JP4330334B2 - 除去装置 - Google Patents
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えば、液晶パネル等の液晶板やカラーフィルター等に用いられるフィルタ基板のような被除去部材において、例えば、溶剤、ゴミ、手垢等の異物を除去し、又は、液晶パネルにおける画素電極やカラーフィルターにおけるＲ画素、Ｇ画素、Ｂ画素等の形を整えるため、除去対象物を除去する除去装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、フィルタ基板の全面を載置する載置台を備え、研磨テープを移送することにより、フィルタ基板上の異物を除去する異物除去装置が提案されている（例えば、特許文献１参照。）。
【０００３】
【特許文献１】
特開平６−１９８５５４号公報（第１−３頁、図１）
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、従来の異物除去装置においては、載置台はフィルタ基板の全面を載置するため、載置台が大きくならざるを得ず、異物除去装置が大型化し、更に、異物除去装置を分解することができず、異物除去装置の運搬や移動が困難であった。
【０００５】
本発明は、以上のような問題点に鑑みてなされたものであり、運搬又は移動を容易にすることができる除去装置を提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
以上の目的のため、本発明の除去装置は、被除去部材における除去対象物を除去する除去手段、前記被除去部材の移動方向に対し直角方向に延在して配設されるとともに前記除去手段を一体として前記直角方向に移動可能に支持する支持部、及び該支持部に取り付けられており、前記除去手段を一体として移動させる駆動部、を備えた除去対象物除去ユニットと、前記除去対象物除去ユニットの前記支持部の両端部分を支持するユニット支持手段と、被除去部材の端部を支持すると共に、当該被除去部材を前記除去対象物除去ユニットによる除去対象物除去位置へ移動させる移動手段と、を備え、前記除去対象物除去ユニットと、前記ユニット支持手段と、前記移動手段と、を互いに分解・組立可能としたことを特徴とする。
【０００７】
この発明によれば、除去対象物除去ユニットと、ユニット支持手段と、移動手段と、を互いに分解可能としたので、除去装置の移動又は運搬が容易になると共に、除去手段を一体として除去対象物除去ユニットに含めて、移動又は運搬することとしたので、除去対象物除去ユニットを構成する各部分等の再組立が不要である。このため、当該各部分の位置ズレによる除去作業時の精度の低下が生じない。
また、除去対象物除去ユニットが、除去手段と、除去手段を一体として前記直角方向に移動可能に支持する支持部と、該支持部に取り付けられており、前記除去手段を一体として移動させる駆動部と、を備えたので、除去対象物の除去を、一層、正確に行うことができる。
【０００８】
更に、前記移動手段は、被除去部材を支持・移動する部材による支持領域以外の領域を支持すると共に、被除去部材の移動に伴って回動する、間隔を置いて設けられた複数の回動支持部材を有するフレーム部を備え、該フレーム部は、前記支持・移動する部材に対して分解・組立可能とした。これにより、複数の回動支持部材により、被除去部材の支持、移動を確実に行うことができると共に、フレーム部は、支持・移動する部材に対して分解・組立可能としたので、除去装置の移動又は運搬が容易となる。
【０００９】
更に、前記フレーム部は、前記除去対象物除去ユニットの下方に置かれる第１のフレーム部と、該第１のフレーム部に対し被除去部材の移動方向上流側に置かれる第２のフレーム部と、前記第１のフレーム部に対し被除去部材の移動方向下流側に置かれる第３のフレーム部と、を有し、前記第１のフレーム部、前記第２のフレーム部、及び前記第３のフレーム部の各々は、前記支持・移動する部材に対して分解・組立可能としたので、一層、除去装置の移動又は運搬が容易となる。
【００１１】
更に、除去対象物除去位置において、前記除去手段に対し被除去部材を挟んだ反対側に設けられた被除去部材受け部材と、前記被除去部材受け部材又は前記被除去部材受け部材の近傍に設けられ、被除去部材が前記被除去部材受け部材上を移動している際はエアーを吐出すると共に、前記除去手段による除去対象物の除去の際はエアーを吸引するエアー吐出・吸引手段と、を備えることとしてもよい。
【００１２】
この発明によれば、被除去部材が被除去部材受け部材上を移動している際はエアーを吐出するので、たとえ、被除去部材の全面を支持する支持基盤がなくとも、被除去部材が被除去部材受け部材に接触して被除去部材を傷つけることを防止でき、除去手段による除去対象物の除去の際はエアーを吸引するので、被除去部材受け部材が被除去部材を固定して、確実に、除去対象物の除去を行うことができる。
【００１３】
【発明の実施の形態】
本発明の実施の形態を、図面にそって説明する。
図１及び図２は、本発明の実施の形態による除去装置１の一実施例である。
【００１４】
本発明の実施の形態による除去装置１は、被除去部材としてのフィルタ基板２における除去対象物を除去する除去対象物除去ユニット３と、除去対象物除去ユニット３を支持するユニット支持手段４と、フィルタ基板２を支持しつつ移動させる移動手段５と、を備えている。
【００１５】
除去対象物としては、例えば、溶剤、ゴミ、手垢等の異物が上げられる。又、液晶パネルにおける画素電極やカラーフィルターにおけるＲ画素、Ｇ画素、Ｂ画素等の形を整える必要があり、これらの場合における画素電極の一部やＲ画素、Ｇ画素、Ｂ画素等の一部等が挙げられる。
【００１６】
本発明の実施の形態による除去装置１において、床面に置かれた基台６の両端面には、２つの除去対象物除去ユニット支持板７が固定されている。
基台６及び除去対象物除去ユニット支持板７がユニット支持手段として機能する。
【００１７】
更に、除去対象物除去ユニット３は、除去対象物の除去手段としての研磨ヘッド１０を備えている。
研磨ヘッド１０は、回転移動しつつ異物を研磨して除去するフィルム状研磨部１８と、フィルム状研磨部１８を異物に押し当てる押し当て部１９と、フィルム状研磨部１８及び押し当て部１９を支持する研磨フレーム部２０と、を備えている。
【００１８】
支持基盤２１の両端部の夫々には、フィルタ基板２の移動方向に延びる２つのフィルタ基板支持部材移動台２２が固定されている。２つのフィルタ基板支持部材移動台２２の夫々には、上方に開口する細長状の隙間部２３が設けられており、この隙間部２３の夫々には、ベルトローラ２４及びリニアガイド２５に沿って、スチールベルト２６が掛け渡されている。２つのスチールベルト２６の夫々には、支持・移動する部材としてのフィルタ基板支持部材２７における２つの移動片２８が固定されており、スチールベルト２６の回動に伴って、２つの移動片２８も移動する。２つの移動片２８の夫々には、フィルタ基板２の移動方向に延びる、２つのフィルタ基板支持板２９が一体として固定されている。夫々のフィルタ基板支持板２９の両端部の各々には、把持片３０が固定されており、フィルタ基板２は、両端部の把持片３０の間でフィルタ基板支持板２９により支えられた状態で、移動する。
【００１９】
支持基盤２１における、２つのフィルタ基板支持部材移動台２２の間には、第１のフレーム部３１が固定されている。この第１のフレーム部３１には、フィルタ基板２の移動方向に対し直角方向ｂに延び、フィルタ基板２の移動に伴って回転する複数のローラ３２（回動支持部材）が設けられており、フィルタ基板２におけるフィルタ基板支持板２９により支持されている部分以外の部分を支持する。
【００２０】
支持基盤２１における、第１のフレーム部３１に対しフィルタ基板２の移動方向ａ上流側には、フィルタ基板２を移動開始位置で支持する第２のフレーム部３３が固定されている。第２のフレーム部３３には、フィルタ基板２の移動方向に対し直角方向ｂに延び、フィルタ基板２の移動に伴って回転する複数のローラ３２（回動支持部材）が設けられている。
【００２１】
支持基盤２１における、第１のフレーム部３１に対しフィルタ基板２の移動方向ａ下流側には、フィルタ基板２を移動完了位置で支持する第３のフレーム部３４が固定されている。第３のフレーム部３４には、フィルタ基板２の移動方向に対し直角方向ｂに延び、フィルタ基板２の移動に伴って回転する複数のローラ３２（回動支持部材）が設けられている。
支持基盤２１、フィルタ基板支持部材移動台２２、フィルタ基板支持部材２７、フレーム部３１、３３、３４が移動手段５として機能する。
【００２２】
研磨ヘッド１０の下方であって、研磨ヘッド１０に対しフィルタ基板２を挟んだ位置には、被除去部材受け部材としての研磨ステージ３６が設けられている。研磨ステージ３６は、第１のフレーム部３１における２つのローラ３２の間に設けられており、ローラ３２より少し下方に位置している。研磨ステージ３６には、３箇所の孔が設けられており、この孔は、エアー吐出・吸引手段３７として機能して、エアーが吐出・吸引する。フィルタ基板２の移動中はエアーを吐出して、研磨ステージ３６がフィルタ基板２と接触することを防止すると共に、研磨ヘッド１０によりフィルタ基板２の異物を研磨する際は、エアーを吸引して、研磨ヘッド１０にフィルタ基板２を固定させる。
尚、以上に述べたような実施例と異なる以下の構成としても良い。
【００２３】
次に、図３を参照して、本発明の実施の形態による除去装置１の組立方法につき説明する。本発明の実施の形態による除去装置１においては、各構成部品を分解した状態で運搬し、目的地に着いた際に、組み立てることが可能となっている。
【００２４】
まず始めに、基台６上に支持基盤２１を移動可能な状態で置く。
それから、支持基盤２１の中央部に第１のフレーム部３１を固定する。
その後、第１のフレーム部３１に対し、フィルタ基板２の移動方向ａ上流側に第２のフレーム部３３を取り付けると共に、フィルタ基板２の移動方向ａ下流側に第３のフレーム部３４を取り付ける。
【００２５】
それから、支持基盤２１の両端部の夫々に対し、フィルタ基板２の移動方向に延びるように、フィルタ基板支持部材２７が設けられている２つのフィルタ基板支持部材移動台２２を固定する。この際、フィルタ基板支持部材２７の位置は、フィルタ基板２の移動開始位置に対応している。
【００２６】
その後、基台６の両側面の夫々に、２つの除去対象物除去ユニット支持板７が固定される。
それから、２つの除去対象物除去ユニット支持板７の夫々の上面に、研磨ヘッド１０を備える除去対象物除去ユニット３が固定される。
以上により、本発明の実施の形態による除去装置１が完成する。
尚、各構成部品の取付・固定等は、ボルト等を用いてなされている。
【００２７】
次に、本発明の実施の形態による除去装置１の動作につき、説明する。
まず始めに、移動開始位置にある２つのフィルタ基板支持部材２７に左右両端部が支持されるようにフィルタ基板２を置く。この際、フィルタ基板２の前後端部の位置はフィルタ基板支持部材２７における把持片３０により位置決めされている。フィルタ基板２の中央部は、第２のフレーム部３３における複数の回転可能なローラ３２により支持されている。
【００２８】
まず、フィルタ基板を支持したフィルタ基板支持部材２７が研磨ヘッド１０の方向へ移動し始める。
また、研磨ステージ３６に設けられたエアー吐出・吸引手段３７より、エアーを吐出し始め、フィルタ基板２は、研磨ステージ３６に対し浮上した状態が保たれる。
また、除去対象物除去ユニット３は、駆動部による駆動により、被除去部材の移動方向に対し直角方向ｂに移動し、研磨ヘッド１０が異物の位置の上方へ移動する。その後、エアー吐出・吸引手段３７はエアー吸引へ切り換わる。これにより、フィルタ基板２が研磨ステージ３６に吸引されて固定された状態で、異物が研磨ヘッド１０により除去される。尚、異物の除去は、研磨ヘッド１０における押し当て部１９によりフィルム状研磨部１８を異物に押し当てた状態で、フィルム状研磨部１８が回転移動しつつ異物を研磨して除去することで行われる。
【００２９】
研磨ヘッド１０により除去対象物が除去された後、フィルタ基板２は、第３のフレーム部３４に送られて、停止し、除去装置１の動作が終了する。又、場合により、フィルタ基板２は第３のフレーム部３４に送られた後、停止せずに、次工程に送られる。
【００３０】
移動手段５は、フィルタ基板２におけるフィルタ基板支持部材２７による支持領域以外の領域を支持すると共に、フィルタ基板２の移動に伴って回動する、間隔を置いて設けられた複数のローラ３２を有するので、フィルタ基板２の支持、移動を確実に行うことができる。
【００３１】
更に、本発明によれば、除去対象物除去ユニット３と、ユニット支持手段４と、移動手段５と、を互いに分解可能としたので、除去装置１の移動又は運搬が容易になると共に、研磨ヘッド１０を一体として除去対象物除去ユニット３に含めて、移動又は運搬することとしたので、除去対象物除去ユニット３を構成する各部分等の再組立が不要である。このため、当該各部分の位置ズレによる除去作業時の精度の低下が生じない。
【００３２】
更に、移動手段５は、フィルタ基板２におけるフィルタ基板支持部材２７による支持領域以外の領域を支持すると共に、フィルタ基板２の移動に伴って回動する、間隔を置いて設けられた複数のローラ３２を有するフレーム部３１、３３、３４を備え、フレーム部３１、３３、３４は、フィルタ基板支持部材２７に対して分解・組立可能とした。これにより、複数のローラ３２により、フィルタ基板２の支持、移動を確実に行うことができると共に、フレーム部３１、３３、３４は、フィルタ基板支持部材２７に対して分解・組立可能としたので、除去装置１の移動又は運搬が容易となる。
【００３３】
更に、フレーム部は、除去対象物除去ユニット３の下方に置かれた第１のフレーム部３１と、第１のフレーム部３１に対しフィルタ基板２の移動方向ａ上流側に置かれた第２のフレーム部３３と、第１のフレーム部３１に対しフィルタ基板２の移動方向ａ下流側に置かれた第３のフレーム部３４と、を有し，これらは、夫々、フィルタ基板支持部材２７に対し分解可能であるので、一層、除去装置１の移動又は運搬が容易となる。
【００３４】
更に、除去対象物除去ユニット３は、研磨ヘッド１０を一体としてフィルタ基板２の移動方向に対し直角方向に移動可能に支持する支持部８と、支持部８に取り付けられており、研磨ヘッド１０を一体として移動させる駆動部と、を備えたので、除去対象物の除去を、一層、正確に行うことができる。
【００３５】
更に、本発明によれば、フィルタ基板２が研磨ステージ３６上を移動している際はエアーを吐出するので、たとえ、フィルタ基板２の全面を支持するガラス等のフィルタ基板支持板がなくとも、フィルタ基板２が研磨ステージ３６に接触してフィルタ基板２を傷つけることを防止でき、研磨ヘッド１０による異物の除去の際はエアーを吸引するので、研磨ステージ３６がフィルタ基板２を固定して、確実に、異物の除去を行うことができる。
【００３６】
【発明の効果】
以上のように、本発明によれば、除去対象物除去ユニットと、ユニット支持手段と、移動手段と、を互いに分解可能としたので、除去装置の移動又は運搬が容易になると共に、除去手段を一体として除去対象物除去ユニットに含めて、移動又は運搬することとしたので、除去対象物除去ユニットを構成する各部分等の再組立が不要である。このため、当該各部分の位置ズレによる除去作業時の精度の低下が生じない。
また、除去対象物除去ユニットが、除去手段と、除去手段を一体として前記直角方向に移動可能に支持する支持部と、該支持部に取り付けられており、前記除去手段を一体として移動させる駆動部と、を備えたので、除去対象物の除去を、一層、正確に行うことができる。
【００３７】
更に、前記移動手段は、被除去部材を支持・移動する部材による支持領域以外の領域を支持すると共に、被除去部材の移動に伴って回動する、間隔を置いて設けられた複数の回動支持部材を有するフレーム部を備え、該フレーム部は、前記支持・移動する部材に対して分解・組立可能とした。これにより、複数の回動支持部材により、被除去部材の支持、移動を確実に行うことができると共に、フレーム部は、支持・移動する部材に対して分解・組立可能としたので、除去装置の移動又は運搬が容易となる。
【００３８】
更に、前記フレーム部は、前記除去対象物除去ユニットの下方に置かれる第１のフレーム部と、該第１のフレーム部に対し被除去部材の移動方向上流側に置かれる第２のフレーム部と、前記第１のフレーム部に対し被除去部材の移動方向下流側に置かれる第３のフレーム部と、を有し、前記第１のフレーム部、前記第２のフレーム部、及び前記第３のフレーム部の各々は、前記支持・移動する部材に対して分解・組立可能としたので、一層、除去装置の移動又は運搬が容易となる。
【００４０】
この発明によれば、被除去部材が被除去部材受け部材上を移動している際はエアーを吐出するので、たとえ、被除去部材の全面を支持する支持基盤がなくとも、被除去部材が被除去部材受け部材に接触して被除去部材を傷つけることを防止でき、除去手段による除去対象物の除去の際はエアーを吸引するので、被除去部材受け部材が被除去部材を固定して、確実に、除去対象物の除去を行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態による除去装置を示す斜視図である。
【図２】本発明の実施の形態による除去装置を示す正面図である。
【図３】本発明の実施の形態による除去装置の組立て工程を示す図である。
【符号の説明】
１ 除去装置
２ フィルタ基板
３ 除去対象物除去ユニット
４ ユニット支持手段
５ 移動手段
６ 基台
７ 除去対象物除去ユニット支持板
１０ 研磨ヘッド
２１ 支持基盤
２２ フィルタ基板支持部材移動台
２７ フィルタ基板支持部材
３１ 第１のフレーム部
３２ ローラ
３３ 第２のフレーム部
３４ 第３のフレーム部
３６ 研磨ステージ
３７ エアー吐出・吸引手段
ａ フィルタ基板の移動方向
ｂ フィルタ基板の移動方向に対し直角方向
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えば、液晶パネル等の液晶板やカラーフィルター等に用いられるフィルタ基板のような被除去部材において、例えば、溶剤、ゴミ、手垢等の異物を除去し、又は、液晶パネルにおける画素電極やカラーフィルターにおけるＲ画素、Ｇ画素、Ｂ画素等の形を整えるため、除去対象物を除去する除去装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、フィルタ基板の全面を載置する載置台を備え、研磨テープを移送することにより、フィルタ基板上の異物を除去する異物除去装置が提案されている（例えば、特許文献１参照。）。
【０００３】
【特許文献１】
特開平６−１９８５５４号公報（第１−３頁、図１）
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、従来の異物除去装置においては、載置台はフィルタ基板の全面を載置するため、載置台が大きくならざるを得ず、異物除去装置が大型化し、更に、異物除去装置を分解することができず、異物除去装置の運搬や移動が困難であった。
【０００５】
本発明は、以上のような問題点に鑑みてなされたものであり、運搬又は移動を容易にすることができる除去装置を提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
以上の目的のため、本発明の除去装置は、被除去部材における除去対象物を除去する除去手段、前記被除去部材の移動方向に対し直角方向に延在して配設されるとともに前記除去手段を一体として前記直角方向に移動可能に支持する支持部、及び該支持部に取り付けられており、前記除去手段を一体として移動させる駆動部、を備えた除去対象物除去ユニットと、前記除去対象物除去ユニットの前記支持部の両端部分を支持するユニット支持手段と、被除去部材の端部を支持すると共に、当該被除去部材を前記除去対象物除去ユニットによる除去対象物除去位置へ移動させる移動手段と、を備え、前記除去対象物除去ユニットと、前記ユニット支持手段と、前記移動手段と、を互いに分解・組立可能としたことを特徴とする。
【０００７】
この発明によれば、除去対象物除去ユニットと、ユニット支持手段と、移動手段と、を互いに分解可能としたので、除去装置の移動又は運搬が容易になると共に、除去手段を一体として除去対象物除去ユニットに含めて、移動又は運搬することとしたので、除去対象物除去ユニットを構成する各部分等の再組立が不要である。このため、当該各部分の位置ズレによる除去作業時の精度の低下が生じない。
また、除去対象物除去ユニットが、除去手段と、除去手段を一体として前記直角方向に移動可能に支持する支持部と、該支持部に取り付けられており、前記除去手段を一体として移動させる駆動部と、を備えたので、除去対象物の除去を、一層、正確に行うことができる。
【０００８】
更に、前記移動手段は、被除去部材を支持・移動する部材による支持領域以外の領域を支持すると共に、被除去部材の移動に伴って回動する、間隔を置いて設けられた複数の回動支持部材を有するフレーム部を備え、該フレーム部は、前記支持・移動する部材に対して分解・組立可能とした。これにより、複数の回動支持部材により、被除去部材の支持、移動を確実に行うことができると共に、フレーム部は、支持・移動する部材に対して分解・組立可能としたので、除去装置の移動又は運搬が容易となる。
【０００９】
更に、前記フレーム部は、前記除去対象物除去ユニットの下方に置かれる第１のフレーム部と、該第１のフレーム部に対し被除去部材の移動方向上流側に置かれる第２のフレーム部と、前記第１のフレーム部に対し被除去部材の移動方向下流側に置かれる第３のフレーム部と、を有し、前記第１のフレーム部、前記第２のフレーム部、及び前記第３のフレーム部の各々は、前記支持・移動する部材に対して分解・組立可能としたので、一層、除去装置の移動又は運搬が容易となる。
【００１１】
更に、除去対象物除去位置において、前記除去手段に対し被除去部材を挟んだ反対側に設けられた被除去部材受け部材と、前記被除去部材受け部材又は前記被除去部材受け部材の近傍に設けられ、被除去部材が前記被除去部材受け部材上を移動している際はエアーを吐出すると共に、前記除去手段による除去対象物の除去の際はエアーを吸引するエアー吐出・吸引手段と、を備えることとしてもよい。
【００１２】
この発明によれば、被除去部材が被除去部材受け部材上を移動している際はエアーを吐出するので、たとえ、被除去部材の全面を支持する支持基盤がなくとも、被除去部材が被除去部材受け部材に接触して被除去部材を傷つけることを防止でき、除去手段による除去対象物の除去の際はエアーを吸引するので、被除去部材受け部材が被除去部材を固定して、確実に、除去対象物の除去を行うことができる。
【００１３】
【発明の実施の形態】
本発明の実施の形態を、図面にそって説明する。
図１及び図２は、本発明の実施の形態による除去装置１の一実施例である。
【００１４】
本発明の実施の形態による除去装置１は、被除去部材としてのフィルタ基板２における除去対象物を除去する除去対象物除去ユニット３と、除去対象物除去ユニット３を支持するユニット支持手段４と、フィルタ基板２を支持しつつ移動させる移動手段５と、を備えている。
【００１５】
除去対象物としては、例えば、溶剤、ゴミ、手垢等の異物が上げられる。又、液晶パネルにおける画素電極やカラーフィルターにおけるＲ画素、Ｇ画素、Ｂ画素等の形を整える必要があり、これらの場合における画素電極の一部やＲ画素、Ｇ画素、Ｂ画素等の一部等が挙げられる。
【００１６】
本発明の実施の形態による除去装置１において、床面に置かれた基台６の両端面には、２つの除去対象物除去ユニット支持板７が固定されている。
基台６及び除去対象物除去ユニット支持板７がユニット支持手段として機能する。
【００１７】
更に、除去対象物除去ユニット３は、除去対象物の除去手段としての研磨ヘッド１０を備えている。
研磨ヘッド１０は、回転移動しつつ異物を研磨して除去するフィルム状研磨部１８と、フィルム状研磨部１８を異物に押し当てる押し当て部１９と、フィルム状研磨部１８及び押し当て部１９を支持する研磨フレーム部２０と、を備えている。
【００１８】
支持基盤２１の両端部の夫々には、フィルタ基板２の移動方向に延びる２つのフィルタ基板支持部材移動台２２が固定されている。２つのフィルタ基板支持部材移動台２２の夫々には、上方に開口する細長状の隙間部２３が設けられており、この隙間部２３の夫々には、ベルトローラ２４及びリニアガイド２５に沿って、スチールベルト２６が掛け渡されている。２つのスチールベルト２６の夫々には、支持・移動する部材としてのフィルタ基板支持部材２７における２つの移動片２８が固定されており、スチールベルト２６の回動に伴って、２つの移動片２８も移動する。２つの移動片２８の夫々には、フィルタ基板２の移動方向に延びる、２つのフィルタ基板支持板２９が一体として固定されている。夫々のフィルタ基板支持板２９の両端部の各々には、把持片３０が固定されており、フィルタ基板２は、両端部の把持片３０の間でフィルタ基板支持板２９により支えられた状態で、移動する。
【００１９】
支持基盤２１における、２つのフィルタ基板支持部材移動台２２の間には、第１のフレーム部３１が固定されている。この第１のフレーム部３１には、フィルタ基板２の移動方向に対し直角方向ｂに延び、フィルタ基板２の移動に伴って回転する複数のローラ３２（回動支持部材）が設けられており、フィルタ基板２におけるフィルタ基板支持板２９により支持されている部分以外の部分を支持する。
【００２０】
支持基盤２１における、第１のフレーム部３１に対しフィルタ基板２の移動方向ａ上流側には、フィルタ基板２を移動開始位置で支持する第２のフレーム部３３が固定されている。第２のフレーム部３３には、フィルタ基板２の移動方向に対し直角方向ｂに延び、フィルタ基板２の移動に伴って回転する複数のローラ３２（回動支持部材）が設けられている。
【００２１】
支持基盤２１における、第１のフレーム部３１に対しフィルタ基板２の移動方向ａ下流側には、フィルタ基板２を移動完了位置で支持する第３のフレーム部３４が固定されている。第３のフレーム部３４には、フィルタ基板２の移動方向に対し直角方向ｂに延び、フィルタ基板２の移動に伴って回転する複数のローラ３２（回動支持部材）が設けられている。
支持基盤２１、フィルタ基板支持部材移動台２２、フィルタ基板支持部材２７、フレーム部３１、３３、３４が移動手段５として機能する。
【００２２】
研磨ヘッド１０の下方であって、研磨ヘッド１０に対しフィルタ基板２を挟んだ位置には、被除去部材受け部材としての研磨ステージ３６が設けられている。研磨ステージ３６は、第１のフレーム部３１における２つのローラ３２の間に設けられており、ローラ３２より少し下方に位置している。研磨ステージ３６には、３箇所の孔が設けられており、この孔は、エアー吐出・吸引手段３７として機能して、エアーが吐出・吸引する。フィルタ基板２の移動中はエアーを吐出して、研磨ステージ３６がフィルタ基板２と接触することを防止すると共に、研磨ヘッド１０によりフィルタ基板２の異物を研磨する際は、エアーを吸引して、研磨ヘッド１０にフィルタ基板２を固定させる。
尚、以上に述べたような実施例と異なる以下の構成としても良い。
【００２３】
次に、図３を参照して、本発明の実施の形態による除去装置１の組立方法につき説明する。本発明の実施の形態による除去装置１においては、各構成部品を分解した状態で運搬し、目的地に着いた際に、組み立てることが可能となっている。
【００２４】
まず始めに、基台６上に支持基盤２１を移動可能な状態で置く。
それから、支持基盤２１の中央部に第１のフレーム部３１を固定する。
その後、第１のフレーム部３１に対し、フィルタ基板２の移動方向ａ上流側に第２のフレーム部３３を取り付けると共に、フィルタ基板２の移動方向ａ下流側に第３のフレーム部３４を取り付ける。
【００２５】
それから、支持基盤２１の両端部の夫々に対し、フィルタ基板２の移動方向に延びるように、フィルタ基板支持部材２７が設けられている２つのフィルタ基板支持部材移動台２２を固定する。この際、フィルタ基板支持部材２７の位置は、フィルタ基板２の移動開始位置に対応している。
【００２６】
その後、基台６の両側面の夫々に、２つの除去対象物除去ユニット支持板７が固定される。
それから、２つの除去対象物除去ユニット支持板７の夫々の上面に、研磨ヘッド１０を備える除去対象物除去ユニット３が固定される。
以上により、本発明の実施の形態による除去装置１が完成する。
尚、各構成部品の取付・固定等は、ボルト等を用いてなされている。
【００２７】
次に、本発明の実施の形態による除去装置１の動作につき、説明する。
まず始めに、移動開始位置にある２つのフィルタ基板支持部材２７に左右両端部が支持されるようにフィルタ基板２を置く。この際、フィルタ基板２の前後端部の位置はフィルタ基板支持部材２７における把持片３０により位置決めされている。フィルタ基板２の中央部は、第２のフレーム部３３における複数の回転可能なローラ３２により支持されている。
【００２８】
まず、フィルタ基板を支持したフィルタ基板支持部材２７が研磨ヘッド１０の方向へ移動し始める。
また、研磨ステージ３６に設けられたエアー吐出・吸引手段３７より、エアーを吐出し始め、フィルタ基板２は、研磨ステージ３６に対し浮上した状態が保たれる。
また、除去対象物除去ユニット３は、駆動部による駆動により、被除去部材の移動方向に対し直角方向ｂに移動し、研磨ヘッド１０が異物の位置の上方へ移動する。その後、エアー吐出・吸引手段３７はエアー吸引へ切り換わる。これにより、フィルタ基板２が研磨ステージ３６に吸引されて固定された状態で、異物が研磨ヘッド１０により除去される。尚、異物の除去は、研磨ヘッド１０における押し当て部１９によりフィルム状研磨部１８を異物に押し当てた状態で、フィルム状研磨部１８が回転移動しつつ異物を研磨して除去することで行われる。
【００２９】
研磨ヘッド１０により除去対象物が除去された後、フィルタ基板２は、第３のフレーム部３４に送られて、停止し、除去装置１の動作が終了する。又、場合により、フィルタ基板２は第３のフレーム部３４に送られた後、停止せずに、次工程に送られる。
【００３０】
移動手段５は、フィルタ基板２におけるフィルタ基板支持部材２７による支持領域以外の領域を支持すると共に、フィルタ基板２の移動に伴って回動する、間隔を置いて設けられた複数のローラ３２を有するので、フィルタ基板２の支持、移動を確実に行うことができる。
【００３１】
更に、本発明によれば、除去対象物除去ユニット３と、ユニット支持手段４と、移動手段５と、を互いに分解可能としたので、除去装置１の移動又は運搬が容易になると共に、研磨ヘッド１０を一体として除去対象物除去ユニット３に含めて、移動又は運搬することとしたので、除去対象物除去ユニット３を構成する各部分等の再組立が不要である。このため、当該各部分の位置ズレによる除去作業時の精度の低下が生じない。
【００３２】
更に、移動手段５は、フィルタ基板２におけるフィルタ基板支持部材２７による支持領域以外の領域を支持すると共に、フィルタ基板２の移動に伴って回動する、間隔を置いて設けられた複数のローラ３２を有するフレーム部３１、３３、３４を備え、フレーム部３１、３３、３４は、フィルタ基板支持部材２７に対して分解・組立可能とした。これにより、複数のローラ３２により、フィルタ基板２の支持、移動を確実に行うことができると共に、フレーム部３１、３３、３４は、フィルタ基板支持部材２７に対して分解・組立可能としたので、除去装置１の移動又は運搬が容易となる。
【００３３】
更に、フレーム部は、除去対象物除去ユニット３の下方に置かれた第１のフレーム部３１と、第１のフレーム部３１に対しフィルタ基板２の移動方向ａ上流側に置かれた第２のフレーム部３３と、第１のフレーム部３１に対しフィルタ基板２の移動方向ａ下流側に置かれた第３のフレーム部３４と、を有し，これらは、夫々、フィルタ基板支持部材２７に対し分解可能であるので、一層、除去装置１の移動又は運搬が容易となる。
【００３４】
更に、除去対象物除去ユニット３は、研磨ヘッド１０を一体としてフィルタ基板２の移動方向に対し直角方向に移動可能に支持する支持部８と、支持部８に取り付けられており、研磨ヘッド１０を一体として移動させる駆動部と、を備えたので、除去対象物の除去を、一層、正確に行うことができる。
【００３５】
更に、本発明によれば、フィルタ基板２が研磨ステージ３６上を移動している際はエアーを吐出するので、たとえ、フィルタ基板２の全面を支持するガラス等のフィルタ基板支持板がなくとも、フィルタ基板２が研磨ステージ３６に接触してフィルタ基板２を傷つけることを防止でき、研磨ヘッド１０による異物の除去の際はエアーを吸引するので、研磨ステージ３６がフィルタ基板２を固定して、確実に、異物の除去を行うことができる。
【００３６】
【発明の効果】
以上のように、本発明によれば、除去対象物除去ユニットと、ユニット支持手段と、移動手段と、を互いに分解可能としたので、除去装置の移動又は運搬が容易になると共に、除去手段を一体として除去対象物除去ユニットに含めて、移動又は運搬することとしたので、除去対象物除去ユニットを構成する各部分等の再組立が不要である。このため、当該各部分の位置ズレによる除去作業時の精度の低下が生じない。
また、除去対象物除去ユニットが、除去手段と、除去手段を一体として前記直角方向に移動可能に支持する支持部と、該支持部に取り付けられており、前記除去手段を一体として移動させる駆動部と、を備えたので、除去対象物の除去を、一層、正確に行うことができる。
【００３７】
更に、前記移動手段は、被除去部材を支持・移動する部材による支持領域以外の領域を支持すると共に、被除去部材の移動に伴って回動する、間隔を置いて設けられた複数の回動支持部材を有するフレーム部を備え、該フレーム部は、前記支持・移動する部材に対して分解・組立可能とした。これにより、複数の回動支持部材により、被除去部材の支持、移動を確実に行うことができると共に、フレーム部は、支持・移動する部材に対して分解・組立可能としたので、除去装置の移動又は運搬が容易となる。
【００３８】
更に、前記フレーム部は、前記除去対象物除去ユニットの下方に置かれる第１のフレーム部と、該第１のフレーム部に対し被除去部材の移動方向上流側に置かれる第２のフレーム部と、前記第１のフレーム部に対し被除去部材の移動方向下流側に置かれる第３のフレーム部と、を有し、前記第１のフレーム部、前記第２のフレーム部、及び前記第３のフレーム部の各々は、前記支持・移動する部材に対して分解・組立可能としたので、一層、除去装置の移動又は運搬が容易となる。
【００４０】
この発明によれば、被除去部材が被除去部材受け部材上を移動している際はエアーを吐出するので、たとえ、被除去部材の全面を支持する支持基盤がなくとも、被除去部材が被除去部材受け部材に接触して被除去部材を傷つけることを防止でき、除去手段による除去対象物の除去の際はエアーを吸引するので、被除去部材受け部材が被除去部材を固定して、確実に、除去対象物の除去を行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態による除去装置を示す斜視図である。
【図２】本発明の実施の形態による除去装置を示す正面図である。
【図３】本発明の実施の形態による除去装置の組立て工程を示す図である。
【符号の説明】
１ 除去装置
２ フィルタ基板
３ 除去対象物除去ユニット
４ ユニット支持手段
５ 移動手段
６ 基台
７ 除去対象物除去ユニット支持板
１０ 研磨ヘッド
２１ 支持基盤
２２ フィルタ基板支持部材移動台
２７ フィルタ基板支持部材
３１ 第１のフレーム部
３２ ローラ
３３ 第２のフレーム部
３４ 第３のフレーム部
３６ 研磨ステージ
３７ エアー吐出・吸引手段
ａ フィルタ基板の移動方向
ｂ フィルタ基板の移動方向に対し直角方向
Claims (4)
- 被除去部材における除去対象物を除去する除去手段、前記被除去部材の移動方向に対し直角方向に延在して配設されるとともに前記除去手段を一体として前記直角方向に移動可能に支持する支持部、及び該支持部に取り付けられており、前記除去手段を一体として移動させる駆動部、を備えた除去対象物除去ユニットと、
前記除去対象物除去ユニットの前記支持部の両端部分を支持するユニット支持手段と、
被除去部材の端部を支持すると共に、当該被除去部材を前記除去対象物除去ユニットによる除去対象物除去位置へ移動させる移動手段と、を備え、
前記除去対象物除去ユニットと、前記ユニット支持手段と、前記移動手段と、を互いに分解・組立可能としたことを特徴とする除去装置。 - 前記移動手段は、被除去部材を支持・移動する部材による支持領域以外の領域を支持すると共に、被除去部材の移動に伴って回動する、間隔を置いて設けられた複数の回動支持部材を有するフレーム部を備え、該フレーム部は、前記支持・移動する部材に対して分解・組立可能としたことを特徴とする請求項１に記載の除去装置。
- 前記フレーム部は、前記除去対象物除去ユニットの下方に置かれる第１のフレーム部と、該第１のフレーム部に対し被除去部材の移動方向上流側に置かれる第２のフレーム部と、前記第１のフレーム部に対し被除去部材の移動方向下流側に置かれる第３のフレーム部と、を有し、前記第１のフレーム部、前記第２のフレーム部、及び前記第３のフレーム部の各々は、前記移動手段に対して分解・組立可能としたことを特徴とする請求項２に記載の除去装置。
- 前記除去対象物除去位置において、前記除去手段に対し被除去部材を挟んだ反対側に設けられた被除去部材受け部材と、
前記被除去部材受け部材又は前記被除去部材受け部材の近傍に設けられ、被除去部材が前記被除去部材受け部材上を移動している際はエアーを吐出すると共に、前記除去手段による除去対象物の除去の際はエアーを吸引するエアー吐出・吸引手段と、
を備えたことを特徴とする請求項１〜３のいずれか一項に記載の除去装置。
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