JP4372561B2 - レジスト用共重合体およびその製造方法、レジスト組成物ならびにパターン製造方法 - Google Patents
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- 229920001577 copolymer Polymers 0.000 title claims description 111
- 239000000203 mixture Substances 0.000 title claims description 50
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 29
- 239000000178 monomer Substances 0.000 claims description 213
- 238000006116 polymerization reaction Methods 0.000 claims description 61
- 239000002904 solvent Substances 0.000 claims description 38
- 125000002723 alicyclic group Chemical group 0.000 claims description 29
- 125000004435 hydrogen atom Chemical group [H]* 0.000 claims description 21
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 19
- 239000003505 polymerization initiator Substances 0.000 claims description 14
- 125000002496 methyl group Chemical group [H]C([H])([H])* 0.000 claims description 12
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N acrylic acid group Chemical group C(C=C)(=O)O NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 11
- 239000003960 organic solvent Substances 0.000 claims description 9
- 125000000217 alkyl group Chemical group 0.000 claims description 6
- 125000004432 carbon atom Chemical group C* 0.000 claims description 6
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 claims description 4
- 125000002887 hydroxy group Chemical group [H]O* 0.000 claims description 4
- 125000000686 lactone group Chemical group 0.000 claims 1
- 125000001570 methylene group Chemical group [H]C([H])([*:1])[*:2] 0.000 claims 1
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 65
- -1 polycyclic lactone Chemical class 0.000 description 36
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-M Acrylate Chemical compound [O-]C(=O)C=C NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 33
- 150000002596 lactones Chemical group 0.000 description 26
- YEJRWHAVMIAJKC-UHFFFAOYSA-N 4-Butyrolactone Chemical group O=C1CCCO1 YEJRWHAVMIAJKC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 25
- OZAIFHULBGXAKX-UHFFFAOYSA-N 2-(2-cyanopropan-2-yldiazenyl)-2-methylpropanenitrile Chemical compound N#CC(C)(C)N=NC(C)(C)C#N OZAIFHULBGXAKX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 22
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 22
- 238000001312 dry etching Methods 0.000 description 22
- LLHKCFNBLRBOGN-UHFFFAOYSA-N propylene glycol methyl ether acetate Chemical compound COCC(C)OC(C)=O LLHKCFNBLRBOGN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 22
- WYURNTSHIVDZCO-UHFFFAOYSA-N Tetrahydrofuran Chemical compound C1CCOC1 WYURNTSHIVDZCO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 20
- 238000000034 method Methods 0.000 description 20
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 16
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 15
- 238000001459 lithography Methods 0.000 description 15
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 15
- OKKJLVBELUTLKV-UHFFFAOYSA-N Methanol Chemical compound OC OKKJLVBELUTLKV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 12
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 12
- 238000003756 stirring Methods 0.000 description 12
- 241000630665 Hada Species 0.000 description 11
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 11
- 239000012299 nitrogen atmosphere Substances 0.000 description 11
- 230000000704 physical effect Effects 0.000 description 11
- 239000002253 acid Substances 0.000 description 10
- 239000012986 chain transfer agent Substances 0.000 description 10
- YLQBMQCUIZJEEH-UHFFFAOYSA-N tetrahydrofuran Natural products C=1C=COC=1 YLQBMQCUIZJEEH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 10
- 238000007334 copolymerization reaction Methods 0.000 description 9
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 9
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 9
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 9
- 230000003746 surface roughness Effects 0.000 description 9
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 8
- LZCLXQDLBQLTDK-UHFFFAOYSA-N ethyl 2-hydroxypropanoate Chemical compound CCOC(=O)C(C)O LZCLXQDLBQLTDK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- KZCOBXFFBQJQHH-UHFFFAOYSA-N octane-1-thiol Chemical compound CCCCCCCCS KZCOBXFFBQJQHH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 230000001629 suppression Effects 0.000 description 8
- CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N Acetone Chemical compound CC(C)=O CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 7
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 7
- 150000003254 radicals Chemical group 0.000 description 7
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 7
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 7
- KFZMGEQAYNKOFK-UHFFFAOYSA-N Isopropanol Chemical compound CC(C)O KFZMGEQAYNKOFK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 6
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 6
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 6
- DGVVWUTYPXICAM-UHFFFAOYSA-N β‐Mercaptoethanol Chemical compound OCCS DGVVWUTYPXICAM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- CERQOIWHTDAKMF-UHFFFAOYSA-N Methacrylic acid Chemical compound CC(=C)C(O)=O CERQOIWHTDAKMF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 5
- 239000002244 precipitate Substances 0.000 description 5
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 5
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 5
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 4
- 238000011161 development Methods 0.000 description 4
- 229940116333 ethyl lactate Drugs 0.000 description 4
- LYCAIKOWRPUZTN-UHFFFAOYSA-N ethylene glycol Natural products OCCO LYCAIKOWRPUZTN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- ZQMHJBXHRFJKOT-UHFFFAOYSA-N methyl 2-[(1-methoxy-2-methyl-1-oxopropan-2-yl)diazenyl]-2-methylpropanoate Chemical compound COC(=O)C(C)(C)N=NC(C)(C)C(=O)OC ZQMHJBXHRFJKOT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 125000006239 protecting group Chemical group 0.000 description 4
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 4
- 125000000391 vinyl group Chemical group [H]C([*])=C([H])[H] 0.000 description 4
- 229920002554 vinyl polymer Polymers 0.000 description 4
- RYHBNJHYFVUHQT-UHFFFAOYSA-N 1,4-Dioxane Chemical compound C1COCCO1 RYHBNJHYFVUHQT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- ZWEHNKRNPOVVGH-UHFFFAOYSA-N 2-Butanone Chemical compound CCC(C)=O ZWEHNKRNPOVVGH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- XEKOWRVHYACXOJ-UHFFFAOYSA-N Ethyl acetate Chemical compound CCOC(C)=O XEKOWRVHYACXOJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- LRHPLDYGYMQRHN-UHFFFAOYSA-N N-Butanol Chemical compound CCCCO LRHPLDYGYMQRHN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- DKGAVHZHDRPRBM-UHFFFAOYSA-N Tert-Butanol Chemical compound CC(C)(C)O DKGAVHZHDRPRBM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- ORILYTVJVMAKLC-UHFFFAOYSA-N adamantane Chemical group C1C(C2)CC3CC1CC2C3 ORILYTVJVMAKLC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000000654 additive Substances 0.000 description 3
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 3
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 3
- 125000004122 cyclic group Chemical group 0.000 description 3
- 238000004090 dissolution Methods 0.000 description 3
- 238000000609 electron-beam lithography Methods 0.000 description 3
- 150000002148 esters Chemical class 0.000 description 3
- 125000001495 ethyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([H])* 0.000 description 3
- 238000005227 gel permeation chromatography Methods 0.000 description 3
- 230000001771 impaired effect Effects 0.000 description 3
- 239000003999 initiator Substances 0.000 description 3
- 125000001449 isopropyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])(*)C([H])([H])[H] 0.000 description 3
- 125000005395 methacrylic acid group Chemical group 0.000 description 3
- 239000003607 modifier Substances 0.000 description 3
- 230000008569 process Effects 0.000 description 3
- 125000001436 propyl group Chemical group [H]C([*])([H])C([H])([H])C([H])([H])[H] 0.000 description 3
- 230000009257 reactivity Effects 0.000 description 3
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 3
- 229930195734 saturated hydrocarbon Natural products 0.000 description 3
- KBPLFHHGFOOTCA-UHFFFAOYSA-N 1-Octanol Chemical compound CCCCCCCCO KBPLFHHGFOOTCA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- QQZOPKMRPOGIEB-UHFFFAOYSA-N 2-Oxohexane Chemical compound CCCCC(C)=O QQZOPKMRPOGIEB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- BDFAOUQQXJIZDG-UHFFFAOYSA-N 2-methylpropane-1-thiol Chemical compound CC(C)CS BDFAOUQQXJIZDG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XJLDYKIEURAVBW-UHFFFAOYSA-N 3-decanone Chemical compound CCCCCCCC(=O)CC XJLDYKIEURAVBW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000004925 Acrylic resin Substances 0.000 description 2
- 229920000178 Acrylic resin Polymers 0.000 description 2
- IAZDPXIOMUYVGZ-UHFFFAOYSA-N Dimethylsulphoxide Chemical compound CS(C)=O IAZDPXIOMUYVGZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- NTIZESTWPVYFNL-UHFFFAOYSA-N Methyl isobutyl ketone Chemical compound CC(C)CC(C)=O NTIZESTWPVYFNL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- UIHCLUNTQKBZGK-UHFFFAOYSA-N Methyl isobutyl ketone Natural products CCC(C)C(C)=O UIHCLUNTQKBZGK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- PPBRXRYQALVLMV-UHFFFAOYSA-N Styrene Chemical compound C=CC1=CC=CC=C1 PPBRXRYQALVLMV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- HEDRZPFGACZZDS-MICDWDOJSA-N Trichloro(2H)methane Chemical compound [2H]C(Cl)(Cl)Cl HEDRZPFGACZZDS-MICDWDOJSA-N 0.000 description 2
- MTHSVFCYNBDYFN-UHFFFAOYSA-N anhydrous diethylene glycol Natural products OCCOCCO MTHSVFCYNBDYFN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 125000003118 aryl group Chemical group 0.000 description 2
- 230000003197 catalytic effect Effects 0.000 description 2
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 2
- JHIVVAPYMSGYDF-UHFFFAOYSA-N cyclohexanone Chemical compound O=C1CCCCC1 JHIVVAPYMSGYDF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- BGTOWKSIORTVQH-UHFFFAOYSA-N cyclopentanone Chemical compound O=C1CCCC1 BGTOWKSIORTVQH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- SNRUBQQJIBEYMU-UHFFFAOYSA-N dodecane Chemical compound CCCCCCCCCCCC SNRUBQQJIBEYMU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 2
- XLLIQLLCWZCATF-UHFFFAOYSA-N ethylene glycol monomethyl ether acetate Natural products COCCOC(C)=O XLLIQLLCWZCATF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- FWYUJGXEYOXHRJ-UHFFFAOYSA-N fluoromethyl prop-2-enoate Chemical compound FCOC(=O)C=C FWYUJGXEYOXHRJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000010528 free radical solution polymerization reaction Methods 0.000 description 2
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 2
- 230000009477 glass transition Effects 0.000 description 2
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 2
- 239000012528 membrane Substances 0.000 description 2
- DNIAPMSPPWPWGF-UHFFFAOYSA-N monopropylene glycol Natural products CC(O)CO DNIAPMSPPWPWGF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- WSGCRAOTEDLMFQ-UHFFFAOYSA-N nonan-5-one Chemical compound CCCCC(=O)CCCC WSGCRAOTEDLMFQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 2
- XNLICIUVMPYHGG-UHFFFAOYSA-N pentan-2-one Chemical compound CCCC(C)=O XNLICIUVMPYHGG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 2
- BDERNNFJNOPAEC-UHFFFAOYSA-N propan-1-ol Chemical compound CCCO BDERNNFJNOPAEC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000011342 resin composition Substances 0.000 description 2
- 125000001424 substituent group Chemical group 0.000 description 2
- WGTYBPLFGIVFAS-UHFFFAOYSA-M tetramethylammonium hydroxide Chemical compound [OH-].C[N+](C)(C)C WGTYBPLFGIVFAS-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 2
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 description 2
- FAYMLNNRGCYLSR-UHFFFAOYSA-M triphenylsulfonium triflate Chemical compound [O-]S(=O)(=O)C(F)(F)F.C1=CC=CC=C1[S+](C=1C=CC=CC=1)C1=CC=CC=C1 FAYMLNNRGCYLSR-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 2
- DTGKSKDOIYIVQL-WEDXCCLWSA-N (+)-borneol Chemical group C1C[C@@]2(C)[C@@H](O)C[C@@H]1C2(C)C DTGKSKDOIYIVQL-WEDXCCLWSA-N 0.000 description 1
- ABUIKOPEGIZINI-UHFFFAOYSA-N (1-ethylcyclohexyl) 2-methylprop-2-enoate Chemical compound CC(=C)C(=O)OC1(CC)CCCCC1 ABUIKOPEGIZINI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DCTVCFJTKSQXED-UHFFFAOYSA-N (2-ethyl-2-adamantyl) 2-methylprop-2-enoate Chemical compound C1C(C2)CC3CC1C(CC)(OC(=O)C(C)=C)C2C3 DCTVCFJTKSQXED-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YRPLSAWATHBYFB-UHFFFAOYSA-N (2-methyl-2-adamantyl) prop-2-enoate Chemical compound C1C(C2)CC3CC1C(C)(OC(=O)C=C)C2C3 YRPLSAWATHBYFB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DKDKCSYKDZNMMA-UHFFFAOYSA-N (3-hydroxy-1-adamantyl) prop-2-enoate Chemical compound C1C(C2)CC3CC1(O)CC2(OC(=O)C=C)C3 DKDKCSYKDZNMMA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- AAXOTDCQXGEXPY-UHFFFAOYSA-N (5-cyano-3-bicyclo[2.2.1]heptanyl) 2-methylprop-2-enoate Chemical compound C1C(C#N)C2C(OC(=O)C(=C)C)CC1C2 AAXOTDCQXGEXPY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RTVJUWZZYBUYRK-UHFFFAOYSA-N (5-oxo-4-oxatricyclo[4.2.1.03,7]nonan-1-yl) prop-2-enoate Chemical compound C(C=C)(=O)OC12CC3OC(C(C3C1)C2)=O RTVJUWZZYBUYRK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WAGNUIYTQCAEAE-UHFFFAOYSA-N (5-oxo-4-oxatricyclo[5.2.1.02,6]decan-8-yl) prop-2-enoate Chemical compound C1OC(=O)C2C1C1CC(OC(=O)C=C)C2C1 WAGNUIYTQCAEAE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UJNVTDGCOKFBKM-UHFFFAOYSA-N 1,1-bis(tert-butylperoxy)hexane Chemical compound CCCCCC(OOC(C)(C)C)OOC(C)(C)C UJNVTDGCOKFBKM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RRQYJINTUHWNHW-UHFFFAOYSA-N 1-ethoxy-2-(2-ethoxyethoxy)ethane Chemical compound CCOCCOCCOCC RRQYJINTUHWNHW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JOLQKTGDSGKSKJ-UHFFFAOYSA-N 1-ethoxypropan-2-ol Chemical compound CCOCC(C)O JOLQKTGDSGKSKJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LQFXVGHSQQOUQA-UHFFFAOYSA-N 1-ethoxypropan-2-ol;propane-1,2-diol Chemical compound CC(O)CO.CCOCC(C)O LQFXVGHSQQOUQA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ARXJGSRGQADJSQ-UHFFFAOYSA-N 1-methoxypropan-2-ol Chemical compound COCC(C)O ARXJGSRGQADJSQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000005160 1H NMR spectroscopy Methods 0.000 description 1
- 125000004206 2,2,2-trifluoroethyl group Chemical group [H]C([H])(*)C(F)(F)F 0.000 description 1
- ZMRCFZFFKWFWSK-UHFFFAOYSA-N 2,6-ditert-butyl-4-ethenylphenol Chemical compound CC(C)(C)C1=CC(C=C)=CC(C(C)(C)C)=C1O ZMRCFZFFKWFWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SMZOUWXMTYCWNB-UHFFFAOYSA-N 2-(2-methoxy-5-methylphenyl)ethanamine Chemical compound COC1=CC=C(C)C=C1CCN SMZOUWXMTYCWNB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SBASXUCJHJRPEV-UHFFFAOYSA-N 2-(2-methoxyethoxy)ethanol Chemical compound COCCOCCO SBASXUCJHJRPEV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JAHNSTQSQJOJLO-UHFFFAOYSA-N 2-(3-fluorophenyl)-1h-imidazole Chemical compound FC1=CC=CC(C=2NC=CN=2)=C1 JAHNSTQSQJOJLO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OEPOKWHJYJXUGD-UHFFFAOYSA-N 2-(3-phenylmethoxyphenyl)-1,3-thiazole-4-carbaldehyde Chemical compound O=CC1=CSC(C=2C=C(OCC=3C=CC=CC=3)C=CC=2)=N1 OEPOKWHJYJXUGD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XNWFRZJHXBZDAG-UHFFFAOYSA-N 2-METHOXYETHANOL Chemical compound COCCO XNWFRZJHXBZDAG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZNQVEEAIQZEUHB-UHFFFAOYSA-N 2-ethoxyethanol Chemical compound CCOCCO ZNQVEEAIQZEUHB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NPSJHQMIVNJLNN-UHFFFAOYSA-N 2-ethylhexyl 4-nitrobenzoate Chemical compound CCCCC(CC)COC(=O)C1=CC=C([N+]([O-])=O)C=C1 NPSJHQMIVNJLNN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004808 2-ethylhexylester Substances 0.000 description 1
- 125000000954 2-hydroxyethyl group Chemical group [H]C([*])([H])C([H])([H])O[H] 0.000 description 1
- OFNISBHGPNMTMS-UHFFFAOYSA-N 3-methylideneoxolane-2,5-dione Chemical compound C=C1CC(=O)OC1=O OFNISBHGPNMTMS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WTQZSMDDRMKJRI-UHFFFAOYSA-N 4-diazoniophenolate Chemical class [O-]C1=CC=C([N+]#N)C=C1 WTQZSMDDRMKJRI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HUBRTTPKTLCKLZ-UHFFFAOYSA-N 4-ethenyl-2,6-dimethylphenol Chemical compound CC1=CC(C=C)=CC(C)=C1O HUBRTTPKTLCKLZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FUGYGGDSWSUORM-UHFFFAOYSA-N 4-hydroxystyrene Chemical compound OC1=CC=C(C=C)C=C1 FUGYGGDSWSUORM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- IZSHZLKNFQAAKX-UHFFFAOYSA-N 5-cyclopenta-2,4-dien-1-ylcyclopenta-1,3-diene Chemical group C1=CC=CC1C1C=CC=C1 IZSHZLKNFQAAKX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OZJPLYNZGCXSJM-UHFFFAOYSA-N 5-valerolactone Chemical group O=C1CCCCO1 OZJPLYNZGCXSJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QTBSBXVTEAMEQO-UHFFFAOYSA-M Acetate Chemical compound CC([O-])=O QTBSBXVTEAMEQO-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- HRPVXLWXLXDGHG-UHFFFAOYSA-N Acrylamide Chemical compound NC(=O)C=C HRPVXLWXLXDGHG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NLHHRLWOUZZQLW-UHFFFAOYSA-N Acrylonitrile Chemical compound C=CC#N NLHHRLWOUZZQLW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FFBAOWPGDUCRHT-UHFFFAOYSA-N C(C1=CC=CC=C1)S(=O)(=O)[O-].OC1=C(C=CC=C1)[SH+]CCC1=CC=CC=C1 Chemical compound C(C1=CC=CC=C1)S(=O)(=O)[O-].OC1=C(C=CC=C1)[SH+]CCC1=CC=CC=C1 FFBAOWPGDUCRHT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YXHKONLOYHBTNS-UHFFFAOYSA-N Diazomethane Chemical class C=[N+]=[N-] YXHKONLOYHBTNS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RWSOTUBLDIXVET-UHFFFAOYSA-N Dihydrogen sulfide Chemical class S RWSOTUBLDIXVET-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZAFNJMIOTHYJRJ-UHFFFAOYSA-N Diisopropyl ether Chemical compound CC(C)OC(C)C ZAFNJMIOTHYJRJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VGGSQFUCUMXWEO-UHFFFAOYSA-N Ethene Chemical compound C=C VGGSQFUCUMXWEO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000005977 Ethylene Substances 0.000 description 1
- KMTRUDSVKNLOMY-UHFFFAOYSA-N Ethylene carbonate Chemical compound O=C1OCCO1 KMTRUDSVKNLOMY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PXGOKWXKJXAPGV-UHFFFAOYSA-N Fluorine Chemical compound FF PXGOKWXKJXAPGV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CERQOIWHTDAKMF-UHFFFAOYSA-M Methacrylate Chemical compound CC(=C)C([O-])=O CERQOIWHTDAKMF-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- WHNWPMSKXPGLAX-UHFFFAOYSA-N N-Vinyl-2-pyrrolidone Chemical compound C=CN1CCCC1=O WHNWPMSKXPGLAX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000005481 NMR spectroscopy Methods 0.000 description 1
- 239000004793 Polystyrene Substances 0.000 description 1
- OFOBLEOULBTSOW-UHFFFAOYSA-N Propanedioic acid Natural products OC(=O)CC(O)=O OFOBLEOULBTSOW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JUJWROOIHBZHMG-UHFFFAOYSA-N Pyridine Chemical class C1=CC=NC=C1 JUJWROOIHBZHMG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 description 1
- 241000051616 Ulmus minor Species 0.000 description 1
- BZHJMEDXRYGGRV-UHFFFAOYSA-N Vinyl chloride Chemical compound ClC=C BZHJMEDXRYGGRV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000001242 acetic acid derivatives Chemical class 0.000 description 1
- 125000005396 acrylic acid ester group Chemical group 0.000 description 1
- BAPJBEWLBFYGME-UHFFFAOYSA-N acrylic acid methyl ester Natural products COC(=O)C=C BAPJBEWLBFYGME-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000005073 adamantyl group Chemical group C12(CC3CC(CC(C1)C3)C2)* 0.000 description 1
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 1
- 150000001298 alcohols Chemical class 0.000 description 1
- XYLMUPLGERFSHI-UHFFFAOYSA-N alpha-Methylstyrene Chemical compound CC(=C)C1=CC=CC=C1 XYLMUPLGERFSHI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000002518 antifoaming agent Substances 0.000 description 1
- 239000007864 aqueous solution Substances 0.000 description 1
- LOCHFZBWPCLPAN-UHFFFAOYSA-N butane-2-thiol Chemical compound CCC(C)S LOCHFZBWPCLPAN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WQAQPCDUOCURKW-UHFFFAOYSA-N butanethiol Chemical compound CCCCS WQAQPCDUOCURKW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JHRWWRDRBPCWTF-OLQVQODUSA-N captafol Chemical class C1C=CC[C@H]2C(=O)N(SC(Cl)(Cl)C(Cl)Cl)C(=O)[C@H]21 JHRWWRDRBPCWTF-OLQVQODUSA-N 0.000 description 1
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 1
- 125000003178 carboxy group Chemical group [H]OC(*)=O 0.000 description 1
- 150000001735 carboxylic acids Chemical class 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 238000013329 compounding Methods 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 150000003997 cyclic ketones Chemical class 0.000 description 1
- 125000006841 cyclic skeleton Chemical group 0.000 description 1
- 150000001925 cycloalkenes Chemical class 0.000 description 1
- CMKBCTPCXZNQKX-UHFFFAOYSA-N cyclohexanethiol Chemical compound SC1CCCCC1 CMKBCTPCXZNQKX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HPXRVTGHNJAIIH-UHFFFAOYSA-N cyclohexanol Chemical compound OC1CCCCC1 HPXRVTGHNJAIIH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000000113 cyclohexyl group Chemical group [H]C1([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])(*)C([H])([H])C1([H])[H] 0.000 description 1
- VTXVGVNLYGSIAR-UHFFFAOYSA-N decane-1-thiol Chemical compound CCCCCCCCCCS VTXVGVNLYGSIAR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CSCPPACGZOOCGX-WFGJKAKNSA-N deuterated acetone Substances [2H]C([2H])([2H])C(=O)C([2H])([2H])[2H] CSCPPACGZOOCGX-WFGJKAKNSA-N 0.000 description 1
- 239000012954 diazonium Substances 0.000 description 1
- 150000001989 diazonium salts Chemical class 0.000 description 1
- 229940019778 diethylene glycol diethyl ether Drugs 0.000 description 1
- SBZXBUIDTXKZTM-UHFFFAOYSA-N diglyme Chemical compound COCCOCCOC SBZXBUIDTXKZTM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000010790 dilution Methods 0.000 description 1
- 239000012895 dilution Substances 0.000 description 1
- UUMAFLKWOXKEID-UHFFFAOYSA-N diphenyliodanium;dodecyl benzenesulfonate Chemical compound C=1C=CC=CC=1[I+]C1=CC=CC=C1.CCCCCCCCCCCCOS(=O)(=O)C1=CC=CC=C1 UUMAFLKWOXKEID-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OVAZMTZNAIEREQ-UHFFFAOYSA-M diphenyliodanium;pyrene-1-sulfonate Chemical compound C=1C=CC=CC=1[I+]C1=CC=CC=C1.C1=C2C(S(=O)(=O)[O-])=CC=C(C=C3)C2=C2C3=CC=CC2=C1 OVAZMTZNAIEREQ-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- SBQIJPBUMNWUKN-UHFFFAOYSA-M diphenyliodanium;trifluoromethanesulfonate Chemical compound [O-]S(=O)(=O)C(F)(F)F.C=1C=CC=CC=1[I+]C1=CC=CC=C1 SBQIJPBUMNWUKN-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- UJKWLAZYSLJTKA-UHFFFAOYSA-N edma Chemical compound O1CCOC2=CC(CC(C)NC)=CC=C21 UJKWLAZYSLJTKA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052731 fluorine Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011737 fluorine Substances 0.000 description 1
- XUCNUKMRBVNAPB-UHFFFAOYSA-N fluoroethene Chemical compound FC=C XUCNUKMRBVNAPB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000499 gel Substances 0.000 description 1
- 239000012456 homogeneous solution Substances 0.000 description 1
- 150000002430 hydrocarbons Chemical group 0.000 description 1
- XMBWDFGMSWQBCA-UHFFFAOYSA-N hydrogen iodide Chemical class I XMBWDFGMSWQBCA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000002401 inhibitory effect Effects 0.000 description 1
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 1
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 1
- 125000000959 isobutyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])(C([H])([H])[H])C([H])([H])* 0.000 description 1
- 125000006229 isopropoxyethyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])(OC([H])([H])C([H])([H])*)C([H])([H])[H] 0.000 description 1
- 150000002576 ketones Chemical class 0.000 description 1
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 1
- VZCYOOQTPOCHFL-UPHRSURJSA-N maleic acid Chemical compound OC(=O)\C=C/C(O)=O VZCYOOQTPOCHFL-UPHRSURJSA-N 0.000 description 1
- 239000011976 maleic acid Substances 0.000 description 1
- FPYJFEHAWHCUMM-UHFFFAOYSA-N maleic anhydride Chemical compound O=C1OC(=O)C=C1 FPYJFEHAWHCUMM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 125000005397 methacrylic acid ester group Chemical group 0.000 description 1
- 125000004184 methoxymethyl group Chemical group [H]C([H])([H])OC([H])([H])* 0.000 description 1
- LVHBHZANLOWSRM-UHFFFAOYSA-N methylenebutanedioic acid Natural products OC(=O)CC(=C)C(O)=O LVHBHZANLOWSRM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000011259 mixed solution Substances 0.000 description 1
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 1
- 229940088644 n,n-dimethylacrylamide Drugs 0.000 description 1
- YLGYACDQVQQZSW-UHFFFAOYSA-N n,n-dimethylprop-2-enamide Chemical compound CN(C)C(=O)C=C YLGYACDQVQQZSW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000004108 n-butyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])* 0.000 description 1
- YPHQUSNPXDGUHL-UHFFFAOYSA-N n-methylprop-2-enamide Chemical compound CNC(=O)C=C YPHQUSNPXDGUHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000004123 n-propyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])* 0.000 description 1
- LABYRQOOPPZWDG-UHFFFAOYSA-M naphthalene-1-sulfonate;triphenylsulfanium Chemical compound C1=CC=C2C(S(=O)(=O)[O-])=CC=CC2=C1.C1=CC=CC=C1[S+](C=1C=CC=CC=1)C1=CC=CC=C1 LABYRQOOPPZWDG-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 150000001451 organic peroxides Chemical class 0.000 description 1
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 1
- 230000035515 penetration Effects 0.000 description 1
- 150000004714 phosphonium salts Chemical class 0.000 description 1
- 229920002223 polystyrene Polymers 0.000 description 1
- 239000011148 porous material Substances 0.000 description 1
- HJWLCRVIBGQPNF-UHFFFAOYSA-N prop-2-enylbenzene Chemical compound C=CCC1=CC=CC=C1 HJWLCRVIBGQPNF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000001226 reprecipitation Methods 0.000 description 1
- 239000000523 sample Substances 0.000 description 1
- 239000012488 sample solution Substances 0.000 description 1
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 1
- 238000004904 shortening Methods 0.000 description 1
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
- 238000004528 spin coating Methods 0.000 description 1
- 239000003381 stabilizer Substances 0.000 description 1
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 1
- 125000003011 styrenyl group Chemical group [H]\C(*)=C(/[H])C1=C([H])C([H])=C([H])C([H])=C1[H] 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 239000004094 surface-active agent Substances 0.000 description 1
- 125000000999 tert-butyl group Chemical group [H]C([H])([H])C(*)(C([H])([H])[H])C([H])([H])[H] 0.000 description 1
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 1
- GEKDEMKPCKTKEC-UHFFFAOYSA-N tetradecane-1-thiol Chemical compound CCCCCCCCCCCCCCS GEKDEMKPCKTKEC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BFKJFAAPBSQJPD-UHFFFAOYSA-N tetrafluoroethene Chemical group FC(F)=C(F)F BFKJFAAPBSQJPD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VZCYOOQTPOCHFL-UHFFFAOYSA-N trans-butenedioic acid Natural products OC(=O)C=CC(O)=O VZCYOOQTPOCHFL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Landscapes
- Materials For Photolithography (AREA)
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- Addition Polymer Or Copolymer, Post-Treatments, Or Chemical Modifications (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
Description
が挙げられる。中でも、レジスト組成物とした際の感度および解像度に優れる点から、前記式(3−1)、前記式(3−2)、前記式(3−5)、前記式(3−6)、前記式(3−9)〜(3−20)、前記式(3−25)〜(3−28)、前記式(3−37)〜(3−40)、前記式(3−49)〜(3−52)、前記式(3−61)〜(3−64)、前記式(3−73)〜(3−76)、前記式(3−85)〜(3−88)、前記式(3−97)〜(3−100)、前記式(3−109)〜(3−112)、前記式(3−117)〜(3−164)で表される単量体およびこれらの幾何異性体、光学異性体などが好ましい。また、レジスト組成物とした際のレジストパターン矩形性に優れる点から、前記式(3−21)〜(3−92)で表される単量体およびこれらの幾何異性体、光学異性体などが好ましい。なお、Rは水素原子またはメチル基を示す。
スチレン、α−メチルスチレン、ビニルトルエン、p−ヒドロキシスチレン、3,5−ジ−tert−ブチル−4−ヒドロキシスチレン、3,5−ジメチル−4−ヒドロキシスチレン、p−tert−パーフルオロブチルスチレン、p−(2−ヒドロキシ−iso−プロピル)スチレン等の芳香族アルケニル化合物;
アクリル酸、メタクリル酸、マレイン酸、無水マレイン酸、イタコン酸、無水イタコン酸等の不飽和カルボン酸;アクリルアミド、N−メチルアクリルアミド、N,N−ジメチルアクリルアミド、塩化ビニル、エチレン、フッ化ビニル、フッ化ビニリデン、テトラフルオロエチレン、ビニルピロリドン等が挙げられる。
約20mgのレジスト用共重合体を5mLのテトラヒドロフランに溶解し、0.5μmメンブランフィルターで濾過した試料溶液を東ソー製ゲル・パーミエーション・クロマトグラフィー(GPC)を用いて測定した。分離カラムはShodex GPC K−805L(商品名)を3本直列、溶剤はテトラヒドロフラン、流量1.0mL/min、検出器は示差屈折計、測定温度40℃、注入量0.1mL、標準ポリマーとしてポリスチレンを使用した。
1H−NMRの測定により求めた。この測定は、日本電子(株)製GSX−400型FT−NMR(商品名)を用いて、レジスト用共重合体試料の約5質量%の重水素化クロロホルム、重水素化アセトンあるいは重水素化ジメチルスルホキシドを直径5mmφの試験管に入れ、測定温度40℃、観測周波数400MHz、シングルパルスモードにて、64回の積算で行った。
固形分濃度が20質量%になるように、所定量のPGMEAおよび乳酸エチル(以下、「EL」とも言う。)に室温で攪拌しながらレジスト用共重合体を溶解させ、完全に溶解するまでの時間を測定した。
◎:1時間未満であった、
○:1時間以上3時間未満であった、
△:3時間以上24時間未満であった、
×:24時間以上、または不溶であった、
である。
レジスト用共重合体100部に、光酸発生剤であるトリフェニルスルホニウムトリフレートを2部、および溶剤としてPGMEA700部を混合して均一溶液とした後、孔径0.1μmのメンブランフィルターで濾過し、レジスト組成物溶液を調整した。その後、この組成物溶液をシリコンウエハー上にスピンコートし、ホットプレートを用いて、120℃、60秒間プリベークを行い、膜厚0.4μmのレジスト膜を形成した。次いでArFエキシマレーザー露光機を使用して露光した後、ホットプレートを用いて120℃、60秒間露光後ベークを行った。次いで、2.38質量%水酸化テトラメチルアンモニウム水溶液を用いて室温で現像し、純水で洗浄し、乾燥して、レジストパターンを形成した。
0.16μmのライン・アンド・スペースパターンのマスクが0.16μmの線幅に転写される露光量(mJ/cm2)を感度として測定した。
上記露光量を露光したときに解像されるレジストパターンの最小寸法(μm)を解像度とした。
上記のように調製したレジスト組成物溶液について調液直後(マイクロゲル初期値)と、4℃で1週間放置した後(経時後のマイクロゲルの数)の液中のマイクロゲルの数を、リオン製パーティクルカウンターにてカウントした。マイクロゲル初期値とともに、(経時後のマイクロゲルの数)―(マイクロゲル初期値)で計算されるマイクロゲル増加数を評価した。なお、マイクロゲルは、レジスト組成物液1ml中に存在する0.25μm以上の粒径を有するマイクロゲルの数
をカウントした。
マスクにおける0.20μmのレジストパターンを再現する最小露光量により得られた0.20μmのレジストパターンの長手方向の側端5μmの範囲について、パターン側端があるべき基準線からの距離を、日本電子製JSM−6340F型電界放射形走査型電子顕微鏡により50ポイント測定し、標準偏差を求め、3σを算出した。この値が小さいほど良好な性能であることを示す。
上記の0.20μmのレジストパターンの垂直方向について、日本電子製JSM−6340F型電界放射形走査型電子顕微鏡(商品名)により観察し、レジストパターン10本中に、ひずみや倒壊があるパターン数を調べた。この値が小さいほど良好な性能であることを示す。
膜厚0.4μmのレジスト膜(上記調製のレジスト組成物溶液を用いて製膜)が塗布されたシリコンウエハーを、昭和真空製SPE−220T型ドライエッチング装置(商品名)にてドライエッチング処理した。処理条件は、ガス種およびガス流量(標準状態)をCF4/O2=95cm3/min /5.0cm3/min 、処理室内圧力を15Pa、プラズマ電力を200Wとし、処理時間を3分間とした。そして、1μm×1μmの測定範囲について、レジスト膜表面があるべき基準線からの距離を、シリコンナイトライド製のカンチレバーを装備したセイコーインスツルメンツ製SPI3700/SPA−300型原子間力顕微鏡(商品名)を用いて100点測定し、標準偏差を求め、3σを算出した。この値が小さいほど良好な性能であることを示す。測定はAFMモードにて、走査線数を256として行った。
窒素導入口、攪拌機、コンデンサー、および温度計を備えたフラスコに、窒素雰囲気下で、PGMEAを29.1部、γ−ブチロラクトンを3.2部入れ、攪拌しながら湯浴の温度を80℃に上げた。2−exo−メタクリロイルオキシ−4,8−ジオキサトリシクロ[4.2.1.03,7]ノナン−5−オン(ONLMAと表すことがある)19.3部、4−メタクリロイルオキシ−4−エチル−テトラシクロ[6.2.1.13,6.02,7]ドデカン(EDMAと表すことがある)20.8部、1−アクリロイルオキシ−3−ヒドロキシアダマンタン(HAdAと表すことがある)8.4部、PGMEA101.9部、γ−ブチロラクトン11.3部、1−オクタンチオール0.58部、2,2'−アゾビスイソブチロニトリル0.50部を混合した単量体溶液の入った滴下装置から、一定速度で6時間かけてフラスコ中へ滴下し、その後、80℃の温度を1時間保持した。次いで、得られた反応溶液を重合に使用した単量体に対して約30倍量のメタノール中に攪拌しながら滴下し、白色の析出物の沈殿(共重合体A−1)を得た。沈殿物に残存する単量体を完全に取り除くために、得られた沈殿を濾別し、重合に使用した単量体に対して約30倍量のメタノール中で沈殿を洗浄した。得られた沈殿を濾別し、減圧下50℃で約40時間乾燥した。得られた共重合体A−1の各物性を測定した結果を表1に示した。
窒素導入口、攪拌機、コンデンサー、および温度計を備えたフラスコに、窒素雰囲気下で、テトラヒドロフランを37.1部入れ、攪拌しながら湯浴の温度を70℃に上げた。2−exo−アクリロイルオキシ−4−オキサトリシクロ[4.2.1.03,7]ノナン−5−オン(OTNAと表すことがある)18.3部、2−メタクリロイルオキシ−2−メチルアダマンタン(MAdMAと表すことがある)26.2部、テトラヒドロフラン66.8部、ジメチル−2,2’−アゾビスイソブチレート4.60部を混合した単量体溶液の入った滴下装置から、一定速度で6時間かけてフラスコ中へ滴下し、その後、70℃の温度を1時間保持した。以降の操作は実施例1と同様の操作で、共重合体A−2を得た。得られた共重合体A−2の各物性を測定した結果を表1に示した。
窒素導入口、攪拌機、コンデンサー、および温度計を備えたフラスコに、窒素雰囲気下で、PGMEAを53.4部、8−または9−メタクリロイルオキシ−4−オキサトリシクロ[5.2.1.02,6]デカン−3−オン(OTDMAと表すことがある)2.0部、8−または9−アクリロイルオキシ−4−オキサトリシクロ[5.2.1.02,6]デカン−3−オン(OTDAと表すことがある)5.2部、2−メタクリロイルオキシ−2−エチルアダマンタン(EAdMAと表すことがある)3.3部、HAdA3.3部を入れ(単量体組成比:OTDMA/OTDA/EAdMA/HAdA=14/39/22/25(mol%))、攪拌しながら湯浴の温度を80℃に上げた。その後、γ−ブチロラクトン5.9部、2−メルカプトエタノール0.06部、2,2'−アゾビスイソブチロニトリル0.30部を混合した開始剤/連鎖移動剤溶液をフラスコへ投入し、重合を開始した。その直後から、OTDMA5.9部、OTDA11.0部、EAdMA10.8部、HAdA4.8部(単量体組成比:OTDMA/OTDA/EAdMA/HAdA=18/35.5/31/15.5(mol%))、PGMEA44.0部、γ−ブチロラクトン4.9部、2−メルカプトエタノール0.14部、2,2'−アゾビスイソブチロニトリル0.68部を混合した単量体溶液の入った滴下装置から一定速度で6時間かけてフラスコ中へ滴下し、その後、80℃の温度を30分間保持した。以降の操作は実施例1と同様の操作で、共重合体A−3を得た。得られた共重合体A−3の各物性を測定した結果を表1に示した。
窒素導入口、攪拌機、コンデンサー、および温度計を備えたフラスコに、窒素雰囲気下で、PGMEA38.4部を入れ、攪拌しながら湯浴の温度を80℃に上げた。OTDA6.5部、EAdMA4.3部、HAdA2.9部(単量体組成比:OTDA/EAdMA/HAdA=49/29/22(mol%))、PGMEA20.7部、1−オクタンチオール0.08部、2,2'−アゾビスイソブチロニトリル0.34部を混合した単量体溶液の入った滴下装置から一定速度で1.5時間かけてフラスコ中へ滴下した。前記滴下液を滴下し終わった直後に、OTDA14.0部、EAdMA12.2部、HAdMA6.2部(単量体組成比:OTDA/EAdMA/HAdA=45/35/20(mol%))、PGMEA48.5部、1−オクタンチオール0.20部、2,2'−アゾビスイソブチロニトリル0.80部を混合した単量体溶液の入った滴下装置から一定速度で4.5時間かけてフラスコ中へ滴下した。その後、80℃の温度を30分間保持した。以降の操作は実施例1と同様の操作で、共重合体A−4を得た。得られた共重合体A−4の各物性を測定した結果を表1に示した。
窒素導入口、攪拌機、コンデンサー、および温度計を備えたフラスコに、窒素雰囲気下で、PGMEAを31.0部、γ−ブチロラクトンを13.3部入れ、攪拌しながら湯浴の温度を80℃に上げた。下記式(20−1)で表される単量体と下記式(20−2)で表される単量体との混合物(以下、DOLAMAと言う。)22.8部、
窒素導入口、攪拌機、コンデンサー、および温度計を備えたフラスコに、窒素雰囲気下で、PGMEAを34.7部入れ、攪拌しながら湯浴の温度を80℃に上げた。OTDA17.8部、1−メタクリロイルオキシ−1−エチルシクロヘキサン(以下、ECHMAと言う。)15.7部、2−または3−シアノ−5−ノルボルニルメタクリレート(以下、CNNMAと言う。)8.2部、PGMEA62.5部、1−オクタンチオール0.12部、2,2'−アゾビスイソブチロニトリル1.32部を混合した単量体溶液の入った滴下装置から、一定速度で6時間かけてフラスコ中へ滴下し、その後、80℃の温度を1時間保持した。以降の操作は実施例1と同様の操作で、共重合体A−6を得た。得られた共重合体A−6の各物性を測定した結果を表1に示した。
窒素導入口、攪拌機、コンデンサー、および温度計を備えたフラスコに、窒素雰囲気下で、PGMEAを37.2部入れ、攪拌しながら湯浴の温度を80℃に上げた。下記式(21−1)で表される単量体と下記式(21−2)で表される単量体との混合物(以下、DOLAと言う。)17.2部、
窒素導入口、攪拌機、コンデンサー、および温度計を備えたフラスコに、窒素雰囲気下で、テトラヒドロフランを38.9部入れ、攪拌しながら湯浴の温度を70℃に上げた。2−exo−(メタ)アクリロイルオキシ−4−オキサトリシクロ[4.2.1.03,7]ノナン−5−オン(OTNMAと表すことがある)25.3部、EAdMA21.3部、テトラヒドロフラン70.0部、ジメチル−2,2’−アゾビスイソブチレート4.60部を混合した単量体溶液の入った滴下装置から、一定速度で6時間かけてフラスコ中へ滴下し、その後、70℃の温度を1時間保持した。以降の操作は実施例1と同様の操作で、共重合体B−1を得た。得られた共重合体B−1の各物性を測定した結果を表1に示した。
窒素導入口、攪拌機、コンデンサー、および温度計を備えたフラスコに、窒素雰囲気下で、OTNA27.0部、EAdMA17.4部、PGMEA73.2部、1−オクタンチオール0.30部入れ、攪拌しながら湯浴の温度を70℃に上げた。PGMEA20.0部、γ−ブチロラクトン5.2部、2,2'−アゾビスイソブチロニトリル1.96部を混合した開始剤溶液をフラスコへ投入し、重合を開始した。その後、70℃の温度を7時間保持した。以降の操作は実施例1と同様の操作で、共重合体B−2を得た。得られた共重合体B−2の各物性を測定した結果を表1に示した。
窒素導入口、攪拌機、コンデンサー、および温度計を備えたフラスコに、窒素雰囲気下で、PGMEAを38.1部、γ−ブチロラクトンを11.9部入れ、攪拌しながら湯浴の温度を80℃に上げた。OTDA17.3部、2−アクリロイルオキシ−2−メチルアダマンタン(MAdAと表すことがある)24.6部、HAdA8.9部、PGMEA68.6部、γ−ブチロラクトンを7.6部、2−メルカプトエタノール0.16部、2,2'−アゾビスイソブチロニトリル1.14部を混合した単量体溶液の入った滴下装置から、一定速度で6時間かけてフラスコ中へ滴下し、その後、80℃の温度を1時間保持した。以降の操作は、得られた反応溶液を約30倍量の水/メタノール(20/80(体積%))混合溶液中に攪拌しながら滴下する以外は、実施例1と同様の操作で、共重合体B−3を得た。得られた共重合体B−3の各物性を測定した結果を表1に示した。
窒素導入口、攪拌機、コンデンサー、および温度計を備えたフラスコに、窒素雰囲気下で、OTNA5.0部、OTNMA13.8部、MAdMA26.7部、テトラヒドロフランを76.0部入れ、攪拌しながら湯浴の温度を70℃に上げた。テトラヒドロフラン30.0部、ジメチル−2,2’−アゾビスイソブチレート5.52部を混合した開始剤溶液をフラスコへ投入し、重合を開始した。その後、70℃の温度を7時間保持した。以降の操作は実施例1と同様の操作で、共重合体B−4を得た。得られた共重合体B−4の各物性を測定した結果を表1に示した。
Claims (8)
- (A6)で表されるラクトン骨格を有する単量体単位と、(A1)〜(A4)および(A10)で表される脂環式骨格を有する単量体単位から選ばれる少なくとも1つの単量体単位とを含むレジスト用共重合体であって、該レジスト用共重合体が、アクリル単量体単位を20モル%以上68モル%以下含むことを特徴とするレジスト用共重合体。
- 請求項1に記載のレジスト用共重合体の製造方法であって、溶剤を予め重合容器に仕込み、該重合容器を所定の重合温度まで加熱した後、単量体と重合開始剤を有機溶剤に溶解させた単量体溶液を、重合容器中に滴下することを特徴とするレジスト用共重合体の製造方法。
- 請求項1に記載のレジスト用共重合体の製造方法であって、単量体の一部を予め重合容器に仕込み、該重合容器を所定の重合温度まで加熱して重合を開始した後、残りの単量体と重合開始剤を有機溶剤に溶解させた単量体溶液を、重合容器中に滴下することを特徴とするレジスト用共重合体の製造方法。
- 請求項2または3に記載のレジスト用共重合体の製造方法であって、単量体組成比が異なる、少なくとも2種類以上の単量体溶液を独立して準備し、それぞれ重合容器中に滴下することを特徴とするレジスト用共重合体の製造方法。
- 請求項1に記載のレジスト用共重合体を含むことを特徴とするレジスト組成物。
- 少なくとも、請求項5記載のレジスト組成物を被加工基板上に塗布する工程と、250nm以下の波長の光で露光する工程とを含むパターン製造方法。
- 露光に用いる光が、ArFエキシマレーザー光であることを特徴とする請求項6に記載のパターン製造方法。
- 少なくとも、請求項5記載のレジスト組成物を被加工基板上に塗布する工程と、電子線で露光する工程とを含むパターン製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004002389A JP4372561B2 (ja) | 2003-01-07 | 2004-01-07 | レジスト用共重合体およびその製造方法、レジスト組成物ならびにパターン製造方法 |
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003001102 | 2003-01-07 | ||
JP2004002389A JP4372561B2 (ja) | 2003-01-07 | 2004-01-07 | レジスト用共重合体およびその製造方法、レジスト組成物ならびにパターン製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2004231950A JP2004231950A (ja) | 2004-08-19 |
JP4372561B2 true JP4372561B2 (ja) | 2009-11-25 |
Family
ID=32964583
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004002389A Expired - Fee Related JP4372561B2 (ja) | 2003-01-07 | 2004-01-07 | レジスト用共重合体およびその製造方法、レジスト組成物ならびにパターン製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4372561B2 (ja) |
Families Citing this family (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4777011B2 (ja) * | 2005-08-09 | 2011-09-21 | ダイセル化学工業株式会社 | フォトレジスト用高分子化合物の製造方法及びフォトレジスト組成物 |
JP5022594B2 (ja) * | 2005-12-06 | 2012-09-12 | 株式会社ダイセル | フォトレジスト用樹脂溶液及びその製造方法 |
JP6100986B2 (ja) * | 2006-10-30 | 2017-03-22 | 三菱レイヨン株式会社 | 重合体の製造方法、レジスト組成物の製造方法、およびパターンが形成された基板の製造方法 |
JP5588095B2 (ja) | 2006-12-06 | 2014-09-10 | 丸善石油化学株式会社 | 半導体リソグラフィー用共重合体とその製造方法 |
WO2008081822A1 (ja) * | 2006-12-27 | 2008-07-10 | Mitsubishi Rayon Co., Ltd. | レジスト用重合体、レジスト組成物、および微細パターンが形成された基板の製造方法 |
JP5771942B2 (ja) * | 2010-10-18 | 2015-09-02 | 三菱レイヨン株式会社 | リソグラフィー用重合体の製造方法、レジスト組成物の製造方法、ならびに基板の製造方法 |
KR101805239B1 (ko) | 2010-10-18 | 2017-12-05 | 미쯔비시 케미컬 주식회사 | 리소그라피용 공중합체 및 그 제조 방법, 레지스트 조성물, 패턴이 형성된 기판의 제조 방법, 공중합체의 평가 방법, 공중합체 조성 해석 방법 |
JP2012145868A (ja) | 2011-01-14 | 2012-08-02 | Tokyo Ohka Kogyo Co Ltd | レジスト組成物及びレジストパターン形成方法 |
JP2012207218A (ja) * | 2011-03-16 | 2012-10-25 | Sumitomo Chemical Co Ltd | レジスト組成物用樹脂の製造方法 |
TWI584063B (zh) * | 2012-03-05 | 2017-05-21 | 三菱麗陽股份有限公司 | 微影用共聚合物的製造方法 |
TW202348634A (zh) * | 2022-02-17 | 2023-12-16 | 日商丸善石油化學股份有限公司 | 羥基苯乙烯系單體與(甲基)丙烯酸酯系單體之共聚物及其製造方法 |
-
2004
- 2004-01-07 JP JP2004002389A patent/JP4372561B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2004231950A (ja) | 2004-08-19 |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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R151 | Written notification of patent or utility model registration |
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S531 | Written request for registration of change of domicile |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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|
R350 | Written notification of registration of transfer |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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