JP4369891B2 - フッ素循環方式による七フッ化ヨウ素の製造方法 - Google Patents
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Description
20 反応器
30 F2ボンベ
40 IF5コールドトラップ
44 IF7コールドトラップ
50 循環用コンプレッサ
62 IF5回収ボンベ
66 IF7回収ボンベ
Claims (3)
- フッ素ガスと予めガス化した五フッ化ヨウ素ガスを合流し、両者の反応温度以上の温度に加熱した反応器に導入して反応させ、反応生成物である七フッ化ヨウ素を冷却捕集し、未反応の五フッ化ヨウ素を冷却捕集して原料として再使用すると共に、未反応のフッ素ガスを原料としてコンプレッサで循環供給することを特徴とするフッ素循環方式による七フッ化ヨウ素の製造方法。
- 五フッ化ヨウ素のボンベを加温してガス化させ、加温した配管ラインを通して五フッ化ヨウ素をガス化したままの状態で反応器入口部に導き、フッ素ガスと合流させて混合し、大気圧以下の反応器内に導入する請求項1記載のフッ素循環方式による七フッ化ヨウ素の製造方法。
- 反応器入口部における五フッ化ヨウ素とフッ素ガスの混合については、フッ素ガスを反応器入口部に供給し、その後フッ素ガスの供給を一旦停止した上で、反応器入口部のフッ素ガスの圧力よりも高い圧力で五フッ化ヨウ素を供給するように行う請求項2記載のフッ素循環方式による七フッ化ヨウ素の製造方法。
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