JP4308856B2 - 基板処理装置および基板処理方法 - Google Patents
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Description
これら受け皿T2,T3,T4によって回収された現像液は現像液タンク11へ回
収されて再利用される。
3 処理進行室
4 姿勢変換室
5 洗浄室
Claims (2)
- 基板の表面に処理液を供給して処理する基板処理装置において、
基板を水平姿勢で搬送する搬送手段と、水平姿勢で搬送される基板の表面に処理液を供給して処理液の表面張力により基板表面に液層を形成する液層形成手段と、前記液層が形成された基板を保持して液層の処理液による処理を進行させる処理進行手段と、液層による処理終了後の基板の姿勢を傾斜姿勢に変換する姿勢変換手段と、姿勢変換手段により傾斜姿勢とされた基板の表面に前記液層形成手段により供給される処理液と同じ処理液であって新しい処理液を供給する処理液供給手段と、この処理液供給手段により新しい処理液が供給された後の基板の表面に洗浄液を供給して洗浄する洗浄手段とを備えたことを特徴とする基板処理装置。 - 水平姿勢で搬送される基板の表面に処理液を供給して処理液の表面張力により基板表面に処理液の液層を形成する工程と、処理液の供給を止めて処理液の液層が形成された基板を保持して液層の処理液による処理を進行させる工程と、処理液の液層による処理終了後に基板の姿勢を傾斜姿勢に変換して処理液の流化を行う工程と、傾斜姿勢に変換された基板の表面に前記液層を形成する処理液と同じ処理液であって新しい処理液を供給する工程と、前記新しい処理液が供給された後の基板の表面に洗浄液を供給して洗浄する工程とを備えたことを特徴とする基板処理方法。
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JP2007010926A JP4308856B2 (ja) | 2007-01-22 | 2007-01-22 | 基板処理装置および基板処理方法 |
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