JP4373803B2 - X線発生装置及びその調整方法 - Google Patents
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Description
2d・sinθ=nλ
(ただし、 θ:光学素子に対する入射X線の入射角度θ
d:光学素子の結晶の格子面の間隔
λ:X線の波長
n:正の整数 )
を満たす入射角度θが得られるように互いに関連付けて制御することにより、陰極からの熱電子が衝突する対陰極部を切り換えた場合の、各対陰極部から放射される入射X線に対する回折X線の出射方向を同じ方向に揃えることを特徴とする。
図1は実施形態のX線発生装置1の概略構成図である。このX線発生装置1は、熱電子の衝突によってX線を放射する対陰極部2(2A、2B)が複数並設された対陰極ユニット3と、対陰極ユニット3上の一の対陰極部2に向けて熱電子を放出するための陰極4と、この陰極4を対陰極ユニット3上の対陰極部2の並ぶ方向に移動させて陰極4からの熱電子が衝突する対陰極部2を切り換える陰極移動機構5(矢印で代用)と、対陰極部2から放射されるX線の取出経路に配置され、入射X線を回折X線として出射する光学素子6と、を備えている。
2d・sinθ=nλ
(ただし、 θ:光学素子に対する入射X線の入射角度θ
d:光学素子の結晶の格子面の間隔
λ:X線の波長
n:正の整数 )
dF=F2−F1
となる。
Mo−Kα線に対する2n次の回折角をθ(Mo)、
モリブデンを基準としたX線ビームの取り出し角をα、
モリブデンを基準とした焦点中心Bと光学素子6の表面中心(軸10)との距離をD、
とすると、
F1=D・cosα
F2=D・sinα/tan(α±2〔θ(Cu)−θ(Mo)〕
となる。ただし、±の符号は、光学素子6の向きに依存する。
図3における向きの場合はマイナスに対応する。
2 対陰極部
2A 対陰極部(Cu)
2B 対陰極部(Mo)
3 対陰極部ユニット
3A ユニット本体
3B 回転軸
4 陰極
5 陰極移動機構
6 光学素子
7 調整機構
10 軸
R1,R2 入射X線
R11,R12 回折X線
Claims (4)
- 熱電子の衝突によってX線を放射する対陰極部が複数並設された対陰極ユニットと、前記対陰極ユニット上の一の対陰極部に向けて熱電子を放出するための陰極と、この陰極を対陰極ユニット上の対陰極部の並ぶ方向に移動させて陰極からの熱電子が衝突する対陰極部を切り換える陰極移動機構と、を備えたX線発生装置において、
前記対陰極部から放射されるX線の取出経路に、入射X線を回折X線として出射する光学素子を配置すると共に、前記光学素子の角度を調整することにより、前記陰極を移動させて陰極からの熱電子が衝突する対陰極部を切り換えた場合の、各対陰極部から放射される入射X線に対する回折X線の出射方向を同じ方向に揃える調整機構を設けたことを特徴とするX線発生装置。 - 請求項1に記載のX線発生装置であって、
前記対陰極ユニットが、ドラム状をなすユニット本体と、該ユニット本体の周面上に帯状に周設された複数の対陰極部とを有した回転対陰極型のものであり、
前記調整機構が、前記光学素子を、そのほぼ中央の表面を通り、且つ、前記回転対陰極型の対陰極ユニットの回転軸を含む回折平面に垂直な軸を中心に微小回転させて角度調整するものであることを特徴とするX線発生装置。 - 請求項1または2に記載のX線発生装置の調整方法であって、
前記調整機構により調整する前記光学素子の角度と、前記陰極移動機構により移動する陰極の位置とを、ブラッグの条件式
2d・sinθ=nλ
(ただし、 θ:光学素子に対する入射X線の入射角度θ
d:光学素子の結晶の格子面の間隔
λ:X線の波長
n:正の整数 )
を満たす入射角度θが得られるように互いに関連付けて制御することにより、陰極からの熱電子が衝突する対陰極部を切り換えた場合の、各対陰極部から放射される入射X線に対する回折X線の出射方向を同じ方向に揃えることを特徴とするX線発生装置の調整方法。 - 請求項3に記載のX線発生装置の調整方法であって、
前記対陰極部としてCu(銅)とMo(モリブデン)とを設け、前記光学素子に入射するCu−Kα線に対するn次の回折X線の出射方向と、Mo−Kα線に対する2n次の回折X線の出射方向とを一致させることを特徴とするX線発生装置の調整方法。
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