JP4310563B2 - ヒータ及び該ヒータの端子部構造 - Google Patents
ヒータ及び該ヒータの端子部構造 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4310563B2 JP4310563B2 JP35161699A JP35161699A JP4310563B2 JP 4310563 B2 JP4310563 B2 JP 4310563B2 JP 35161699 A JP35161699 A JP 35161699A JP 35161699 A JP35161699 A JP 35161699A JP 4310563 B2 JP4310563 B2 JP 4310563B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- heater
- terminal
- heat
- furnace
- heat generating
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Images
Landscapes
- Resistance Heating (AREA)
- Furnace Details (AREA)
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えばセラミックを焼成する熱処理炉に採用されるヒータの端子部構造に関する。
【0002】
【従来の技術】
一般に、セラミック等を焼成する熱処理炉では、SiCからなる棒状,あるいはスパイラル形状のヒータが採用されている。図6は、従来の一般的なSiC製ヒータを示しており、このヒータ50は、炉内に挿入される発熱部50aと、炉壁51を貫通して炉外に露出する端子部50bとを有しており、この端子部50bを介して発熱部50aに電力を供給することによって該発熱部50aが発熱し、これにより炉内を所定温度に昇温させる。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、上記昇温時の炉内の温度分布は、ヒータの配置構造,配置方法あるいは発熱むら等のさまざまな要因によって影響を受け易く、これらの問題を解決してもなおヒータ自体の構造による影響が残り、炉内温度にばらつきが生じるという問題がある。
【0004】
このようなヒータ構造による原因には、図6に示すように、上記ヒータ50の基材中の熱伝導による端子部50bからの放熱、あるいはヒータ50と炉壁51との僅かな隙間からの熱洩れによる放熱の影響が考えられる。特に、ヒータ基材がSiCの場合、その熱伝導率が高いことから、温度の低い端子部に熱がより流れ易くなり、その結果ヒータ50の発熱部50aで発熱むらが生じ易くなっている。
【0005】
本発明は、上記従来の状況に鑑みてなされたもので、ヒータ端子部からの放熱を低減して炉内温度分布のばらつきを防止できるヒータ及び該ヒータの端子部構造を提供することを目的としている。
【0006】
【課題を解決するための手段】
請求項1の発明は、炉外に位置するように配置される端子部と、炉内に位置するように配置され、上記端子部を介して供給された電力によって発熱する発熱部とを有する熱処理炉用ヒータの端子部構造において、上記端子部の外径を発熱部の外径より小径に形成することにより、上記端子部の断面積を発熱部の断面積より小さく設定し、炉壁に、上記発熱部が挿入可能な大孔と上記端子部が挿通可能な小孔とを段付き状に形成し、上記端子部と発熱部との接続部を上記小孔と大孔とに嵌合させたことを特徴としている。
【0007】
請求項2の発明は、請求項1に記載の端子部構造を有することを特徴とするヒータである。
【0013】
本発明にかかるヒータの材質としては、炭化珪素,二珪化モリブデン,ジルコニア等が挙げられるが、加工しやすいなどの理由から炭化珪素を用いることが好ましい。
【0014】
【発明の作用効果】
本発明にかかるヒータ及び該ヒータ端子部構造によれば、端子部の断面積を発熱部の断面積より小さくしたので、発熱部からの端子部への熱伝導により伝達される熱量が低減され、それだけ端子部からの放熱が抑制されることとなる。その結果、発熱部での発熱むらを回避でき、ひいては炉内の温度分布のばらつきを防止できる。
【0015】
また上記端子部の断面積を発熱部より小さくしたことから、ヒータに熱伝導率の高いSiCを採用した場合の発熱部から端子部への熱の移動を抑制でき、端子部の温度低下が防止されることとなり、発熱部の発熱むらを回避できる。
【0016】
ここで、上記端子部の断面積を小さくしたことによる抵抗値の増加が懸念されるが、端子部の小径化による発熱量は、発熱部の発熱量に比べて極僅かであり、抵抗値増加分の発熱量増加による温度上昇は無視できるレベルである。
【0017】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を添付図面に基づいて説明する。図1及び図2は、本発明の一実施形態による熱処理炉用ヒータの端子部構造を説明するための図であり、図1はヒータが配設された熱処理炉の概略図、図2はヒータ端子部の要部の断面図である。
【0018】
図において、1はバッチ式熱処理炉を示しており、これは耐火断熱材からなる炉壁2aにより密閉された炉本体2を形成し、該炉本体2に、図示していないが、セラミック等の被処理材を出し入れする開口を形成するとともに、該開口にこれを開閉する炉扉を配設して構成されている。
【0019】
上記炉本体2内には天井部2bにより懸吊支持された複数本のヒータ3が挿入されており、この各ヒータ3は被処理材を囲むように配置されている。
【0020】
上記ヒータ3は炭化珪素(SiC)からなる非金属円柱状発熱部4をU字状に折り曲げて形成されたものであり、この発熱部4の両端部には円柱状の端子部5が接続形成されている。
【0021】
上記ヒータ3の発熱部4は炉本体2内に位置しており、端子部5は天井部2bから炉外に露出している。この端子部5には不図示の電極部を介して電源が接続されており、端子部5を介して発熱部4に電力を供給することにより炉内を所定温度に昇温させる。
【0022】
そして、上記端子部5の断面積は発熱部4の断面積より小さく設定されており、具体的には発熱部4の直径a20mmφに対して端子部5の直径bは10mmφと1/2となっている。上記端子部5は発熱部4とともに一体成形した後、切削加工を施して形成されたものである。なお、端子部のみ別途製作し、これを発熱部に接着剤等により固着してもよい。
【0023】
上記天井部2bには発熱部4が挿入可能な大きさを有する大径孔2cと該大径孔2cに続いて端子部5が挿通可能な大きさを有する小径孔2dとが同軸をなすように段付き形成されており、これにより端子部5の発熱部4との接続部は炉壁2aに埋設されている。
【0024】
ここで、上記ヒータ3の基材中を移動する熱量は、
Q=λ/L(t1−t2)・A
λ:ヒータの熱伝導率(W/m・K)
L:発熱部と端子部間の距離(m)
t1:発熱部の温度(K)
t2:端子部の温度(K)
A:ヒータ断面積(m2 )
で表されることから、端子部5の直径bを発熱部4の直径aより小さくすることにより、端子部5内を移動する熱量を低減できる。
【0025】
図3〜図5は、端子温度計算のモデルを説明するための図である。
これは、熱処理炉を炉外径200φ×炉高さ650mm×断熱材厚さ50mmとし、ヒータ発熱部を直径20φ×長さ500mmとし、炉外に露出するヒータ端子部の炉外長さを50mmとするとともに、端子部の直径をそれぞれ20,10,6mmφの3条件とした。
【0026】
上記ヒータ発熱部を1000℃の温度に10℃/minの昇温速度でもって昇温し、1000℃に2hrキープした後の温度を評価した。ヒータ端子部の自然対流伝達係数は上面部で10.48Kcal/m2 ・h・℃、側面部で7.57Kcal/m2 ・h・℃である。また端子温度の計算結果は、端子部20mmφで上面部Ave=641℃,側面部Ave=670℃、端子部10mmφで上面部Ave=608℃,側面部Ave=660℃、端子部6mmφで上面部Ave=590℃,側面部Ave=673℃である。
【0027】
【表1】
【0028】
表1は、各端子部の放散熱量の計算結果を示しており、第1欄aは端子上面部表面積,第2欄bは端子上面部温度差,第3欄cは端子側面部表面積,第4欄dは端子側面部温度である。表1からも明らかなように、端子部の直径を発熱部と同じ20mmφとした場合の放熱量は17.5Kcal/hと高くなっている。これに対して、端子部の直径を10mmφとした場合の放熱量は8.09Kcal/hであり、従来端子部に比べて約半減している。また端子部の直径を6mmφとした場合の放熱量は4.83Kcal/hであり、従来端子部に比べて大幅に低減されている。
【0029】
ここで、本実施形態の端子部を発熱部の約1/2としたことによって、端子部の抵抗値が増加することが懸念される。しかしながら、端子部の抵抗値増加により生じる発熱量は、20mmφ端子部が0.02W(電圧50V,電流20A時)となる。これに対して10mmφ端子部の場合は0.08Wとなり、約4倍となるものの両者とも発熱部の1KWと比較すると0.1%程度であり、抵抗値増加分に伴う発熱量の増加による温度上昇は無視できるレベルである。
【0030】
このように本実施形態によれば、端子部5の直径bを発熱部4の直径aの約1/2としたので、発熱部4からの端子部5へ伝達される熱量が低減され、それだけ端子部5からの放熱が抑制されることとなる。その結果、発熱部での発熱むらを回避でき、ひいては炉内の温度分布のばらつきを防止できる。
【0031】
本実施形態では、端子部5の直径bを発熱部4の直径aより小径にしたので、熱伝導率の高いSiCを採用した場合の発熱部4から端子部5への熱の移動を抑制でき、端子部5の温度低下が防止されることとなり、発熱部4の発熱むらを回避できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施形態によるヒータ及び該ヒータの端子部構造を説明するための熱処理炉の概略図である。
【図2】上記ヒータの端子部の断面図である。
【図3】上記端子部の放熱量の計算モデルを説明するための図である。
【図4】上記計算モデルの図である。
【図5】上記計算モデルの図である。
【図6】従来の端子部構造を示す断面図である。
【符号の説明】
2a 炉壁
2c 小孔
2d 大孔
3 ヒータ
4 発熱部
5 端子部
a 発熱部の直径
b 端子部の直径
Claims (2)
- 炉外に位置するように配置される端子部と、炉内に位置するように配置され、上記端子部を介して供給された電力によって発熱する発熱部とを有する熱処理炉用ヒータの端子部構造において、上記端子部の外径を発熱部の外径より小径に形成することにより、上記端子部の断面積を発熱部の断面積より小さく設定し、炉壁に、上記発熱部が挿入可能な大孔と上記端子部が挿通可能な小孔とを段付き状に形成し、上記端子部と発熱部との接続部を上記小孔と大孔とに嵌合させたことを特徴とする熱処理炉用ヒータの端子部構造。
- 請求項1に記載のヒータの端子部構造を有することを特徴とするヒータ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP35161699A JP4310563B2 (ja) | 1999-12-10 | 1999-12-10 | ヒータ及び該ヒータの端子部構造 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP35161699A JP4310563B2 (ja) | 1999-12-10 | 1999-12-10 | ヒータ及び該ヒータの端子部構造 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2001167862A JP2001167862A (ja) | 2001-06-22 |
JP4310563B2 true JP4310563B2 (ja) | 2009-08-12 |
Family
ID=18418475
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP35161699A Expired - Lifetime JP4310563B2 (ja) | 1999-12-10 | 1999-12-10 | ヒータ及び該ヒータの端子部構造 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4310563B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2021065525A1 (ja) * | 2019-10-03 | 2021-04-08 | 株式会社Ihi | ギアポンプ |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006302887A (ja) * | 2005-04-20 | 2006-11-02 | Ngk Insulators Ltd | 給電部材及び加熱装置 |
JP4941802B2 (ja) * | 2005-06-24 | 2012-05-30 | 関東冶金工業株式会社 | 熱処理炉用カーボンヒーター |
US8395096B2 (en) | 2009-02-05 | 2013-03-12 | Sandvik Thermal Process, Inc. | Precision strip heating element |
JP6666717B2 (ja) * | 2015-12-28 | 2020-03-18 | 日本特殊陶業株式会社 | セラミックス部材 |
-
1999
- 1999-12-10 JP JP35161699A patent/JP4310563B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2021065525A1 (ja) * | 2019-10-03 | 2021-04-08 | 株式会社Ihi | ギアポンプ |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2001167862A (ja) | 2001-06-22 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN108851244B (zh) | 烘烤烟具及真空隔热的加热组件 | |
JP6674800B2 (ja) | 基板支持装置 | |
CN108495386A (zh) | 一种用于电加热卷烟的加热器 | |
TW200527580A (en) | Heating device | |
JP4026761B2 (ja) | セラミックヒーター | |
EP0964433A3 (en) | Multiple-layered ceramic heater | |
JP2008270198A (ja) | 加熱装置 | |
KR101078626B1 (ko) | 복사 튜브를 포함하는 전기 가열 요소 | |
CN207968988U (zh) | 一种用于电加热卷烟的加热器 | |
WO2023093484A1 (zh) | 气溶胶形成装置 | |
JP2004171834A (ja) | 加熱装置 | |
JP4310563B2 (ja) | ヒータ及び該ヒータの端子部構造 | |
WO2021238632A1 (zh) | 一种加热组件及具有该加热组件的气溶胶产生装置 | |
CN115530442A (zh) | 一种分段加热空气加热不燃烧烟具及其加热方法 | |
TW201946206A (zh) | 晶圓支撐台 | |
JP2009207900A (ja) | 歯科用窯 | |
US11612019B2 (en) | Air heater | |
US20050184057A1 (en) | Molybdenum silicide type element | |
JP2988810B2 (ja) | 熱処理装置 | |
CN206094924U (zh) | 一种基于多区温度控制的电加热炉 | |
JP3954985B2 (ja) | 電気炉 | |
JP4671262B2 (ja) | 半導体加熱装置 | |
JPH0545056B2 (ja) | ||
JP2020011865A (ja) | 発熱体の温度調整方法及びガラス物品の製造方法 | |
JP4941802B2 (ja) | 熱処理炉用カーボンヒーター |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20060929 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20090106 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20090305 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20090414 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20090427 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120522 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4310563 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120522 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130522 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130522 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140522 Year of fee payment: 5 |
|
EXPY | Cancellation because of completion of term |