JP4994161B2 - メタルゲートのドライエッチング方法 - Google Patents
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Cyclotron Resonance)を生じ、これによりプラズマの生成密度の空間分布が制御される。エッチング処理時、処理ウェハ6は、搬送室(図省略)よりエッチング室のウェハホルダ8に搬入され、静電吸着電源7でウェハホルダ8に直流電圧を印加することによって、静電吸着力によりウェハホルダの電極に吸着固定される。また、電極には高周波電源9が接続してあり、高周波のバイアス電力を印加して、プラズマ中のイオンにウェハに対して垂直方向の加速電位を与える。
Claims (2)
- シリコン基板の表面に形成されたHfSiON膜の上に、n型メタルゲート部となるTaSiN膜または、p型メタルゲート部となるTiN膜が形成され、前記TaSiN膜または、前記TiN膜のそれぞれの膜の上にW膜が形成された半導体装置に前記n型メタルゲート部および前記p型メタルゲート部を形成するドライエッチング方法において、
前記TaSiN膜および前記TiN膜を塩素ガスと三フッ化メタンガスと窒素ガスとの混合ガスまたは塩素ガスと四フッ化炭素ガスと窒素ガスとの混合ガスを使用し、前記塩素ガスと三フッ化メタンガスと窒素ガスとの混合ガスまたは前記塩素ガスと四フッ化炭素ガスと窒素ガスとの混合ガスの流量を3:1:1とし、処理圧力を0.5Pa以下としてエッチングすることを特徴とするドライエッチング方法。 - 請求項1記載のドライエッチング方法において、
前記W膜を塩素ガスと四フッ化炭素ガスと窒素ガスとの混合ガスまたは塩素ガスと三フッ化メタンガスと窒素ガスとの混合ガスを使用し、前記塩素ガスと四フッ化炭素ガスと窒素ガスとの混合ガスまたは前記塩素ガスと三フッ化メタンガスと窒素ガスとの混合ガスの流量を3:7:11とし、処理圧力を0.5Pa以下としてエッチングすることを特徴とするドライエッチング方法。
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