmであるステップと、
前記VCSELダイ(10)と前記光転送ユニット(20)とを一体に接合して光モジュールを形成するステップと、
そのキャビティ中に挿入された光伝送ユニット(35)と、前記光転送ユニット(20)の前記上面の前記スタッド(24)のアレイと嵌合する底面のインタロック・レセプタクル(34)のアレイと、前記ボードと嵌合するための上面の第2のスタッド・アレイ(36)とを有するプラグ接続可能な光コネクタ(30)に前記光モジュールをプラグ接続するステップ
を含む方法。 - 前記許容限界がリソグラフィによって画定される、請求項7に記載の方法。
- 前記接合ステップの前に前記VCSELアレイ(15−i)をテストするステップをさらに含む、請求項7または8に記載の方法。
- 前記接合ステップの後に前記光モジュールをテストするステップをさらに含む、請求項7ないし9のいずれかに記載の方法。
- 前記光モジュールをプラグ接続する前に前記光伝送ユニット(35)をテストするステップをさらに含む、請求項9に記載の方法。
- 前記接合ステップが、前記接合シーム(12)上に付着させた金属のリフローを含む、請求項7ないし11のいずれかに記載の方法。
- 前記VCSELアレイ(15−i)と前記光転送ユニット(20)が、前記VCSELダイ(10)の第1の寸法が前記転送ユニット(20)の第2の寸法と適合するような接合温度で一体に接合される、請求項7ないし12のいずれか一項に記載の方法。
- 前記接合温度が摂氏230度未満である、請求項13に記載の方法。
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