JP4368244B2 - ドライエッチング方法 - Google Patents
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High Frequency)と磁界を利用したUHFプラズマエッチング装置を用いた例を説明する。プラズマエッチング装置は、シャワープレート1と、同軸ケーブル2と、同軸導波管3と、ソレノイドコイル5と、静電吸着電源7と、試料台8と、高周波電源9とを有して構成される。試料台8には処理ウェハ6が静電吸着され、処理室内にはプラズマ4が生成される。
Cyclotron Resonance)を生じ、これによりプラズマの生成密度の空間分布が制御される。処理ウェハ6は、静電吸着電源7で試料台8に直流電圧を印加することで、静電吸着力により電極に固定される。また、電極には高周波電源9が接続してあり、高周波電力を印加して、プラズマ中のイオンにウェハに対して垂直方向の加速電位を与える。エッチング後のガスは装置下部に設けられた排気口から、ターボポンプ・ドライポンプ(図省略)により排気される。
同軸ケーブル、3… 同軸導波管、4… プラズマ、5…ソレノイドコイル、6…
ウェハ、7… 静電吸着電源、8… 試料台、9…
高周波電源、10… シリコン基板、11… ゲート酸化膜 、12… SiGe膜、13…多結晶シリコン膜、14…
反射防止膜、15… ArFエキシマレジストパターン
Claims (9)
- マスクによりパターニングされた多結晶シリコン膜の下層部にSiGe膜を有する積層膜の積層構造を異方性形状に制御するドライエッチング方法において、
エッチングガスとして少なくとも弗素を含むガスと、側壁保護効果のあるガスとしてCHxFyを含むガスを用い、前記エッチングガスと側壁保護効果のあるガスの混合ガスから形成されたプラズマによるエッチングで前記多結晶シリコン膜及びSiGe膜の積層構造を異方性形状に制御する
ことを特徴とするドライエッチング方法。 - 請求項1記載の多結晶シリコン膜及びSiGe膜の積層構造を異方性形状に制御するドライエッチング方法において、
処理ウェハが設置される試料台の温度に、ほぼ10℃から40℃の領域を用いる
ことを特徴としたドライエッチング方法。 - 請求項1または請求項2記載の多結晶シリコン膜及びSiGe膜の積層構造を異方性形状に制御するドライエッチング方法において、
上記エッチングガスとして六弗化硫黄を用い、上記側壁保護効果のあるガスとして三弗化メタンを用いる
ことを特徴とするドライエッチング方法。 - 請求項1ないし請求項3のいずれか1項記載の多結晶シリコン膜及びSiGe膜の積層構造を異方性形状に制御するドライエッチング方法において、
上記エッチングガスとして六弗化硫黄を用い、上記側壁保護効果のあるガスとして三弗化メタンを用い、ガスの混合比は六弗化硫黄を10%以上30%未満、三弗化メタンを70%以上90%以下とする
ことを特徴とするドライエッチング方法。 - 請求項1ないし請求項4のいずれか1項記載の多結晶シリコン膜及びSiGe膜の積層構造を異方性形状に制御するドライエッチング方法において、
プラズマエッチング時の圧力をほぼ0.4Pa以下の低圧力領域を用いる
ことを特徴としたドライエッチング方法。 - 請求項1ないし請求項5のいずれか1項記載の多結晶シリコン膜及びSiGe膜の積層構造を異方性形状に制御するドライエッチング方法において、
プラズマエッチング時に半導体基板に印加するウェハバイアス出力を10W以上30W以下の領域を用いる
ことを特徴としたドライエッチング方法。 - 請求項1ないし請求項6のいずれか1項記載の多結晶シリコン膜及びSiGe膜の積層構造を異方性形状に制御するドライエッチング方法において、
多結晶シリコンエッチングした後、SiGe膜のエッチングを60%行い、残余を臭素と酸素のガスを用いてエッチングする
ことを特徴とするドライエッチング方法。 - 請求項1ないし請求項7のいずれか1項記載の多結晶シリコン膜及びSiGe膜の積層構造を異方性形状に制御するドライエッチング方法において、
上記多結晶シリコン膜とSiGe膜の積層構造の界面付近で異方性形状に制御する
ことを特徴とするドライエッチング方法。 - 請求項1ないし請求項8のいずれか1項記載の多結晶シリコン膜及びSiGe膜の積層構造を異方性形状に制御するドライエッチング方法において、
多結晶シリコン及びSiGe膜の膜質に依存せず異方性形状を制御する
ことを特徴とするドライエッチング方法。
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