JP4375741B2 - 光半導体装置及びその製造方法 - Google Patents
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Description
2 ダミーPD部(光吸収領域)
3 PD部
4 P型シリコン基板
9 N型エピタキシャル層
17 絶縁膜
18 高反射率膜(ダミーPD下部)
19 P型ポリシリコン領域
20 N型ポリシリコン領域
21 高反射率膜(ダミーPD上部)
22 ダミーPDカソード電極
23 ダミーPDアノード電極
29 層間膜
30 金属遮光膜
31 迷光
32 信号光
Claims (8)
- 同一基板上に光信号入力用のフォトダイオードと信号処理回路用のトランジスタとを有する光半導体装置において、
前記基板上に形成された絶縁膜上に、下部の第1のシリコン窒化膜と、第1導電型のポリシリコン領域及び第2導電型のポリシリコン領域を有するポリシリコン膜と、上部の第2のシリコン窒化膜とからなるノイズ成分となり得る光を吸収する光吸収領域を形成した、ことを特徴とする光半導体装置。 - 前記第1導電型のポリシリコン領域と前記第2導電型のポリシリコン領域とでPN接合を形成し、前記PN接合に逆バイアスを印加して、ノイズ成分となり得る光が前記PN接合に入射し光電変換されたときに生じる光電流を強制的に吸収する、ことを特徴とする請求項1に記載の光半導体装置。
- 前記ポリシリコン膜中のPN接合は、基板に対して水平方向にP型領域とN型領域を交互に配置した櫛型構造に形成されている、ことを特徴とする請求項2に記載の光半導体装置。
- 前記光吸収領域の端部が導電膜で覆われている、ことを特徴とする請求項2に記載の光半導体装置。
- 前記光吸収領域は、金属配線層を用いて遮光領域を形成できない領域に設けられる、ことを特徴とした請求項1〜4のいずれかに記載の光半導体装置。
- 前記光吸収領域は、光信号入力用のフォトダイオードに隣接してダミーフォトダイオードとして形成される、ことを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載の光半導体装置。
- 同一基板上に光信号入力用のフォトダイオードと信号処理回路用のトランジスタとを有する光半導体装置の製造方法であって、
前記フォトダイオードと前記トランジスタとが形成された半導体基板上に絶縁膜を介して第1のシリコン窒化膜と第1導電型のドープドポリシリコン膜とを形成する工程と、
前記第1導電型のドープドポリシリコン膜に選択的に不純物をイオン注入して第2導電型のポリシリコン領域を前記第1導電型のドープドポリシリコン膜の底部まで形成する工程と、
少なくとも前記第1導電型のドープドポリシリコン膜が残存する領域の表面に選択的に不純物をイオン注入して第1導電型のポリシリコン領域を形成する工程と、
前記ドープドポリシリコン膜上に第2のシリコン窒化膜を形成した後、前記不純物がイオン注入された前記ドープドポリシリコン膜を熱処理する工程と、
前記第2のシリコン窒化膜と前記ドープドポリシリコン膜と前記第1のシリコン窒化膜とをパターニングしてダミーフォトダイオードになる光吸収領域を形成する工程と、
前記第2のシリコン窒化膜にコンタクトホールを形成した後、導電膜をパターニングして電極を形成する工程とを含む光半導体装置の製造方法。 - 前記第1導電型のポリシリコン領域を形成する工程では、前記第1導電型のドープドポリシリコン膜が残存する領域の表面だけに不純物をイオン注入することにより、前記ドープドポリシリコン膜中のPN接合は、前記半導体基板に対して水平方向にP型領域とN型領域を交互に配置した櫛型構造に形成される、ことを特徴とする請求項7に記載の光半導体装置の製造方法。
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JP2005002141A JP4375741B2 (ja) | 2005-01-07 | 2005-01-07 | 光半導体装置及びその製造方法 |
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