JP4335030B2 - 半導体レーザおよびその製造方法 - Google Patents
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Description
この半導体レーザは、溝により電流注入部と電流非注入部とに分離され、その電流非注入部と溝を含む領域に非導電性被膜が形成されたコンタクト層が、溝を埋めるように配置された半田を介してヒートシンクに接続されている。また、電流非注入部とヒートシンクとの間に隙間が形成されないようになっている。
こうすると、コンタクト層よりも非導電性被膜の方が熱の流れが良好になるから、電流非注入部における放熱性が良好になる。
この半導体レーザの製造方法により、上述の構成を有する半導体レーザが得られる。
この半導体レーザの製造方法でも、上述の構成を有する半導体レーザが得られる。
図1は、本発明の第1の実施の形態に係る半導体レーザ100を示す断面図である。なお、半導体レーザ100を構成する各層の材質および膜厚の最適値は図2に示す通りである。
そして、半導体レーザ100は、レーザダイオード3の後述する活性層7に近い方の表面に形成された後述のコンタクト層9における電流注入部9aおよび電流非注入部9bがヒートシンク1に接続され、半田層2を介してジャンクションダウンで実装されている。
続いて、半導体レーザ100の製造方法について、図7〜図14を参照しながら説明する。図7〜図14は半導体レーザ100の製造方法の各工程を示す断面図である。なお、以下の説明においては、図面における上下をそのまま上下方向として説明する。
続いて、本発明による半導体レーザの第2の実施形態について、図15を用いて説明する。図15は第2の実施形態に係る半導体レーザ200の構造を示す図1と同様の断面図であり、図1と対応する部分には同一の符号を付している。また、半導体レーザ200を構成する各層の材質および膜厚の最適設計値は、第1の実施形態と同様である。
半導体レーザ200は、コンタクト層9において、電流注入部9aと電流非注入部9bとにp型金属電極膜12が形成され、さらに電流非注入部9bと、分離溝20および電流注入部9aにおける分離溝20につながる部分を含む領域に非導電性被膜10が形成されている。その他の構造は、第1の実施形態の半導体レーザ100と同じである。
半導体レーザ200の製造方法について、図17〜図23を用いて説明する。図17〜図23は半導体レーザ200の製造方法の各工程を示す断面図である。なお、以下の説明においては、図面における上下をそのまま上下方向として説明する。
3…レーザダイオード、4…基板
5…レーザ構造部、6…n型クラッド層
7…活性層、8…p型クラッド層
9…コンタクト層
9a…電流注入部、9b…電流非注入部
10…非導電性被膜
11…n型金属電極膜、12…p型金属電極膜
20…分離溝、30…出射端面
100、200…半導体レーザ
Claims (4)
- 半導体レーザ素子がヒートシンクに接続された半導体レーザであって、
前記半導体レーザ素子は、活性層と該活性層を挟む第1および第2の導電型の第1および第2の半導体層とを備えたレーザ構造部と、
前記第1または第2の半導体層のいずれか一方に設けられ、溝によって、電流注入部と、該電流注入部の両側であって該電流注入部よりも前記レーザ構造部の出射端面となる両端面それぞれの側に配置された電流非注入部とに分離されたコンタクト層と、
該コンタクト層における前記電流非注入部と前記溝を含む領域に形成された非導電性被膜と、
前記コンタクト層における前記電流非注入部と前記電流注入部を含む領域に形成された電極膜とを有し、
前記コンタクト層における前記電流注入部および電流非注入部が、半田を介して前記ヒートシンクに接続されており、
前記第1または第2の半導体層のいずれか一方と前記コンタクト層との境界面が前記溝の底面となっていることを特徴とする半導体レーザ。 - 前記非導電性被膜が前記コンタクト層よりも熱抵抗の小さい材料で形成されていることを特徴とする請求項1記載の半導体レーザ。
- 半導体レーザ素子がヒートシンクに接続された半導体レーザの製造方法であって、
活性層と該活性層を挟む第1および第2の導電型の第1および第2の半導体層とを備えたレーザ構造部を基板上に形成し、
前記第1または第2の半導体層のいずれか一方にコンタクト層を形成し、前記第1または第2の半導体層のいずれか一方と前記コンタクト層との境界面を底面とする溝によって、電流注入部と、該電流注入部の両側であって該電流注入部よりも前記レーザ構造部の出射端面となる両端面それぞれの側に配置された電流非注入部とに前記コンタクト層を分離し、
前記コンタクト層における前記電流非注入部と前記溝を含む領域に非導電性被膜を形成し、
前記コンタクト層に電極膜を形成することによって前記半導体レーザ素子を形成し、
前記溝が埋まるように半田を配置し、該半田を介して、前記コンタクト層における前記電流注入部および電流非注入部を前記ヒートシンクに接続することを特徴とする半導体レーザの製造方法。 - 半導体レーザ素子がヒートシンクに接続された半導体レーザの製造方法であって、
活性層と該活性層を挟む第1および第2の導電型の第1および第2の半導体層とを備えたレーザ構造部を基板上に形成し、
前記第1または第2の半導体層のいずれか一方にコンタクト層を形成し、
該コンタクト層に電極膜を形成し、
前記コンタクト層および前記電極膜を溝によって、電流注入部と該電流注入部よりも前記レーザ構造部の出射端面側に配置された電流非注入部とに分離し、
前記コンタクト層における前記電流非注入部と前記溝を含む領域に非導電性被膜を形成することによって前記半導体レーザ素子を形成し、
前記溝が埋まるように半田を配置し、該半田を介して、前記コンタクト層における前記電流注入部および電流非注入部を前記ヒートシンクに接続することを特徴とする半導体レーザの製造方法。
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