JP4307408B2 - 微細孔および/または微細溝を有する基材の孔埋めめっき方法 - Google Patents
微細孔および/または微細溝を有する基材の孔埋めめっき方法 Download PDFInfo
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硫酸銅めっき浴による孔埋めめっき:
(1)孔径0.13〜0.25μm、深さ0.5μmの孔、孔径0.5〜1.0μm、深さ0.5μmの孔、溝幅0.13〜0.25μm、深さ0.5μmの溝および溝幅0.5〜1.0μm、深さ0.5μmの溝を有するシリコンウエハーの基材を、常法により導電化した後、下記の硫酸銅めっき浴1を用い、銅めっきを施した。
硫酸銅五水塩 75 g/l
硫 酸 180 g/l
塩 酸 0.14 ml/l
(塩素イオンとして60mg/l)
添 加 剤* 5 ml/l
浴 温 28 ℃
* Cu−Brite THS(荏原ユージライト(株)製)
硫酸銅五水塩 200 g/l
硫 酸 60 g/l
塩 酸 0.14 ml/l
(塩素イオンとして60mg/l)
添 加 剤* 5 ml/l
浴 温 25 ℃
* Cu−Brite THS(荏原ユージライト(株)製)
ピロリン酸銅めっき浴による孔埋めめっき:
有機添加剤を全く含まない、下記のピロリン酸銅めっき浴を用い、実施例1の(1)と同じ基板に銅めっきを行った。 めっきは、初めの30秒間は、0.2A/dm2の電流密度で、次の30秒は0.5A/dm2で、更にその後30秒かけて2A/dm2まで電流を上げ、そのまま2分間めっきした。 この結果、平坦部でトータル約1100nmの銅めっきが析出した。
なお市販の有機添加剤を併用した場合もほぼ同様な優れた孔埋めめっきが得られた。
ピロリン酸銅三水塩 90 g/l
ピロリン酸カリウム 340 g/l
アンモニア水(28%) 3 ml/l
浴 温 55 ℃
pH 8.5
実施例1の(2)で用いた硫酸銅めっき浴2を使用し、実施例1(2)で用いたのと同じ基材を2A/dm2で3分間めっきした。 平坦部でのめっき厚は、約1200nmで、体積抵抗率は、1.85μΩ・cmであった。
実施例2と同じピロリン酸銅浴を用い、実施例1の(1)と同じ基板に1A/dm2で5分間めっきし、平坦部で約1000nmの銅めっきを得た。 この銅めっき被膜の体積抵抗率は2.0μΩ・cmであった。
Claims (13)
- 孔径および/または溝幅が0.3μm以下の微細孔および/または微細溝を含む、異なった径や幅の微細孔および/または微細溝を有する基材上に、相対的に低い電流密度でめっきを行い、次いで相対的に高い電流密度でめっきすることを特徴とするダマシン法により微細孔および/または微細溝が孔埋めされた基材の製造方法。
- 基材が、半導体ウエハーである請求項第1項記載の微細孔および/または微細溝が孔埋めされた基材の製造方法。
- 基材が、ロジックLSIシリコンウエハーである請求項第1項または第2項記載の微細孔および/または微細溝が孔埋めされた基材の製造方法。
- 相対的に高い電流密度で行うめっきを、複数段の電流密度で行う請求項第1項ないし第3項の何れかの項記載の微細孔および/または微細溝が孔埋めされた基材の製造方法。
- 相対的に高い電流密度で行うめっきを、連続的に電流密度を上昇させて行う請求項第1項ないし第4項の何れかの項記載の微細孔および/または微細溝が孔埋めされた基材の製造方法。
- 相対的に高い電流密度で行うめっきを、平均陰極電流密度0.5〜10A/dm2で行う請求項第1項ないし第5項の何れかの項記載の微細孔および/または微細溝が孔埋めされた基材の製造方法。
- 相対的に低い電流密度で行うめっきを、平均陰極電流密度0.03〜0.5A/dm2で行う請求項第1項ないし第6項の何れかの項記載の微細孔および/または微細溝が孔埋めされた基材の製造方法。
- 相対的に低い電流密度で行うめっきを、10秒〜10分間行う請求項第1項ないし第7項の何れかの項記載の微細孔および/または微細溝が孔埋めされた基材の製造方法。
- めっき浴が、銅または銀のめっき浴である請求項第1項ないし第8項の何れかの項記載の微細孔および/または微細溝が孔埋めされた基材の製造方法。
- めっき浴が銅のめっき浴である請求項第1項ないし第9項の何れかの項記載の微細孔および/または微細溝が孔埋めされた基材の製造方法。
- めっき浴が硫酸銅めっき浴またはピロリン酸銅めっき浴である請求項第10項記載の微細孔および/または微細溝が孔埋めされた基材の製造方法。
- めっき浴が添加剤を含まないものである請求項第10項または第11項記載の微細孔および/または微細溝が孔埋めされた基材の製造方法。
- めっき浴が添加剤を含むものである請求項第10項または第11項記載の微細孔および/または微細溝が孔埋めされた基材の製造方法。
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