JP4370893B2 - 圧電発振器、及び製造方法 - Google Patents

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Description

本発明は、圧電発振器に関し、さらに詳しくは、1チップ集積回路化された圧電発振器の調整用端子の数を削減する技術の改良に関するものである。
近年、携帯電話の普及はめざましく技術開発競争が激化している。それに伴って携帯電話に使用される温度補償型水晶発振器に対しても、小型化、ローコスト化、更に高性能化が要求されている。しかし、携帯電話に使用されている水晶素子(At−Cut)の温度特性は、図6に示すように3次関数に近い特性を示すが、これだけでは特性上十分ではなくこの特性を相殺するような温度補償が必要となる。従来の温度補償方式は大きく直接温度補償方式と間接温度補償方式に分けることができる。特に間接温度補償方式は、温度補償特性を得るための温度補償電圧を発生させる温度補償電圧発生部を発振回路ループ外に設け、温度補償電圧を発振ループ内に設けた可変容量ダイオードに印加し温度補償を行うものである。そして温度補償電圧発生部は、半導体の接合電位の温度特性を使用した温度センサと抵抗等により構成したものがある。
そして、IC化した温度補償電圧発生部付き水晶発振器(以下、TCXO(Temperature Compensated Crystal Oscillator)と記す)を構成する際には、水晶素子の温度特性のバラツキと、増幅回路等の増幅率およびオフセット電圧の製造バラツキに伴う発振周波数の変動分を補償できるような温度補償電圧が得られるように、IC内の抵抗網等の回路パラメータを設定する必要がある。この回路パラメータの設定のためのデータをTCXOの組立が完成した後に、外部からTCXOのパッケージに備えた4つの調整用端子を介してICチップ内のメモリに書き込む必要がある。また、メモリへのデータの書き込みに対しては、書き込まれたデータによって、温度検出回路と制御電圧発生回路が所望の電圧を発生できるようになっているかどうかを確認する必要がある。
図5は従来のTCXO・ICの調整端子が4端子の場合の調整時のシステム構成を示すブロック図である。TCXO・IC100は、インバータ増幅器115と、両端に印加される電位差により容量が変化する可変容量ダイオード114と、発振回路に挿入されるコンデンサ134と、周囲温度により電気的パラメータが変化する感温素子117と、感温素子117のパラメータに基づいて温度制御電圧を生成する温度補償/発振等回路(以下、周波数温度補償回路と記す)118と、アナログ信号をスイッチングするスイッチSW103、104と、デジタル信号をスイッチングするスイッチSW101、102とを備えて構成される。
調整回路119は、コマンド信号を発生するデジタル・アウト回路121と、周波数温度補償回路118のデジタル・アウト端子からの信号を受信するデジタル・イン回路122と、周波数温度補償回路118のアナログ・アウト端子からの信号を受信するデジタル・マルチ・メータ(DMM)123と、周波数温度補償回路118のアナログ・イン端子に所定の電圧を印加する電源124と、アナログ信号をスイッチングするスイッチSW107、108と、デジタル信号をスイッチングするスイッチSW105、106と、デジタル・アウト回路121、デジタル・イン回路122及び周波数温度補償回路118にクロックを供給するSCLK120を備えて構成される。尚、デジタル・アウト回路121、デジタル・イン回路122、デジタル・マルチ・メータ(DMM)123及び電源124を制御回路125としてもよい。
そして、TCXO・IC100は、Xout端子111、Xin端子113、OUT端子128、SCLK端子130、調整端子(DATAI/O)131、調整端子(UTILITY)129、CS端子132、VAFC端子133を備え、OUT端子128はコンデンサ135を介して調整回路119の温特データ等126として入力され、SCLK端子130は調整回路119の端子133からSCLK信号が供給され、調整端子(DATAI/O)131にはデジタル信号がやり取りされ、調整端子(UTILITY)129にはアナログ信号がやり取りされる。
図6は図5のSW101〜SW108の開閉状態をテーブルにした図である。尚、図中「on」はSWが接続状態を表し、「of」はSWが切断状態を表す。初期状態では、SW101とSW105が「on」となり命令待ち状態となる。
VREFモニタモード1のコマンドを「Digital OUT」121から周波数温度補償回路118の「Digital IN」に送信するためにSW101とSW105が「on」となり、同時にレギュレータ電圧値を測定するためにSW104とSW107が「on」となり、周波数温度補償回路118の「Analog OUT」パッドからのレギュレータ電圧値がDMM123により測定される。そして調整値をSW101とSW105の経路からEEPROMに書き込む。
TSENSORモニタモードのコマンドを「Digital OUT」121から周波数温度補償回路118の「Digital IN」に送信するためにSW101とSW105が「on」となり、同時にTSENSOR電圧値を測定するためにSW104とSW107が「on」となり、周波数温度補償回路118の「Analog OUT」パッドからのレギュレータ電圧値がDMM123により測定される。そして調整値、VC基準電圧値、発振器電流値をSW101とSW105の経路からEEPROMに書き込む。
TCXOモードのコマンドを「Digital OUT」121から周波数温度補償回路118の「Digital IN」に送信するためにSW101とSW105が「on」となり、周波数を設定する。続いて周波数ラフオフセットモードにより調整値をSW101とSW105の経路からEEPROMに書き込む。
VC外部入力モードのコマンドを「Digital OUT」121から周波数温度補償回路118の「Digital IN」に送信するためにSW101とSW105が「on」となり、同時に電源124から周波数温度補償回路118の「Analog IN」パッドにVC電圧を入力するためにSW103とSW108が「on」となる。その状態で周波数の測定とVC感度測定を行い、SW103とSW108が「of」としてVCXOゲイン値をSW101とSW105の経路からEEPROMに書き込む。
TCXOモードのコマンドを「Digital OUT」121から周波数温度補償回路118の「Digital IN」に送信するためにSW101とSW105が「on」となりAFCを測定し、測定値に基づいて調整値をSW101とSW105の経路からEEPROMに書き込む。
VC外部入力モードのコマンドを「Digital OUT」121から周波数温度補償回路118の「Digital IN」に送信するためにSW101とSW105が「on」となり、同時に電源124から周波数温度補償回路118の「Analog IN」パッドにVC電圧を入力するためにSW103とSW108が「on」となる。
VCモニタモードのコマンドを「Digital OUT」121から周波数温度補償回路118の「Digital IN」に送信するためにSW101とSW105が「on」となり、同時に周波数温度補償回路118の「Analog OUT」パッドからDMM123によりVC電圧を測定するにSW104とSW107が「on」となる。その状態でVC電圧の測定を行い、その後SW104とSW107を「of」として、TO調整値、3次成分ゲイン調整値、1次成分ゲイン調整値をSW101とSW105の経路からEEPROMに書き込む。
TCXOモードのコマンドを「Digital OUT」121から周波数温度補償回路118の「Digital IN」に送信するためにSW101とSW105が「on」となり、周波数を設定する。続いて周波数ファインオフセットモードにより調整値をSW101とSW105の経路からEEPROMに書き込む。
一方、特開平11−136032号公報には、4つの調整端子を必要とする調整方式のICにおいて、全ての調整専用端子を削除する方法について開示されている。それによると、Vccの値を変化又はリセットしたことをICが検知することにより命令を解釈させて、クロックや各調整データの入出力をVcont端子から行い、このとき詳細な命令内容は、電源がある値にある間に入力されたクロック数によって識別するものである。
特開平11−136032号公報
しかし、従来のTCXO・ICでは、データの書き込みと確認をおこなうために、温度補償型発振器を使用する上で必要となる外部制御電圧入力端子、電源供給端子、接地電位端子、発振出力端子の他に、余分にクロック入力端子とデータ入力端子とチップセレクト端子と電圧出力端子が必要になり、パッケージの小型化の阻害要因となるだけでなく、調整検査工程の生産性の低下及び検査治具類のコストアップを招くといった問題がある。
また特許文献1に開示されている従来技術は、全ての調整端子を削除することはできるが、複数回に亘り電源電圧値を設定し直す等、検査方法と手順が複雑となり、更に複雑な回路制御するための回路部を水晶発振器が備えたものとなるため、結果的に調整検査工程の生産性の低下及び検査治具類のコストアップ及び水晶発振器の大型化を招くといった問題を抱えている。
本発明は、かかる課題に鑑み、水晶発振器の回路規模を小さく保ちつつ調整端子の数を最小限にしてパッケージの小型化及びコストダウンを容易にすると共に、調整工程の生産性を高めた圧電発振器を提供することを目的とする。
本発明はかかる課題を解決するために、請求項1は、所定の周波数で励振される圧電素子を備えた圧電振動子と、集積回路と、を備え、前記集積回路が該圧電素子に電流を流して励振させる発振用増幅器と、不揮発性メモリと、前記不揮発性メモリに情報を書き込むために必要な第1のアナログ信号および第1のデジタル信号を入力するための端子機能ならびに前記集積回路の外に第2のアナログ信号および第2のデジタル信号を出力するための端子機能を兼ね備えた調整端子と、前記集積回路内であって前記アナログ信号ならびに前記デジタル信号の伝送路を断接するスイッチ回路と、当該圧電発振器の発振周波数を1/N(Nは整数)に分周する第1の分周回路と、を備えた圧電発振器であって、前記第1の分周回路により分周された信号が前記不揮発性メモリに情報を書き込む際の基準クロックであり、前記スイッチ回路が、前記集積回路に入力される前記第1のアナログ信号を断接するためのスイッチと、前記集積回路に入力される前記第1のデジタル信号を断接するためのスイッチと、前記集積回路から出力された前記第2のアナログ信号を断接するためのスイッチと、前記集積回路から出力された前記第2のデジタル信号を断接するためのスイッチと、を備えたものであることを特徴とする。
請求項2は、所定の周波数で励振される圧電素子を備えた圧電振動子と、集積回路と、を備え、前記集積回路が該圧電素子に電流を流して励振させる発振用増幅器と、不揮発性メモリと、前記不揮発性メモリに情報を書き込むために必要な第1のアナログ信号および第1のデジタル信号を入力するための端子機能ならびに前記集積回路の外に第2のアナログ信号および第2のデジタル信号を出力するための端子機能を兼ね備えた調整端子と、を備えると共に、前記集積回路内であって前記集積回路に入力される前記第1のアナログ信号を断接するためのスイッチと、前記集積回路に入力される第2のデジタル信号を断接するためのスイッチと、前記集積回路から出力される第2のアナログ信号を断接するためのスイッチと、前記集積回路から出力される第2のデジタル信号を断接するためのスイッチとを備えたスイッチ回路と、当該圧電発振器の発振周波数を1/N(Nは整数)に分周する第1の分周回路と、を備え、前記第1の分周回路により分周された信号が前記不揮発性メモリに情報を書き込む際の基準クロックである構成を有する圧電発振器の製造方法であり、前記調整端子を介して前記アナログ信号及びデジタル信号の送受信を司る制御回路と、前記圧電発振器の発振周波数を1/N(Nは整数)に分周する第2の分周回路とを備えたものであり、前記第2の分周回路の出力信号が前記第1の分周回路の出力信号と同期した信号であると共に前記制御回路の基準クロックである構成を備えた調整回路を準備する工程と、前記スイッチ回路を制御して前記第1のアナログ信号または前記第2のデジタル信号を前記集積回路に供給し、前記圧電発振器の回路機能を設定する工程と、前記スイッチ回路を制御して前記集積回路への前記第1のアナログ信号と前記第1のデジタル信号の供給を絶つと共に、前記第2のアナログ信号または前記第2のデジタル信号を前記調整回路に供給し、前記圧電発振器の機能を確認する工程と、を含むことを特徴とする。
請求項3は、前記第2の分周回路は、前記第1の分周回路の分周比Nと等しくするために当該第2の分周回路の分周比を調整可能とした請求項に記載の圧電発振器の製造方法を特徴とする。
請求項1の発明によれば、第1の分周回路により分周された信号を、不揮発性メモリに情報を書き込む際の基準クロックとしスイッチ回路に集積回路に入力される第1のアナログ信号を断接するためのスイッチと、集積回路に入力される第1のデジタル信号を断接するためのスイッチと、集積回路から出力された第2のアナログ信号を断接するためのスイッチと、集積回路から出力された第2のデジタル信号を断接するためのスイッチと、を備えたことで、調整端子を大幅に削減することができる。
また請求項2の発明によれば、圧電発振器の発振周波数を第2の分周回路により1/Nに分周し、この第2の分周回路の出力信号を制御回路の基準クロックとした調整回路を準備する工程と、スイッチ回路を制御して第1のアナログ信号または第2のデジタル信号を前記集積回路に供給し、圧電発振器の回路機能を設定する工程と、スイッチ回路を制御して集積回路への第1のアナログ信号と第1のデジタル信号の供給を絶つと共に、第2のアナログ信号または第2のデジタル信号を調整回路に供給し、圧電発振器の機能を確認する工程と、を含むことで、調整端子を大幅に削減した圧電発振器を外部にクロック発生源を設けることなく製造することが可能になる。
また請求項3の発明によれば、第1の分周回路の分周比Nと等しくするために第2の分周回路の分周比を調整可能としたので、圧電発振器の周波数に幅広く対応することができる。
以下、本発明を図に示した実施形態を用いて詳細に説明する。但し、この実施形態に記載される構成要素、種類、組み合わせ、形状、その相対配置などは特定的な記載がない限り、この発明の範囲をそれのみに限定する主旨ではなく単なる説明例に過ぎない。
図1は本発明のTCXO・ICの調整端子が1端子の場合の温度補償型水晶発振器とこれを調整するための調整回路のブロック図である。TCXO・IC10は、インバータ増幅器15と、両端に印加される電位差により容量が変化する可変容量ダイオード14と、発振回路に挿入されるコンデンサ34と、発振周波数を1/Nに分周する分周回路16と、周囲温度によりパラメータが変化する感温素子17と、感温素子17のパラメータに基づいて温度制御電圧を生成する周波数温度補償回路18と、アナログ信号をスイッチングするスイッチSW3、4と、デジタル信号をスイッチングするスイッチSW1、2とを備えて構成される。
調整回路19は、発振周波数を1/nに分周する分周回路20と、コマンド信号を発生するデジタル・アウト回路21と、周波数温度補償回路18のデジタル・アウト端子からの信号を受信するデジタル・イン回路22と、周波数温度補償回路18のアナログ・アウト端子からの信号を受信するデジタル・マルチ・メータ(DMM)23と、周波数温度補償回路18のアナログ・イン端子に所定の電圧を印加する電源24と、アナログ信号をスイッチングするスイッチSW7、8と、デジタル信号をスイッチングするスイッチSW5、6とを備えて構成される。尚、デジタル・アウト回路21、デジタル・イン回路22、デジタル・マルチ・メータ(DMM)23及び電源24を制御回路25としてもよい。
そして、TCXO・IC10は、Xout端子11、Xin端子13、OUT端子28、調整端子29、VAFC端子36を備え、OUT端子28はコンデンサ35を介して調整回路19の温特データ等26として入力され、調整端子29にはアナログ信号とデジタル信号がやり取りされる。
図1と図5から明らかなように、図1が図5と異なる点は、図5のTCXO・IC100の調整端子が4つに対して、図1のTCXO・IC10の調整端子は1つであり、3つの調整端子が削減されているところにある。このような構成は、図5の調整回路119では発振器の外部にSCLK120があるのに対して、図1の調整回路19にはそれに代わって分周回路20によって発振周波数を分周する仕組みであり、且つ分周回路20による分周信号と同期する信号がTCXO・IC10内でも生成できるようTCXO・IC10側にも分周回路16を備えたこと、更に、図5の調整回路119のスイッチはアナログ信号とデジタル信号を分離するために、調整端子の経路を分けているが、図1の調整回路19では全て共通にして1系統にしたことにより実現したものである。
図2及び図3は本発明のTCXO・IC10を調整するときの動作フローチャートである。この調整方法の特徴とするところは、スイッチの開閉状態が従来の場合は図5のように調整端子129、131に接続されたアナログSWとデジタルSWが並行して開閉したのに対して、本発明の場合は、信号線(調整端子29)が共通のためタイミングをずらして開閉している点である。そこで図2及び図3の動作フローチャートを説明した後、図4のスイッチの開閉状態を対比しながら説明する。尚、各ステップに書かれた電圧値は一例であり、これに限定されるものではない。
まず電源が投入されると、周波数温度補償回路18内の不揮発性メモリ(EEPROM)の設定を基準状態に設定する(S1)。次に、周囲温度を常温(T0)に設定してVAFC(AFC制御電圧)に基準値電圧として例えば1.5Vを入力する(S2)。次にVREF値を測定して規定の電圧値として例えば2.3Vが得られるように設定する(EVREFの設定)<VREFモニタモード>(S3)。これは各IC間のレギュレータのバラツキ補正の工程である。次に感温素子(TSENSOR)17出力を測定し、常温T0において感温素子のセンサ特性のバラツキを調整する(ET0Cの設定)<TSENSORモニタモード>(S4)。次に発振周波数を設定し<TCXOモード>、EROF設定によりラフな周波数オフセットを調整し<周波数ラフオフセットモード>、併せて発振段電流、VC基準値(温度補償電圧の基準電圧)を設定する(EVCC、EROF、EIOSを設定)(S5)。次にSW3、SW8をONして外部電圧値を印加してVCXOゲインを測定し、測定値に基づいてGAIN CONTを調整する(EXOGの設定)<VC外部入力モード>(S6)。これは補償回路のゲインを調整してVCXOの感度を修正する工程である。次にAFCゲインを測定し、測定値に基づいてAFC GAIN CONTを調整する(EAFCの設定)<TCXOモード>(S7)。これはICチップの固体間のダイオード等のバラツキを補正する工程である。次に周囲を任意温度に設定する。例えば、−25℃、0℃、25℃、50℃、75℃、の5点に設定する(S8)。次にその温度における発振周波数−温度特性を補償するVC値(VC_CAL)を測定する<VC外部入力モード>(S9)。これはVCをいくつにすればΔf/f=0ppmになるかを測定することである。次にその温度におけるVC電圧の温度特性(VC_TMP)を測定する<VCモニタモード>(S10)。これは実際にそのVCを入力してΔf/fを測定することである。そして各温度を5回繰り返し(S11)、VC_CAL、VC_TMPの最適3次関数係数を算出し、VC_TMP=VC_CALとなるVC調整回路の設定値を算出して不揮発性メモリ(EEPROM)に書き込む(ET0C、EV3G、EV1G、EFOFを設定)<TCXOモード>(S12)。次に室温での周波数を測定し、再度周波数オフセットの微調整を行う(EFOFを再設定)<Fファインオフセットモード>(S13)。
以上のように、従来の調整装置200においては、デジタル信号とアナログ信号の経路が分かれていたので、本発明の調整装置300においては、これらの経路のスイッチが並行して動作可能であった。
図4は図1の本発明のSW1〜SW8の開閉状態をテーブルにした図である。尚、図中「on」はSWが接続状態を表し、「of」はSWが切断状態を表す。図2及び図3の動作フローチャートに沿って説明する。ステップS1、S2の初期状態では、SW1とSW5が「on」となり命令待ち状態となる。
ステップS3のVREFモニタモード1のコマンドを「Digital OUT」21から周波数温度補償回路18の「Digital IN」に送信する。続いてSW1とSW5を「of」にして、レギュレータ電圧値を測定するために所定の時間或いは所定のクロック数SW4とSW7が「on」となり、周波数温度補償回路18の「Analog OUT」パッドからのレギュレータ電圧値がDMM23により測定される。そして再びSW1とSW5を「on」にして調整値をEEPROMに書き込む。
ステップS4のTSENSORモニタモードのコマンドをSW1とSW5が「on」の間に「Digital OUT」21から周波数温度補償回路18の「Digital IN」に送信する。続いてTSENSOR電圧値を測定するために所定の時間或いは所定のクロック数SW4とSW7が「on」となり、周波数温度補償回路18の「Analog OUT」パッドからのレギュレータ電圧値がDMM23により測定される。そして再びSW1とSW5を「on」にして調整値、VC基準電圧値、発振器電流値をSW1とSW5の経路からEEPROMに書き込む。
ステップS5のTCXOモードのコマンドを「Digital OUT」21から周波数温度補償回路18の「Digital IN」に送信するためにSW1とSW5が「on」となり周波数を設定する。続いて周波数ラフオフセットモードにより調整値をSW1とSW5の経路からEEPROMに書き込む。
ステップS6のVC外部入力モードのコマンドをSW1とSW5が「on」の間に「Digital OUT」21から周波数温度補償回路18の「Digital IN」に送信する。続いて電源24から周波数温度補償回路18の「Analog IN」パッドにVC電圧を入力するために所定の時間或いは所定のクロック数SW3とSW8が「on」となりVC電圧を入力する。続いてSW1とSW5が「on」となり命令待ち状態となり、周波数測定コマンドを受け取る。続いて所定の時間或いは所定のクロック数SW3とSW8が「on」となり、その状態でVC感度測定を行う。続いてSW1とSW5が「on」となり命令待ち状態となり、VCXOゲイン調整コマンドを受け取り、調整値をEEPROMに書き込む。
ステップS7のTCXOモードのコマンドをSW1とSW5が「on」の間に「Digital OUT」21から周波数温度補償回路18の「Digital IN」に送信してAFCを測定し、測定値に基づいて調整値をSW1とSW5の経路からEEPROMに書き込む。
ステップS9のVC外部入力モードのコマンドをSW1とSW5が「on」の間に「Digital OUT」21から周波数温度補償回路18の「Digital IN」に送信する。続いて電源24から周波数温度補償回路18の「Analog IN」パッドにVC電圧を入力するためにSW3とSW8が「on」となる。続いてSW1とSW5が「on」となり命令待ち状態となる。
ステップS10のVCモニタモードのコマンドをSW1とSW5が「on」の間に「Digital OUT」21から周波数温度補償回路18の「Digital IN」に送信する。続いて周波数温度補償回路18の「Analog OUT」パッドからDMM23によりVC電圧を測定するためにSW4とSW7が「on」となる。続いてSW1とSW5が「on」となり命令待ち状態となる。そしてTO調整値、3次成分ゲイン調整値、1次成分ゲイン調整値をSW1とSW5の経路からEEPROMに書き込む。
ステップS12のTCXOモードのコマンドをSW1とSW5が「on」の間に「Digital OUT」21から周波数温度補償回路18の「Digital IN」に送信して周波数を設定する。続いて周波数ファインオフセットモードにより調整値をSW1とSW5の経路からEEPROMに書き込む。
以上の工程を行うことによって調整端子を一つに減らしてもTCXO−ICに調整値を書き込むことが可能となる。
本発明のTCXO・ICの調整端子が1端子の場合のブロック図。 本発明の動作フローチャート。 本発明の動作フローチャート。 本発明の図1のSW1〜SW8の開閉状態をテーブルにした図。 従来のTCXO・ICの調整端子が4端子の場合のブロック図。 図5の従来のSW101〜SW108の開閉状態をテーブルにした図。 水晶素子(At−Cut)の切断角度の違いによる温度特性を表す図。
符号の説明
10 TCXO・IC、14 可変容量ダイオード、15 インバータ増幅器、16 分周回路、17 感温素子、18 周波数温度補償回路、19 調整回路、20 分周回路、25 制御回路、34 コンデンサ、SW3、4、7、8 アナログスイッチ、SW1、2、5、6 デジタルスイッチ

Claims (3)

  1. 所定の周波数で励振される圧電素子を備えた圧電振動子と、集積回路と、を備え、前記集積回路が該圧電素子に電流を流して励振させる発振用増幅器と、不揮発性メモリと、前記不揮発性メモリに情報を書き込むために必要な第1のアナログ信号および第1のデジタル信号を入力するための端子機能ならびに前記集積回路の外に第2のアナログ信号および第2のデジタル信号を出力するための端子機能を兼ね備えた調整端子と、前記集積回路内であって前記アナログ信号ならびに前記デジタル信号の伝送路を断接するスイッチ回路と、当該圧電発振器の発振周波数を1/N(Nは整数)に分周する第1の分周回路と、を備えた圧電発振器であって、
    前記第1の分周回路により分周された信号が前記不揮発性メモリに情報を書き込む際の基準クロックであり、
    前記スイッチ回路が、前記集積回路に入力される前記第1のアナログ信号を断接するためのスイッチと、前記集積回路に入力される前記第1のデジタル信号を断接するためのスイッチと、前記集積回路から出力された前記第2のアナログ信号を断接するためのスイッチと、前記集積回路から出力された前記第2のデジタル信号を断接するためのスイッチと、を備えたものであることを特徴とする圧電発振器。
  2. 所定の周波数で励振される圧電素子を備えた圧電振動子と、集積回路と、を備え、前記集積回路が該圧電素子に電流を流して励振させる発振用増幅器と、不揮発性メモリと、前記不揮発性メモリに情報を書き込むために必要な第1のアナログ信号および第1のデジタル信号を入力するための端子機能ならびに前記集積回路の外に第2のアナログ信号および第2のデジタル信号を出力するための端子機能を兼ね備えた調整端子と、を備えると共に、前記集積回路内であって前記集積回路に入力される前記第1のアナログ信号を断接するためのスイッチと、前記集積回路に入力される第2のデジタル信号を断接するためのスイッチと、前記集積回路から出力される第2のアナログ信号を断接するためのスイッチと、前記集積回路から出力される第2のデジタル信号を断接するためのスイッチとを備えたスイッチ回路と、当該圧電発振器の発振周波数を1/N(Nは整数)に分周する第1の分周回路と、を備え、
    前記第1の分周回路により分周された信号が前記不揮発性メモリに情報を書き込む際の基準クロックである構成を有する圧電発振器の製造方法であり、
    前記調整端子を介して前記アナログ信号及びデジタル信号の送受信を司る制御回路と、前記圧電発振器の発振周波数を1/N(Nは整数)に分周する第2の分周回路とを備えたものであり、前記第2の分周回路の出力信号が前記第1の分周回路の出力信号と同期した信号であると共に前記制御回路の基準クロックである構成を備えた調整回路を準備する工程と、
    前記スイッチ回路を制御して前記第1のアナログ信号または前記第2のデジタル信号を前記集積回路に供給し、前記圧電発振器の回路機能を設定する工程と、
    前記スイッチ回路を制御して前記集積回路への前記第1のアナログ信号と前記第1のデジタル信号の供給を絶つと共に、前記第2のアナログ信号または前記第2のデジタル信号を前記調整回路に供給し、前記圧電発振器の機能を確認する工程と、を含むことを特徴とする圧電発振器の製造方法。
  3. 前記第2の分周回路は、前記第1の分周回路の分周比Nと等しくするために当該第2の分周回路の分周比を調整可能としたことを特徴とする請求項に記載の圧電発振器の製造方法。
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