JP5119622B2 - ドライエッチング方法及びドライエッチング装置 - Google Patents
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なお、上記排気系の構成は、プロセス中に反応室をたとえば0.1〜10Paの範囲の真空度に保てるものであれば、ターボ分子ポンプ22とドライポンプの組合せに限られない。
4 シリコンウェハ
6 試料台
8 印加バイアス電源
10 誘導コイル
12 コイル電源
15 ガス供給ライン
16 ガス流量コントローラ
17 弁体
18,18a,18b,18c,18c 収容室
20 排気ライン
20a 調整用ガス導入口
21 電磁バルブ
22 ターボ分子ポンプ
23 調整用ガス供給ライン
24 弁体
25 収容室
26 制御部
S ICP型ドライエッチング装置
Claims (2)
- エッチングガスを導入するエッチングステップと、デポジションガスを導入するデポジションステップとを交互に繰り返しながら、これらのガスを励起してプラズマを発生させ、当該プラズマにより、反応室に設置された被加工物に対して溝部を形成するドライエッチング方法において、
前記エッチングガスの流量は、前記デポジションガスの流量よりも大きく、
前記デポジションステップにおいて、前記反応室内における圧力を調整するための調整用ガスを導入し、
前記調整用ガスは、前記エッチングステップから前記デポジションステップに切り替わる時点よりも前から導入され、かつ、前記デポジションステップから前記エッチングステップに切り替わる時点で導入が止められるようにしたことを特徴とするドライエッチング方法。 - エッチングガスを導入するエッチングステップと、デポジションガスを導入するデポジションステップとを交互に繰り返しながら、これらのガスを励起してプラズマを発生させ、当該プラズマにより、反応室に設置された被加工物に対して溝部を形成するドライエッチング装置において、
前記反応室内から外部に前記デポジションガスを排出するための排気管であって、前記反応室内における圧力を調整するための調整用ガスを導入する調整用ガス導入口が形成された排気管と、
前記エッチングガスの流量は、前記デポジションガスの流量よりも大きく、前記デポジションステップにおいて、前記調整用ガス導入口から前記調整用ガスを導入し、前記調整用ガスは、前記エッチングステップから前記デポジションステップに切り替わる時点よりも前から導入され、かつ、前記デポジションステップから前記エッチングステップに切り替わる時点で導入が止められるように制御する制御手段と、
を備えることを特徴とするドライエッチング装置。
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