JP4302428B2 - 静電吸着機能を有するウエーハ加熱装置 - Google Patents
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- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 title claims description 56
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 title claims description 54
- 239000012212 insulator Substances 0.000 claims description 34
- PZNSFCLAULLKQX-UHFFFAOYSA-N Boron nitride Chemical compound N#B PZNSFCLAULLKQX-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 23
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 13
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims description 13
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 12
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 11
- 229910052582 BN Inorganic materials 0.000 claims description 9
- 229910002804 graphite Inorganic materials 0.000 claims description 9
- 239000010439 graphite Substances 0.000 claims description 9
- PMHQVHHXPFUNSP-UHFFFAOYSA-M copper(1+);methylsulfanylmethane;bromide Chemical compound Br[Cu].CSC PMHQVHHXPFUNSP-UHFFFAOYSA-M 0.000 claims description 8
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 239000012535 impurity Substances 0.000 claims description 4
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims description 3
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 claims 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims 1
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 42
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 12
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 description 11
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 11
- 238000000034 method Methods 0.000 description 8
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 5
- QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N Ammonia Chemical compound N QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 4
- VNWKTOKETHGBQD-UHFFFAOYSA-N methane Chemical compound C VNWKTOKETHGBQD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 4
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 3
- 229910021529 ammonia Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 2
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 2
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 238000001451 molecular beam epitaxy Methods 0.000 description 2
- 230000000704 physical effect Effects 0.000 description 2
- 239000000523 sample Substances 0.000 description 2
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 2
- GUVRBAGPIYLISA-UHFFFAOYSA-N tantalum atom Chemical compound [Ta] GUVRBAGPIYLISA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- FAQYAMRNWDIXMY-UHFFFAOYSA-N trichloroborane Chemical compound ClB(Cl)Cl FAQYAMRNWDIXMY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N Tin Chemical compound [Sn] ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000000274 adsorptive effect Effects 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000000137 annealing Methods 0.000 description 1
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 238000003795 desorption Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 1
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
- 230000035939 shock Effects 0.000 description 1
- 239000000725 suspension Substances 0.000 description 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
- 229910052718 tin Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000001947 vapour-phase growth Methods 0.000 description 1
- 229910052727 yttrium Inorganic materials 0.000 description 1
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-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
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- H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
- H01L21/67098—Apparatus for thermal treatment
- H01L21/67103—Apparatus for thermal treatment mainly by conduction
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- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
- H01L21/67098—Apparatus for thermal treatment
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- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H02N13/00—Clutches or holding devices using electrostatic attraction, e.g. using Johnson-Rahbek effect
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- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05B—ELECTRIC HEATING; ELECTRIC LIGHT SOURCES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; CIRCUIT ARRANGEMENTS FOR ELECTRIC LIGHT SOURCES, IN GENERAL
- H05B3/00—Ohmic-resistance heating
- H05B3/20—Heating elements having extended surface area substantially in a two-dimensional plane, e.g. plate-heater
- H05B3/22—Heating elements having extended surface area substantially in a two-dimensional plane, e.g. plate-heater non-flexible
- H05B3/26—Heating elements having extended surface area substantially in a two-dimensional plane, e.g. plate-heater non-flexible heating conductor mounted on insulating base
- H05B3/262—Heating elements having extended surface area substantially in a two-dimensional plane, e.g. plate-heater non-flexible heating conductor mounted on insulating base the insulating base being an insulated metal plate
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- Engineering & Computer Science (AREA)
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- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、昇温工程を含む半導体デバイスの製造工程、検査工程における半導体ウエーハの加熱プロセスに好適に使用される、静電吸着機能を有するウエーハ加熱装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来、半導体デバイスの製造工程等において、半導体ウエーハを加熱する場合には、金属線を巻いたヒーター(タンタルワイヤーヒーター)が使用されていた。しかし、かかるヒーターを使用した場合、半導体ウエーハに対する金属汚染の問題があることから、近年、セラミックス薄膜を発熱体(セラミックスヒーター)として使用したセラミックス一体型ウエーハ加熱装置の使用が提案されている(特許文献1参照)。
セラミックスヒーターの中でも、分子線エピタキシー、CVD、スパッタリング等の工程でウエーハを加熱する場合は、セラミックス基体内からのアウトガスが無く、高純度、耐熱衝撃性に優れた熱分解窒化硼素(PBN)と熱分解黒鉛(PG)の複合セラミックスヒーターを用いることが有効とされている(特許文献2参照)。この複合セラミックスヒーターは、従来のタンタルワイヤーヒーターに比べて、装置への装着が容易で、また、熱変形、断線、ショート等のトラブルを起さないので使いやすく、しかも、面状ヒーターであるため、比較的、均等な加熱が得られやすいという利点もある。
【0003】
半導体ウエーハの加熱にあたっては、ヒーター上に半導体ウエーハを固定するために、減圧雰囲気で静電吸着装置が使用される。そして、静電吸着装置の材質としては、加熱プロセスの高温化に伴い、樹脂からセラミックスに移行している(特許文献3、4参照)。
また、最近では、セラミックス一体型ウエーハ加熱装置と静電吸着装置を合体した静電吸着機能を有するウエーハ加熱装置が提案されており、例えば、エッチング工程などの低温域では、静電吸着装置の絶縁体層にアルミナを用いたもの(非特許文献1参照)、CVD工程などの高温域においては、静電吸着装置の絶縁体層に熱分解窒化硼素を用いたものが使用されている(特許文献5〜8参照)。
【0004】
静電吸着力は、非特許文献1に記載されているように、静電吸着装置の絶縁体層の体積抵抗率が低くなれば強くなるが、体積抵抗率が低すぎるとリーク電流によるデバイスの破損が生じる。そのため、静電吸着装置の絶縁体層の体積抵抗値は108〜1018Ω・cm 、特には109〜1013Ω・cmであることが望ましいとされる。
【0005】
静電吸着装置の電圧が印加される電極の形状によって、静電吸着装置は、単極型、双極型、櫛形電極型の3種類に分類される。これらの静電吸着装置のうち、単一の内部電極をもつ単極型では、被吸着物を接地する必要があるのに対して、一対の内部電極をもつ双極型や、一対の電極が櫛形に形成されている櫛形電極型では、2つの電極各々に正負の電圧が印加されることから、被吸着物であるウエーハを接地する必要がない。そのため、半導体用の静電吸着装置では、双極型、櫛形電極型のタイプが多く使用されている。
【0006】
近年、分子線エピタキシー装置、CVD装置、及びスパッタリング装置に、セラミックス製の静電吸着装置が搭載されるようになってきたが、半導体デバイスの製造工程の中には500℃を超えるような高温での使用要求も増えてきている。
ところが、前記したように、静電吸着機能を有するウエーハ加熱装置の絶縁体層にアルミナを用いた場合には、500〜650℃の中高温域において、抵抗値が低くなりすぎて、リーク電流によるデバイスの破損が発生してしまうという問題があった。
また、静電吸着機能を有するウエーハ加熱装置の絶縁体層に熱分解窒化硼素を用いた場合には、上記中高温域で抵抗値が高くなりすぎるため、十分な静電吸着力が得られないという問題があった。
【0007】
このような問題を解決すべく、静電吸着装置の絶縁体層に1〜20重量%の炭素を含有する熱分解窒化硼素を用いたもの(特許文献9参照)、あるいは、静電吸着装置の絶縁体層に1〜10重量%の珪素を含有する熱分解窒化硼素を用いたもの(特許文献10参照)など、500〜650℃の中高温域においても、抵抗値が適度で十分な静電吸着力を有するウエーハ加熱装置が提案されている。
【0008】
この出願の発明に関連する先行技術文献情報としては、次のものがある。
【特許文献1】
特公昭33−3541号公報
【特許文献2】
特開昭63−241921号公報
【特許文献3】
特開昭52−67353号公報
【特許文献4】
特開昭59−124140号公報
【特許文献5】
特開平4−358074号公報
【特許文献6】
特開平5−109876号公報
【特許文献7】
特開平5−129210号公報
【特許文献8】
特開平5−152015号公報
【特許文献9】
特開平9−278527号公報
【特許文献10】
特開平8−227933号公報
【非特許文献1】
ニューセラミックス(7)、p49〜53、1994
【0009】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、静電吸着装置の機能上、ウエーハを吸着するには、高電圧を印加する必要があるものの、使用域が高温になればなるほど、双極型の静電吸着装置では一対の電極と電極との間にリーク電流が多く流れ、最悪の場合は絶縁体層が絶縁破壊を起こし、吸着機能を失うという問題が生じていた。
そして、絶縁層が絶縁破壊を起こした場合は、この静電吸着装置は交換するために、半導体デバイスの製造工程をストップさせなければならず、これが製造コストを上昇させる要因となっていた。
そこで、本発明は、ウエーハを静電吸着して加熱するに際し、絶縁破壊することなく十分な静電吸着力を有し、長時間安定して使用することができ、吸着力不足によるデバイス製造時のウエーハ脱離の問題、及び半導体デバイス製造設備停止による製造コストの上昇といった従来の問題を解決した、静電吸着機能を有するウエーハ加熱装置の提供を目的とする。
【0010】
【課題を解決するための手段】
本発明者は、上記課題を解決するために鋭意検討した結果、絶縁体層の面方向のシート抵抗と絶縁体層の厚さ方向の体積抵抗率との比が小さくなると、十分な静電吸着力が得られ、絶縁破壊も生じないことを見出し、かかる知見に基づき、本発明を完成するに至った。
すなわち、本発明は、支持基材に発熱体及び静電吸着用電極が形成され、該発熱体及び静電吸着用電極の上に絶縁体層を接合してなる、静電吸着機能を有するウエーハ加熱装置において、絶縁体層の面方向のシート抵抗(Ω/□)をA、絶縁体層の厚さ方向の体積抵抗率(Ω・cm)をBとした場合、該シート抵抗と体積抵抗率の比(A/B)を0.01以上としたことを特徴とする、静電吸着機能を有するウエーハ加熱装置である。
【0011】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照しつつ、本発明を詳細に説明する。
本発明のウエーハ加熱装置の構造は、支持基材に発熱体及び静電吸着用電極が形成され、該発熱体及び静電吸着用電極の上に絶縁体層を接合してなるものであれば、特に限定はされない。本発明の具体例としては、図1の概略断面図に例示したように、支持基材2の一方の面に発熱体4が形成され、その上に絶縁体層5が接合され、他方の面に静電吸着用電極3a、3bが形成され、その上に絶縁体層5が接合された構造を有するウエーハ加熱装置1が挙げられる。
【0012】
本発明のウエーハ加熱装置は、ウエーハ吸着時の温度において、絶縁体層の面方向のシート抵抗(Ω/□)をA、絶縁体層の厚さ方向の体積抵抗率(Ω・cm)をBとした場合、該シート抵抗と体積抵抗率の比(A/B)を0.01以上としたことを特徴とする。この比が0.01未満であると、静電吸着力が発生せず、また、最悪の場合には、双極構造の電極間で絶縁破壊が発生し、静電吸着機能を発揮しなくなるという不具合が生じる。これは、双極構造の電極間において、絶縁体層を直接通るリーク電流の割合が大きくなり、ウエーハ吸着に寄与するウエーハへのリーク電流が小さくなったため、静電吸着力が低下するものと考えられる。
したがって、シート抵抗と体積抵抗率の比(A/B)は、0.01以上、好ましくは0.1以上とすることにより、双極の電極間で絶縁破壊を起こすことなく、実用上充分な静電吸着力が発生して、上記不具合は解消される。
また、シート抵抗と体積抵抗率の比(A/B)の上限値は、特に限定されないが、通常、10万以下であり、特には、1万以下とするのが、電極とウエーハ間の絶縁耐圧を確保する理由から好ましい。
【0013】
前記したシート抵抗と体積抵抗率の比(A/B)を変更・調節する手段としては、例えば、異方性をもたせるように、絶縁体層内に不純物を添加・分散させたり、あるいは、アニーリングして結晶性に配向性をもたせたり、また、気相成長法により絶縁体層を形成する場合は、原料ガス種、反応温度、反応圧力などを変更することが挙げられる。
【0014】
本発明のウエーハ加熱装置では、静電吸着用電極が一対の双極構造の双極電極からなり、櫛形又は同心円状に形成されていることが望ましい。これにより、ウエーハに対する吸着力が安定化する。
静電吸着用電極の材料としては、特に制限されるものではなく、例えば、熱分解グラファイトが挙げられる。
【0015】
また、本発明のウエーハ加熱装置では、支持基材が、窒化珪素焼結体、窒化硼素焼結体、窒化硼素と窒化アルミニウムの混合焼結体、アルミナ焼結体、窒化アルミニウム焼結体、熱分解窒化硼素、及び熱分解窒化硼素コートグラファイトのいずれかを用いて形成されていることが好ましい。その理由は、これらの材質は、500〜650℃の中高温域においても物性が安定しているからである。
【0016】
さらに、前記支持基材には、一方の面に静電吸着用電極が形成され、他方の面に発熱体が形成されていることが好ましい。その理由は、静電吸着用電極と発熱体を同一面に形成した場合は、静電吸着用電極と発熱体との間で絶縁破壊を起こす危険性があるからである。
発熱体の材料としては、特に制限されるものではなく、例えば、熱分解グラファイトが挙げられる。
【0017】
絶縁体層の材質としては、窒化珪素、窒化硼素、窒化硼素と窒化アルミニウムの混合体、アルミナ、窒化アルミニウム、及び熱分解窒化硼素のいずれか1つからなり、それに不純物を0.001〜30wt%の範囲で添加されて、体積抵抗率を108〜1018Ω・cmの範囲に調整したものが好ましい。このような材質からなる絶縁体層であれば、500〜650℃の中高温域においても、物性が安定して、静電吸着力も十分発揮される。上記不純物としては、Ti、TiN、Si、C、Y、Al等が挙げられる。
【0018】
さらに、本発明のウエーハ加熱装置において、静電吸着用電極、発熱体、絶縁体層のうち少なくとも1つが、化学気相蒸着法によって形成されたものであることが好ましい。これらを化学気相蒸着法により形成すると、所望の厚さに均一に形成させることができ、剥離やパーティクルの発生を防ぐことができる。
【0019】
【実施例】
次に、実施例により本発明を更に詳細に説明するが、本発明は、以下の実施例に限定されるものではない。
【0020】
(実施例1〜8、比較例1〜3)
アンモニアと三塩化硼素を混合した気体を、1800℃、100Torrの条件下で反応させて、直径200mm、厚さ20mmのグラファイト基材の上に、熱分解窒化硼素を形成させ、熱分解窒化硼素コートグラファイト基材(支持基材)を作製した。
次いで、この支持基材上で、メタンガスを2200℃、5Torrの条件下で熱分解させて、厚さ100μmの熱分解グラファイト層を支持基材上に設けた。そして、支持基材の一方の表面に同心円状に交互に配置された双極型の静電吸着用電極が形成され、他方の表面(裏面)にヒーターが形成されるように、熱分解グラファイト層をパターン加工して、それぞれ静電吸着用電極、発熱層とした。
更に、この両面の上で、アンモニアと三塩化硼素とメタンを混合した気体を、1900〜2000℃、1〜200Paの範囲内で、反応温度、反応圧力を変えて反応させることにより(図1参照)、厚さ200μmの炭素含有熱分解窒化硼素からなる絶縁体層を設けた。
そして、最後に、ウエーハ吸着面を鏡面研磨して、静電吸着機能を有するウエーハ加熱装置を作製した(実施例1〜8、比較例1〜3)。 なお、炭素含有熱分解窒化硼素絶縁体層は、公知文献(J.Appl.Phys.,Vol.65(1989))、特開平9−278527号公報を参考にして作製することができる。
【0021】
絶縁体層の製造条件を種々変えたウエーハ加熱装置における、絶縁体層の面方向のシート抵抗(Ω/□)と厚さ方向の体積抵抗率(Ω・cm)との比(シート抵抗/体積抵抗率)を測定した後、650℃まで昇温させた状態で、双極電極間に±500Vの電圧を印加してウエーハを吸着させ、その際の吸着力を各ウエーハ加熱装置(実施例1〜8、比較例1〜3)について測定した。
なお、絶縁体層の面方向のシート抵抗と厚さ方向の体積抵抗率の測定は、JIS規格(K6911−1995 5.13抵抗率)に準じて行った。また、測定機械として、ダイヤインスツルメンツ製のハイレスターIP MCP−HT260(商品名)、プローブとして、HRSプローブを使用して、静電吸着機能を有するウエーハ加熱装置の中心付近で、室温、湿度50%の環境で行った。
ウエーハの吸着力測定は、真空中(10Pa)で、図2に示したように、吸着させたシリコン製の治具6を引き上げて、治具6が剥がれる時のロードセル7の値を吸着力とした。
表1に実施例1〜8、比較例1〜3の測定結果をまとめた。この表1からわかるように、絶縁体層の面方向のシート抵抗と厚さ方向の体積抵抗率との比が0.01未満になると、吸着力がほとんど発生せず、絶縁破壊に至るもの(比較例3)もあった。一方、上記比が0.01以上の場合は、十分な吸着力を発生し、絶縁破壊も発生しなかった。
【0022】
【表1】
【0023】
【発明の効果】
本発明のウエーハ加熱装置によれば、双極電極間での絶縁破壊することなしに中高温域でも安定して長時間使用でき、吸着力不足によるデバイス製造時のウエーハ脱離の問題、及び半導体デバイス製造設備停止による製造コストの上昇といった問題を解決することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明のウエーハ加熱装置の構成を例示した概略断面図である。
【図2】ウエーハの吸着力の測定方法を例示した概略断面図である。
【符号の説明】
1…静電吸着機能を有するウエーハ加熱装置
2…支持基材
3a、3b…双極型静電吸着用電極
4…発熱体
5…絶縁体層
6…シリコン製治具
7…ロードセル
Claims (6)
- 支持基材に発熱体及び静電吸着用電極が形成され、該発熱体及び静電吸着用電極の上に絶縁体層を接合してなる、静電吸着機能を有するウエーハ加熱装置において、絶縁体層の面方向のシート抵抗(Ω/□)をA、絶縁体層の厚さ方向の体積抵抗率(Ω・cm)をBとした場合、該シート抵抗と体積抵抗率の比(A/B)を0.01以上1万以下としたことを特徴とする、静電吸着機能を有するウエーハ加熱装置。
- 静電吸着用電極が、一対の双極構造をもつ双極電極からなり、櫛形状又は同心円状に形成されていることを特徴とする請求項1に記載したウエーハ加熱装置。
- 支持基材が、窒化珪素焼結体、窒化硼素焼結体、窒化硼素と窒化アルミニウムの混合焼結体、アルミナ焼結体、窒化アルミニウム焼結体、熱分解窒化硼素、及び熱分解窒化硼素コートグラファイトのいずれかを用いて形成されていることを特徴とする請求項1又は2に記載したウエーハ加熱装置。
- 支持基材の一方の面に静電吸着用電極が形成され、他方の面に発熱体が形成されていることを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載したウエーハ加熱装置。
- 絶縁体層が、窒化珪素、窒化硼素、窒化硼素と窒化アルミニウムの混合体、アルミナ、窒化アルミニウム、及び熱分解窒化硼素のいずれか1つに、不純物を0.001〜30wt%の範囲で添加したものからなり、その体積抵抗率が108〜1018Ω・cmの範囲にあることを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載したウエーハ加熱装置。
- 支持基材に発熱体及び静電吸着用電極を形成し、該発熱体及び静電吸着用電極の上に絶縁体層を接合する、静電吸着機能を有するウエーハ加熱装置の製造方法において、絶縁体層の面方向のシート抵抗(A)(Ω/□)、絶縁体層の厚さ方向の体積抵抗率(B)(Ω・cm)を測定して、該シート抵抗と体積抵抗率の比(A/B)が0.01以上1万以下となるように該シート抵抗及び/又は該体積抵抗率を調整することを特徴とする、静電吸着機能を有するウエーハ加熱装置の製造方法。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003131946A JP4302428B2 (ja) | 2003-05-09 | 2003-05-09 | 静電吸着機能を有するウエーハ加熱装置 |
US10/836,226 US20040223285A1 (en) | 2003-05-09 | 2004-05-03 | Wafer heating apparatus having electrostatic adsorption function |
EP04252639A EP1475821A3 (en) | 2003-05-09 | 2004-05-06 | Wafer heating apparatus having electrostatic adsorption function |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003131946A JP4302428B2 (ja) | 2003-05-09 | 2003-05-09 | 静電吸着機能を有するウエーハ加熱装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2004335878A JP2004335878A (ja) | 2004-11-25 |
JP4302428B2 true JP4302428B2 (ja) | 2009-07-29 |
Family
ID=32985677
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003131946A Expired - Fee Related JP4302428B2 (ja) | 2003-05-09 | 2003-05-09 | 静電吸着機能を有するウエーハ加熱装置 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20040223285A1 (ja) |
EP (1) | EP1475821A3 (ja) |
JP (1) | JP4302428B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6377975B2 (ja) * | 2014-06-23 | 2018-08-22 | 新光電気工業株式会社 | 基板固定装置 |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2749759B2 (ja) * | 1993-06-23 | 1998-05-13 | 信越化学工業株式会社 | 静電チャック付セラミックスヒーター |
JPH07307377A (ja) * | 1993-12-27 | 1995-11-21 | Shin Etsu Chem Co Ltd | 静電チャック付セラミックスヒーター |
US5646814A (en) * | 1994-07-15 | 1997-07-08 | Applied Materials, Inc. | Multi-electrode electrostatic chuck |
US5886863A (en) * | 1995-05-09 | 1999-03-23 | Kyocera Corporation | Wafer support member |
US5748436A (en) * | 1996-10-02 | 1998-05-05 | Advanced Ceramics Corporation | Ceramic electrostatic chuck and method |
JP3228923B2 (ja) * | 2000-01-18 | 2001-11-12 | イビデン株式会社 | 半導体製造・検査装置用セラミックヒータ |
KR20020046214A (ko) * | 2000-12-11 | 2002-06-20 | 어드밴스드 세라믹스 인터내셔날 코포레이션 | 정전척 및 그 제조방법 |
-
2003
- 2003-05-09 JP JP2003131946A patent/JP4302428B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2004
- 2004-05-03 US US10/836,226 patent/US20040223285A1/en not_active Abandoned
- 2004-05-06 EP EP04252639A patent/EP1475821A3/en not_active Withdrawn
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20040223285A1 (en) | 2004-11-11 |
JP2004335878A (ja) | 2004-11-25 |
EP1475821A3 (en) | 2005-12-14 |
EP1475821A2 (en) | 2004-11-10 |
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