JP4364743B2 - 長尺薄帯状部材用搬送装置を備えた長尺薄帯状部材用処理装置及びフィルムキャリアテープ用搬送装置を備えたスクリーン印刷機 - Google Patents

Description

本発明は、長尺薄帯状部材の搬送装置を備えた処理装置に関する。さらに詳細には、送り用リールに巻き取られている基本的に可撓性はあるが剛性が低い薄帯状部材を、回転駆動手段を備えた巻取用リールに巻き取る途中で、上記回転駆動手段を間欠的に一時停止させ、その停止中にスクリーン印刷等を施し、その後また回転駆動手段を再起動させ巻取用リールに巻き取り所望製品を作製するために使用される長尺薄帯状部材用搬送装置を備えたスクリーン印刷機等の処理装置に関する。

従来から、主に工業製品の製造工程中において、送り用リールに巻き取られているフィルム若しくはテープのような長尺薄帯状部材を、回転駆動手段を備えた巻取用リールに巻き取ることで、長尺薄帯状部材を搬送する途中で、回転駆動手段を間欠的に一時停止させ、その停止中に、長尺薄帯状部材の所望箇所に所定処理を施し、その後回転駆動手段を再起動させ巻取用リールに巻き取ることで、所望製品を作製するために使用される搬送装置を備えた各種処理装置がある。

特に、上記処理装置の代表例として以下の装置がある。すなわち、近年、電子機器の軽薄短小化（ダウンサイジング化）に伴い、ＬＳＩ、チップコンデンサ、若しくはチップインダクタ等の小型部品の需要が急増し、薄帯状部材用搬送装置を備えた薄帯状部材処理装置として、フィルムキャリアテープ（長尺薄帯状部材）にファインピッチの配線を形成するようにスクリーン印刷を施す、ＴＡＢテープ、Ｔ−ＢＧＡテープ、ＡＳＩＣテープ、又はＣＯＦテープ用のスクリーン印刷機等が一般に普及して存在している。

図６は、従来のスクリーン印刷機５０を横方向から見た際の概念図（断面図）である。以下、従来の不具合点が発生する、スクリーン印刷機５０の、図６（参照番号５１、２、３０、３４、３６、３２、及び５２）、及び図７（ａ）を参照しつつ従来技術を説明する。（なお、本願の図面は、すべて概略図であり、実際の寸法や、相互の部材、装置の比率を忠実に反映したものではないことを初めに注釈する。）

なお、図１には本発明のスクリーン印刷機１００の横方向から見た際の概念図（断面図）を示されているが、図６の従来のスクリーン印刷機５０と図１の本発明のスクリーン印刷機１００とが同一の部材又は装置については同一の参照符号を付し、これらの同一の部材又は装置を含む本発明のスクリーン印刷機１００の構成及び作用並びに効果については後述する。

特開２００４−１３６５６７号公報 特開２００２−３４７３２６号公報 特開２００２−２７３８５０号公報 特開２００２−２４８７３１号公報

一般に、フィルムキャリアテープは、絶縁性フィルムの上に、エポキシ樹脂等の接着剤層が存在しており、その上に導電性金属箔（銅箔）が接着されている、いわば「三層構造」の層（以下本願では「三層テープ」といい、参照番号２で示す。）を形成している。

一方で、昨今、この「三層構造」の層が、絶縁性フィルムの上に銅が被覆され、接着材層が存在しない「二層構造」の層（以下本願では「二層テープ」といい、参照番号２Ａで示す。）のものに代替されつつある。

両者の平面と垂直方向の層構造について言及すると、「三層テープ」は、絶縁性フィルム層が通常は１μｍ〜１２５μｍであり、好ましくは５０μｍ〜７５μｍであり、接着剤層が通常は１μｍ〜２５μｍであり、好ましくは８μｍ〜１２μｍであり、その上に通常は１μｍ〜５０μｍであり、好ましくは２０μｍ〜３５μｍの銅箔が積層されて成る。したがって、「三層テープ」の全体の厚さ（絶縁性フィルム厚と接着剤層厚と銅箔厚の合計厚さ）は、通常は３μｍ〜２００μｍであり、好ましくは７８μｍ〜１２２μｍである。一方、「二層テープ」（図４参照）には接着剤層が存在せず、さらに、絶縁性フィルム層も通常は１μｍ〜５０μｍであり、好ましくは２５μｍ〜４０μｍである。このように絶縁性フィルム層について従来から使用されてきたポリイミド樹脂等より薄い厚さのポリイミド樹脂等を使用する傾向にある。この上に、通常は１μｍ〜２０μｍであり、好ましくは４μｍ〜１８μｍの銅層がキャスティング法、熱圧着法、メタライジング法等により形成されると「二層テープ」の全体の厚さ（絶縁性フィルム厚と銅箔厚の合計厚さ）は通常は２μｍ〜７０μｍであり、好ましくは２９μｍ〜５８μｍとなる。

このように、「三層テープ」は、主に絶縁性フィルム層の厚みにより剛性を有する。一方、「二層テープ」においては、可撓性はあるが薄くて剛性が低いため、どの箇所でも簡単に折曲（若しくは湾曲）が可能である反面、カール、反り、若しくは、捻れが生じ易い性質を有する。

このような基本的に可撓性を有し、且つ、低剛性の材料強度物性を持つ「二層テープ」のフィルムキャリアテープをＣＯＦ（Ｃｈｉｐ Ｏｎ Ｆｉｌｍ）用フィルムキャリアテープ（ＣＯＦテープともいう。）として、従来のスクリーン印刷機に適用した場合に以下のような不具合が生じる。

図７（ａ）は、「二層テープ」のフィルムキャリアテープが有する不具合点を説明するための概略図である。

図７（ａ）を参照して従来技術を説明すると、フィルムキャリアテープ２が、送りローラ３０下部とテンションローラ３４の上部とに接触し、矢印の方向に搬送される。また、フィルムキャリアテープ２の搬送中はこの送りローラ３０とテンションローラ３４との間にはテンションローラ３４が鉛直上方又は斜め上方方向へ上昇することで僅かな張力が発生するように設定されている。

さて、三層テープのフィルムキャリアテープ２は、前述したように絶縁性フィルム層の厚みにより剛性があるため、図７（ａ）の一点鎖線で示されるように、三層テープのフィルムキャリアテープ２は撓まずにフィルムそのものの剛性により、第１送りローラ３０と第１テンションローラ３４との間を略真直ぐに維持することができていた。しかし、「二層テープ」のフィルムキャリアテープ２Ａを従来のスクリーン印刷機５０に適用した場合にあっては、基本的に可撓性はあるが剛性が低いために、図７（ａ）で誇張して示しているように、フィルムキャリアテープ２Ａが重力でちょうど２本の電柱間で電線が垂れ下がると同様に鉛直下方に向かって撓んでしまう。

結果として、特に搬送スピードを上げたときに、しわ、反り、カール、よじれ等の変形が生じるという不具合が発生し易く当該スクリーン印刷機が量産機として機能しないとう問題点が生じる。

さらに詳細に説明すると、図６に示された従来の搬送装置の、第１テンションローラ３４及び第２テンションローラ３６と、第１送りローラ３０及び第２送りローラ３２により送りリール５１（図１参照）から搬送される二層テープのフィルムキャリアテープ２Ａを搬送する際、特に第１送りローラ３０と第１テンションローラ３４との間、並びに、第２送りローラ３２と第２テンションローラ３６との間で、二層テープのフィルムキャリアテープ２Ａが上記のように変形し易く、搬送中蛇行するという不具合が発生する。よって、さらに搬送スピードを上げて量産性を上げることができない。さらにまた、このスクリーン印刷機のように間欠運転をする装置の場合には、フィルムキャリアテープ２Ａに間欠的に張力がかかったり、かからなかったりするため、尚更スクリーン印刷対象の基本的に可撓性はあるが剛性が低い二層テープのフィルムキャリアテープ２Ａに上記変形が起きやすい。

かかる不具合を解決する方法として、第１送りローラ３０と第１テンションローラ３４との間、並びに、第２送りローラ３２と第２テンションローラ３６との間において、二層テープのフィルムキャリアテープを、床面から鉛直上方に見た面（以下「裏面」という。）のほぼ全体に対してベルトコンベア装置のベルト面（上面）で支持するような方法が、特許文献１に提示されている。

さらに、同様の場合に、二層テープのフィルムキャリアテープ２Ａが上述した「よじれ」、「カール」又は「しわ」等の変形を起こした場合に二つのローラでニップしてこれらの変形を取り除き元に戻す方法が特許文献２〜特許文献４に提示されている。

しかし、特許文献１による方法によれば、ベルトのゴムやウレタン等から発生しうる粉塵等が、テープの表面及び裏面、特にインナーリード部分に付着するという弊害、さらにはベルトによりフィルムキャリアテープの裏面に傷が付き、歩留が低下するという弊害が発生する。

また、特許文献２〜特許文献４による方法によれば、二層テープのフィルムキャリアテープに「よじれ」、「カール」、又は「しわ」等の変形が起きた後二つのローラでニップしても、変形したままの状態で押圧されるので元通りの状態には復元されず不具合の解決には到底至らない。

そこで、本発明は、上記のように薄く、基本的に可撓性があっても剛性が低いポリイミド樹脂とその上に被覆された銅とからなるような長尺薄帯状部材たるフィルムキャリアテープであっても、しわ、カール、反り、ねじれ等の変形が生じないように、かつ、フィルム等から発生する粉塵等のゴミ防止を実現しながら、円滑な搬送を可能とし、スクリーン印刷等の所定処理を施した安定した良品を量産ベースで製造できるようにすることを目的とする。

本発明（１）によれば「長尺薄帯状部材を、上流側の長尺薄帯状部材送りリールから送出し、当該長尺薄帯状部材を下流側に送るための第１送りローラ、及び当該長尺薄帯状部材に対して所定の張力を与える第１テンションローラを経由して処理装置に送る第１リール手段と、当該第１リール手段から送出された長尺薄帯状部材を載置し、長尺薄帯状部材が間欠的に停止して所定処理を施す処理用ステージを備える処理装置と、当該処理装置を出た長尺薄帯状部材に対して所定の張力を与える第２テンションローラ、及び長尺薄帯状部材を下流側に送るための第２送りローラを経由して長尺薄帯状部材巻き取りリールに送る第２リール手段とを直列的に配置した長尺薄帯状部材用処理装置であって、当該第１リール手段は、離間配置した第１送りローラと第１テンションローラとの間の当該長尺薄帯状部材の下面側と当接する位置に、１本又は等間隔に配置した２本以上の支持ローラを設け、第１送りローラから第１テンションローラに向けて、長尺薄帯状部材が登り勾配の走行経路を備えるものであり、当該第２リール手段は、離間配置した第２テンションローラと第２送りローラとの間の当該長尺薄帯状部材の下面側と当接する位置に、１本又は等間隔に配置した２本以上の支持ローラを設け、第２テンションローラから第２送りローラに向けて、長尺薄帯状部材が下り勾配の走行経路を備えるものであり、当該第１リール手段の第１テンションローラ及び当該第２リール手段の第２テンションローラは、処理装置内に位置する長尺薄帯状部材に適正な張力を付与すると同時に、長尺薄帯状部材が走行する際には、長尺薄帯状部材が処理装置の処理用ステージ面に接触しないよう、処理装置の処理用ステージ面の上方に移動し、当該所定処理を行う際には、当該第１リール手段の第１テンションローラ及び当該第２リール手段の第２テンションローラが同期して下方に移動し、前記長尺薄帯状部材の処理部分を処理用ステージに載置し所定処理を間欠的に行うように上下動可能なテンションローラであることを特徴とする長尺薄帯状部材用処理装置」を提供する。

なお、第１送りローラ、第２送りローラ、第１テンションローラ、第２テンションローラ及び支持ローラを「直列的に配置した」とあるが、各ローラ（特に軸）がすべて基本的に平行であること、さらに好ましくは、各ローラの軸方向に垂直な方向の線対称軸が一直線にあること（すなわちそれぞれのローラの重心が基本的に同一平面内にあること）で、フィルムキャリアテープが各ローラの中心部上を接しながら搬送され安定な製造を可能とする。なお、製造上多少の寸法誤差により平行関係が多少成り立たない場合や、それぞれのローラの重心が同一平面内から多少ずれることがあってもフィルムキャリアテープが安定に搬送する限り製造上の（搬送上の）問題はない（本発明（５）の場合も同様）。

本発明（２）によれば「前記支持ローラを複数本配置する際には、長尺薄帯状部材搬送時に、各支持ローラと長尺薄帯状部材の下面との接線が略一直線であることを特徴とする上記長尺薄帯状部材用処理装置」を提供する。

本発明（３）によれば「前記長尺薄帯状部材が可撓性を有し、且つ、低剛性の材料からなる部材であることを特徴とする上記長尺薄帯状部材用処理装置」を提供する。

本発明（４）は「フィルムキャリアテープを、上流側のフィルムキャリアテープ送りリールから送出し、当該フィルムキャリアテープを下流側に送るための第１送りローラ、及び当該フィルムキャリアテープに対して所定の張力を与える第１テンションローラを経由してスクリーン印刷を行うスクリーンユニットに送る第１リール手段と、当該第１リール手段から送出されたフィルムキャリアテープを載置し、フィルムキャリアテープが間欠的に停止してスクリーン印刷を施す印刷用ステージを備えるスクリーンユニットと、当該スクリーンユニットを出たフィルムキャリアテープに対して所定の張力を与える第２テンションローラ、及びフィルムキャリアテープを下流側に送るための第２送りローラを経由してフィルムキャリアテープ巻き取りリールに送る第２リール手段とを直列的に配置したフィルムキャリアテープ用スクリーン印刷機であって、当該第１リール手段は、離間配置した第１送りローラと第１テンションローラとの間の当該フィルムキャリアテープの下面側と当接する位置に、１本又は等間隔に配置した２本以上の支持ローラを設け、第１送りローラから第１テンションローラに向けて、フィルムキャリアテープが登り勾配の走行経路を備えるものであり、当該第２リール手段は、離間配置した第２テンションローラと第２送りローラとの間の当該フィルムキャリアテープの下面側と当接する位置に、１本又は等間隔に配置した２本以上の支持ローラを設け、第２テンションローラから第２送りローラに向けて、フィルムキャリアテープが下り勾配の走行経路を備えるものであり、当該第１リール手段の第１テンションローラ及び当該第２リール手段の第２テンションローラは、スクリーンユニット内に位置するフィルムキャリアテープに適正な張力を付与すると同時に、フィルムキャリアテープが走行する際には、フィルムキャリアテープがスクリーンユニットの印刷用ステージ面に接触しないよう、スクリーンユニットの印刷用ステージ面の上方に移動し、当該印刷処理を行う際には、当該第１リール手段の第１テンションローラ及び当該第２リール手段の第２テンションローラが同期して下方に移動し、前記フィルムキャリアテープの印刷部分を印刷用ステージに載置し印刷処理を間欠的に行うように上下動可能なテンションローラであることを特徴とするスクリーン印刷機」を提供する。

本発明（５）は「前記支持ローラが複数本あるときには、フィルムキャリアテープ搬送時に、各支持ローラとフィルムキャリアテープの下面との接線が略一直線であることを特徴とする上記スクリーン印刷機」を提供する。

本発明（６）は「前記フィルムキャリアテープがポリイミド樹脂に銅を蒸着及びめっきしたメタライジング法により施した長尺状フィルムキャリアテープであることを特徴とする上記スクリーン印刷機」を提供する。
を提供する。

本発明（７）は「前記第１送りローラ、第２送りローラ、第１テンションローラ、第２テンションローラ及び支持ローラの少なくとも表面がポリアセタール樹脂、アクリル樹脂、ポリアミド樹脂、シリコーン樹脂、ポリウレタン樹脂、及びポリカーボネートのいずれかの樹脂を材質とすることを特徴とする上記スクリーン印刷機」を提供する。

本発明（８）は、「前記第１送りローラ、第２送りローラ、第１テンションローラ、第２テンションローラ及び支持ローラは自由回転、又は、駆動装置を備え搬送速度と同一速度で前記フィルムキャリアテープが搬送可能な状態で回転することを特徴とする上記スクリーン印刷機」を提供する。

本発明によれば、薄膜の、特に二層テープのフィルムキャリアテープ等の長尺薄帯部材を搬送かつ処理を行っても、しわ、反り、カール、よじれ等の変形がフィルムキャリアテープに生じない。そのため長尺薄帯部材の安定した走行が達成され、スクリーン印刷等の処理がローラ搬送中に間欠的に行われても同様の変形がフィルムキャリアテープに生じなく、及び位置決め精度も向上する。なお、本発明は、従来の三層テープのフィルムキャリアテープにも適用可能であることはいうまでもない。

本願の発明を実施するための最良の形態においては、以下、上記二層テープ（ＣＯＦテープ）用フィルムキャリアテープを本発明の長尺薄帯状部材の代表例とする。すなわち、本発明の「長尺帯状部材用搬送装置を備えた処理装置」の最良の実施形態を「フィルムキャリアテープ搬送装置を備えたスクリーン印刷機（二層テープ（ＣＯＦテープ）用）」とし以下説明を始める。但し、本発明は当該スクリーン印刷機への適用に限られるものではない。例えば、特に基本的に可撓性はあるが剛性が低い長尺薄帯状部材を略水平搬送させ、搬送中に間欠的に長尺薄帯状部材へ所定の処理を行う、ＡＯＩ若しくは電気検査機等の表面検査装置、露光装置、又はプレス加工機等への適用も可能である。

さて、本発明を実施するための最良の形態を、図１〜図７を参照して以下説明を始める。

図１は、本発明に係るスクリーン印刷機１００の断面図である。また、図２は、本発明に係るスクリーン装置機１００の頂面図である。

図１を参照して分かるように、本スクリーン印刷機１００は、スクリーン印刷機１００に制御命令を出す制御ユニット、電源部、及び真空ポンプ等を内部に収納した略直方体の筐体４８と、この筐体４８上の略中央に位置するスクリーン印刷ユニット３８と、フィルムキャリアテープ２Ａが巻かれている送りリール５１と、回転駆動部（不図示）をその中心軸に持つ巻き取りリール５２と、フィルムキャリアテープ２Ａの搬送経路を確定する第１の送りローラ３０及び第２の送りローラ３２と、スクリーン印刷中にフィルムキャリアテープ２Ａを塗布ステージ４２上で安定させるために１００ｇ±５０ｇ程の張力をかけ、さらに、フィルムキャリアテープ２Ａにスクリーン印刷完了後にフィルムキャリアテープ２Ａを塗布ステージ４２から上方向へ離隔し、上記第１の送りローラ３０及び第２の送りローラ３２により搬送中にフィルムキャリアテープ２Ａに対して同様に１００ｇ±５０ｇ程の張力をかけることができ、自由回転可能な、第１テンションローラ３４及び第２テンションローラ３６と、送りローラ３０と第１テンションローラ３４との間に配された５本の支持ローラ１０１Ａ〜１０１Ｅと、送りローラ３２と第２テンションローラ３６との間に配された５本の支持ローラ１０１Ｆ〜１０１Ｊと、を備えている。

筐体４８の中には制御ユニットや電源部等を収納するように上述したが、これらの装置はもちろん筐体４８を外に設けるようにしてもよい。ただし、スクリーン印刷を安定して行うためには筐体４８自身に重量があることが望ましい。特に近年のスクリーン印刷は回路の配線のファイン化が益々進んでおり、筐体４８の微少な動きが精緻なスクリーン印刷による配線のファインピッチに悪影響を与えるおそれがあるからである。

スクリーン印刷ユニット３８は、塗布ステージ取り付け台４１、並びに、この塗布ステージ取り付け台４１上に固定されているフィルムキャリアテープ塗布ステージ４２、及びスキージ２０（図５参照）等を含む塗布手段４０を備えている。なお、図５において、参照符号２１はスクリーンを、参照符号２３はソルダーレジスト用塗布液を示す。

駆動回転手段（不図示）により巻き取りリール５２によってフィルムキャリアテープ２Ａが巻き取られることにより、フィルムキャリアテープ２Ａが上記塗布ステージ４２と塗布手段４０との間を搬送するが、下記に説明するスクリーン印刷を間欠的かつ連続的に行うため、第一のスクリーン印刷が終了後スクリーン印刷ユニット３８にフィルムキャリアテープ２Ａが搬送され、スクリーン印刷が終了するまで搬送が一時停止し、次のスクリーン印刷が行われる。このような工程が繰り返され、巻き取りリール部５２に巻き取られつつ製品が完成してゆく。

ここで、二層構造品のフィルムキャリアテープ２Ａについて図３及び図４を参照して説明する。そして、スクリーン印刷機１００を用いたフィルムキャリアテープ２Ａのソルダーレジスト層４のスクリーン印刷方法について図１を参照して説明する。

図３は、フィルムキャリアテープ２Ａの構成を概略的に示す平面図である。図４は、図３に示すフィルムキャリアテープ２Ａの断面図である。図３のフィルムキャリアテープ２Ａには、図３に示すように、絶縁性フィルム３上に、銅による配線パターン５ａ、及びソルダーレジスト層４、スプロケットホール７、インナーリード１４ａ、及びアウターリード１４ｂを備えている。

絶縁性フィルム３は、フィルムキャリアテープ２Ａの製造工程において化学的・機械的な加工がなされるため耐熱性及び耐薬品性が要求される。さらに、折曲又は湾曲して使用されることが多いため優れた可撓性も要求される。よって、上記物性を兼ね備えた絶縁性フィルム用の材料として、ポリイミド樹脂の他、ポリエステル樹脂、ポリアミド樹脂、ポリエーテルサルホン、液晶ポリマー等を用いることができる。ポリイミドフィルムを用いる場合には、その厚さは、例えば、通常は１μｍ〜１５０μｍ、好ましくは７μｍ〜１２５μｍ、さらに好ましくは１５μｍ〜５０μｍとすることが好ましい。

導体層１３には、銅の他、金、銀などを使用することもできるが、銅箔が一般的に使用されている。また、導体層１３としては、電解銅箔、圧延銅箔等いずれも使用することができる。そして、導体層１３は、キャスティング法、熱圧着法、メタライジング法等により形成される。また、無電解めっき等の乾式めっき法や、スパッタリング法、イオンプレーティング法、蒸着法等の湿式めっき法により形成することもできる。導体層１３の厚さは、一般的には１μｍ〜７０μｍであり、好ましくは５μｍ〜３５μｍである。なお、導体層１３の厚さが薄い方がインナーリード１４ａのファインピッチを精緻に形成し易い。

また、本発明のＣＯＦ用フィルムキャリアテープに用いられる導体層と絶縁層との積層フィルムとしては、ポリイミドフィルムなどの絶縁性フィルムにニッケルなどの密着強化層をスパッタした後、銅めっきを施した積層フィルムを挙げることができる。さらにまた、積層フィルムとしては、銅箔にポリイミドフィルムを塗布法により積層したキャスティングタイプや、銅箔に熱可塑性樹脂や熱硬化樹脂等を介して絶縁性フィルムを熱圧着した熱圧着タイプの積層フィルムを挙げることができる。本発明ではいずれを用いてもよい。

エッチングにより配線パターン５ａを形成し、さらに、配線パターン５ａ上に表面を保護するために、例えばウレタン樹脂が塗布されソルダーレジスト層４を本願のスクリーン印刷機１００を用いて形成される。

また、出力アウターリード１４ｂに接する部分には、濡れ性が低く、フラックスが付着しにくいポリイミド樹脂によるソルダーレジスト層４を設ける。さらに、ポリイミド樹脂の塗布厚さを２５μｍ以下にし、半田付けの際の接合不良を防止して信頼性を向上させている。

次に、フィルムキャリアテープ２Ａの製造方法を、図４を参照して説明する。まず、二層テープの銅層１３上にフォトレジストを塗布し、所望配線パターン５ａ（図３）が形成されるようにマスクを通して露光し、エッチングにより配線パターン５ａを形成する。次に、図５を参照して、フォトレジストを除去し、電子部品ボンディング用のリードの端子部を残し、配線パターン５ａの上からフィルムキャリアテープ２Ａ表面にソルダーレジスト用塗布液２３を塗布しソルダーレジスト層４を形成する。その後、ソルダーレジスト層４で覆われていない銅層１３上に必要に応じてＳｎ等によりめっき部１０２を形成してフィルムキャリアテープ２Ａとする。この際、ソルダーレジスト層４の形成前にプレＳｎめっき層を設けておいてもよい。また、ソルダーレジスト層４は、熱硬化性樹脂を有機溶剤中に溶解して調液されるソルダーレジスト用塗布液２３により形成される。

次に、二層テープのフィルムキャリアテープ２Ａのソルダーレジスト層４のスクリーン印刷方法を図３〜図５を参照して説明する。

スクリーン印刷機１００では、まず図３を参照して説明すると、絶縁性フィルム３上に均等幅で設けられるスプロケットホール７に歯車の歯が嵌合され、絶縁性フィルム３が搬送され、塗布ステージ４２周辺には上下する複数のピン（不図示）が設けられている。絶縁性フィルム３が搬送されると、ピンが上昇して絶縁性フィルム３上のスプロケットホール７に挿入される。次に、押さえ板で絶縁性フィルム３が押さえられ、１００ｇ±５０ｇ程の張力をテンションローラ３４及びテンションローラ３６により負荷しながら、絶縁性フィルム３が塗布ステージ４２（図１参照）上に位置決めされ、真空ポンプ（不図示）により塗布ステージ４２上に吸引固定される。そして、その上に置かれた絶縁性フィルム３上の配線パターン５ａに非塗布部がマスキングされたスクリーン２１を配置する（以下図５参照）。このスクリーン２１上にウレタン樹脂等で調液したソルダーレジスト用塗布液２３を流し込み、スキージ２０を一定の圧力・速度で移動させて、非マスク部分からスクリーン２１を通して、絶縁性フィルム３上の配線パターン５ａ上にソルダーレジスト用塗布液２３を塗布し、乾燥、硬化し、ソルダーレジスト層４が形成される。このようにしてスクリーン印刷工程の一工程が完了し、次のスクリーン印刷ができるように絶縁性フィルム３が間欠的に搬送され、巻き取りリール５２に巻き取られていく。（なお、本発明１００のフィルムキャリアテープ幅の適用可能範囲は３５ｍｍ〜２００ｍｍであり、搬送スピード調整可能範囲は１．０ｍ／分〜１０．０ｍ／分である。）

ここで図７（ａ）〜図７（ｃ）を参照して上記支持ローラ１０１Ａ〜１０１Ｅ及び支持ローラ１０１Ｆ〜１０１Ｊについて説明する。なお、支持ローラ１０１Ａ〜１０１Ｅ側と、支持ローラ１０１Ｆ〜１０１Ｊ側とは略左右対称に配置され、実質的に構成が同じなので、スクリーン印刷ユニット３８の左側にある支持ローラ１０１Ａ〜１０１Ｅ側についてのみ説明し、支持ローラ１０１Ｆ〜１０１Ｊ側の説明は省略する。

図７（ａ）は、支持ローラ１０１Ａ〜１０１Ｅが存在しない従来の場合（図５の場合）について説明するための概念図である。

三層テープのフィルムキャリアテープ２は前述したように、絶縁性フィルム層の厚みにより剛性があった。よって、図７（ａ）の一点鎖線で示されるように、フィルムキャリアテープ２は撓まずにフィルムそのものの剛性により、第１テンションローラ３４を上方に移動することにより、フィルムキャリアテープ２に１００ｇ±５０ｇ程の張力がかけられ、第１送りローラ３０と第１テンションローラ３４との間を略真直ぐに維持することができていた。しかし、二層構造品のフィルムキャリアテープ２Ａを従来のスクリーン印刷機５０に適用した場合にあっては、上述したように基本的に可撓性はあるが薄くて剛性が低いため、図７（ａ）で誇張して示しているように重力でちょうど２本の電柱間で電線が垂れ下がると同様に鉛直下方に撓んでしまう。

結果として、特に搬送スピードを上げたときに、しわ、反り、カール、よじれ等の変形が生じるという不具合が発生し易く当該スクリーン印刷機が量産機として機能しない。そこで、図７（ｂ）及び図１で示されるように、本発明に係るスクリーン印刷機１００では、上記撓みが発生しないように、二層テープのフィルムキャリアテープ２Ａが基本的に真直ぐに支持（維持）されるように支持ローラ１０１Ａ〜１０１Ｅをフィルムキャリアテープ２Ａの裏面に当接するように、かつ、支持ローラ１０１Ａ〜１０１Ｅが自由回転するように配置した。支持ローラ１０１Ａ〜１０１Ｅは搬送速度と同期するように駆動手段によって支持ローラ１０１Ａ〜１０１Ｅが回転するようにしてもよい。

さらに詳細に支持ローラ１０１Ａ〜１０１Ｅについて説明を続ける。

支持ローラ１０１Ａ〜１０１Ｅは、同一形状・同一材料であることが好適である。そして、支持ローラ１０１Ａ〜１０１Ｅは、図２に示されているようにスクリーン印刷機１００の筐体４８上部のフレーム５５Ａ及び５５Ｂに駆動手段を持たずに自由回転可能に固定されている（なお、この際ベアリングがフレーム５５Ａ〜５５Ｄ側にあるように設定してもよい。）。すなわち、各支持ローラ１０１Ａ〜１０１Ｅの形状は円柱（ロール状）であり、回転中心軸にシャフトを有し、このシャフトが図示しないフレーム５５Ａ及び５５Ｂに固設されたベアリングを介してフレーム５５Ａ及び５５Ｂに挿通され自由回転可能に軸支されている。なお、支持ローラ１０１Ａ〜１０１Ｅは、駆動手段を持ち搬送速度と同期して回転するようにされてもよい。また、支持ローラ１０１Ａ〜１０１Ｅの少なくとも表面の材質はジュラコン（登録商標）であることが好ましい。回転軸を除くすべての部分がジュラコンであってもよく、ジュラコンを支持ローラ１０１Ａ〜１０１Ｅの表面に、例えば厚膜コーティング等で形成させる方法であってもよい。

ジュラコンはポリアセタール樹脂を材料（原料）とする樹脂である。ジュラコンを使う理由は、フィルムキャリアテープの搬送中にジュラコンから粉塵が発生しないこと、ジュラコンは硬度が大きいため摩耗しづらくフィルムキャリアテープ２Ａの搬送後ローラ跡がつかないこと、ジュラコンとフィルムキャリアテープ２Ａとの間で搬送中に静電気が発生しないこと等の利点を持つ。なおアクリル樹脂、ＭＣナイロン（登録商標）等のポリアミド樹脂、シリコーン樹脂、ポリウレタン樹脂、ポリカーボネート樹脂などの合成樹脂をジュラコンの代わりに用いることもでき、同様にして上記樹脂のいずれかを支持ローラ１０１Ａ〜１０１Ｅの表面に例えば厚膜コーティング等で形成させる方法であってもよい。

さらに、図２から分かるように、各支持ローラ１０１Ａ〜１０１Ｅ並びに送りローラ３０及びテンションローラ３４の回転軸は互いに平行であり、これらの回転軸の垂線方向がフィルムキャリアテープ２Ａの搬送方向と一致するように並列に軸支されている。なお送りリール５１、巻き取りリール５２の回転軸もこれらのリールと平行である。また、図１又は図２に示されたすべてのローラ及びリールの搬送方向の線対称面は一平面内にあるように（言い換えれば、それぞれの重心が同一平面内にあるように）設定されていることが好ましい。なおここでいう平面とは実体的な平面ではなく、空間上の仮想的な平面である。

各支持ローラの円柱の頂面又は底面の直径の大きさはもちろん同一にすることが望ましいが、適度な長さ及び適度な直径の大きさが必要である（例えば、二層テープには、直径について１５ｍｍ〜３５ｍｍ径程度が好適である。）。その理由は、図７（ｃ）に誇張して概略的に示したように支持ローラの直径が大きいと、支持ローラ（１０１Ａ〜１０１Ｅ）とフィルムキャリアテープ２Ａとの面接触の面積が大きくなり支持ローラ状で安定に維持されるからである。このようにして安定にフィルムキャリアテープ２Ａが直線上に維持されれば、フィルムキャリアテープ２Ａに、しわ、反り、カール、よじれ等の変形も発生しないため安定にフィルムキャリアテープ２Ａが直線搬送され、搬送速度を上げても蛇行せず、歩留の向上と共に量産性を向上させることができる。なお支持ローラの直径が大きすぎると面接触の面積が大きくなりすぎて、かつイナーシャ（若しくは慣性モーメント）も大きくなり、面接触部分の摩擦係数次第では、搬送中支持ローラの部分でカール等の不具合が起こりうるので適度な直径の大きさに留めておくべきである。一方、支持ローラの直径が小さすぎると（例えば１０ｍｍ径）支持ローラとフィルムキャリアテープ２Ａとの接触面積が小さくなり支持ローラとフィルムキャリアテープ２Ａとの接触圧が高くなるので、フィルムキャリアテープ２Ａに傷が発生し易くなる。

また支持ローラの本数については、第１ローラ３０と第１テンションローラ３４との間の距離、フィルムキャリアテープ幅、及びフィルムキャリアテープの剛性等の物理強度に応じて、適宜定めることができる。しかし、上記距離に対してあまり本数が多いと、コストがかかると同時にフィルムキャリアテープ２Ａに静電気や傷の発生を招き兼ねない。よって図７（ｂ）のようにフィルムキャリアテープ２Ａが第１送りローラ３０と第１テンションローラ３４との間で張力が１００ｇ±５０ｇ程度において略真直ぐに維持されるように本数を決めることが望ましい。この場合、汎用性をもたせるために、支持ローラを上記フレーム５５Ａ〜５５Ｄに対して着脱可能及び脱着可能な嵌め込み式にして、嵌め込み可能な部分をフレーム５５Ａ〜５５Ｄに複数箇所設けるようにするようにしてもよい。このような汎用的な構造をあらかじめフレーム部５５Ａ〜５５Ｄに設けておくことは、フィルムキャリアテープ２Ａの剛性や可撓性が変わっても適切な支持ローラの本数を決めることができ、少量多品種の製造に即座に柔軟に対応するために望ましいと考えられる。

本実施例は図１に示された本発明のスクリーン印刷機１００の構成を採り、以下の製造条件下で実施された。
＜フィルムキャリアテープ＞
材質：ポリイミドフィルム樹脂上に銅を蒸着及びめっきしたメタライジング法による長尺フィルム
幅：９６ｍｍ 厚さ：４６μｍ （フィルム厚３８μｍ＋銅層厚８μｍ）
送りローラ３０とテンションローラ３４との間の張力：１００ｇ（０．９８Ｎ）

＜支持ローラ＞
材質：ポリアセタール樹脂（ジュラコン）
頂面（底面）直径：２５ｍｍ
送りローラ３０（３２）とテンションローラ３４（３６）との間の距離：３００ｍｍ
送りローラ３０（３２）とテンションローラ３４（３６）との間の支持ローラの本数：５本
支持ローラ間の距離：５０ｍｍ

＜搬送条件＞
搬送スピード：５．０ｍ／分

＜実施結果＞
上記の条件で、フィルムキャリアテープにしわ、反り、カール、よじれ等の変形は全く生じなかった。

比較例

比較例は図５に示された従来のスクリーン印刷機５０の構成を採り、以下の製造条件下で実施された。

＜フィルムキャリアテープ＞
材質：ポリイミドフィルム樹脂上に銅を蒸着及びめっきしたメタライジング法による長尺フィルム
幅：９６ｍｍ
厚さ：４６μｍ（フィルム厚３８μｍ＋銅層厚８μｍ）
送りローラ３０とテンションローラ３４との間の張力：１００ｇ（０．９８Ｎ）

＜支持ローラ＞
無し

＜搬送条件＞
搬送スピード：５．０ｍ／分

＜実施結果＞
上記条件において、スクリーン印刷機５０を起動させ、１サイクルのスクリーン印刷工程終了後、再搬送した際、第１送りローラ３０と第１テンションローラ３４との間でフィルムキャリアテープがカール変形し、フィルムキャリアテープが搬送不能となった。

薄層の二層テープを用いるＣＯＦ用のフィルムキャリアテープ等の長尺薄帯状部材であって、基本的に可撓性はあるが剛性はない部材の安定した間欠搬送を必要とする搬送装置を備えるスクリーン印刷機、並びに表面検査機（ＡＯＩ、電気検査機等）、露光装置、及びプレス加工機等の処理装置に好適である。

本発明の最良の実施形態を説明するためのスクリーン印刷機の横断面図である。 本発明の最良の実施形態を説明するためのスクリーン印刷機の上面図である。 ファインピッチ配線が施されたフィルムキャリアテープの上面図である。 図３のフィルムキャリアテープの断面図である。 スクリーン印刷機でソルダーレジスト層を形成する方法を概念的に説明するための断面図である。 従来のスクリーン印刷機の横断面図である。 本発明と従来技術と差を概念的に説明するためのスクリーン印刷機の一部断面図である。

符号の説明

２ フィルムキャリアテープ （三層テープ）
２Ａ フィルムキャリアテープ （二層テープ）
３ 絶縁性フィルム（絶縁テープ）
３０ 送りローラ
３２ 第２送りローラ
３４ 第１テンションローラ
３８ スクリーン印刷ユニット
４０ 塗布手段
４２ 塗布ステージ
５０ 従来のスクリーン印刷機
５１ 送りリール
５２ 巻き取りリール
１０１Ａ〜１０１Ｊ 支持ローラ
１００ 本発明のスクリーン印刷機

Claims (8)

1. 長尺薄帯状部材を、上流側の長尺薄帯状部材送りリールから送出し、当該長尺薄帯状部材を下流側に送るための第１送りローラ、及び当該長尺薄帯状部材に対して所定の張力を与える第１テンションローラを経由して処理装置に送る第１リール手段と、
   当該第１リール手段から送出された長尺薄帯状部材を載置し、長尺薄帯状部材が間欠的に停止して所定処理を施す処理用ステージを備える処理装置と、
   当該処理装置を出た長尺薄帯状部材に対して所定の張力を与える第２テンションローラ、及び長尺薄帯状部材を下流側に送るための第２送りローラを経由して長尺薄帯状部材巻き取りリールに送る第２リール手段とを直列的に配置した長尺薄帯状部材用処理装置であって、
   当該第１リール手段は、離間配置した第１送りローラと第１テンションローラとの間の当該長尺薄帯状部材の下面側と当接する位置に、１本又は等間隔に配置した２本以上の支持ローラを設け、第１送りローラから第１テンションローラに向けて、長尺薄帯状部材が登り勾配の走行経路を備えるものであり、
   当該第２リール手段は、離間配置した第２テンションローラと第２送りローラとの間の当該長尺薄帯状部材の下面側と当接する位置に、１本又は等間隔に配置した２本以上の支持ローラを設け、第２テンションローラから第２送りローラに向けて、長尺薄帯状部材が下り勾配の走行経路を備えるものであり、
   当該第１リール手段の第１テンションローラ及び当該第２リール手段の第２テンションローラは、処理装置内に位置する長尺薄帯状部材に適正な張力を付与すると同時に、長尺薄帯状部材が走行する際には、長尺薄帯状部材が処理装置の処理用ステージ面に接触しないよう、処理装置の処理用ステージ面の上方に移動し、当該所定処理を行う際には、当該第１リール手段の第１テンションローラ及び当該第２リール手段の第２テンションローラが同期して下方に移動し、前記長尺薄帯状部材の処理部分を処理用ステージに載置し所定処理を間欠的に行うように上下動可能なテンションローラであることを特徴とする長尺薄帯状部材用処理装置。
2. 前記支持ローラを複数本配置する際には、長尺薄帯状部材搬送時に、各支持ローラと長尺薄帯状部材の下面との接線が略一直線であることを特徴とする請求項１に記載の長尺薄帯状部材用処理装置。
3. 前記長尺薄帯状部材が可撓性を有し、且つ、低剛性の材料からなる部材であることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の長尺薄帯状部材用処理装置。
4. フィルムキャリアテープを、上流側のフィルムキャリアテープ送りリールから送出し、当該フィルムキャリアテープを下流側に送るための第１送りローラ、及び当該フィルムキャリアテープに対して所定の張力を与える第１テンションローラを経由してスクリーン印刷を行うスクリーンユニットに送る第１リール手段と、
   当該第１リール手段から送出されたフィルムキャリアテープを載置し、フィルムキャリアテープが間欠的に停止してスクリーン印刷を施す印刷用ステージを備えるスクリーンユニットと、
   当該スクリーンユニットを出たフィルムキャリアテープに対して所定の張力を与える第２テンションローラ、及びフィルムキャリアテープを下流側に送るための第２送りローラを経由してフィルムキャリアテープ巻き取りリールに送る第２リール手段とを直列的に配置したフィルムキャリアテープ用スクリーン印刷機であって、
   当該第１リール手段は、離間配置した第１送りローラと第１テンションローラとの間の当該フィルムキャリアテープの下面側と当接する位置に、１本又は等間隔に配置した２本以上の支持ローラを設け、第１送りローラから第１テンションローラに向けて、フィルムキャリアテープが登り勾配の走行経路を備えるものであり、
   当該第２リール手段は、離間配置した第２テンションローラと第２送りローラとの間の当該フィルムキャリアテープの下面側と当接する位置に、１本又は等間隔に配置した２本以上の支持ローラを設け、第２テンションローラから第２送りローラに向けて、フィルムキャリアテープが下り勾配の走行経路を備えるものであり、
   当該第１リール手段の第１テンションローラ及び当該第２リール手段の第２テンションローラは、スクリーンユニット内に位置するフィルムキャリアテープに適正な張力を付与すると同時に、フィルムキャリアテープが走行する際には、フィルムキャリアテープがスクリーンユニットの印刷用ステージ面に接触しないよう、スクリーンユニットの印刷用ステージ面の上方に移動し、当該印刷処理を行う際には、当該第１リール手段の第１テンションローラ及び当該第２リール手段の第２テンションローラが同期して下方に移動し、前記フィルムキャリアテープの印刷部分を印刷用ステージに載置し印刷処理を間欠的に行うように上下動可能なテンションローラであることを特徴とするスクリーン印刷機。
5. 前記支持ローラが複数本あるときには、フィルムキャリアテープ搬送時に、各支持ローラとフィルムキャリアテープの下面との接線が略一直線であることを特徴とする請求項４に記載のスクリーン印刷機。
6. 前記フィルムキャリアテープがポリイミド樹脂に銅を蒸着及びめっきしたメタライジング法により施した長尺状フィルムキャリアテープであることを特徴とする請求項４又は請求項５に記載のスクリーン印刷機。
7. 前記第１送りローラ、第２送りローラ、第１テンションローラ、第２テンションローラ及び支持ローラの少なくとも表面がポリアセタール樹脂、アクリル樹脂、ポリアミド樹脂、シリコーン樹脂、ポリウレタン樹脂、及びポリカーボネートのいずれかの樹脂を材質とすることを特徴とする請求項４〜請求項６のいずれかに記載のスクリーン印刷機。
8. 前記第１送りローラ、第２送りローラ、第１テンションローラ、第２テンションローラ及び支持ローラは自由回転、又は、駆動装置を備え搬送速度と同一速度で前記フィルムキャリアテープが搬送可能な状態で回転することを特徴とする請求項４〜請求項７のいずれかに記載のスクリーン印刷機。

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