JP4364011B2 - プラズマ生成方法及びプラズマ生成装置 - Google Patents
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(3)上記(2)に記載されたプラズマ生成方法であって、上記第1の反応ガスは、CHF 3 系のガスであることを特徴とする。
Claims (6)
- チャンバ内を排気する排気工程と、
上記チャンバ内に第1の反応ガスを導入する第1ガス導入工程と、
上記チャンバ内に上記第1の反応ガスに基づくプラズマを発生させる第1プラズマ発生工程と、
この第1プラズマ発生工程の後に、上記チャンバ内を排気する第1排気工程と、
上記チャンバ内に第2の反応ガスを導入する第2ガス導入工程と、
上記チャンバ内に上記第2の反応ガスに基づくプラズマを発生させる第2プラズマ発生工程と、
この第2プラズマ発生工程の後に、上記チャンバ内を排気する第2排気工程と、
を備え、
上記第1プラズマ発生工程と上記第2プラズマ発生工程とを交互に行うとともに、上記チャンバ内に上記第1及び第2の反応ガスとは異なる希ガスを常時導入することを特徴とするプラズマ生成方法。 - 上記第1の反応ガスは、上記第2の反応ガスに比べて膜堆積性が高いことを特徴とする請求項1に記載のプラズマ生成方法。
- 上記第1の反応ガスは、CHF 3 系のガスであることを特徴とする請求項2に記載のプラズマ生成方法。
- 上記第1の反応ガスは、上記第2の反応ガスに比べてエッチング性が低いことを特徴とする請求項1に記載のプラズマ生成方法。
- 上記第2の反応ガスは、CF 4 系のガスであることを特徴とする請求項4に記載のプラズマ生成方法。
- チャンバと、
このチャンバ内を排気するための排気装置と、
上記チャンバに接続されるとともに外部から第1の反応ガスを導入する第1ガス導入部と、
上記チャンバに接続されるとともに外部から第2の反応ガスを導入する第2ガス導入部と、
上記チャンバ内に上記第1の反応ガス又は上記第2の反応ガスに基づいてプラズマを発生させるプラズマ発生部と、
上記第1及び第2のガス導入部による上記第1及び第2の反応ガスの導入タイミング、上記排気装置によるチャンバ内の排気タイミングを制御する制御部と、
上記チャンバに接続されるとともに外部から希ガスを常時導入する希ガス導入部とを備えていることを特徴とするプラズマ生成装置。
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