JP4351511B2 - 有機el表示パネル - Google Patents
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- 230000004888 barrier function Effects 0.000 claims description 61
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 32
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 29
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 claims description 12
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 claims description 12
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 10
- 238000010030 laminating Methods 0.000 claims description 6
- AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N indium;oxotin Chemical compound [In].[Sn]=O AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
- YVTHLONGBIQYBO-UHFFFAOYSA-N zinc indium(3+) oxygen(2-) Chemical compound [O--].[Zn++].[In+3] YVTHLONGBIQYBO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 33
- 229910052809 inorganic oxide Inorganic materials 0.000 description 23
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 13
- 238000000034 method Methods 0.000 description 11
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 10
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 8
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 8
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 7
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 description 6
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 6
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 description 6
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 5
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 5
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 4
- 239000013077 target material Substances 0.000 description 4
- 229910020286 SiOxNy Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 3
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 3
- 238000007733 ion plating Methods 0.000 description 3
- 239000012528 membrane Substances 0.000 description 3
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 3
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 3
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 3
- 238000001771 vacuum deposition Methods 0.000 description 3
- 239000004695 Polyether sulfone Substances 0.000 description 2
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 2
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000004833 X-ray photoelectron spectroscopy Methods 0.000 description 2
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 2
- PMHQVHHXPFUNSP-UHFFFAOYSA-M copper(1+);methylsulfanylmethane;bromide Chemical compound Br[Cu].CSC PMHQVHHXPFUNSP-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 2
- 238000005401 electroluminescence Methods 0.000 description 2
- TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Al]O[Al]=O TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229920006393 polyether sulfone Polymers 0.000 description 2
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 2
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000969 carrier Substances 0.000 description 1
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 230000002542 deteriorative effect Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 150000004985 diamines Chemical class 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 239000002346 layers by function Substances 0.000 description 1
- 238000010943 off-gassing Methods 0.000 description 1
- 150000002894 organic compounds Chemical class 0.000 description 1
- 230000002265 prevention Effects 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Chemical compound O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
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- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K59/00—Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic light-emitting element covered by group H10K50/00
- H10K59/80—Constructional details
- H10K59/87—Passivation; Containers; Encapsulations
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- H10K59/8731—Encapsulations multilayered coatings having a repetitive structure, e.g. having multiple organic-inorganic bilayers
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- H10K50/80—Constructional details
- H10K50/84—Passivation; Containers; Encapsulations
- H10K50/844—Encapsulations
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- H10K59/30—Devices specially adapted for multicolour light emission
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Description
本発明の有機EL表示パネル10における基材11は、有機EL素子を坦持するために必要な構成であり、当該機能を果たすものであればその材質等は特に限定されることはなく、ガラス基板や樹脂基板等の従来公知のいかなる基材を用いることができる。そして、本発明の有機EL表示パネル10においては、水分等を多く含む樹脂基板をも用いることができる。従来の有機EL表示パネル10においては、水分等を多く含有する樹脂基板を用いると、当該基板からの出ガスが多いため、バリア層を形成するに際し不都合を生じる場合が多かったが、本発明によれば、バリア層を2層構造(13a、13b)とし、基材側の無機層13aは出ガスに影響を受けない層とすることにより(詳細は後述する)、出ガスの多い樹脂基板を用いてもバリア性能を低下させることはない。
本発明において、有機EL素子12とは、従来公知の有機EL素子であり、例えば、第1表示電極12a、有機化合物からなる発光層を含む有機機能層12b、及び第2表示電極12cからなる。
本発明の有機EL表示パネル10におけるバリア層とは、前記基材11と有機EL素子12との間に設けられるものであり、2種類の無機膜(13a、13b)を積層してなり、当該2種類の無機膜(13a、13b)のうち、基材側の無機膜13aは導電性を有する無機酸化膜であり、有機EL素子側の無機膜13bはガスバリア性および絶縁性を有する無機酸化膜であることに特徴を有している。以下、それぞれの無機膜について説明する。
バリア層を構成する無機膜のうち、基材側の無機膜13aは、導電性を有する無機酸化物であり、本発明の有機EL表示パネル10に電磁波遮断機能を持たせる役割を果たすとともに、後述する有機EL素子側の無機膜13bを形成する際に基材からの出ガスを遮断するいわゆるキャップ層としての役割を果たすものである。
qλ=4nd
但し、qは自然数(1,2,3・・・・)、nは屈折率、dは膜厚、λは波長をそれぞれ表している。
バリア層を構成する無機膜のうち、有機EL素子側の無機膜13bは、ガスバリア性を有しかつ絶縁性を有する無機酸化物であり、本発明の有機EL表示パネル10における有機EL素子12を基材11からの出ガスから保護するとともに、当該有機EL表示パネル10をアクティブマトリクス方式の表示パネルにも使用可能とするための機能(絶縁性)を果たすものである。
厚さ200μm、大きさ300cm×400cmのPESフィルム(ポリエーテルスルホンフィルム)を基材として用いた。そして、この基材の表面に、スパッタリング装置を用い、バリア層として、基材側の無機膜(図1の符号13a参照)としてIZO膜を形成し、さらに当該IZO膜の表面に、有機EL素子側の無機膜(図1の符号13b参照)として窒化酸化ケイ素膜を形成した。以下にそれぞれの成膜条件を示す。
<基材側の無機膜(IZO膜)>
ターゲット材:IZO(出光興産社製)
Ar/O2:100sccm/1.5sccm
成膜圧力:5mmTorr
印加パワー:2.5kw
成膜温度:非加熱(程度27℃)
膜厚:500Å
搬送速度:290mm/分
<有機EL素子側の無機膜(窒化酸化ケイ素膜)>
ターゲット材:SiN(豊島製作所製)
Ar/N2:400sccm/10sccm(40:1)
成膜圧力:5mmTorr
印加パワー:4.3kw
成膜温度:非加熱(程度110℃)
膜厚:2500Å
搬送速度:58mm/分
なお、成膜中のガスモニターはアルバック社製四重極質量分析装置(STADAM-2000)を用いた。使用したキャリアは3個である(第1キャリア:ESCA用(Siウエハー/フィルム)、第2キャリアー:膜厚、透過率測定(ガラス)、第3キャリアー:フィルム(バリア測定) 全て同一バッチ)。
比較例1として、前記本発明の実施例1における基材側の無機膜(IZO膜)を形成せずに、基材上に直接窒化酸化ケイ素膜を形成した。その際の条件は全て実施例1と同様である。
実施例1のバリア膜と比較例1のバリア膜との性能を比較するため、基材の所定の部分(図2に示すA〜E参照)における面内組成、透過率、バリア性を測定した。測定結果を以下の表1(実施例1)、表2(比較例1)にそれぞれ示す。
実施例1に示すバリア層を繰り返し構造としたもの、つまり基材上にIZO膜−窒化酸化ケイ素膜−IZO膜−窒化酸化ケイ素膜の順で無機膜を積層したものを形成した(図3参照)。各膜の形成条件は実施例1と同様である。
11 基材
12 有機EL素子
13 バリア層
Claims (4)
- 基材と、有機EL素子と、前記基材と有機EL素子との間に設けられるバリア層と、からなる有機EL表示パネルであって、
前記バリア層は、2種類の無機膜を積層してなり、当該2種類の無機膜のうち、基材側の無機膜がインジウム錫酸化物又はインジウム亜鉛酸化膜の何れかからなり、有機EL素子側の無機膜が窒化酸化ケイ素からなることを特徴とする有機EL表示パネル。 - 前記バリア層を形成する2種類の無機膜がともにスパッタリング法により形成された膜であることを特徴とする請求項1に記載の有機EL表示パネル。
- 前記2種類の無機膜を積層してなるバリア層が2層以上繰り返して積層されていることを特徴とする請求項1又は2に記載の有機EL表示パネル。
- 前記有機EL素子を挟んで、前記基材と対向するようにカラーフィルタが設けられており、
当該カラーフィルタはガスバリア性と導電性を有することを特徴とする請求項1乃至請求項3の何れか一の請求項に記載の有機EL表示パネル。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003339462A JP4351511B2 (ja) | 2003-01-16 | 2003-09-30 | 有機el表示パネル |
US10/755,931 US20050084708A1 (en) | 2003-01-16 | 2004-01-13 | Organic EL display panel |
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003008630 | 2003-01-16 | ||
JP2003339462A JP4351511B2 (ja) | 2003-01-16 | 2003-09-30 | 有機el表示パネル |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2004241371A JP2004241371A (ja) | 2004-08-26 |
JP4351511B2 true JP4351511B2 (ja) | 2009-10-28 |
Family
ID=32964789
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003339462A Expired - Fee Related JP4351511B2 (ja) | 2003-01-16 | 2003-09-30 | 有機el表示パネル |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20050084708A1 (ja) |
JP (1) | JP4351511B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20050037240A1 (en) * | 2003-03-31 | 2005-02-17 | Daisaku Haoto | Protective coat and method for manufacturing thereof |
US8193705B2 (en) * | 2005-11-02 | 2012-06-05 | Ifire Ip Corporation | Laminated conformal seal for electroluminescent displays |
CN105093646B (zh) * | 2015-08-11 | 2019-03-15 | 京东方科技集团股份有限公司 | 具有无机覆盖层的彩色滤光片基板以及包含它的显示面板 |
JP7228223B2 (ja) * | 2018-11-08 | 2023-02-24 | 北川工業株式会社 | 透明導電ガスバリアフィルム及びその製造方法 |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002063985A (ja) * | 2000-08-22 | 2002-02-28 | Nec Corp | 有機エレクトロルミネッセンス素子 |
US6624568B2 (en) * | 2001-03-28 | 2003-09-23 | Universal Display Corporation | Multilayer barrier region containing moisture- and oxygen-absorbing material for optoelectronic devices |
US6753096B2 (en) * | 2001-11-27 | 2004-06-22 | General Electric Company | Environmentally-stable organic electroluminescent fibers |
KR100635042B1 (ko) * | 2001-12-14 | 2006-10-17 | 삼성에스디아이 주식회사 | 전면전극을 구비한 평판표시장치 및 그의 제조방법 |
JP3627707B2 (ja) * | 2002-01-23 | 2005-03-09 | 富士電機ホールディングス株式会社 | 色変換フィルタ基板、それを用いた有機多色elディスプレイパネルおよびそれらの製造方法 |
US7018713B2 (en) * | 2003-04-02 | 2006-03-28 | 3M Innovative Properties Company | Flexible high-temperature ultrabarrier |
US7049745B2 (en) * | 2003-11-25 | 2006-05-23 | Eastman Kodak Company | OLED display having thermally conductive layer |
-
2003
- 2003-09-30 JP JP2003339462A patent/JP4351511B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2004
- 2004-01-13 US US10/755,931 patent/US20050084708A1/en not_active Abandoned
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20050084708A1 (en) | 2005-04-21 |
JP2004241371A (ja) | 2004-08-26 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20060810 |
|
A977 | Report on retrieval |
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|
A131 | Notification of reasons for refusal |
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A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120731 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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