JP4304374B2 - トップゲート型薄膜トランジスタ - Google Patents
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2:下地酸化膜
3:ポリシリコン薄膜
4:ゲート絶縁膜
5:マイクロクリスタルシリコンゲート電極
6:金属ゲート電極
7:ソース・ドレイン領域
8:LDD領域
9:層間絶縁膜
10:金属配線
11:ポリシリコンゲート電極
Claims (4)
- 絶縁性基板と、この絶縁性基板上に形成されチャネル領域及びソース・ドレイン領域を構成するポリシリコン薄膜と、このポリシリコン薄膜上に形成されたゲート絶縁膜と、このゲート絶縁膜上に形成され上層金属薄膜及び下層マイクロクリスタルシリコン薄膜の2層構造からなるゲート電極と、を有し、前記下層マイクロクリスタルシリコン薄膜の下部から上部になるに従って結晶成分の成長が進んでおり、前記下層マイクロクリスタルシリコン薄膜の抵抗率が1Ωcm以下であり、前記上層金属薄膜の幅が前記下層マイクロクリスタルシリコン薄膜の幅より小さいことを特徴とするトップゲート型薄膜トランジスタ。
- 前記ソース・ドレイン領域は低濃度領域と高濃度領域からなるLDD構造を有することを特徴とする請求項1に記載のトップゲート型薄膜トランジスタ。
- 前記マイクロクリスタルシリコン薄膜の前記金属薄膜よりも外側に突出した領域が、前記低濃度領域にオーバーラップして形成されていることを特徴とする請求項2に記載のトップゲート型薄膜トランジスタ。
- 前記マイクロクリスタルシリコン薄膜の膜厚が70nm以上であることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載のトップゲート型薄膜トランジスタ。
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