JP4329293B2 - 不揮発性半導体メモリ装置および電荷注入方法 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、いわゆるNAND型のメモリセルアレイを有し、当該メモリセルアレイを構成するメモリトランジスタのチャネルが形成される半導体とゲート電極との間に、内部に平面的に離散化された電荷蓄積手段を有する積層膜が形成された不揮発性半導体メモリ装置と、その電荷注入方法とに関する。
【0002】
【従来の技術】
現在、フローティングゲートを有する一括消去型の不揮発性半導体メモリ(フラッシュメモリ)では、多くの種類のメモリセル方式が提案されているが、その中でセルサイズが小さく大容量化が可能なセル方式として、NAND型が知られている。
NAND型フラッシュメモリは、複数のメモリトランジスタを直列接続してNAND列と称されるメモリブロックを構成する。また、たとえば列方向に隣接する2個のNAND列で1個のビットコンタクトおよびソース線を共有することにより、1ビットあたりの実効的なセル面積の縮小を可能としている。
【0003】
一般的なNAND型フラッシュメモリにおいて、その消去動作時に、選択NAND列の全ワード線に0V、非選択NAND列の全ワード線および基板に高電圧(例えば、20V)を印加する。
その結果、選択NAND列のメモリトランジスタのみ、フローティングゲートから基板に電子がFNトンネリングにより引き抜かれて、メモリトランジスタの閾値電圧は負方向にシフトして、例えば−3V程度になる。
【0004】
一方、データのプログラム動作は、選択するワード線に接続されたメモリトランジスタ一括に、いわゆるページ単位で行われ、選択するワード線に高電圧(例えば、18V)を、プログラム(“1”データを記憶)すべきメモリトランジスタが接続されたビット線に0V、プログラムを禁止(“0”データを保持)すべきメモリトランジスタが接続されたビット線に中間電位(例えば、9V)を印加する。
その結果、プログラムすべき選択メモリトランジスタのみ、フローティングゲート中に電子がFNトンネリングにより注入されて、選択メモリトランジスタの閾値電圧は正方向にシフトして、例えば2V程度になる。
【0005】
かかるNAND型フラッシュメモリにおいては、データのプログラムおよび消去の何れもFN(Fowler Nordheim)トンネル電流により行うため、動作電流をチップ内昇圧回路から供給することが比較的に容易であり、単一電源で動作させ易いといった利点がある。
また、ページ単位で、つまり選択するワード線に接続されたメモリトランジスタ一括にデータプログラムが行われるため、当然の結果として、プログラム速度の点で優位である。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
近年の画像情報の記録等の用途にフラッシュメモリの大容量化が求められ、その素子の微細化が進展している。現在、フラッシュメモリのプロセスルールが150nm程度まで縮小され、512MBのメモリ容量がすでに実用化され、さらに微細化および大容量化の検討が行われている。フラッシュメモリの大容量化は、素子の微細化に加え、蓄積電荷量を細かく制御して1つのセルに2ビット以上を記憶させる多値化により推進されている。
【0007】
ところが、隣接するメモリトランジスタ間で電荷蓄積層であるフローティングゲートFGの距離、またフローティングゲートFGとワード線との距離がさらに短くなってきた。
【0008】
図12に、大容量フラッシュメモリにおいて、メモリトランジスタのゲート長が130nm以下に微細化されたFG型NANDメモリセルアレイの斜視図を示す。
この図に示すように、微細化の進展により、隣接するフローティングFG間、あるいはフローティングゲートFGとワード線の電位が容量結合により干渉し、フローティングゲートFGの電位が変動するという問題が顕在化している。とくに、フローティングゲートFGとワード線との容量結合により、10数Vから20Vと大きな電圧のパルスが印加される選択ワード線に隣接した非選択セルのフローティングゲート電位が上昇し、このセルにも弱い書き込みがされるといった問題が生じる。
この電位干渉は、閾値の許容分布幅が小さい多値の微細化NANDメモリの誤書き込みを引き起こすため、特に大きな問題である。
【0009】
本発明の目的は、上述した微細化されたFG型NANDメモリセルアレイにおける電位干渉の問題を解決することである。そして、本発明は、この電位干渉の問題を解消したNAND型の不揮発性半導体メモリ装置に好適な電荷注入方法(書き込み又は消去方法)と、その実施のための構成を有した不揮発性半導体メモリ装置を提供する。
【0010】
【課題を解決するための手段】
本発明の第1の観点に係る不揮発性半導体メモリ装置は、マトリックス状に配置された複数のメモリブロックからメモリセルアレイが構成され、上記メモリブロックの各々が、ビット線とソース線との間にそれぞれセレクトトランジスタを介して直列接続される複数のメモリトランジスタを有し、当該複数のメモリトランジスタが、第1導電型の第1半導体領域と、平面的に離散化された電荷蓄積手段を内部に含む複数の誘電体膜からなる積層膜を介して上記第1半導体領域上にそれぞれが形成され、上記複数のメモリトランジスタのゲート電極として一方向に互いに離間して配置された複数のワード線と、上記複数のワード線の離間部分に対応する上記第1半導体領域の表面部分に形成された第2導電型の複数の第2半導体領域と、を有し、データの書き込みまたは消去時に上記複数のメモリトランジスタ内で選択されたメモリトランジスタの上記電荷蓄積手段に、バンド間トンネリングに起因して発生したホットホールがソース線側とビット線側の双方の上記第2半導体領域から注入されるように、上記ビット線、上記ソース線、上記複数のワード線および上記セレクトトランジスタのゲートの各電位を制御するバイアス供給回路を有する。
【0011】
好ましくは、上記メモリトランジスタのゲート長が、ソース線側とビット線側の双方の上記第2半導体領域からホットホールを注入したとき、ソース線側から注入されたホットホールの保持領域とビット線側から注入されたホットホールの保持領域との少なくとも一部が上記積層膜内で合体するゲート長以下である。
【0012】
本発明の第2の観点に係る不揮発性半導体メモリ装置の電荷注入方法は、マトリックス状に配置された複数のメモリブロックからメモリセルアレイが構成され、上記メモリブロックの各々が、ビット線とソース線との間にそれぞれセレクトトランジスタを介して直列接続される複数のメモリトランジスタを有し、当該複数のメモリトランジスタが、第1導電型の第1半導体領域と、平面的に離散化された電荷蓄積手段を内部に含む複数の誘電体膜からなる積層膜を介して上記第1半導体領域上にそれぞれが形成され、上記複数のメモリトランジスタのゲート電極として一方向に互いに離間して配置された複数のワード線と、上記複数のワード線の離間部分に対応する上記第1半導体領域の表面部分に形成された第2導電型の複数の第2半導体領域と、を有する不揮発性半導体メモリ装置に対しデータの書き込みまたは消去を行う際に、上記ビット線、上記ソース線、上記複数のワード線および上記セレクトトランジスタのゲートの各電位を制御し、上記複数のメモリトランジスタ内で選択されたメモリトランジスタの上記電荷蓄積手段に、バンド間トンネリングに起因して発生したホットホールを、ソース線側とビット線側の双方の上記第2半導体領域から注入する。
【0013】
好ましくは、上記選択されたメモリトランジスタが接続されたワード線に負電圧を印加し、その他の非選択のワード線に、上記選択されたメモリトランジスタが属するメモリブロック内の他のメモリトランジスタが導通する程度の正電圧を印加する。
また、上記バンド間トンネリングに起因して発生したホットホール注入により書き込みを行い、内部にホットホールが注入された上記積層膜に対し、チャネル全面により電子を直接トンネリングまたはFNトンネリングを用いて注入して消去を行う。
あるいは、上記積層膜に対し、チャネル全面により電子を直接トンネリングまたはFNトンネリングにより注入して書き込みを行い、当該内部に電子が注入された積層膜に対し、上記バンド間トンネリングに起因して発生したホットホールを注入して消去を行う。
【0014】
この不揮発性半導体メモリ装置およびその電荷注入方法によれば、NAND型メモリセルアレイを構成するメモリトランジスタの電荷蓄積手段が、ゲート電極とチャネルが形成される第1半導体領域との間に積層された積層膜内で平面的に離散化されている。電荷蓄積手段としては、酸化膜と窒化膜または酸化窒化膜との界面トラップまたは窒化膜等の膜内部のバルクトラップを利用した、いわゆるMONOS型、MNOS型などがある。また、いわゆる微細結晶粒子等を電荷蓄積手段として用いてもよい。
このような離散化された電荷蓄積手段は、単一の導電層からなる従来のフローティングゲートとは異なり、近隣の他のセルの電荷蓄積手段やワード線と容量結合しない。
【0015】
このように、NAND型メモリセルアレイを離散化された電荷蓄積手段を有するメモリとランジスタから構成させた場合、動作対象の選択セルと同じメモリブロック(NAND列)に属する非選択セルのディスターブを如何に防止するかが重要となる。
本発明では、このディスターブ防止を目的として、書き込み又は消去時の電荷注入方法をバンド間トンネル電流に起因して発生させたホットホール注入により行う。MONOS型等ではゲートとソースまたはドレインとの容量が比較的大きく、10V程度の低い電圧でも、ソースまたはドレインとなる第2半導体領域が空乏化してバンドの曲がりが急峻となるため、容易にバンド間トンネル電流が発生する。このことを利用すると、第2半導体領域に付与する電圧を正電圧とすることができる。
【0016】
一方、FG型の書き込みには20Vに近い高い電圧が必要なので、基板側の電位を上げることができず、通常、基板側のNANDチャネルには0Vか負電圧をビット線から供給する。このため、ゲート電位だけで非選択セルに反転層を形成する必要があり、その電圧(パス電圧)が通常、例えば10V程度と高くなる。
【0017】
これに対し、本発明ではNANDチャネルにはドレインから正電圧が供給できるため非選択セルがオンしやすく、パス電圧もFG型の例えば半分程度で済む。したがって、特に当該非選択セルのディスターブマージンがFG型に比べ改善される。
【0018】
【発明の実施の形態】
[第1実施形態]
図1は、本実施形態に係る不揮発性半導体メモリ装置(以下、不揮発性メモリ)のメモリセルアレイの基本構成を示す回路図である。
図1において、メモリセルアレイ1の基本構成としてNAND列が繰り返し配置されている。図1では4つのNAND列が示されている。
第1のNAND列は、セレクトトランジスタS11a,S12aと、メモリトランジスタM11a〜M1naから構成されている。同様に、第2のNAND列は、セレクトトランジスタS11b,S12bと、メモリトランジスタM11b〜M1nbから構成されている。第3のNAND列は、第1のNAND列に直列接続され、セレクトトランジスタS21a,S22aと、メモリトランジスタM21a,…から構成されている。同様に、第4のNAND列は、第2のNAND列に直列接続され、セレクトトランジスタS21b,S22bと、メモリトランジスタM21b,…から構成されている。
【0019】
第1のNAND列内において、メモリトランジスタM11a〜M1naは、ドレインがビット線BLaに接続されたセレクトトランジスタS11aのソースと、ソースがソース線SLに接続されたセレクトトランジスタS12aのドレインとの間に、n個(通常、8または16個)直列接続されている。同様に、第2のNAND列内において、メモリトランジスタM11b〜M1nbは、ドレインがビット線BLbに接続されたセレクトトランジスタS11bのソースと、ソースがソース線SLに接続されたセレクトトランジスタS12bのドレインとの間に、n個直列接続されている。
【0020】
第3のNAND列は、第1のNAND列と直列接続されている。すなわち、第3のNAND列内において、メモリトランジスタM21a,…は、第1のNAND列と共有したビットコンタクトBCを介してドレインがビット線BLaに接続されたセレクトトランジスタS21aのソースと、ソースがソース線SLに接続されたセレクトトランジスタS22aのドレインとの間に、n個直列接続されている。
同様に、第4のNAND列は、第2のNAND列と直列接続されている。すなわち、第4のNAND列内において、メモリトランジスタM21b,…は、第2のNAND列と共有したビットコンタクトBCを介してドレインがビット線BLbに接続されたセレクトトランジスタS21bと、ソースがソース線SLに接続されたセレクトトランジスタS22bのドレインとの間に、n個直列接続されている。
【0021】
行方向に隣接するセレクトトランジスタS11aおよびS11bは、ともにビット線選択信号線SG11により制御され、セレクトトランジスタS12aおよびS12bはともにソース線選択信号線SG12により制御される。同様に、セレクトトランジスタS21aおよびS21bは、ともにビット線選択信号線SG21により制御され、セレクトトランジスタS22aおよびS22bはともにソース線選択信号線SG22により制御される。
また、メモリトランジスタM11aとM11b,M12aとM12b,M13aとM13b,…,M1naとM1nbは、それぞれワード線WL11,WL12,WL13,…,WL1nにより制御される。同様に、メモリトランジスタM21aとM21bは、ワード線WL21により制御される。
【0022】
図2は、図1の第1のNAND列の列方向の断面図である。
このように相互接続される各ストリングにおいて、図2の断面に示すように、例えばN型の半導体基板SUB内の表面側に、例えばP型のウェル(Pウェル)Wが形成され、当該PウェルWの表面側にトランジスタ列が配置させている。
【0023】
メモリトランジスタM11a〜M1naは、そのPウェルW上に、複数の誘電体膜を積層させてなるメモリゲート誘電体膜MGDを有する。また、メモリゲート誘電体膜MGD上にワード線WL11〜WL1nが積層されている。ワード線WL11〜WL1nは、一般に、P型またはN型の不純物が高濃度に導入されたドープド多結晶珪素、ドープド非晶質珪素、または、これらの何れかと高融点金属シリサイドとの積層膜からなる。
【0024】
ワード線間下方のPウェルW表面部分に、N型の不純物が導入されてソース・ドレイン不純物領域S/Dが形成されている。
なお、ソース・ドレイン不純物領域S/Dは、逆導電型の不純物を高濃度にPウェルWに導入することにより形成された導電率が高い領域であり、種々の形態がある。図では省略されているが、ソース・ドレイン不純物領域S/Dの列方向両側端部に、LDD(Lightly Doped Drain)と称する低濃度不純物領域を具備させてもよい。
【0025】
セレクトトランジスタS11a,S12a等は、通常のMOSFETで構成される。したがって、そのゲート誘電体膜GDは、例えば二酸化珪素からなる単層膜のみで構成されている。セレクトトランジスタS11a,S12aの各ゲート電極層は、それぞれビット線選択信号線SG11,ソース線選択信号線SG12を構成する。
【0026】
これらセレクトトランジスタおよびメモリトランジスタ上に、例えば二酸化珪素などからなる層間絶縁膜INTが厚く堆積されている。
ビット線選択信号線SG11と、ビット方向に隣接する第3のNAND列のビット線選択信号線SG21との間のPウェルWの表面部分に、N型不純物が高濃度に添加されたドレイン不純物領域DRが形成されている。ビットコンタクトBCが、このドレイン不純物領域DR上に形成されている。ビットコンタクトBCは、層間絶縁膜INTに開孔されたコンタクト孔内を、例えばTi/TiN等の密着層を介在させてW等の金属プラグで埋め込むことにより形成されている。
層間絶縁膜INT上には、ビットコンタクトBCに接するビット線BLaが形成されている。ビット線BLaは、例えば、Al等の主配線層の上下を、反射防止層(又は保護層)とバリアメタルで挟んだ3層構造から構成させることができる。
【0027】
一方、ソース線選択信号線SG12と、ビット方向に隣接する他のNAND列のソース線選択信号線との間のPウェルWの表面部分に、N型不純物が高濃度に添加されたソース不純物領域SRが形成されている。このソース不純物領域SRにより、ソース線SLが構成されている。なお、ソース線SLは、上層の配線層から構成してもよい。
【0028】
本実施形態では、電荷蓄積手段が平面的に離散化された不揮発性メモリトランジスタとして、ゲート電極とチャネル形成領域との間の積層膜(ゲート絶縁膜)がONO(Oxide-Nitride-Oxide)膜からなるMONOS型が用いられている。
【0029】
ここで“チャネル形成領域”とは、ソース・ドレイン不純物領域S/D間に挟まれ、上方のワード線の印加電圧により、その表面側内部に電子または正孔が導電するチャネルが形成される半導体領域(Pウェル内の表面領域)をいう。
また“電荷蓄積手段”とは、ゲート絶縁膜内に形成され、そのゲート絶縁膜上のゲート電極への印加電圧に応じて基板側との間で電荷をやり取りし、電荷を保持する電荷保持媒体をいう。
本実施形態において“平面的に離散化された電荷蓄積手段”とは、ONO膜の窒化膜バルクのキャリアトラップ、或いは酸化膜と窒化膜界面付近に形成された深いキャリアトラップをいう。なお、従来のフローティングゲート型では電荷蓄積手段がポリシリコンにより構成され連続的になっており、この点で本実施形態と大きく異なる。
【0030】
本実施形態におけるメモリゲート誘電体膜MGDは、下層から順に、ボトム誘電体膜BTM,電荷蓄積膜CHS,トップ誘電体膜TOPから構成されている。ボトム誘電体膜BTMは、例えば熱酸化により形成された二酸化珪素(SiO2)からなり、その内部の電荷伝導がFNトンネリング、直接トンネリング等により行われる。このMONOS型では、実質的にボトム誘電体膜BTMと電荷蓄積膜CHS間の三角ポテンシャルの部分を電荷がトンネル注入されるため、その書き込みメカニズムはモディファイドFN(Modified Fowler Nordheim)トンネリングを利用して行われる。
ボトム誘電体膜BTMの膜厚は、使用用途に応じて2.5nmから6.0nmの範囲内で決めることができ、ここでは3.5nmに設定されている。なお、ボトム誘電体膜BTMの少なくとも表面部に、熱窒化処理によりされ窒化酸化層を薄く形成してもよい。
【0031】
電荷蓄積膜CHSは、例えば8.0nmの窒化珪素(SixNy(0<x<1,0<y<1))膜から構成されている。この電荷蓄積膜CHSは、たとえば減圧CVD(LP−CVD)により作製され、膜中にキャリアトラップが多く含まれ、プールフレンケル型(PF型)の電気伝導特性を示す。
トップ誘電体膜TOPは、電荷蓄積膜CHSとの界面近傍に深いキャリアトラップを高密度に形成する必要があり、このため、例えば成膜後の窒化膜等を熱酸化して形成される。また、トップ誘電体膜TOPをHTO(High Temperature chemical vapor deposited Oxide)法により形成したSiO2膜としてもよい。トップ誘電体膜TOPがCVDで形成された場合は熱処理によりこのトラップが形成される。トップ誘電体膜TOPの膜厚は、ゲート電極(ワード線)からのホールの注入を有効に阻止してデータ書き換え可能な回数の低下防止を図るために、最低でも3.0nm、好ましくは3.5nm以上が必要である。
【0032】
このNAND列の製造においては、まず、用意した半導体基板SUBに対し、不図示の素子分離領域およびPウェルWを形成した後に、メモリトランジスタのゲートしきい値電圧調整用のイオン注入等を必要に応じて行う。
【0033】
つぎに、PウェルW上にメモリゲート誘電体膜MGDを成膜する。
具体的に、たとえば、短時間高温熱処理法(RTO法)により1000℃,10secの熱処理を行い、二酸化珪素膜(ボトム誘電体膜BTM)を形成する。つぎに、ボトム誘電体膜BTM上にLP−CVD法により窒化珪素膜(電荷蓄積膜CHS)を、最終膜厚が8nmとなるように、これより厚めに堆積する。このCVDは、たとえば、ジクロロシラン(DCS)とアンモニアを混合したガスを用い、基板温度650℃で行う。
形成した窒化珪素膜表面を熱酸化法により酸化して、たとえば3.5nmの酸化シリコン膜(トップ誘電体膜TOP)を形成する。この熱酸化は、たとえばH2O雰囲気にした炉内の温度を950℃に保った状態で40分程度行う。これにより、トラップレベル(窒化珪素膜の伝導帯からのエネルギー差)が2.0eV以下の程度の深いキャリアトラップが約1〜2×1013/cm2の密度で形成される。また、電荷蓄積膜CHSを構成する窒化珪素膜が1nmに対し熱酸化シリコン膜(トップ誘電体膜TOP)が1.5nm形成され、この割合で下地の窒化珪素膜厚が減少し、電荷蓄積膜CHSの最終膜厚が8nmとなる。
【0034】
必要に応じて、メモリトランジスタ列以外の部分で3層構造のメモリゲート誘電体膜MGDを除去し、セレクトトランジスタのゲート誘電体膜GDとなる酸化珪素膜を数nmほど熱酸化により形成する。この場合、メモリゲート誘電体膜MGDを保護するために、後で選択的に除去可能な材料の膜をメモリゲート誘電体膜MGD上に形成しておくことが望ましい。なお、セレクトトランジスタには電荷注入が起こるほど高い電界がかからないので、セレクトトランジスタのゲート誘電体膜GDを、メモリゲート誘電体膜MGDと同じ構造することもできる。この場合、このメモリゲート誘電体膜MGDの除去工程は不要である。
【0035】
ワード線となる導電膜を積層させる。そして、導電膜、および、その下のメモリゲート誘電体膜MGD(およびゲート誘電体膜GD)を一括してパターンニングする。これにより、ワード線WL11,WL12,WL13,…WL1n、ビット線選択信号線SG11およびソース線選択信号線SG12等が同時に形成される。
【0036】
これら行方向に長い平行ストライプ状の配線を形成した状態で、配線間のウェル表面にN型不純物をイオン注入し、アニールを行う。これにより、ワード線間およびワード線とセレクトトランジスタのゲートとの間に、ソース・ドレイン不純物領域S/Dが形成され、さらに、セレクトトランジスタのゲート間にドレイン不純物領域DRあるいはソース不純物領域SR(ソース線SL)が形成される。
以上の工程を経て、例えば16個のメモリトランジスタを含むNAND列が行方向に128個並んで形成される。行方向に一列に並ぶ各行のトランジスタ群により、1つの書き換え単位(ページ)が構成される。通常、1ページは、例えば128個のセルで構成される。
【0037】
メモリトランジスタおよびセレクトトランジスタを埋め込んで、例えば二酸化珪素からなる層間絶縁膜INTを厚くCVDし、この層間絶縁膜INTにビットコンタクト用の開口部を形成する。この開口部はドレイン不純物領域DR上で開口している。開口部を完全に埋め込むように、プラグ材料、例えばタングステンを堆積し、これを全面でエッチバックしてプラグ材料を層間絶縁膜INT上で分離する。これにより、ドレイン不純物領域DR上に接続したプラグからなるビットコンタクトBCが、層間絶縁膜INT内に埋め込まれて形成される。
その後、ビットコンタクトBC上に接続したビット線BLa等を層間絶縁膜INT上に形成した後、さらに必要なら、他の層間絶縁膜や上層配線を形成し、最後にオーバーコート成膜とパッド開口工程等を経て、当該不揮発性メモリセルアレイを完成させる。
【0038】
なお、メモリセルアレイの周辺回路としては、特に図示しないが、ローデコーダ(ワード線駆動回路を含む)、カラムデコーダ、ローおよびカラムバッファ、書き込みデータおよび読み出しデータが一時保持されるデータラッチ回路群、カラム選択回路、読み出し回路(センスアンプ)および電源回路等を有している。このうち、電源回路は、選択したワード線にワード線駆動回路を介して供給する所定電圧を発生させ、選択したビット線やソース線にカラム選択回路を介して供給する所定電圧を発生させ、また、PウェルWに供給する所定電圧を発生させる。電源回路および電圧供給に関係する各種選択回路等は、本発明における“バイアス供給回路”を構成する。
【0039】
メモリセルの動作について説明する。
図3は書き込み動作の説明図、図4は消去動作の説明図である。なお、以下の説明では、図1に示す選択セルSを動作対象とし、非選択セルA〜Cへの誤動作防止についても説明する。
書きこみでは、選択セルが接続されたワード線WL12に所定のプログラム電圧Vpgmとして例えば12Vを印加し、他の全てのワード線(非選択ワード線)WL11,WL13〜WL1nにプログラム電圧Vpgmより十分低いがメモリセルがオンする程度のパス電圧Vpass、例えば5Vを印加する。選択列のビット線BLaに0V、非選択列のビット線BLb等に5Vを印加する。また、ソース線SLおよびPウェルWは基準電位0Vで保持する。この状態で、ビット線選択信号線SG11に電源電圧VCCを印加して、全てのビット線側のセレクトトランジスタS11a,S11b,…をオンさせる。一方、ソース線側のセレクトトランジスタS12a,12b,…は、そのゲートにソース線選択信号線SG12を介して0Vを印加しオフさせる。
【0040】
この書き込み条件下、ゲートとチャネル形成領域間に約12Vの高い電圧が印加された選択セルSのみ、モディファイドファウラーノルドハイム(MFN)機構によりチャネル全面から電子が電荷蓄積手段(キャリアトラップ)に注入される。これにより、選択セルSの閾値電圧が増加する。なお、選択セルに電子注入を行わないときは、ビット線BLaの印加電圧を非選択ビット線と同じ5Vとする。この非選択の場合、選択セルSのゲートとチャネル形成領域には7V程度の電圧しかかからないので、電子注入は行われない。
【0041】
非選択のNAND列においても、ソース線選択線SG12の電圧は0Vなのでソース線側のセレクトトランジスタS12bはカットオフしているが、ビット線側のセレクトトランジスタS11bは、そのゲートにビット線選択線SG11を介して電源電圧VCCが印加されて導通状態となっている。この導通状態のセレクトトランジスタS11bにビット線BLbの電圧(5V)が伝わり始め、そのチャネル部が、ゲート印加電圧(電源電圧VCC)から当該セレクトトランジスタS11bの閾値電圧Vthst1を差し引いた電圧値(VCC−Vthst1)まで充電されると、このセレクトトランジスタS11bがカットオフする。したがって、非選択のNAND列のチャネル部がビット線BLbから切り離されてフローティング状態になり、以後は、当該チャネル部電位がゲート印加電圧との容量カップリングにより自動的に昇圧(セルフブースト)される。このセルフブーストは、非選択ワード線に印加したパス電圧Vpass(5V)と、選択ワード線に印加したプログラム電圧Vpgmの双方により行われる。この結果、プログラム電圧Vpgmが印加された非選択セルA(S12b),および同じNAND列内の他の非選択セルB(M11b等)について書き込みが禁止される。
【0042】
消去時は、バンド間トンネリングに起因して発生したホットホール注入を用いて例えばブロック単位で行う。以下、この消去方法を、BTBT(Band to Band Tunneling)−HH(Hot Hole)注入消去という。
具体的には、消去対象セルSが接続されたワード線WL12に消去ゲート電圧Verase、例えば−6Vを印加し、他の非選択のワード線WL11,WL13,…に消去は行われないが非選択セルのトランジスタがオンする程度の正のパス電圧Vpass、例えば5Vを印加する。選択されたブロック内の全てのビット線BLa,BLb,…およびソース線SLに6V、非選択ブロックのビット線に0Vを印加する。また、PウェルWは例えば基準電位0Vで保持する。この状態で、ビット線選択信号線SG11およびソース線選択信号線SG12に電源電圧VCCを印加して、全てのセレクトトランジスタS11a,S11b,…,S12a,12b,…をオンさせる。なお、PウェルWは基準電位0V以外の電圧でもよいが、この場合、それに応じて、全てのセレクトトランジスタがオンするように、ビット線選択信号線SG11およびソース線選択信号線SG12の印加電圧値を設定する。
【0043】
この消去条件下、選択されたブロック内のNAND列において、そのビット線BLa,…およびソース線SLの印加電圧である6Vが、オン状態のセレクトトランジスタや非選択のメモリトランジスタを介して、ビット線側とソース線側の双方から選択セルSの2つのソース・ドレイン不純物領域S/Dに伝達される。このため、このソース・ドレイン不純物領域S/Dとゲート電極(選択ワード線WL12)との間に10Vを超える消去電圧が印加される。その結果、2つのソース・ドレイン不純物領域それぞれおいて、その表面が深い空乏状態となりエネルギーバンドの曲がりが大きくなり、バンド間トンネル現象により電子が価電子帯より伝導帯にトンネルする。この際、電子とホール対が発生するが、そのうち電子はN型のソース・ドレイン不純物領域内に流れて吸収される。一方、発生したホールは接合付近に印加された高電界により加速されてホットホールとなり、チャネル形成領域の中心部の方向にドリフトする。このホットホールの一部が電荷蓄積膜CHSの電荷蓄積手段(キャリアトラップ)に局所的に注入される。
このため、当該メモリトランジスタM12aに電子が注入された書き込み消去状態であり、その閾値電圧が高い場合に、注入されたホットホールにより蓄積電子が相殺され、当該メモリトランジスタの閾値電圧が消去状態の低いレベルに低下する。
【0044】
この消去方法では、ソースとドレイン双方から消去を行うことができるが、消去は片側のみで行っても良い。この場合、読み出し方法との関係で、より閾値変化が大きな側で消去を行うのが望ましい。
【0045】
上述したように、2つのソース・ドレイン不純物領域の双方に6Vを伝達した場合、ソース側とドレイン側からホットホールが注入される。このとき、ゲート長を十分短く(例えば100nm以下と)すると、局所的に注入されたホールの2つの保持領域がチャネル形成領域の中央付近で少なくとも一部合体する。この場合、あたかも、チャネル形成領域全体からホールが注入された場合と等価とみなすことができる。この消去方法は、チャネル形成領域全体で閾値を変化させることができる点で有利である。また、この消去方法はゲート長が短いほど効率的に電荷蓄積膜の全面にホールが注入されるため、ゲート長が年々短縮している現状に即した消去方法であると言える。
【0046】
なお、当然ながら、書き込み状態と消去状態の定義によっては、チャネル全面からのFNトンネリングを消去に用い、バンド間トンネル電流起因のホットホール注入を書き込みに用いることもできる。
【0047】
読み出しは、ページ読み出しを基本とし、上述したと同様な電圧の伝達方法を利用してソースに0V、選択されたビット線からドレインにドレイン電圧1V、選択されたワード線からゲートに読み出しゲート電圧2.5Vを印加して、ビット線を流れるドレイン電流を周辺回路内のセンスアンプで読み出す。このときのドレイン電圧の印加方向は、より大きな読み出し電流変化が得られるように適宜設定する。
【0048】
以上の書き込み方法および消去方法の電圧値はあくまで一例であり、デバイス寸法などに応じて適宜最適化できる。これらの電圧供給は、前述したバイアス供給回路が行う。
【0049】
本実施形態の特徴は、メモリトランジスタの電荷蓄積手段に平面的に離散化されたものを用い、それに対応してより高速消去等が行えるようにバンド間トンネル電流起因のホットホール注入を利用することにある。
【0050】
従来のFG型NANDメモリセルアレイでは、前述したように、セルが微細化されるとフローティングゲート間あるいはフローティングゲートと隣接ワード線間の結合容量が大きくなり、フローティングゲートの電位変動、およびこれに起因した動作の安定性低下、誤動作が問題となる。
これに対し、本実施形態では、離散化された電荷蓄積手段を有し、これは単一の導電層からなる従来のフローティングゲートとは異なり、近隣の他のセルの電荷蓄積手段やワード線と容量結合しない。したがって、このメモリセルは動作の安定性が高く、誤動作しにくい。
【0051】
また、本実施形態では、ディスターブ防止を目的として、書き込み又は消去時の電荷注入方法をバンド間トンネル電流に起因して発生させたホットホール注入により行う。MONOS型等ではゲートとソースまたはドレインとの容量が比較的大きく、10V程度の低い電圧でも、ソース・ドレイン不純物領域の表面が空乏化してバンドの曲がりが急峻となるため、容易にバンド間トンネル電流が発生する。このことを利用すると、ソース・ドレイン不純物領域に付与する電圧を正電圧とすることができる。
【0052】
一方、FG型の書き込みには20Vに近い高い電圧が必要なので、基板側の電位を上げることができず、通常、基板側のNANDチャネルには0Vか負電圧をビット線から供給する。このため、ゲート電位だけで非選択セルに反転層を形成する必要があり、その電圧(パス電圧)が通常、例えば10V程度と高くなる。
【0053】
これに対し、本実施形態ではNANDチャネルにはドレインから正電圧が供給できるため非選択セルがオンしやすく、パス電圧もFG型の例えば半分程度で済む。したがって、当該非選択セルのディスターブマージンがFG型に比べ改善される。
【0054】
また、本実施形態で行なうバンド間トンネル電流起因のホットホール注入は、その注入効率が10−3程度と良好であり、1nA以下の低電流で20μs以下の高速動作が可能となる。
また、ONO膜のボトム絶縁膜を4nm程度に厚膜化することが可能であるため、データ保持特性も改善され、10年保証が容易となる。
【0055】
最後に、ゲート長80nmのデバイス特性を測定したので、その説明を行う。図5にメモリトランジスタの、ゲート電圧Vgとソース・ドレイン間電圧Vsdとを変化させた場合の消去特性を示した。図5の横軸に、印加した消去パルスの発生時間(単位:μs)を示し、縦軸に、閾値電圧値(単位:V)を示す。
図5より、ゲート電圧Vgが−6V,ソース・ドレイン間電圧Vsdが6V、ウェル電位が0Vの場合、消去時間20μsで閾値電圧が十分(2V近く)低下していることが分かる。なお、消去前に行った書き込み条件は0.3ms、12Vであった。
【0056】
図6に、消去セルでのゲート電流および基板電流のドレイン電圧依存性を示す。この図6は、ドレイン電圧を高くしていったときに、ゲート幅1μmあたりのゲート電流Igおよび基板電流(以下、ウェル電流という)Isubの変化を表している。
バンド間トンネル電流起因のホットホールは、電荷蓄積手段に捕獲され以外では、基板側に流れてウェル電流を増大させ、あるいは電荷蓄積手段から更に上方のゲート電極にまで達しゲート電流となることが懸念される。しかし、この測定結果より、懸念されたウェル電流Isubはセル当たり2nA/μmであり、読み出し電流に比べ十分低く抑えられていることが確認された。また、ゲート電流Igは無視できるほど小さいことも分った。
【0057】
図7に、本実施形態に係るバンド間トンネル電流起因のホットホール注入消去の消去特性を、チャネル全面から電子を引き抜いてダイレクトトンネリングによりホールを注入する消去方法の消去特性と比較して示す。
この図7より、本実施形態の消去方法のほうが数桁もの大幅な高速化が可能なことが分る。この高速消去の採用により、従来のブロック一括消去だけでなく、従来では難しかったワード線ごとの消去も可能となる。
【0058】
図8に、ソース・ドレイン不純物領域の逆方向バイアス印加時の電流電圧特性を示す。
この逆方向電流の最大値は、ウェル電流の許容値から推定するとゲート幅1μm当たり20nA以下にする必要がある。この測定結果から、ソース・ドレイン不純物領域S/Dの接合耐圧が約7V以上あり、接合に6Vを印加することは十分可能であることが分かった。
【0059】
また、ゲート電圧1.5Vでのリードディスターブ特性も評価したが、3×108sec以上時間経過後でも読み出しが可能であることが分かった。
【0060】
図9に、データ書き換え特性を示した。
書き込み条件は0.3ms、12Vであり、消去条件は20μs,−6V/6Vである。この図より、書き換え回数10万回後でも十分な閾値電圧差が得られていることが分かった。
また、データ保持特性は1×105回のデータ書換え後で85℃、10年を満足した。
【0061】
以上より、ゲート長80nmのMONOS型不揮発性メモリトランジスタとして十分な特性が得られていることを確かめることができた。
なお、種々の特性値の良好さから、ゲート長が70nmのMONOS型不揮発性メモリについても、本技術が適用可能であるといえる。
【0062】
[第2実施形態]
本実施形態は、メモリトランジスタの電荷蓄積手段としてメモリゲート誘電体膜中に埋め込まれ互いに絶縁分離された多数のナノ結晶を用いた不揮発性半導体記憶装置(以下、ナノ結晶型という)について示す。
本実施形態において、例えばSiからなり粒径がナノメータ(nm)オーダのナノ結晶が、“平面的に離散化された電荷蓄積手段”に該当する。このナノ結晶は、粒径が10ナノメータ以下であることが好適である。
【0063】
図10は、このナノ結晶型メモリトランジスタの素子構造を示す断面図である。
本実施形態のナノ結晶型不揮発性メモリが、第1実施形態と異なるのは、本実施形態のメモリゲート誘電体膜40が、窒化膜等の電荷蓄積膜CHSとトップ誘電体膜TOPに代えて、ボトム誘電体膜BTM上の電荷蓄積手段としてのSiナノ結晶42と、その上の酸化膜44とがゲート電極(ワード線WL)との間に形成されていることである。
その他の構成、即ちPウェルW、ソース・ドレイン不純物領域S/D、チャネル形成領域CH、ボトム誘電体膜BTM、ゲート電極を兼ねるワード線WLは、第1実施形態と同様である。
【0064】
ナノ結晶42は、例えばシリコンからなり、そのサイズ(直径)が例えば4.0nm程度であり、個々のSiナノ結晶同士が酸化膜44で空間的に、例えば4nm程度の間隔で分離されている。本例におけるボトム誘電体膜BTMは、電荷蓄積手段(Siナノ結晶42)が基板側に近いこととの関係で、第1実施形態よりやや厚く、使用用途に応じて2.6nmから5.0nmまでの範囲内で膜厚を適宜選択できる。ここでは、4.0nm程度の膜厚とした。
【0065】
このような構成のメモリトランジスタの製造では、ボトム誘電体膜BTMの成膜後、例えばプラズマCVD法でボトム誘電体膜BTMの上に、複数のSiナノ結晶42を形成する。また、酸化膜44を、例えば7nmほど低圧CVD(LP−CVD)により成膜し、Siナノ結晶42を埋め込む。このLP−CVDでは、原料ガスがDCSとN2Oの混合ガス、基板温度が例えば700℃とする。この時、Siナノ結晶42を埋め込んだ、酸化膜44表面が平坦化される。平坦化が不十分な場合は、新たに平坦化プロセス(例えばCMP等)を行うとよい。
その後は、ゲート電極材の成膜、電極加工等を経て、当該ナノ結晶型メモリトランジスタを完成させる。
【0066】
このように形成されたSiナノ結晶42は、平面方向に離散化されたキャリアトラップとして機能する。そのトラップレベルは、周囲の酸化シリコンとのバンド不連続値で推定可能で、その推定値では約3.1eV程度とされる。この大きさの個々のSiナノ結晶42は、数個の注入電子を保持できる。なお、Siナノ結晶42を更に小さくして、これに単一電子を保持させてもよい。
【0067】
メモリセルアレイの基本構成を示す回路図(図1)、断面図(図2)は、上記メモリゲート誘電体膜の構成を除くと、本実施形態においても適用される。
また、書き込み、消去および読み出しの動作の基本も第1実施形態と同様である。
このような構成のSiナノ結晶型不揮発性メモリについて、ホットホール注入による高速消去、モディファイドFNトンネリングによる高速書き込みオペレーションが同様にできることを確認した。また、第1実施形態と同様の利点、すなわち電荷蓄積手段が離散化されていることにより動作が安定し、かつ誤動作しにくいこと、および、消去時に非選択NAND列に印加するパス電圧が低減でき、これによってディスターブが防止される利点がある。
また、信頼性についても、第1実施形態と同等な信頼性が得られることを確認した。
【0068】
[第3実施形態]
本実施形態は、フローティングゲートを微細に分割して離散化したメモリゲート誘電体膜構造のメモリトランジスタを、SOI基板に形成した場合である。
【0069】
本実施形態は、メモリトランジスタの電荷蓄積手段として絶縁膜中に埋め込まれ互いに分離した多数の微細分割型フローティングゲートを用いた不揮発性半導体記憶装置(以下、微細分割FG型という)に関する。
【0070】
図11は、この微細分割FG型メモリトランジスタの素子構造を示す断面図である。
本実施形態の微細分割FG型不揮発性メモリが、先の第1実施形態と異なるのは、メモリトランジスタがSOI基板に形成されていることと、本実施形態のメモリゲート誘電体膜50が、窒化膜等の電荷蓄積膜CHSとトップ誘電体膜TOPに代えて、ボトム誘電体膜BTM上の電荷蓄積手段としての微細分割型フローティングゲート52と、その上の酸化膜54とが、ゲート電極(ワード線WL)との間に形成されていることである。
その他の構成のうち、ボトム誘電体膜BTM、ワード線WLは、第1実施形態と同様である。
この微細分割型フローティングゲート52は、先の第2実施形態のSiナノ結晶42とともに本発明でいう“小粒径導電体”の具体例に該当する。
【0071】
SOI基板としては、酸素イオンをシリコン基板に高濃度にイオン注入し基板表面より深い箇所に埋込酸化膜を形成したSIMOX(Separation by Implanted Oxygen)基板や、一方のシリコン基板表面に酸化膜を形成し他の基板と張り合わせた張り合せ基板などが用いられる。このような方法によって形成され図11に示したSOI基板は、半導体基板SUB、分離酸化膜58およびシリコン層60とから構成され、シリコン層60内に、チャネル形成領域CH,2つのソース・ドレイン不純物領域S/Dが設けられている。
なお、半導体基板SUBに代えて、ガラス基板、プラスチック基板、サファイア基板等を用いてもよい。
【0072】
微細分割型フローティングゲート52は、通常のFG型のフローティングゲートを、その高さが例えば5.0nm程度で、直径が例えば8nmまでの微細なポリSiドットに加工したものである。
本例におけるボトム誘電体膜BTMは、第1実施形態よりやや厚いが、通常のFG型に比べると格段に薄く形成され、使用用途に応じて2.5nmから4.0nmまでの範囲内で適宜選択できる。ここでは、最も薄い2.5nmの膜厚とした。
【0073】
このような構成のメモリトランジスタの製造では、SOI基板上にボトム誘電体膜BTMを成膜した後、例えばLP−CVD法で、ボトム誘電体膜BTMの上にポリシリコン膜(最終膜厚:5nm)を成膜する。このLP−CVDでは、原料ガスがDCSとアンモニアの混合ガス、基板温度が例えば650℃とする。つぎに、例えば電子ビーム露光法を用いて、ポリシリコン膜を直径が例えば8nmまでの微細なポリSiドットに加工する。このポリSiドットは、微細分割型フローティングゲート52(電荷蓄積手段)として機能する。その後、微細分割型フローティングゲート52を埋め込むかたちで、酸化膜54を、例えば9nmほどLP−CVDにより成膜する。このLP−CVDでは、原料ガスがDCSとN2Oの混合ガス、基板温度が例えば700℃とする。この時、微細分割型フローティングゲート52は酸化膜54に埋め込まれ、酸化膜54表面が平坦化される。平坦化が不十分な場合は、新たに平坦化プロセス(例えばCMP等)を行うとよい。その後、ゲート電極(ワード線WL)を成膜し、ゲート積層膜を一括してパターンニングする工程を経て、当該微細分割FG型メモリトランジスタを完成させる。
【0074】
このようにSOI基板を用い、フローティングゲートが微細に分割されることについては、素子を試作して特性を評価した結果、予想通りの良好な特性を確認した。
本実施形態の場合も、ホットホール注入による高速消去、モディファイドFNトンネリングによる高速書き込みオペレーションが同様にできることを確認した。また、第1実施形態と同様の利点、すなわち電荷蓄積手段が離散化されていることにより動作が安定し、かつ誤動作しにくいこと、および、消去時に非選択NAND列に印加するパス電圧が低減でき、これによってディスターブが防止される利点がある。
また、信頼性についても、第1実施形態と同等な信頼性が得られることを確認した。
【0075】
【発明の効果】
本発明に係る不揮発性半導体メモリ装置およびその電荷注入方法によれば、FG型を微細化した場合に顕著な電位干渉の問題を解消したNAND型の不揮発性半導体メモリ装置に好適な電荷注入方法(書き込み又は消去方法)と、その実施のための構成を有した不揮発性半導体メモリ装置を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施形態に係る不揮発性メモリのメモリセルアレイの基本構成を示す回路図である。
【図2】実施形態に係るメモリセルアレイにおいて、図1の第1のNAND列の列方向の断面図である。
【図3】実施形態に係るメモリセルの書き込み動作の説明図である。
【図4】実施形態に係るメモリセルの消去動作の説明図である。
【図5】第1実施形態に係るメモリトランジスタの消去特性を示すグラフである。
【図6】第1実施形態に係るメモリセルアレイにおいて、消去セルでのゲート電流およびウェル電流のドレイン電圧依存性を示すグラフである。
【図7】第1実施形態に係るバンド間トンネル電流起因のホットホール注入消去の消去特性を、チャネル全面から電子を引き抜いてダイレクトトンネリングによるホールを注入する消去方法の消去特性と比較して示すグラフである。
【図8】第1実施形態に係るメモリトランジスタにおいて、ソース・ドレイン不純物領域の逆方向バイアス印加時の電流電圧特性を示すグラフである。
【図9】第1実施形態に係るメモリトランジスタのデータ書き換え特性を示すグラフである。
【図10】本発明の第2の実施形態に係るナノ結晶型メモリトランジスタの素子構造を示す断面図である。
【図11】本発明の第3実施形態に係る微細分割FG型メモリトランジスタの素子構造を示す断面図である。
【図12】従来の課題を説明するために用いたFG型メモリセルアレイの斜視図である。
【符号の説明】
1…メモリセルアレイ、40…メモリゲート誘電体膜、42…ナノ結晶、44…酸化膜、50…メモリゲート絶縁膜、52…微細分割型フローティングゲート、54…酸化膜、58…分離酸化膜、60…シリコン層、BC…ビットコンタクト、BLa,BLb…ビット線、BTM…ボトム誘電体膜、CH…チャネル形成領域、CHS…電荷蓄積膜、DR…ドレイン不純物領域、GD…ゲート誘電体膜、Ig…ゲート電流、INT…層間絶縁膜、Isub…ウェル電流、M11a等…メモリトランジスタ、MGD…メモリゲート誘電体膜、S/D…ソース・ドレイン不純物領域、S11a等…セレクトトランジスタ、SG11等…ビット線選択信号線、SG12等…ソース線選択信号線、SL…ソース線、SR…ソース不純物領域、SUB…半導体基板、TOP…トップ誘電体膜、VCC…電源電圧、Verase…消去ゲート電圧、Vpass…パス電圧、Vpgm…プログラム電圧、Vthst1…閾値電圧、W…Pウェル、WL,WL11等…ワード線
Claims (11)
- マトリックス状に配置された複数のメモリブロックからメモリセルアレイが構成され、
上記メモリブロックの各々が、ビット線とソース線との間にそれぞれセレクトトランジスタを介して直列接続される複数のメモリトランジスタを有し、
当該複数のメモリトランジスタが、
第1導電型の第1半導体領域と、
平面的に離散化された電荷蓄積手段を内部に含む複数の誘電体膜からなる積層膜を介して上記第1半導体領域上にそれぞれが形成され、上記複数のメモリトランジスタのゲート電極として一方向に互いに離間して配置された複数のワード線と、
上記複数のワード線の離間部分に対応する上記第1半導体領域の表面部分に形成された第2導電型の複数の第2半導体領域と、を有し、
データの書き込みまたは消去時に上記複数のメモリトランジスタ内で選択されたメモリトランジスタの上記電荷蓄積手段に、バンド間トンネリングに起因して発生したホットホールがソース線側とビット線側の双方の上記第2半導体領域から注入されるように、上記ビット線、上記ソース線、上記複数のワード線および上記セレクトトランジスタのゲートの各電位を制御するバイアス供給回路を有する
不揮発性半導体メモリ装置。 - 上記メモリトランジスタのゲート長が、ソース線側とビット線側の双方の上記第2半導体領域からホットホールを注入したとき、ソース線側から注入されたホットホールの保持領域とビット線側から注入されたホットホールの保持領域との少なくとも一部が上記積層膜内で合体するゲート長以下である
請求項1に記載の不揮発性半導体メモリ装置。 - 上記積層膜が、
上記第1半導体領域上のボトム誘電体膜と、
当該ボトム誘電体膜上の窒化膜または酸化窒化膜と
を含む請求項1に記載の不揮発性半導体メモリ装置。 - 上記積層膜が、
上記第1半導体領域上のボトム誘電体膜と、
上記電荷蓄積手段としてボトム誘電体膜上に形成され互いに絶縁された小粒径導電体と
を含む請求項1に記載の不揮発性半導体メモリ装置。 - マトリックス状に配置された複数のメモリブロックからメモリセルアレイが構成され、上記メモリブロックの各々が、ビット線とソース線との間にそれぞれセレクトトランジスタを介して直列接続される複数のメモリトランジスタを有し、当該複数のメモリトランジスタが、第1導電型の第1半導体領域と、平面的に離散化された電荷蓄積手段を内部に含む複数の誘電体膜からなる積層膜を介して上記第1半導体領域上にそれぞれが形成され、上記複数のメモリトランジスタのゲート電極として一方向に互いに離間して配置された複数のワード線と、上記複数のワード線の離間部分に対応する上記第1半導体領域の表面部分に形成された第2導電型の複数の第2半導体領域と、を有する不揮発性半導体メモリ装置に対するデータの書き込みまたは消去を行う際に、上記ビット線、上記ソース線、上記複数のワード線および上記セレクトトランジスタのゲートの各電位を制御し、上記複数のメモリトランジスタ内で選択されたメモリトランジスタの上記電荷蓄積手段に、バンド間トンネリングに起因して発生したホットホールを、ソース線側とビット線側の双方の上記第2半導体領域から注入する
不揮発性半導体メモリ装置の電荷注入方法。 - 上記データの書き込みまたは消去を行う際に、上記ビット線、上記ソース線、上記複数のワード線および上記セレクトトランジスタのゲートの各電位を制御して、上記ソース線側から注入されたホットホールの保持領域と上記ビット線側から注入されたホットホールの保持領域との少なくとも一部を上記積層膜内で合体させる
請求項5に記載の不揮発性半導体メモリ装置の電荷注入方法。 - 上記選択されたメモリトランジスタが接続されたワード線に負電圧を印加し、
その他の非選択のワード線に、上記選択されたメモリトランジスタが属するメモリブロック内の他のメモリトランジスタが導通する程度の正電圧を印加する
請求項5に記載の不揮発性半導体メモリ装置の電荷注入方法。 - 上記バンド間トンネリングに起因して発生したホットホール注入により書き込みを行い、
内部にホットホールが注入された上記積層膜に対し、チャネル全面により電子を直接トンネリングまたはFNトンネリングを用いて注入して消去を行う
請求項5に記載の不揮発性半導体メモリ装置の電荷注入方法。 - 上記積層膜に対し、チャネル全面により電子を直接トンネリングまたはFNトンネリングにより注入して書き込みを行い、
当該内部に電子が注入された積層膜に対し、上記バンド間トンネリングに起因して発生したホットホールを注入して消去を行う
請求項5に記載の不揮発性半導体メモリ装置の電荷注入方法。 - 上記積層膜が、
上記第1半導体領域上のボトム誘電体膜と、
当該ボトム誘電体膜上の窒化膜または酸化窒化膜と
を含む請求項5に記載の不揮発性半導体メモリ装置の電荷注入方法。 - 上記積層膜が、
上記第1半導体領域上のボトム誘電体膜と、
上記電荷蓄積手段としてボトム誘電体膜上に形成され互いに絶縁された小粒径導電体と
を含む請求項5に記載の不揮発性半導体メモリ装置の電荷注入方法。
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