JP4351546B2 - 半導体素子搭載用パッケージの成形方法および成形用金型 - Google Patents
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Description
即ち、本発明の半導体素子搭載用パッケージの成形方法は、金型内に予め金属製リードフレームを設置し、該金型に樹脂を注入してインサート成形する半導体素子搭載用パッケージの製造方法であって、該リードフレームはその一部が板状に加工された防湿板を有し、該防湿板は、該金型内において、防湿板の上下から挟まれて上下に固定され、樹脂が注入されると、該防湿板固定用移動金型は注入された樹脂に追従して金型の樹脂注入口とは反対の方向に移動し、移動を止めたときにその端部がパッケージ金型の内壁の一部を形成することによって防湿板を樹脂の中に埋没させることからなる。
図4は本発明の実施形態による半導体素子搭載用パッケージの製造中の、樹脂ゲート(15)、金属リードフレーム(16)、防湿板固定用移動金型(13)(14)の配置状態を示す外観イメージ図であり、図5および図6はパッケージの成形過程を示したものである。図4、図5および図6に示すように、半導体素子搭載用パッケージは、防湿効果を上げるために、防湿板をパッケージ内部に有する構造となるように設置され、インサート成形される。
まず、図5(b)のように、下金型内に予め防湿板を有する金属製リードフレーム(図示しない)を設置し、防湿板固定用移動金型(13)(14)により金属製リードフレームに連なる防湿板を覆い挟み込んだ状態で固定する。防湿板(すなわちリードフレームの一部)を覆い、これを挟み込んだ固定用移動金型は下金型に加工されたガイドレールにより、防湿板の面と平行に移動するようにしてある。その際に防湿板と固定用移動金型は互いに摺動して、防湿板は固定金型に対しては移動しない。樹脂が来る前にガスによる移動を防ぐため、下金型には、ガスベントをあらかじめ設置しておいても良い。また、金型に並行して取り付けられる補助シリンダーで引っ張るようにすることも出来る。
(2) パッケージ中空部
(3) ガラス板
(4) 樹脂部分
(5) マウント部樹脂厚み
(6) 防湿板
(7) 防湿板と樹脂の境界部
(8) インナーリード
(10) ピン
(13)、(14) 防湿板固定用移動金型
(15) ゲート
(16) 金属製リードフレーム
Claims (2)
- 半導体素子の搭載面を構成する樹脂層内部に防湿板が埋設された半導体素子搭載用パッケージを、樹脂のインサート成形により成形する方法であって、
リードと防湿板とを有する金属製リードフレームと、前記防湿板を上下から挟んで固定する防湿板固定用移動金型とを、パッケージ金型内に設置するステップと、
前記パッケージ金型内に、樹脂注入口から樹脂を注入するステップと、
前記樹脂の注入とともに、防湿板固定用移動金型を、前記注入された樹脂圧により前記パッケージ金型の樹脂注入口とは反対の方向に前記防湿板を挟んだまま摺動させるステップと、
前記防湿板固定用移動金型の摺動を停止させたときに、前記防湿板固定用移動金型の端部が前記パッケージ金型の内壁の一部を形成することによって防湿板を樹脂の中に埋没させるステップと、
を有する、半導体素子搭載用パッケージの成形方法。 - 半導体素子の搭載面を構成する樹脂層内部に防湿板が埋設された半導体素子搭載用パッケージを、樹脂のインサート成形により得るための半導体素子搭載用パッケージの成形用金型であって、
前記半導体素子搭載用パッケージの外形を規定するパッケージ金型と、
前記パッケージ金型内に収納される金属製リードフレームの一部である防湿板を上下から挟む防湿板固定用移動金型と、を備え、
前記防湿板固定用移動金型は、パッケージ金型の内壁面と前記防湿板の面にほぼ隙間なく配置され、かつ注入される樹脂圧により樹脂注入口とは反対の方向に前記防湿板を挟んだまま前記パッケージ金型の内壁面まで摺動できる、半導体素子搭載用パッケージの成形用金型。
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