JP4301153B2 - 製造ユニット、および位置制御装置の製造方法 - Google Patents

Description

本発明は、導電性アクチュエータに関する。

紐状の形状記憶合金（ＳＭＡ）によって微小な変位を実現するアクチュエータは、小型装置のアクチュエータとして有望である。しかしながら、このＳＭＡが変位可能な量は非常に小さい為、高い取り付け精度が要求される。

例えば、厚みが１０ｍｍ程度の携帯電話に組み込まれるカメラユニットにＳＭＡを用いたアクチュエータ（ＳＭＡアクチュエータ）を適用する場合には、ＳＭＡアクチュエータのサイズも１０ｍｍ程度としなければならない。そして、一般的なＳＭＡの変位可能な量は４％程度である為、ＳＭＡの変位可能な範囲は±０．２ｍｍとなる。よって、この変位可能な範囲を９０％以上有効に活用しようとすると、ＳＭＡアクチュエータの取り付け精度を、±０．０２ｍｍとしなければならない。

また、紐状のＳＭＡは柔軟性を有する為に、ＳＭＡアクチュエータを高精度に取り付けるのは困難である上、一般的なＴｉ系形状記憶合金は熱に弱い為、固定に半田を使用することができず、高精度な固定の困難さに輪をかけている。

そこで、従来からＳＭＡの固定には、かしめ、圧入、および金属板の間の挟み込み等といった手法が用いられている（例えば、特許文献１、２、３）。

このような技術に関する先行技術文献としては、以下のようなものがある。

特開平６−６０５７７号公報 特開２００２−９８９１１号公報 特開２００４−７６８８２号公報

しかしながら、かしめ、圧入、および金属板の間の挟み込みは、何れも固定に相当な力を要するものばかりで、小型装置に対するＳＭＡアクチュエータの取り付け精度に悪影響を及ぼす可能性が高い。

例えば、特許文献１には、ＳＭＡアクチュエータを磁気記録装置のヘッドを退避させるアクチュエータに使用する技術が開示されている。この技術では、ばね性を持つヘッド保持板をＳＭＡで鋭角的に引っ張り、ヘッドの移動可能な量はこの機構によって拡大され、ＳＭＡは両端をかしめによって端子に取り付けられる。このような構成では、ＳＭＡの長さがばらつくとヘッド保持板に対する応力が変動し、ヘッドとディスク面との距離が不安定になるといった問題点がある。ヘッドを空気抵抗によって浮上させることを前提とすると、ヘッド保持板は軟質でなければならない為、上記問題点は、ＳＭＡの長さおよび応力を管理する以外解消することができない。しかしながら、特許文献１では、当該解消方法については全く考慮されていない。

また、特許文献２には、ＳＭＡの長さおよび応力を調整した駆動ユニットが開示されている。しかし、この技術では、ＳＭＡを仮止めした状態で、ＳＭＡによって挟み込むように駆動部品を組み込むことでＳＭＡアクチュエータを形成する為、駆動部品を組み込む際の応力や仮止めの応力によって、ＳＭＡがずれや変形を起こし、調整したＳＭＡの長さが０．０２ｍｍ以上ずれる懸念がある。また、最終的なＳＭＡの位置は構成する部品の数が多ければ多い程、部品サイズの誤差（部品公差）が生じる為、ＳＭＡの長さの調整を数百μｍ以下の精度で実現することは困難を極める。また、ＳＭＡを仮止めした状態では、ＳＭＡは不安定な状態にある為、駆動部品の組み込みが困難であるといった問題がある。

さらに、端子の形状はＳＭＡを精度良く固定する為には必須の項目であり、特許文献３では、長さを調整した状態のまま精度良くＳＭＡを係止可能な小型端子について開示されている。しかしながら、特許文献３では、端子だけに注目しており、ＳＭＡアクチュエータにおける可動体と固定体との間の距離の調整については全く示唆されていない。

すなわち、従来では、部品のサイズの誤差や取り付け誤差等の種々の誤差により、小型装置に対するＳＭＡアクチュエータの取り付け精度を向上させるのが困難であった。

本発明は、上記課題に鑑みてなされたものであり、種々の誤差に影響されることなく、形状記憶合金等を用いた導電性アクチュエータを位置制御機構に対して高精度に取り付け可能な技術を提供することを目的とする。

上記の課題を解決するために、請求項１の発明は、固定部と可動部とを有する位置制御機構に取り付けられて前記固定部に対する前記可動部の相対的な位置を変更する駆動装置を製造する際に、前記駆動装置の製造母体として使用される製造ユニットであって、導電性アクチュエータの所定の位置を保持した状態で前記可動部に対して取り付けられる第１の保持部と、前記導電性アクチュエータの他の所定の位置を保持した状態で前記固定部に対して取り付けられる第２の保持部と、前記第１の保持部と前記第２の保持部とを連結する連結部とを備えることを特徴とする。

また、請求項２の発明は、請求項１に記載の製造ユニットであって、前記第１および第２の保持部と前記連結部とが板状の形状を有し、前記第１および第２の保持部が、それぞれ所定の方向を向いた面に前記導電性アクチュエータを保持するための保持部材を有するとともに、それぞれ前記所定の方向とは反対方向に前記位置制御機構に対して取り付けられる面を有することを特徴とする。

また、請求項３の発明は、請求項２に記載の製造ユニットであって、前記保持部材が、カシメによって前記導電性アクチュエータを保持するための金属端子を含むことを特徴とする。

また、請求項４の発明は、請求項１から請求項３のいずれかに記載の製造ユニットであって、前記導電性アクチュエータが、紐状の形状記憶合金であることを特徴とする。

また、請求項５の発明は、請求項１から請求項３のいずれかに記載の製造ユニットであって、前記導電性アクチュエータが、帯状の形状記憶合金であることを特徴とする。

また、請求項６の発明は、固定部と可動部とを有する位置制御機構と、前記固定部に対する前記可動部の相対的な位置を変更する駆動装置とを備えた位置制御装置の製造方法であって、(a)第１および第２の保持部と、前記第１の保持部と前記第２の保持部とを連結する連結部とを有する製造ユニットを準備するステップと、(b)前記第１および第２の保持部の間で導電性アクチュエータを張力をかけた状態で保持させるステップと、(c)前記第１の保持部を前記可動部に対して取り付けるとともに、前記第２の保持部を前記固定部に対して取り付けるステップと、(d)前記製造ユニットから前記連結部を切り離すことで、前記第１の保持部と前記第２の保持部とを分離するステップとを備えることを特徴とする。

また、請求項７の発明は、請求項６に記載の位置制御装置の製造方法であって、前記第１および第２の保持部のうちの少なくとも一方が、端子によって前記導電性アクチュエータを固定保持することを特徴とする。

また、請求項８の発明は、請求項６または請求項７に記載の位置制御装置の製造方法であって、前記導電性アクチュエータが、紐状の形状記憶合金であることを特徴とする。

また、請求項９の発明は、請求項６または請求項７に記載の位置制御装置の製造方法であって、前記導電性アクチュエータが、帯状の形状記憶合金であることを特徴とする。

請求項１から請求項５の何れに記載の発明によっても、固定部と可動部とを有する位置制御機構に取り付けられ、固定部に対する可動部の相対的な位置を変更する駆動装置を製造するために、導電性アクチュエータの所定の位置を保持した状態で可動部に対して取り付けられる第１の保持部と、導電性アクチュエータの他の所定の位置を保持した状態で固定部に対して取り付けられる第２の保持部と、第１の保持部と第２の保持部とを連結する連結部とを備えた製造ユニットを使用することで、第１の保持部と第２の保持部とが連結固定された製造ユニットの状態で、導電性アクチュエータの長さを精度良く調節して、位置制御機構に取り付けた後に、第１の保持部と第２の保持部とを分離させることができる為、種々の誤差に影響されることなく、形状記憶合金等を用いた導電性アクチュエータを位置制御機構に対して高精度に取り付けることができる。

また、請求項２に記載の発明によれば、第１および第２の保持部と連結部とが板状の形状を有し、第１および第２の保持部が、それぞれ所定方向を向いた面に導電性アクチュエータを保持するための保持部材を有するとともに、それぞれ所定方向とは反対方向を向いた面が位置制御機構に対して取り付けられる面として構成される構成により、形状記憶合金等を用いた導電性アクチュエータを位置制御機構に対して容易に取り付けることができる。

また、請求項３に記載の発明によれば、保持部材には、カシメによって導電性アクチュエータを保持するための金属端子が含まれる為、狭いスペースにおいても導電性アクチュエータの端部を製造ユニットに対して固定することができる。

また、請求項６から請求項９の何れに記載の発明によっても、固定部と可動部とを有する位置制御機構と、固定部に対する可動部の相対的な位置を変更する駆動装置とを備えた位置制御装置を製造する際に、まず、第１および第２の保持部と、第１の保持部と第２の保持部とを連結する連結部とを有する製造ユニットを準備して、第１および第２の保持部の間で導電性アクチュエータを張力をかけた状態で保持させ、そして、第１の保持部を可動部に対して取り付けるとともに、第２の保持部を固定部に対して取り付けた後に、製造ユニットから連結部を切り離すことで、第１の保持部と第２の保持部とを分離するような構成を採用することにより、種々の誤差に影響されることなく、形状記憶合金等を用いた導電性アクチュエータを位置制御機構に対して高精度に取り付けることができる。

以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。

＜位置制御装置の概要＞
図１は、本発明の実施形態に係る製造方法によって製造された位置制御装置５００を例示する図である。なお、図１および図１以降では方位関係を明確化するためにＸＹＺ３次元直交座標系の３軸が示されている。そして、図１(a)は、位置制御装置５００の正面外観図であり、図１(b)は、図１(a)の線ＡＡ−ＡＡに沿って切断した断面図である。

図１に示すように、位置制御装置５００は、所定の駆動対象物（不図示。例えば携帯電話の撮影レンズ等）を駆動させるためのものであり、位置制御機構１００と当該位置制御機構１００に対して取り付けられた駆動装置１０とを備えて構成される。

位置制御機構１００は、いわゆるリニアガイドとして構成され、可動部１００ａと固定部１００ｂと移動ガイド１００ｇとを備える。

固定部１００ｂは、位置制御装置５００の駆動対象を備えた装置のハウジング等に固定される部位である。

可動部１００ａは、駆動対象物（不図示）を保持する部位であり、移動ガイド１００ｇに対して摺動自在に保持される。そして、固定部１００ｂとの±Ｘ方向における相対的な位置が変更されることで、駆動対象物の駆動を実現する。

移動ガイド１００ｇは、棒状の形状を有し、可動部１００ａの±Ｘ方向における移動を案内する部位である。

また、位置制御機構１００では、可動部１００ａおよび固定部１００ｂの−Ｙ方向の面が駆動装置１０が取り付けられる面として構成される。

駆動装置１０は、主に、可動部１００ａの−Ｙ方向の面に固定される可動用保持部１０ａと、固定部１００ｂの−Ｙ方向の面に固定される固定用保持部１０ｂとを備えて構成される。

可動用保持部１０ａの−Ｙ方向の面には、所謂ＵターンフックＵＦが設けられ、固定用保持部１０ｂの−Ｙ方向の面には、２つの金属端子ＫＴ１，ＫＴ２が設けられている。

金属端子ＫＴ１，ＫＴ２は、それぞれ紐状の形状記憶合金ＳＭの一端と他端とを保持固定するものであり、例えば、所謂カシメにより形状記憶合金ＳＭを保持固定する。また、紐状の形状記憶合金ＳＭは、ＵターンフックＵＦに引っかけられ、所定の張力で引っ張られた状態で、形状記憶合金ＳＭの一端と他端とがそれぞれ金属端子ＫＴ１，ＫＴ２によって保持固定される。このとき、形状記憶合金ＳＭにかかる引張応力が調整されることで、形状記憶合金ＳＭの長さも適宜調整された状態となっている。

ここでは、図示を省略するが、金属端子ＫＴ１，ＫＴ２に対して形状記憶合金ＳＭが取り付けられる側（すなわちＵターンフックＵＦ側）の逆側には、通電用の配線を取り付けるための配線取付部が設けられている。そして、金属端子ＫＴ１，ＫＴ２に対して形状記憶合金ＳＭおよび配線を取り付けた状態で、外部の制御部によって形状記憶合金ＳＭへの通電が制御されることで、形状記憶合金ＳＭの温度ひいては長さが変化し、固定部１００ｂに対する可動部１００ａの一方向（ここではＸ方向）における相対的な位置が変更される。

なお、可動用保持部１０ａおよび固定用保持部１０ｂがプラスチック製である場合には、金属端子ＫＴ１，ＫＴ２を、プラスチック成形品に金属部品等を埋め込む成形法であるインサート成形によって固定用保持部１０ｂに設けることができる。

ここでは、可動用保持部１０ａにＵターンフックＵＦを配設し、固定用保持部１０ｂに２つの金属端子ＫＴ１，ＫＴ２を配設したが、これに限られず、例えば、可動用保持部１０ａおよび固定用保持部１０ｂにそれぞれ金属端子ＫＴ１，ＫＴ２を分けて配設しても良い。

また、金属端子ＫＴ１，ＫＴ２による形状記憶合金ＳＭの保持固定方法は、カシメだけに限られず、圧入等その他の方法を用いても良い。但し、圧入では、形状記憶合金ＳＭの長手方向に押し込む応力が必要となり、形状記憶合金ＳＭの長さ調整の精度が落ちる可能性が高い為、形状記憶合金ＳＭの長さ調整の精度を高める為には、カシメの方が好ましい。

ここで示した駆動装置１０に取り付けられる形状記憶合金ＳＭの長さを精度良く調節することは非常に難しい為、ここでは、以下に詳述する位置制御装置の製造方法によって、形状記憶合金ＳＭの長さを精度良く調節することができる。

＜位置制御装置の製造方法＞
本発明の実施形態に係る位置制御装置の製造方法では、可動用保持部１０ａと固定用保持部１０ｂとが所定の連結部で連結され、可動用保持部１０ａと固定用保持部１０ｂとの相対的な位置が固定された製造ユニット１（図３参照）を準備する。そして、形状記憶合金ＳＭの長さを調節しつつ、可動用保持部１０ａおよび固定用保持部１０ｂに対して形状記憶合金ＳＭを取り付けた状態で、製造ユニット１を位置制御機構１００に対して取り付けた後に、連結部を切り離すことで、可動用保持部１０ａと固定用保持部１０ｂとが分離された状態とする。そうすることで、駆動装置１０に取り付けられた形状記憶合金ＳＭの長さが精度良く調節された状態となる。

以下、図２に例示する本発明の実施形態に係る位置制御装置５００の製造フロー、および図３から図７を参照しつつ、本発明の実施形態に係る位置制御装置の製造方法について具体的に説明する。

まず、駆動装置１０の製造母体として使用される、すなわち位置制御装置５００の製造に用いる製造ユニット１を準備する（図２のステップＳ１）。

ここで、製造ユニット１について説明する。図３は、製造ユニット１を例示する図であり、図３(a)〜(c)は、それぞれ製造ユニット１の正面外観図、図３(a)の線Ａ−Ａに沿って切断した断面図、図３(a)の線Ｂ−Ｂに沿って切断した断面図を示している。

図３(a)〜(c)に示すように、製造ユニット１は、±Ｙ方向の奥行きが短かく、ＸＺ平面方向に拡がりを持つ平面的でかつ、図中下向きに「コ」の字型の形状を有する板状のプラスチック製の部品である。そして、製造ユニット１は、当該製造ユニット１の一端側が可動用保持部１０ａ、他端側が固定用保持部１０ｂとして構成され、更に、可動用保持部１０ａと固定用保持部１０ｂとを連結する連結部（ブリッジ部）１０ｃを有して構成される。ここでは、可動用保持部１０ａおよび固定用保持部１０ｂと、連結部１０ｃとがそれぞれ剛性の高い板状の部材となっている。

そして、上述したように、可動用保持部１０ａの−Ｙ方向の面に、形状記憶合金ＳＭを引っかけることで保持するためのＵターンフックＵＦが設けられ、固定用保持部１０ｂの−Ｙ方向の面に、形状記憶合金ＳＭの両端をそれぞれカシメによって保持固定するための金属端子ＫＴ１，ＫＴ２が設けられる。つまり、製造ユニット１の「コ」の字の略平行な２辺に金属端子ＫＴ１，ＫＴ２とＵターンフックＵＦとが分かれて配置される。

また、可動用保持部１０ａと連結部１０ｃとの境界、および固定用保持部１０ｂと連結部１０ｃとの境界の部分（境界部分）ＣＰは、それぞれ、±Ｙ方向の厚みが製造ユニット１の他の部分の厚みよりも極めて薄くなっている。この境界部分ＣＰは、後に製造ユニット１から連結部１０ｃを分離する際の切断予定部分である。

このように、ステップＳ１で製造ユニット１を準備した後に、製造ユニット１の可動用保持部１０ａと固定用保持部１０ｂとの間で張力をかけた状態で形状記憶合金ＳＭを保持する（図２のステップＳ２）。

ここで、ステップＳ２の詳細について説明する。

図４は、形状記憶合金ＳＭの保持状態について例示する図である。

このステップＳ２は、例えば、まず、１本の紐状の形状記憶合金ＳＭの一端を金属端子ＫＴ１によるカシメによって保持固定する。そして、ＵターンフックＵＦの溝に形状記憶合金ＳＭを引っかけて保持し、所定の張力をかけた状態で、形状記憶合金ＳＭの他端を金属端子ＫＴ２によるカシメによって保持固定することで実施することができる。

図５は、カシメによる形状記憶合金ＳＭの保持固定について説明するための図である。図５では、金属端子ＫＴ１を例にとって、金属端子ＫＴ１付近に着目した断面模式図を示している。図５(a)に示すように、製造ユニット１では、金属端子ＫＴ１は立設した板状の部材となっている。そして、その金属端子ＫＴ１の板面に紐状の形状記憶合金ＳＭを接触させた状態とした後に、図５(b)に示すように、金属端子ＫＴ１を折り曲げて、形状記憶合金ＳＭを挟み込むことで、カシメによる形状記憶合金ＳＭの保持固定が実現される。

ここでは、所定の温度下において、形状記憶合金ＳＭにかかる応力を調整することで、ＵターンフックＵＦと金属端子ＫＴ１，ＫＴ２との距離によって、製造ユニット１に取り付けられる形状記憶合金ＳＭの長さが一義的に決まる。

このとき、形状記憶合金ＳＭは、製造ユニット１の「コ」の字の平行な２辺を跨いで取り付けられる。そして、製造ユニット１の「コ」の字型の折れ曲がった部分（「折り返し部」とも称する）と、形状記憶合金ＳＭとが十分に離隔した状態となっている。

このように、ステップＳ２で製造ユニット１の可動用保持部１０ａと固定用保持部１０ｂとの間で張力をかけた状態で形状記憶合金ＳＭを保持させた後に、製造ユニット１を位置制御機構１００に対して取り付ける（図２のステップＳ３）。

ここで、ステップＳ３の詳細について説明する。

図６は、位置制御機構１００の外観を例示する図である。位置制御機構１００は、上述したように、可動部１００ａと固定部１００ｂと移動ガイド１００ｇとを備えて構成される。そして、移動ガイド１００ｇに対する可動部１００ａの摺動により、固定部１００ｂに対する可動部１００ａの相対的な位置が変更可能となっている。

図７は、位置制御機構１００に対して製造ユニット１が取り付けられる様子を例示する図である。なお、図７(a)は、位置制御機構１００に対して製造ユニット１が取り付けられた状態を例示する正面外観図であり、図７(b)は、図７(a)の線Ｃ−Ｃに沿って切断した断面図である。

図７に示すように、ステップＳ２で形状記憶合金ＳＭが保持された製造ユニット１は、可動用保持部１０ａのＵターンフックＵＦが設けられた面の逆側の面が可動部１００ａに接着される面として構成され、固定用保持部１０ｂの金属端子ＫＴ１，ＫＴ２が設けられた面の逆側の面が固定部１００ｂに接着される面として構成される。具体的には、可動用保持部１０ａと可動部１００ａとが接着部ＡＰａにおいて接着されることで、可動用保持部１０ａが可動部１００ａに対して取り付けられ、固定用保持部１０ｂと固定部１００ｂとが接着部ＡＰｂにおいて接着されることで、固定用保持部１０ｂが固定部１００ｂに対して取り付けられる。

ここでは、製造ユニット１と位置制御機構１００とは、所定の位置において軽い力で押された状態で接着される。この接着時における製造ユニット１と可動部１００ａと固定部１００ｂとの位置関係は多少曖昧である方が好ましい。これは、厳密な位置関係において接着が行われるものとすると、無理に位置合わせを行おうとして各部材に不要な応力がかかって各部材が変形を起こしてしまい、結果的に形状記憶合金ＳＭの長さ調整の精度を狂わせてしまう虞がある為である。また、取り付け易さを考慮すると、図７に示すように、可動部１００ａおよび固定部１００ｂにおいて製造ユニット１を取り付ける面は略同一方向を向いていることが好ましい。

また、ここでは、製造ユニット１と位置制御機構１００とが接着されるものとして説明したが、これに限られず、例えば、溶着などその他の方法で相互に取り付けられても良い。なお、このとき、従来のようにネジ止め等、回転トルクなどといった負荷が各部材にかかるような手法で取り付けると、各部材に歪みやズレが生じ、結果的に形状記憶合金ＳＭの長さ調整の精度を狂わせてしまう虞がある為、各部材に極力応力がかからない手法で、相互に取り付けられることが好ましい。

次に、ステップＳ３で製造ユニット１を位置制御機構１００に対して取り付けたものから、連結部１０ｃを切り離す（図２のステップＳ４）。

ここで、ステップＳ４の詳細について説明する。

ステップＳ４では、図７に示す状態で、破線ＣＬに沿った境界部分ＣＰを、例えば、ホットニッパー等で切断することで、可動用保持部１０ａと固定用保持部１０ｂとを連結する連結部１０ｃを製造ユニット１から切り離すと、製造ユニット１から可動用保持部１０ａと固定用保持部１０ｂとを結ぶ一部の領域が除去された状態となる。その結果、可動用保持部１０ａと固定用保持部１０ｂとが分離される。

境界部分ＣＰは、上述したように、±Ｙ方向の厚みが製造ユニット１の他の部分の厚みよりも極めて薄くなっている。つまり、境界部分ＣＰは、形状記憶合金ＳＭに対して張力がかけられている方向（±Ｘ方向）に対する応力に強く、これと垂直な方向（±Ｙ方向）に対する応力に弱い構造となっている。そのため、境界部分ＣＰを切断する際に、ホットニッパー等で±Ｙ方向から挟み込むことで、形状記憶合金ＳＭに対して±Ｘ方向に対する負荷を極力かけないように切断を行うことができる。その結果、切断に要するエネルギーが少なくて済むとともに、製造ユニット１の各部ひいては形状記憶合金ＳＭが不必要に変形することを防ぐことができる。

また、境界部分ＣＰは、製造ユニット１のその他の部分と比較して、±Ｙ方向の厚みが極端に薄くなっている為、当該薄い部分が切断箇所を示すマーキングとしても機能して、切断をすべき位置を見間違えることなく切断作業を行うことができる。更に、境界部分ＣＰを含む製造ユニット１が主にプラスチックで構成されている為、熱を利用する切断方法により、製造ユニット１に対して負荷を極力かけることなく、容易に境界部分ＣＰを切断することができる。

また、図７に示すように、切断時に形状記憶合金ＳＭとホットニッパー等の切断用具とが接触しないように、切断の対象となる破線ＣＬの部分は、製造ユニット１のうち、形状記憶合金ＳＭがＹ方向に投影される位置から十分離隔された方が好ましい。つまり、例えば、製造ユニット１の略中央部付近に形状記憶合金ＳＭを取り付ける場合を想定すると、切断の対象となる部分は、製造ユニット１の外縁近くに位置するようにすれば良い。

このようにして、ステップＳ４で、製造ユニット１から連結部１０ｃが切り離されると、図１に示すような位置制御装置５００が出来上がる。ここでは、可動用保持部１０ａと固定用保持部１０ｂとの距離が、形状記憶合金ＳＭの伸縮可能な範囲以上離隔している。つまり、製造ユニット１では、可動用保持部１０ａと固定用保持部１０ｂとが、形状記憶合金ＳＭの伸縮可能な量以上の距離だけ離隔された状態となっており、形状記憶合金ＳＭの伸縮による可動部１００ａの駆動範囲が確保される。そして、分離された可動用保持部１０ａと固定用保持部１０ｂとが、それぞれ形状記憶合金ＳＭを保持する部材（ここでは、ＵターンフックＵＦ、金属端子ＫＴ１，ＫＴ２）を少なくとも１以上有し、通電によって形状記憶合金ＳＭが伸縮することで、可動部１００ａが移動する。

より具体的には、形状記憶合金ＳＭに対して通電すると形状記憶合金ＳＭが収縮して、可動部１００ａが移動ガイド１００ｇに案内されて金属端子ＫＴ１，ＫＴ２側（＋Ｘ方向）に摺動（ここでは直進移動）する。なお、可動部１００ａの逆向きの動作、すなわち−Ｘ方向への動作は、図示を省略する他の駆動装置若しくはバネを組み込むことで行われるようにすれば良い。この可動部１００ａの−Ｘ方向への動作を担う駆動装置やバネは、製造ユニット１から連結部１０ｃを切り離した後に、ストッパーで可動部１００ａの摺動を禁止した状態で取り付けられても良いし、製造ユニット１に予め組み込むようにしても良い。

以上のように、本発明の実施形態では、位置制御装置５００から製造ユニット１を独立させた状態で、当該ユニットにおいて張力を一定に保持した状態で形状記憶合金ＳＭを取り付けることができるようにしている。その為、形状記憶合金ＳＭの長さを数μｍから数百μｍレベルの精度で調整して組み込むことが容易に可能となる。つまり、製造ユニット１の形状を保ったまま、不要な負荷をかけることなく位置制御機構１００に対して取り付けた後に、高剛性材である連結部１０ｃを分離することで、形状記憶合金ＳＭの調整状態を崩すことなく、位置制御機構１００に対して駆動装置１０を組み込むことができる。

具体的には、駆動装置１０を含む位置制御装置５００を製造する際に、形状記憶合金ＳＭの両端を保持した状態で固定部１００ｂに対して取り付けられる固定用保持部１０ｂと、形状記憶合金ＳＭをＵターンフックＵＦで保持した状態で可動部１００ａに対して取り付けられる可動用保持部１０ａと、可動用保持部１０ａと固定用保持部１０ｂとを連結する連結部１０ｃとを備える製造ユニットを使用する。

このような構成により、可動用保持部１０ａと固定用保持部１０ｂとが連結部１０ｃによって連結固定された製造ユニット１の状態で、形状記憶合金ＳＭの長さを精度良く調節して、位置制御機構１００に取り付けた後に、可動用保持部１０ａと固定用保持部１０ｂとを分離させる。このような手法によって、可動用保持部１０ａと固定用保持部１０ｂとの距離が固定された状態で、形状記憶合金ＳＭの長さを調整することができる。その結果、部品のサイズの誤差や取り付け誤差等といった種々の誤差に影響されることなく、形状記憶合金を用いた導電性を有するアクチュエータ（導電性アクチュエータ）を位置制御機構に対して高精度に取り付けることができる。

また、位置制御装置５００を製造する際には、まず、可動用保持部１０ａと固定用保持部１０ｂとを連結する連結部１０ｃと、可動用保持部１０ａと、固定用保持部１０ｂとを有する製造ユニット１を準備する。そして、可動用保持部１０ａと固定用保持部１０ｂとの間で形状記憶合金を張力をかけた状態で保持させる。更に、可動用保持部１０ａを可動部１００ａに対して取り付けるとともに、固定用保持部１０ｂを固定部１００ｂに対して取り付けた後に、製造ユニット１から連結部１０ｃを切り離すことで、可動用保持部１０ａと固定用保持部１０ｂとを分離する。このような手法によって、可動用保持部１０ａと固定用保持部１０ｂとの距離が固定された状態で、形状記憶合金ＳＭの長さを調整することができる。その結果、部品のサイズの誤差や取り付け誤差等といった種々の誤差に影響されることなく、形状記憶合金を用いた導電性アクチュエータを位置制御機構に対して高精度に取り付けることができる。このような手法は、特に微小な位置制御装置を精度良く大量に生産する際に有効である。

また、可動用保持部１０ａと固定用保持部１０ｂと連結部１０ｃとが板状の形状を有し、可動用保持部１０ａと固定用保持部１０ｂとが、それぞれ所定の方向を向いた面に形状記憶合金ＳＭを保持するための保持部材を有するとともに、それぞれ所定の方向とは反対方向を向いた面が位置制御機構１００に対して取り付けられる面として構成される。この構成により、形状記憶合金ＳＭを用いた製造ユニット１を位置制御機構１００に対して容易に取り付けることができる。

また、形状記憶合金ＳＭを保持する保持部材には、カシメによって形状記憶合金ＳＭを保持するための金属端子ＫＴ１，ＫＴ２が含まれる為、狭いスペースにおいても形状記憶合金ＳＭの端部を製造ユニット１に対して固定することができる。

また、ここでは、製造ユニット１が位置制御機構１００に対して接着や溶着などといった各部材に負荷がかからない方法で取り付けられる為、形状記憶合金を用いた駆動装置を位置制御機構に対して高精度に取り付けることができる。なお、ここで、従来のようにネジ止め等の締結手段を用いると、締結のための力が加わったまま（歪ませたまま）で締結してしまう為、連結部１０ｃを分離した際に、折角調整した可動用保持部１０ａと固定用保持部１０ｂとの位置関係がずれてしまい、結果的に、駆動装置の取り付け精度が悪化してしまう可能性が高い。

＜変形例＞
以上、この発明の実施形態について説明したが、この発明は上記説明した内容のものに限定されるものではない。

◎例えば、上記実施形態では、製造ユニット１は、「コ」の字型の形状を有する板状のプラスチック製の部品であった。しかしながら、これに限られず、例えば、「ロ」の字型の形状を有する板状のものであっても、上記実施形態と同様な効果を得ることができる。

ここで、「ロ」の字型の形状を有する板状の製造ユニット２を使用した場合について、図８を参照しつつ簡単に説明する。

図８では、「ロ」の字型の形状を有する製造ユニット２が位置制御機構２００に対して取り付けられた状態を示している。なお、図８(a)は、位置制御機構２００に対して製造ユニット２が取り付けられた状態を例示する正面外観図であり、図８(b)は、図８(a)の線Ｄ−Ｄに沿って切断した断面図である。

図８に示すように、製造ユニット２は、±Ｙ方向の奥行きが短かく、ＸＺ平面方向に拡がりを持つ平面的でかつ、「ロ」の字型の形状を有する板状のプラスチック製の部品である。そして、製造ユニット２は、図中縦向きの２辺の略中央付近の部分のうちの−Ｘ側が可動用保持部２０ａ、＋Ｘ側が固定用保持部２０ｂとして構成され、更に、可動用保持部２０ａと固定用保持部２０ｂとを図中上下側よりそれぞれ連結する連結部２０ｃ，２０ｄを有して構成される。ここでは、可動用保持部２０ａおよび固定用保持部２０ｂと、連結部２０ｃ，２０ｄとがそれぞれ剛性の高い板状の部材となっている。

そして、可動用保持部２０ａの−Ｙ方向の面に、形状記憶合金ＳＭを引っかけることで保持するためのＵターンフックＵＦが設けられ、固定用保持部２０ｂの−Ｙ方向の面に、形状記憶合金ＳＭの両端をそれぞれカシメによって保持固定するための金属端子ＫＴ１，ＫＴ２が設けられる。

また、可動用保持部２０ａと連結部２０ｃ，２０ｄとの境界、および固定用保持部２０ｂと連結部２０ｃ，２０ｄとの境界の部分（境界部分）ＣＰ２には、それぞれ、図中破線ＣＬ２に沿った複数の穴ＨＬが境界部分ＣＰ２を貫通するように設けられており、結果としてミシン目のような切れ目が入った状態となっている。

このような製造ユニット２に対して、例えば、まず、１本の紐状の形状記憶合金ＳＭの一端を金属端子ＫＴ１によるカシメによって保持固定する。そして、ＵターンフックＵＦの溝に形状記憶合金ＳＭを引っかけて保持し、所定の張力をかけた状態で、形状記憶合金ＳＭの他端を金属端子ＫＴ２によるカシメによって保持固定する。なお、金属端子ＫＴ１，ＫＴ２には、形状記憶合金ＳＭに対して電流を流す為の配線が接続される。

一方、位置制御機構２００は、可動部２００ａと固定部２００ｂと移動ガイド２００ｇとを備えて構成され、可動部２００ａが移動ガイド２００ｇに対して摺動することで、固定部２００ｂに対する可動部２００ａの相対的な位置が変更するようになっている。

そして、図８に示すように、形状記憶合金ＳＭが保持された製造ユニット２が、可動用保持部２０ａと可動部２００ａとが接着部ＡＰａにおいて軽い応力が加えられて接着されることで可動用保持部２０ａが可動部２００ａに対して取り付けられ、固定用保持部２０ｂと固定部２００ｂとが接着部ＡＰｂにおいて軽い応力が加えられて接着されることで、固定用保持部２０ｂが固定部２００ｂに対して取り付けられる。また、上述した実施形態と同様な理由から、この取り付けは、溶着等、各部材に極力負荷がかからない他の手法によるものでも構わないし、多少曖昧な位置関係で取り付けられることが好ましい。

次に、図８に示す状態で、破線ＣＬ２に沿った境界部分ＣＰを、例えば、ホットニッパー等で切断することで、可動用保持部２０ａと固定用保持部２０ｂとを連結する連結部２０ｃ，２０ｄを切り離すと、可動用保持部２０ａと固定用保持部２０ｂとが分離された状態となり、図１で示した位置制御装置とほぼ同様な構成を有する位置制御装置を完成させることができる。

なお、ここでは、切断箇所にあたる境界部分ＣＰ２は、複数の穴ＨＬの配列によるミシン目が設けられている為、形状記憶合金ＳＭに対して張力がかけられている方向（±Ｘ方向）に対する応力に強く、これと垂直な方向（±Ｙ方向）に対する応力に弱い構造となっている。そのため、境界部分ＣＰを切断する際に、ホットニッパー等で±Ｙ方向から挟み込むことで、形状記憶合金ＳＭに対して±Ｘ方向に対する負荷を極力かけないようにすることができる。その結果、切断に要するエネルギーが少なくて済むとともに、形状記憶合金ＳＭが不必要に変形することを防ぐことができる。また、この境界部分ＣＰ２におけるミシン目は、切断箇所を示すマーキングとしても機能する。

◎また、例えば、「Ｅ」の字型の形状を有する板状の製造ユニット３を使用して、２本の形状記憶合金により可動部を往復運動させるようにしても、上記実施形態と同様な効果を得ることができる。

ここで、製造ユニット３を使用した場合について、図９を参照しつつ簡単に説明する。図９では、「Ｅ」の字型の形状を有する製造ユニット３が位置制御機構３００に対して取り付けられた状態を示している。なお、図９(a)は、位置制御機構３００に対して製造ユニット３が取り付けられた状態を例示する正面外観図であり、図９(b)は、図９(a)の線Ｅ−Ｅに沿って切断した断面図である。

図９に示すように、製造ユニット３は、±Ｙ方向の奥行きが短かく、ＸＺ平面方向に拡がりを持つ平面的でかつ、「Ｅ」の字型の形状を有する板状のプラスチック製の部品である。そして、製造ユニット３は、図中縦向きの３辺のうちのＸ方向中央のものが可動用保持部３０ａ、−Ｘ側が固定用保持部３０ｂａ、＋Ｘ側が可動用保持部３０ｂｂとして構成され、更に、可動用保持部３０ａと固定用保持部３０ｂａ，３０ｂｂとを図中上方よりそれぞれ連結する連結部３０ｃを有して構成される。ここでは、可動用保持部３０ａおよび固定用保持部３０ｂａ，３０ｂｂと、連結部３０ｃとがそれぞれ剛性の高い板状の部材となっている。

そして、可動用保持部３０ａの−Ｙ方向の面に、第１および第２の形状記憶合金ＳＭ１，ＳＭ２を引っ掛けることで保持するためのＵターンフックＵＦが設けられ、固定用保持部３０ｂａの−Ｙ方向の面に、第１の形状記憶合金ＳＭ１の両端をそれぞれカシメによって保持固定するための金属端子ＫＴ１，ＫＴ２が設けられる。また、固定用保持部３０ｂｂの−Ｙ方向の面に、第２の形状記憶合金ＳＭ２の両端をそれぞれカシメによって保持固定するための金属端子ＫＴ１１，ＫＴ１２が設けられる。なお、金属端子ＫＴ１，ＫＴ２および金属端子ＫＴ１，ＫＴ２には、第１および第２の形状記憶合金ＳＭ１，ＳＭ２に対して電流を流す為の配線がそれぞれ接続される。

また、可動用保持部３０ａと連結部３０ｃとの境界、および固定用保持部３０ｂａ，３０ｂｂと連結部３０ｃとの境界の部分（境界部分）ＣＰ３には、それぞれ図中破線ＣＬ３に沿った溝が表裏に設けられている。

このような製造ユニット３に対して、例えば、まず、１本の紐状の第１の形状記憶合金ＳＭ１の一端を金属端子ＫＴ１によるカシメによって保持固定する。そして、ＵターンフックＵＦの溝に第１の形状記憶合金ＳＭ１を引っかけて保持し、所定の張力をかけた状態で、第１の形状記憶合金ＳＭ１の他端を金属端子ＫＴ２によるカシメによって保持固定する。また、他の１本の紐状の第２の形状記憶合金ＳＭ２の一端を金属端子ＫＴ１１によるカシメによって保持固定する。そして、ＵターンフックＵＦの溝に第２の形状記憶合金ＳＭ２を引っかけて保持し、所定の張力をかけた状態で、第２の形状記憶合金ＳＭ２の他端を金属端子ＫＴ１２によるカシメによって保持固定する。

一方、位置制御機構３００は、可動部３００ａと、「コ」の字型の固定部３００ｂと、固定部３００ｂの平行な２辺に対して橋渡すように設けられた移動ガイド３００ｇとを備えて構成される。そして、可動部３００ａが移動ガイド３００ｇに対して摺動することで、固定部３００ｂに対する可動部３００ａの相対的な位置が変更する。

そして、図９に示すように、第１および第２の形状記憶合金ＳＭ１，ＳＭ２が保持された製造ユニット３が、位置制御機構３００に対して取り付けられる。具体的には、可動用保持部３０ａと可動部３００ａとが接着部ＡＰａにおいて軽い応力がかけられた状態で接着されることで可動用保持部３０ａが可動部３００ａに対して取り付けられる。また、固定用保持部３０ｂａ，３０ｂｂの＋Ｙ方向の面と固定部３００ｂの両端の−Ｙ方向の面とが接着部ＡＰｂａ，ＡＰｂｂにおいて軽い応力がかけられた状態で接着されることで固定用保持部３０ｂａ，３０ｂｂが固定部３００ｂに対して取り付けられる。また、上述した実施形態と同様な理由から、この取り付けは、溶着等、各部材に極力負荷がかからない他の手法によるものでも構わないし、多少曖昧な位置関係で取り付けられることが好ましい。

次に、図９に示す状態で、破線ＣＬ３に沿った境界部分ＣＰ３を、例えば、ホットニッパー等で切断することで、可動用保持部３０ａと固定用保持部３０ｂａ，３０ｂｂとを連結する連結部３０ｃを切り離すと、可動用保持部３０ａと固定用保持部３０ｂａと固定用保持部３０ｂｂとが相互に分離された状態となり、位置制御装置６００（図１０参照）を完成させることができる。

なお、ここでは、切断箇所にあたる境界部分ＣＰ３は、表裏に溝が設けられている為、第１および第２の形状記憶合金ＳＭ１，ＳＭ２に対して張力がかけられている方向（±Ｘ方向）に対する応力に強く、これと垂直な方向（±Ｙ方向）に対する応力に弱い構造となっている。そのため、境界部分ＣＰ３を切断する際に、ホットニッパー等で±Ｙ方向から挟み込むことで、第１および第２の形状記憶合金ＳＭ１，ＳＭ２に対して±Ｘ方向に対する負荷を極力かけないようにすることができる。その結果、切断に要するエネルギーが少なくて済むとともに、第１および第２の形状記憶合金ＳＭ１，ＳＭ２が不必要に変形することを防ぐことができる。また、この境界部分ＣＰ３における溝は、切断箇所を示すマーキングとしても機能する。

図１０は、完成された位置制御装置６００を例示する図であり、なお、図１０(a)は、位置制御装置６００を例示する正面外観図であり、図１０(b)は、図１０(a)の線Ｆ−Ｆに沿って切断した断面図である。

位置制御装置６００では、第１の形状記憶合金ＳＭ１に対して通電すると、第１の形状記憶合金ＳＭ１が収縮する為、可動部３００ａが、移動ガイド３００ｇに案内されつつ摺動し、固定用保持部３０ｂａ側（−Ｘ方向）へ直進移動する。この時、第２の形状記憶合金ＳＭ２は、通電されず、超弾性の変形領域における弾性変形により、可動部３００ａの移動量だけ伸びた状態となる。一方、第２の形状記憶合金ＳＭ２に対して通電すると、第２の形状記憶合金ＳＭ２が収縮する為、可動部３００ａが、移動ガイド３００ｇに案内されつつ摺動し、固定用保持部３０ｂｂ側（＋Ｘ方向）へ直進移動する。この時、第１の形状記憶合金ＳＭ１は、通電されず、超弾性の変形領域における弾性変形により、可動部３００ａの移動量だけ伸びた状態となる。

なお、ここでは、第１および第２の形状記憶合金ＳＭ１，ＳＭ２を１つのＵターンフックＵＦで保持したが、これに限られず、例えば、可動用保持部３０ａに第１および第２の形状記憶合金ＳＭ１，ＳＭ２をそれぞれ保持するＵターンフックを別々に設けても良い。

◎また、上記実施形態では、可動部１００ａ，２００ａ，３００ａに対して、可動用保持部１０ａ，２０ａ，３０ａを取り付けたが、これに限られず、例えば、可動用保持部が可動部としての機能も併せ持つようなものであっても、上記実施形態と同様な効果を得ることができる。

具体例について、図１１を参照しつつ説明する。なお、図１１に示す形態は、図７で示した形態と類似している為、同様な部分については同じ符合を付して説明を省略する。

図１１に示すように、位置制御機構１００Ａが、「コ」の字型の固定部１００ｂと、固定部１００ｂの「コ」の字の２辺を橋渡すように設けられた移動ガイド１００ｇとを有して構成される。一方、製造ユニット１Ａが、ＵターンフックＵＦが設けられるとともに可動部としての機能をも併せ持つ可動用保持部１０Ａａと、金属端子ＫＴ１，ＫＴ２が設けられた固定用保持部１０ｂと、可動用保持部１０Ａａと固定用保持部１０ｂとを連結する連結部１０ｃを有して構成される。

そして、まず、製造ユニット１Ａに対して形状記憶合金ＳＭを取り付けた後に、可動用保持部１０Ａａを移動ガイド１００ｇに対して摺動自在に取り付ける。次に、固定用保持部１０ｂと固定部１００ｂとを接着部ＡＰｂにおいて接着することによって固定用保持部１０ｂを固定部１００ｂに対して取り付ける。最後に、破線ＣＬに沿って境界部分ＣＰを切断することで連結部１０ｃを製造ユニット１Ａから切り離すことで、位置制御装置６００を完成させることができる。

◎また、上記実施形態では、位置制御機構が１次元的に可動部が移動するリニアガイドであったが、これに限られず、例えば、２次元的に可動部が移動するステージ（２次元ステージ）や所謂２軸ジンバルであっても良く、その他多次元的に可動部が移動する機構であっても良い。

ここで、例えば、３次元直交座標系のＸＹＺの３軸にそれぞれ沿った方向に可動部が移動可能な位置制御機構を用いる場合には、１つの軸に沿った移動ベクトルと、他の軸に沿った移動ベクトルとは直交する。よって、１つの軸に沿った移動を担う形状記憶合金の伸縮方向と、他の軸に沿った移動を担う形状記憶合金の伸縮方向とは略直交する。そのため、１つの軸に沿った形状記憶合金の伸縮は、他の軸に沿った移動を担う形状記憶合金の長さの精度に及ぼす影響は小さい。

なお、２以上の方向に可動部を移動させるための２本以上の形状記憶合金を製造ユニットに取り付けた後に、連結部を切り離すことで、２以上の方向に可動部を移動させることができる位置制御装置を製造するようにしても良い。

◎また、上記実施形態では、ホットニッパーを用いて境界部分ＣＰを切断したが、これに限られず、例えば、超音波カッターやレーザーカッター等、熱等を用いて製造ユニット１に対して負荷を極力与えないその他の手段を用いて切断しても良い。

◎また、上記実施形態では、製造ユニット１がプラスチック製であったが、これに限られず、例えば、金属製であって、形状記憶合金に対する通電を中継するようにしても良い。仮に製造ユニット１が金属製であった場合には、可動用保持部１０ａおよび固定用保持部１０ｂと連結部１０ｃとが接続する境界部分ＣＰを溶接で連結されたものとして、レーザーカッター等を用いて熱で溶接部分を融かしつつ境界部分を切断するようにしても良い。

◎また、上記実施形態では、可動用保持部にＵターンフックを設け、固定用保持部に金属端子を設けたが、これに限られず、例えば、可動用保持部に金属端子を設け、固定用保持部にＵターンフックを設けるようにしても良い。

また、可動用保持部および固定用保持部の双方に金属端子を設けて、当該双方の金属端子によって紐状の形状記憶合金の両端を保持固定するようにしても良い。すなわち、可動用保持部および固定用保持部のうちの少なくとも一方が、金属端子によって形状記憶合金を保持固定するようにすれば良い。

◎また、上記実施形態では、形状記憶合金として紐状のものを用いたが、これに限られず、例えば、帯状のものであっても良い。つまり、可動部を移動させる方向が長手方向となるように十分な異方性を有する形状記憶合金を用いれば良い。

◎また、上述した各実施の形態では導電性を有するアクチュエータ（導電性アクチュエータ）として紐状の形状記憶合金を用いたが、帯状の形状記憶合金を用いて位置制御装置を構成することも可能である。この場合、紐状の形状記憶合金とは、張力のかかる方向に垂直な面で形状記憶合金を切断したとき、断面の長径が短径の２倍以内のものを言い、帯状の形状記憶合金とは長径が短径の２倍を超えるものを言う。また、導電性アクチュエータとしては形状記憶合金だけではなく、通電により長さを変化させることができるアクチュエータならば良く、たとえば導電性高分子アクチュエータなど他のアクチュエータを使用することも可能である。

本発明の実施形態に係る位置制御装置を例示する図である。 本発明の実施形態に係る位置制御装置の製造フローを例示するフローチャートである。 製造ユニットを例示する図である。 形状記憶合金の保持状態について例示する図である。 カシメによる形状記憶合金の保持固定について説明するための図である。 位置制御機構の外観を例示する図である。 位置制御機構に対して製造ユニットが取り付けられる様子を例示する図である。 変形例に係る位置制御装置の製造について示す図である。 変形例に係る位置制御装置の製造について示す図である。 変形例に係る位置制御装置の製造について示す図である。 変形例に係る位置制御装置の製造について示す図である。

符号の説明

１，１Ａ，２，３ 製造ユニット
１０ 駆動装置
１０ａ，１０Ａａ，２０ａ，３０ａ 可動用保持部
１０ｂ，２０ｂ，３０ｂａ，３０ｂｂ 固定用保持部
１０ｃ，２０ｃ，３０ｃ 連結部
１００，２００，３００ 位置制御機構
１００ａ，２００ａ，３００ａ 可動部
１００ｂ，２００ｂ，３００ｂ 固定部
１００ｇ，２００ｇ，３００ｇ 移動ガイド
５００，６００ 位置制御装置
ＫＴ１，ＫＴ２，ＫＴ１１，ＫＴ１２ 金属端子
ＳＭ 形状記憶合金
ＳＭ１ 第１の形状記憶合金
ＳＭ２ 第２の形状記憶合金
ＵＦ Ｕターンフック

Claims (9)

1. 固定部と可動部とを有する位置制御機構に取り付けられて前記固定部に対する前記可動部の相対的な位置を変更する駆動装置を製造する際に、前記駆動装置の製造母体として使用される製造ユニットであって、
   導電性アクチュエータの所定の位置を保持した状態で前記可動部に対して取り付けられる第１の保持部と、
   前記導電性アクチュエータの他の所定の位置を保持した状態で前記固定部に対して取り付けられる第２の保持部と、
   前記第１の保持部と前記第２の保持部とを連結する連結部と、
   を備えることを特徴とする製造ユニット。
2. 請求項１に記載の製造ユニットであって、
   前記第１および第２の保持部と前記連結部とが板状の形状を有し、
   前記第１および第２の保持部が、それぞれ所定の方向を向いた面に前記導電性アクチュエータを保持するための保持部材を有するとともに、それぞれ前記所定の方向とは反対方向に前記位置制御機構に対して取り付けられる面を有することを特徴とする製造ユニット。
3. 請求項２に記載の製造ユニットであって、
   前記保持部材が、
   カシメによって前記導電性アクチュエータを保持するための金属端子を含むことを特徴とする製造ユニット。
4. 請求項１から請求項３のいずれかに記載の製造ユニットであって、
   前記導電性アクチュエータが、紐状の形状記憶合金であることを特徴とする製造ユニット。
5. 請求項１から請求項３のいずれかに記載の製造ユニットであって、
   前記導電性アクチュエータが、帯状の形状記憶合金であることを特徴とする製造ユニット。
6. 固定部と可動部とを有する位置制御機構と、前記固定部に対する前記可動部の相対的な位置を変更する駆動装置とを備えた位置制御装置の製造方法であって、
   (a)第１および第２の保持部と、前記第１の保持部と前記第２の保持部とを連結する連結部とを有する製造ユニットを準備するステップと、
   (b)前記第１および第２の保持部の間で導電性アクチュエータを張力をかけた状態で保持させるステップと、
   (c)前記第１の保持部を前記可動部に対して取り付けるとともに、前記第２の保持部を前記固定部に対して取り付けるステップと、
   (d)前記製造ユニットから前記連結部を切り離すことで、前記第１の保持部と前記第２の保持部とを分離するステップと、
   を備えることを特徴とする位置制御装置の製造方法。
7. 請求項６に記載の位置制御装置の製造方法であって、
   前記第１および第２の保持部のうちの少なくとも一方が、端子によって前記導電性アクチュエータを固定保持することを特徴とする位置制御装置の製造方法。
8. 請求項６または請求項７に記載の位置制御装置の製造方法であって、
   前記導電性アクチュエータが、紐状の形状記憶合金であることを特徴とする位置制御装置の製造方法。
9. 請求項６または請求項７に記載の位置制御装置の製造方法であって、
   前記導電性アクチュエータが、帯状の形状記憶合金であることを特徴とする位置制御装置の製造方法。

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