CN110199119B - 一种悬架组件 - Google Patents

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Abstract

描述了一种悬架组件。所述悬架组件包括：静态构件或板；能够相对于所述静态板围绕x轴和y轴移动的移动构件或板；位于所述移动板上的传感器安装区域；以及在所述静态板和移动板之间延伸并耦接到所述静态板和移动板的一个或多个形状记忆合金(SMA)元件。所述SMA元件在被控制器驱动时使所述移动板及其上的所述传感器安装区域相对于所述静态板围绕x轴和y轴移动。

Description

一种悬架组件
相关申请的交叉引用
本申请要求2017年12月15日提交的编号为15/844,296的美国专利申请的优先权，并且还要求2016年12月16日提交的编号为62/435,231的美国临时专利申请的权益，所述编号为15/844,296的美国专利申请和编号为62/435,231的美国临时专利申请中的每一个通过引用整体并入本文。
技术领域
本发明大体涉及结合相机使用的光学图像稳定(OIS)悬架，包括结合到诸如手机和平板电脑的移动设备中的光学图像稳定悬架。
背景技术
形状记忆合金(“SMA”)相机镜头光学图像稳定(“OIS”)悬架是众所周知的并且被广泛公开于例如Howarth美国专利9,175,671、Miller美国专利9,366,879和Brown美国专利9,479,699中，以及Ladwig美国专利申请公开2016/0154251、Eddington美国专利申请公开2015/0135703和Howarth美国专利申请公开2015/0346507中，以及编号为WO 2014/083318和WO 2013/175197的PCT的国际申请公开中，所有这些都通过引用整体并入本文并用于所有目的。实施例包括安装到支撑构件的移动构件。基底可以安装到所述支撑构件的与所述移动构件相对的一侧。这些类型的OIS组件具有安装到所述基底或支撑构件的图像传感器和安装到所述移动构件的具有自动聚焦(“AF”)组件或机构的镜头支架。SMA线将所述移动构件耦接到所述支撑构件并且由控制器控制。所述SMA线被驱动以使所述移动构件相对于所述支撑构件围绕x-y轴移动，从而稳定由所述镜头产生在所述传感器上的图像的位置，以抵抗诸如可能由用户的手的移动引起的振动的振动。
然而，仍然存在对改进的OIS悬架的需求。功能性强、高度稳健并且生产效率高的这些类型的OIS悬架是特别理想的。
发明内容
描述了一种悬架组件。所述悬架组件包括：静态构件或板；能够相对于所述静态板围绕x轴和y轴移动的移动构件或板；位于所述移动板上的传感器安装区域；以及在所述静态板和移动板之间延伸并耦接到所述静态板和移动板的一个或多个形状记忆合金(SMA)元件。所述SMA元件在被控制器驱动时使所述移动板及其上的所述传感器安装区域相对于所述静态板围绕x轴和y轴移动。
根据附图和随后的详细描述，本发明的实施例的其他特征和优点将显而易见。
附图说明
本发明的实施例通过示例而非限制的方式在附图的图中示出，其中相似的附图标记表示类似的元件，并且其中：
图1示出了根据实施例的包括光学图像稳定悬架的传感器移位相机系统；
图2示出了根据实施例的光学图像稳定悬架组件的分解图；
图3示出了图2中所示的光学图像稳定悬架组件的透视图；
图4示出了根据实施例的包括对中弹簧的光学图像稳定悬架组件的分解图；
图5示出了图4中所示的光学图像稳定悬架组件的透视图；
图6示出了根据实施例的光学图像稳定悬架组件的对中弹簧；
图7示出了根据实施例的包括4条SMA线的光学图像稳定悬架组件的分解图；
图8示出了图7中所示的光学图像稳定悬架组件的透视图；
图9示出了根据实施例的包括回环状SMA线的光学图像稳定悬架组件的分解图；
图10示出了图9中所示的光学图像稳定悬架组件的透视图；
图11a和图11b示出了根据一些实施例的用于光学图像稳定悬架组件的回环状SMA线配置；
图12示出了根据实施例的光学图像稳定悬架组件的横截面；
图13示出了根据实施例的实现为方形线传感器组件的光学图像稳定悬架组件；
图14示出了图13中所示的光学图像稳定悬架组件的透视图；
图15示出了根据实施例的实现为弓形传感器组件的光学图像稳定悬架组件；
图16示出了图15中所示的弓形传感器组件的透视图；
图17示出了根据实施例的实现为双金属致动器的光学图像稳定悬架组件；
图18示出了SMA材料受热并且从冷态转变为热态然后回到冷态时SMA材料的示例性移动；
图19示出了根据实施例的实现为双金属致动器的光学图像稳定悬架组件；
图20示出了根据实施例的处于扁平的预成形状态的双金属致动器；
图21示出了根据实施例的用于光学图像稳定悬架组件的半滚筒形中介层；
图22示出了在形成为如图21中所示的半滚筒形中介层的最终状态之前处于扁平状态的半滚筒形中介层；
图23示出了根据实施例的用于光学图像稳定悬架组件、具有柔性电路的包括45度角弯曲的中介层；
图24示出了根据实施例的用于光学图像稳定悬架组件、具有柔性电路的包括45度角弯曲的中介层；
图25示出了在形成为如图23中所示的中介层的最终状态之前处于扁平状态的具有从所述中介层的四侧突出的柔性电路的中介层；
图26示出了根据实施例的包括光学图像稳定悬架组件的散热器特征的移动构件的底侧；
图27示出了根据实施例的包括光学图像稳定悬架组件的散热器特征的移动构件的底部的横截面视图；
图28示出了根据实施例的包括光学图像稳定悬架组件的散热器特征和导热镀层的移动构件的顶部的横截面视图；
图29示出了根据实施例的光学图像稳定悬架组件的包括通孔和导热镀层的移动构件；
图30示出了根据实施例的包括一个或多个霍尔传感器的光学图像稳定悬架组件；
图31示出了根据实施例的包括作为移动传感器的一个或多个电容探针的光学图像稳定悬架组件的分解图；
图32示出了根据实施例的使用电容探针来确定移动的示例；
图33示出了根据实施例的确定光学图像稳定悬架组件的标称或中心位置的示例；
图34示出了根据实施例的包括作为移动传感器的应变计的光学图像稳定悬架组件；
图35示出了根据实施例的实现为双金属致动器的光学图像稳定悬架组件的分解图；
图36示出了图35中所示的实现为双金属致动器的光学图像稳定悬架组件的透视图；
图37示出了根据实施例的包括位于内导轨上的双晶型致动器、位于外导轨上的柔性迹线布线以及诸如本文所述移动传感器的移动传感器的双金属致动器的一个区段；
图38示出了根据实施例的包括移动部分和固定部分的双金属致动器的俯视图；
图39示出了根据实施例的用于形成集成SMA双晶型X/Y致动器的布局图案；
图40示出了根据实施例的实现为集成SMA致动器组件的光学图像稳定悬架组件的分解图；
图41示出了如图40所示的实现为集成SMA致动器组件的光学图像稳定悬架组件的透视图；
图42示出了根据实施例的实现为集成SMA致动器组件的光学图像稳定悬架组件的透视图；
图43示出了根据实施例的实现为集成SMA致动器组件的光学图像稳定悬架组件的侧视图；以及
图44示出了根据实施例的实现为集成SMA致动器组件的光学图像稳定悬架组件的横截面。
具体实施方式
本发明的实施例包括具有静态构件或板或者支撑构件或板、移动构件或板以及在所述静态板和所述移动板之间延伸的一个或多个形状记忆合金(SMA)元件或线的光学图像稳定(OIS)悬架。图像传感器安装到所述移动板。诸如镜头支架和可选的自动聚焦(AF)组件的镜头部件固定地安装到所述静态板或相对于所述静态板固定安装。所述SMA线可以由控制器驱动，以使所述移动板和其上的图像传感器相对于所述静态板和镜头部件围绕x-y轴移动，从而稳定镜头部件和由其产生在所述传感器上的图像的位置。因此，所述OIS悬架可以补偿诸如可能由用户的手的移动引起的振动的振动。这些类型的悬架可以被小型化，并且例如与相机镜头和结合到移动电话、平板电脑和其他设备中的成像系统一起使用。
在所附的名称为“SMA OIS传感器移位组件”(SMA OIS Sensor ShiftComponents)的文件中描述了本发明的实施例，该文件通过引用整体并入本文并用于所有目的。上面在背景技术部分中提到的专利中所描述的类型的过程和结构可以与这些实施例结合使用。传统的加成沉积和/或减成工艺(诸如湿法(例如，化学)和干法(例如，等离子体)蚀刻、电镀和无电镀以及与光刻结合的溅射工艺(例如，使用图案化和/或未图案化的光刻胶掩模))以及机械成形方法(例如，使用冲头和模具)可用于制造根据本发明的实施例的OIS悬架部件。这些类型的加成和减成工艺例如是已知的且被结合用于磁盘驱动头悬架的制造，并且大体上公开在以下美国专利中(所有这些专利都通过引用结合在本文中并用于所有目的)：Bennin等人的名称为“Head Suspension Flexure with Integrated StrainSensor and Sputtered Traces”的美国专利8,941,951、Bennin等人的名称为“LowResistance Ground Joints for Dual Stage Actuation Disk Drive Suspensions”的美国专利8,885,299、Rice等人的名称为“Integrated Lead Suspension with MultipleTrace Configurations”的美国专利8,169,746、Hentges等人的名称为“Multi-LayerGround Plane Structures for Integrated Lead Suspensions”的美国专利8,144,430、Hentges等人的名称为“Multi-Layer Ground Plane Structures for Integrated LeadSuspensions”的美国专利7,929,252、Swanson等人的名称为“Making Noble MetalConductive Leads for Suspension Assemblies”的美国专利7,388,733、Peltoma等人的名称为“Plated Ground Features for Integrated Lead Suspensions”的美国专利7,384,531以及Evans等人的名称为“Head Suspension with Resonance FeedbackTransducer”的美国专利5,862,015。
尽管结合某些实施例进行了描述，但是本领域技术人员将认识到，在不脱离本发明的精神和范围的情况下，可以在形式和细节上进行改变。特别地，尽管实施例的特征被单独描述或结合某些其他特征描述，但是所描述的实施例的特征可以与其他实施例的任何或所有特征组合。作为非限制性示例，所描述的x/y柔性电路/连接器、热管理和/或x/y位置反馈概念的任何或所有实施例可以结合到任何传感器移位机构概念中或与其组合。
图1示出了根据实施例的包括光学图像稳定悬架组件的传感器移位相机系统。所述传感器移位相机系统100包括安装在自动聚焦组件104中的镜头堆叠组件102。所述自动聚焦(“AF”)组件104包括一个或多个镜头106a-d，所述一个或多个镜头106a-d被配置为使用包括本领域已知技术的技术将图像聚焦在图像传感器108上。所述AF组件104安装在相机壳体112上。
所述AF组件104可以是音圈磁体致动器(“VCM”)AF组件或SMA致动器AF组件。VCMAF组件使用音圈磁体致动器在垂直于所述图像传感器108的纵向轴线的方向上(例如在所述传感器移位相机组件101的z轴110的方向上)产生运动，以使镜头106a-d中的一个或多个移动，从而使用包括本领域已知技术的技术将图像聚焦在所述图像传感器108上。SMA致动器AF组件使用SMA致动器在垂直于所述图像传感器108的纵向轴线的方向上(例如在所述传感器移位相机组件100的z轴110的方向上)产生运动，以使镜头106a-d中的一个或多个移动，从而使用包括本领域已知技术的技术将图像聚焦在所述图像传感器108上。
所述图像传感器108附接到光学图像稳定悬架组件114。所述光学图像稳定悬架组件114被配置为使所述图像传感器118在平行于所述图像传感器的纵向轴线120的平面中(例如在所述传感器移位相机组件100的相对于z轴110的x轴和y轴方向上)移动。使所述图像传感器108相对于所述静态镜头堆叠组件102在x和y方向上移位允许使用更长的SMA线，因为所述光学图像稳定悬架组件114不必为图像光线留出空间。使用更长的SMA线的好处是实现了更长的行程，这为所述光学图像稳定悬架组件114提供了补偿更大移动的能力。
根据各种实施例，所述光学图像稳定悬架组件114包括静态构件124(其也可以被称为静态板)和移动构件122(其也可以被称为移动板)。所述移动构件122被配置为接收所述图像传感器108。例如，所述图像传感器108在所述移动构件122上的传感器安装区域处附接到所述移动构件122。对于一些实施例，所述传感器安装区域在所述移动构件122的中心处或附近。对于各种实施例，所述图像传感器108附接到所述移动构件，使得所述图像传感器108位于所述移动构件122和所述静态构件124之间，以便减小所述光学图像稳定悬架组件114的高度，这可以减小所述传感器移位相机组件100所需的总高度。
图2示出了根据实施例的光学图像稳定悬架组件的分解图。所述光学图像稳定悬架组件214被配置为具有布置在移动构件222上并附接到移动构件222的图像传感器208。所述移动构件222包括用于将诸如SMA线212a,b的SMA元件附接到所述移动构件222的线压接部204a,b。所述SMA线212a,b位于所述移动构件222和所述静态构件224之间。所述静态构件224包括用于将SMA线212a,b附接到所述静态构件224的线压接部216a,b。根据一些实施例，所述静态构件224还包括一个或多个滑动支承部210a-d。可以使用任何数量的滑动支承部210a-d。一些实施例包括三个滑动支承部210a-d。所述滑动支承部210a-d可以由低摩擦材料制成，以实现所述移动构件222和所述滑动构件224之间的相对滑动。对于一些实施例，所述滑动支承部210a-d是滚珠支承部，所述滚珠支承部具有形成在所述静态构件224上以容纳所述滚珠支承部的特征。
对于各种实施例，所述移动构件线压接部204a,b和静态构件线压接部216a,b中的任何一个可以从相应的移动构件222和静态构件224偏移，以将所述SMA线212a,b置于所述静态构件224和移动构件222之间的不同高度处，使得所述SMA线212a,b不接触。对于另一实施例，对中弹簧被使用以抵抗所述SMA线212a,b的拉力，并被配置为将所述移动构件222向下保持在所述滑动支承部210a-d上。图3示出了图2中所示的光学图像稳定悬架组件的透视图。当使用包括本领域已知技术的技术激活所述SMA线212a,b时，产生所述移动构件222在x轴和y轴方向上的移动。对于一些实施例，向每条SMA线212a,b提供不同的电力，以使所述移动构件222在x轴和y轴方向上移动。
图4示出了根据实施例的包括对中弹簧的光学图像稳定悬架组件的分解图。所述光学图像稳定悬架组件被配置为具有布置在移动构件422上并附接到移动构件422的图像传感器408。所述移动构件422包括用于将SMA线412a,b附接到所述移动构件422的线压接部404a,b。所述SMA线412a,b位于所述移动构件422和所述静态构件424之间。所述静态构件424包括用于将SMA线412a,b附接到所述静态构件424的线压接部416a,b。根据一些实施例，所述静态构件424还包括如本文所描述的一个或多个滑动支承部410a-d。对于各种实施例，所述移动构件线压接部404a,b和所述静态构件线压接部416a,b中的任何一个可以从相应的移动构件422和静态构件424偏移，以将所述SMA线412a,b置于所述静态构件224和移动构件222之间的不同高度处，如本文所描述的那样。
所述移动构件422包括对中弹簧430a,b，例如第一对中弹簧430a和第二对中弹簧430b。其他实施例包括具有四个对中弹簧的移动构件422。所述静态构件444包括对中弹簧432a,b，例如第一对中弹簧432a和第二对中弹簧432b。其他实施例包括具有四个对中弹簧的静态构件422。所述对中弹簧430a,b和432a,b用于抵抗所述SMA线412a,b的拉力，并被配置为将所述移动构件422向下保持在所述滑动支承部410a-d上。图5示出了图4中所示的光学图像稳定悬架组件的透视图。当使用包括本领域已知技术的技术激活所述SMA线412a,b时，产生所述移动构件422在x轴和y轴方向上的移动。
图6示出了根据实施例的光学图像稳定悬架组件的对中弹簧。所述对中弹簧602包括与构件的第二移动方向(例如在y轴上的移动)对准的第二成形弹簧臂604a。所述对中弹簧602还包括与构件的第二移动方向(例如在y轴上的移动)对准的第二成形弹簧臂604b。根据各种实施例，所述第一成形弹簧臂604a和所述第二成形弹簧臂608b是90度成形的弹簧臂，使得所述第一成形弹簧臂604a和所述第二成形弹簧臂604b的纵向轴线形成90度角。所述弹簧臂与所述移动构件或所述静态构件中的一个一体形成并与其由相同的材料形成。将所述第一成形弹簧臂604a和所述第二成形弹簧臂604b形成为90度成形的弹簧臂有助于降低弹簧的刚度。所述第一成形弹簧臂604a和所述第二成形弹簧臂604b通过未成形的角部区段608彼此耦接。所述未成形的角部区段608被配置成为附接到所述线压接部的SMA线提供间隙。所述对中弹簧602还包括弹簧支脚606。所述弹簧支脚606形成为附接到相邻构件。例如，所述移动构件的成形弹簧臂的弹簧支脚606附接到所述静态构件，并且所述静态构件的成形弹簧臂的弹簧支脚606附接到所述移动构件。
图7示出了根据实施例的包括4条SMA线的光学图像稳定悬架组件的分解图。所述光学图像稳定悬架组件被配置为具有布置在移动构件722上并附接到移动构件722的图像传感器708。所述移动构件722包括用于将SMA线712a-d附接到所述移动构件722的线压接部704a-d。所述SMA线712a-d位于所述移动构件722和所述静态构件724之间。所述静态构件724包括用于将SMA线712a-d附接到所述静态构件724的线压接部716a-d。所述SMA线712a-d被配置为交叉定向但又彼此偏移，并且线压接部位于所述移动构件722和所述静态构件724中的每一个的每个角部中。两条平行的SMA线从所述光学图像稳定悬架组件的第一角部行进到第二角部并附接到相应的压接部，一端附接到静态压接部，另一端附接到移动压接部。一对中的每条线被配置为在被激活时提供相反方向的运动。这消除了依靠对中弹簧将光学图像稳定悬架组件拉回到中心位置的需要。所述SMA线712a-d被配置为彼此拉动。拉力的偏差会引起运动，如果想要将所述光学图像稳定悬架组件移回到中心部分，则所述SMA线712a-d的激活偏差改变为另一个的反向。根据一些实施例，所述静态构件724还包括如本文所描述的一个或多个滑动支承部710a-d。对于各种实施例，所述移动构件线压接部704a-d和所述静态构件线压接部716a-d中的任何一个可以从相应的移动构件722和静态构件724偏移，以将所述SMA线712a-d置于所述静态构件724和所述移动构件722之间的不同高度处，如本文所描述的那样。图8示出了图7中所示的光学图像稳定悬架组件的透视图。当使用包括本领域已知技术的技术激活所述SMA线712a-d时，产生所述移动构件722在x轴和y轴方向上的移动。
图9示出了根据实施例的包括回环状SMA线的光学图像稳定悬架组件的分解图。所述光学图像稳定悬架组件被配置为具有布置在移动构件922上并附接到移动构件922的图像传感器908。所述移动构件922包括用于将SMA线912a,b附接到所述移动构件922的线压接部904a,b。所述SMA线912a,b位于所述移动构件922和所述静态构件924之间。所述静态构件924包括用于将SMA线912a,b附接到所述静态构件924的线压接部916a,b。根据一些实施例，所述静态构件924还包括如本文所描述的一个或多个滑动支承部910a-d。根据各种实施例，每个滑动支承部910a-d配置有滑轮特征。对于一些实施例，所述滑轮特征与所述滑动支承部910a-d中的一个或多个分开。所述滑轮特征被配置为允许缠绕或接合滑轮特征(在本文中也称为销特征)的一条或多条SMA线912a,b围绕所述滑轮特征自由滑动。所述滑轮特征可以以任何配置布置，以产生所述移动板922的移动。可以使用粘合剂、焊接和本领域已知的其他技术将与所述滑动支承部分开的滑轮特征附接到构件。
对于各种实施例，所述移动构件线压接部904a,b和静态构件线压接部916a,b中的任何一个可以从相应的移动构件922和静态构件924偏移，以将所述SMA线912a,b置于所述静态构件924和所述移动构件922之间的不同高度处，如本文中所描述的那样。其他实施例配置有对中弹簧(例如本文所述的对中弹簧)。各种实施例还可以包括4条SMA线和8个线压接部(例如本文所述的那些)。图10示出了图9中所示的光学图像稳定悬架组件的透视图。当使用包括本领域已知技术的技术激活所述SMA线912a,b时，产生所述移动构件922在x轴和y轴方向上的移动。
图11a和图11b示出了用于根据一些实施例的光学图像稳定悬架组件的回环状SMA线配置。图11a示出了具有2条SMA线1112a,b的四个滑轮特征1102a-d。第一SMA线1112a的第一端附接到静态构件上的第一线压接部1116a(也称为静态压接部)。所述第一SMA线1112a缠绕所述静态构件上的第一滑轮特征1102a和所述静态构件上的第二滑轮特征1102b(所述静态构件上的第一滑轮特征1102a和所述静态构件上的第二滑轮特征1102b中的每一个也被称为静态滑轮特征)。所述第一SMA线1112a的第二端附接到所述移动构件上的第二线压接部1116b(也称为移动压接部)。当使用诸如本领域已知技术(包括向所述SMA线施加电压、电流或热量)的技术激活所述SMA线1112a时，该配置导致拉动运动。
第二SMA线1112b的第一端附接到所述静态构件上的第二线压接部1116c(也称为静态压接部)。所述第二SMA线1112b缠绕所述静态构件上的第三滑轮特征1102c(也称为静态滑轮特征)和所述移动构件上的第四滑轮特征1102d(也称为移动滑轮特征)。所述第二SMA线1112b的第二端附接到所述移动构件上的第二线压接部1116d(也称为移动压接部)。当使用诸如本领域已知技术(包括向所述SMA线施加电压、电流或热量)的技术激活所述SMA线1112a时，该配置导致推动运动。
图11b示出了具有2条SMA线1114a,b的两个滑轮特征1104a,b。第一SMA线1114a的第一端附接到静态构件上的第一线压接部1118a(也称为静态压接部)。所述第一SMA线1114a缠绕所述静态构件上的第一滑轮特征1104a(也称为静态滑轮特征)。所述第一SMA线1114a的第二端附接到所述移动构件上的第二线压接部1118b(也称为移动压接部)。当使用诸如本领域已知技术(包括向所述SMA线施加电压、电流或热量)的技术激活所述SMA线1114a时，该配置导致推动运动。
第二SMA线1114b的第一端附接到所述静态构件上的第二线压接部1118c(也称为静态压接部)。所述第二SMA线1114b缠绕所述移动构件上的第二滑轮特征1104b(也称为移动滑轮特征)。所述第二SMA线1114b的第二端附接到所述移动构件上的第二线压接部1118d(也称为移动压接部)。当使用诸如本领域已知技术(包括向所述SMA线施加电压、电流或热量)的技术激活所述SMA线1114b时，该配置导致拉动运动。
图11a和图11b中所示的SMA线和滑轮特征配置中的一个或多个可以用于根据一些实施例的光学图像稳定悬架组件，以使移动构件在沿纵向轴线和横向轴线的方向上(例如，在x轴和y轴方向上)移动。因此，安装到所述移动构件的图像传感器可以移动，以抵消由包括光学图像稳定悬架组件的相机系统的移动导致的任何外力。
图12示出了根据实施例的光学图像稳定悬架组件的横截面。所述光学图像稳定悬架组件被配置为具有布置在移动构件1222上并附接到移动构件1222的图像传感器。所述移动构件1222包括用于将SMA线1212a,b附接到所述移动构件1222的线压接部1204a,b。所述SMA线1212a,b位于所述移动构件1222和所述静态构件1224之间。所述静态构件1224包括用于将SMA线1212a,b附接到所述静态构件1224的线压接部1216a,b。根据一些实施例，所述静态构件1224还包括如本文所述的一个或多个滑动支承部1210。可以使用任何数量的滑动支承部1210和任何配置。
如本文所述，所述移动构件线压接部1204a,b和所述静态构件线压接部1216a,b中的一个或多个可以从相应的移动构件1222和静态构件1224中的任一个或两个偏移，以将所述SMA线1212a,b置于所述静态构件1224和所述移动构件1222之间的不同高度或z轴偏移处，使得所述SMA线1212a,b不接触。如图12的横截面所示，所述移动构件1222上的第一线压接部1204a形成为与所述移动构件1222上的第二线压接部1204b在垂直于所述移动构件1222的面1230的轴线上具有偏移(例如，在z轴方向上的偏移)。所述线压接部1204a,b中的偏移导致所述SMA线1212a,b的线偏移1240。该偏移可以用于防止SMA线1212a,b在所述SMA线1212a,b中的一个或两个的激活期间彼此干扰。
图13示出了根据实施例的实现为方形线传感器组件的光学图像稳定悬架组件。所述光学图像稳定悬架组件被配置为具有布置在移动构件1322上并附接到移动构件1322的图像传感器1308。所述移动构件1322包括用于将SMA线1312a-d附接到所述移动构件1322的线压接部1304a-d。所述SMA线1312a-d位于所述移动构件1322和所述静态构件1324之间。所述静态构件1324包括用于将SMA线1312a-d附接到所述静态构件1324的线压接部1316a-d。根据一些实施例，所述静态构件1324还包括一个或多个滑动支承部1310a-c。可以使用任何数量的滑动支承部1310a-c。一些实施例包括三个滑动支承部1310a-c。所述滑动支承部1310a-c可以由低摩擦材料制成，以更好地实现所述移动构件1322和所述滑动构件1324之间的相对滑动。对于一些实施例，所述滑动支承部1310a-c是滚珠支承部，所述滚珠支承部具有形成在静态构件1324上以容纳所述滚珠支承部的特征。
根据各种实施例，所述方形线传感器组件被配置为具有安装在所述方形线传感器组件的周边上的四条SMA线1312a-d。所述四条SMA线1312a-d彼此拉动以使所述移动构件1322返回到中心位置。与在所述移动构件和所述静态构件之间具有SMA线的光学图像稳定悬架组件相比，使所述SMA线1312a-d安装在周边上允许所述移动构件1322更靠近所述静态构件1324。因此，可以实现更薄的相机轮廓。此外，对于一些实施例，所述移动构件1322的中心部分1342配置为装配在所述静态构件1324内的空腔1344(也称为z向高度空间(例如，所述移动构件中的凹部或凹口中))内。所述方形线传感器组件的一些实施例可以包括可选的基底构件1340。对于这样的实施例，所述中心部分1342可以配置成装配在形成于所述基底构件1340内的空腔1346内。
根据一些实施例，所述方形线传感器组件可选地包括弹簧臂1348a,b。弹簧臂1348a,b形成在所述移动构件1322上并且配置为有助于所述移动构件1322对中，并且还可以配置为将所述移动构件1342保持抵靠在所述滑动支承部1310a-c上。例如，所述弹簧臂1348a,b被配置为当所述SMA线1312a-d未被激活时有助于将所述移动构件移动到所述方线传感器组件的中心位置。对于一个实施例，所述弹簧臂1348a,b包括拱形部分并且配置为在所述移动构件1342和所述静态构件1344之间延伸。
图14示出了图13中所示的光学图像稳定悬架组件的透视图。当使用包括本领域已知技术的技术激活所述SMA线1312a-d时，产生所述移动构件1322在x轴和y轴方向上的移动。对于一些实施例，向每对平行的SMA线212a-d提供不同的电力，以使所述构件1322在x轴和y轴方向上移动。
图15示出了根据实施例的实现为弓形传感器组件的光学图像稳定悬架组件。所述光学图像稳定悬架组件被配置为具有布置在移动构件1522上并附接到移动构件1522的图像传感器1508。所述移动构件1522包括位于所述移动构件的角部外侧的销特征1504a-d(在本文中也称为滑轮特征)。所述销特征1504a-d被配置为使四条SMA线1512a-d中的至少一条缠绕销特征1504a-d。所述SMA线1512a-d位于所述静态构件1524的周边上。所述静态构件1524包括八个线压接部1516a-h，所述线压接部1516a-h用于将四条SMA线1512a-d附接在所述线压接部1516a-h之间。根据一些实施例，所述静态构件1524还包括一个或多个滑动支承部1510a-d。可以使用任何数量的滑动支承部1510a-d。一些实施例包括三个滑动支承部1510a-d。所述滑动支承部1510a-c可以由低摩擦材料制成，以更好地实现所述移动构件1522和所述滑动构件1524之间的相对滑动。对于一些实施例，所述滑动支承部1510a-d是滚珠支承部，所述滚珠支承部具有形成在静态构件1524上以容纳所述滚珠支承部的特征。
根据各种实施例，所述弓形传感器组件被配置为具有安装在所述弓形传感器组件的周边上的四条SMA线1512a-d。所述四条SMA线1512a-d彼此拉动以使所述移动构件1522返回到中心位置。与在所述移动构件和所述静态构件之间具有SMA线的光学图像稳定悬架组件相比，使所述SMA线1512a-d安装在周边上允许所述移动构件1522更靠近所述静态构件1524。因此，可以实现更薄的相机轮廓。
图16示出了图15中所示的弓形传感器组件的透视图。当使用包括本领域已知技术的技术激活所述SMA线1512a-d时，产生所述移动构件1522在x轴和y轴方向上的移动。根据一些实施例，当SMA线1512a-d被激活并收缩时，所述SMA线1512a-d对其缠绕的销特征施加法向力。作用在所述SMA线缠绕的相应销特征1504a-d上的、在4条SMA线1512a-d之间施加的不同大小的力用于使所述移动部件1522在x轴和y轴方向上移动。使所述SMA线1512a-d缠绕相应的销特征1504a-d增加了所述SMA线1512a-d的长度，这增加了行程。由于所述行程的增加，因此随着在所述线被激活时所述SMA线1512a-d的长度的收缩，所述移动板将移动增加的距离量。
图17示出了根据实施例的实现为双金属致动器的光学图像稳定悬架组件。所述光学图像稳定悬架组件被配置为具有布置在移动构件1722上并附接到移动构件1722的图像传感器。所述移动构件1722包括位于所述移动构件1722外侧的弹簧臂1704a-d。根据各种实施例，所述弹簧臂1704a-d通过相应的支柱1706a-d与所述移动构件1722耦接。诸如SMA材料1708a-d的SMA元件被施加到所述弹簧臂1704a-d中的每一个。所述SMA材料1708a-d使用粘合剂、焊料、激光焊接、电阻焊接和其他包括本领域已知技术的技术附接到所述弹簧臂1704a-d。对于包括由诸如不锈钢的导电材料形成的弹簧臂1704a-d的一些实施例，所述SMA材料1708a-d使用包括本领域已知技术的技术布置在形成于所述弹簧臂1704a-d上的绝缘层上。对于其他实施例，所述SMA材料可以仅在所述SMA材料的端部处电附接到所述弹簧臂且在结构上附接到所述弹簧臂，并且所述SMA材料的中心区域相对于所述弹簧臂自由(即未附接到所述弹簧臂)。在所述中心区域自由使得所述SMA材料在所述弹簧臂将弯成弧形的致动期间拉直。所述弹簧臂可以包括电路，所述电路用于驱动电力通过所述SMA材料以便致动(也称为激活)。
所述SMA材料1708a-d可以施加到弹簧臂1704a-d的任一侧，即，可以施加到所述弹簧臂1704a-d的面向所述移动构件1722的一侧或所述弹簧臂1704a-d的背向所述移动构件1722的面上。对于一些实施例，SMA材料1708a-d被施加到弹簧臂1704a-d的两侧。
所述SMA材料1708a-d在受热时将使所述弹簧臂1704a-d弯曲，导致所述移动构件1722在x轴和y轴方向上移动。可以使用控制器以向所述弹簧臂1704a-d中的一个或多个上的SMA材料施加协调的动力，以提供所述移动构件1722在x轴和y轴上的全运动。图18示出了在使用本领域已知的技术加热SMA材料并使其从冷态转变为热态然后又返回到冷态时SMA材料的示例性移动。例如，可以使用电流加热所述SMA材料1704a-d。
所述弹簧臂1704a-d还包括静态支脚1710a-d。所述静态支脚1710a-d被配置为附接到静态构件，使得当所述SMA材料1704a-d被激活时，所述移动构件1722相对于所述静态构件移动。
图19示出了根据实施例的实现为双金属致动器的光学图像稳定悬架组件。类似于参考图17描述的双金属致动器，所述双金属致动器包括彼此成90度成形的四个弹簧臂。这降低了其在x轴和y轴方向上的刚度，从而对x轴和y轴方向上的移动具有低阻力，并且在垂直于所述移动构件1922的轴线(z轴)方向上提供高刚度。对于各种实施例，所述弹簧臂形成为宽的。该宽弹簧臂允许在所述弹簧臂的顶部形成多条迹线。对于一些实施例，每个弹簧臂包括8条迹线和位于每个弹簧臂的端部处的8个静态电焊盘，总共32条迹线。然而，可以在所述弹簧臂迹线上形成任何数量的迹线和电焊盘。对于一些实施例，所述迹线朝向所述移动构件1922的中心布线以连接到图像传感器。图19示出了由连续形成的90度区段形成的弹簧臂。其他实施例包括由多个区段(沿着所述弹簧臂的工作长度由未成形区段隔开的90度成形区段)形成的弹簧臂。图20示出了根据实施例的处于扁平的预成形状态的双金属致动器。所述双金属致动器类似于参考图17和图19描述的双金属致动器。所述双金属致动器的最终形式是从扁平状态形成为如图17和图19中所示的双金属致动器的双金属致动器而形成的。
图21示出了根据实施例的用于光学图像稳定悬架组件的半滚筒形中介层。根据一些实施例，所述半滚筒形中介层被集成到如本文所描述的移动构件的移动构件中。对于其他实施例，所述半滚筒形中介层是与移动构件分开的部件并且被配置为附接到移动构件。所述半滚筒形中介层包括一个或多个柔性电路，每个柔性电路具有从侧面突出并弯曲180度的多条迹线。所述180度弯曲使得所述移动构件柔性地沿着x轴和y轴方向移动。对于一些实施例，所述180度弯曲形成线可以相对于x和y轴成45度角。这将对x轴和y轴上的移动提供低且均匀的阻力。所述柔性电路上的电路迹线连接到位于半滚筒形中介层的顶部上的图像传感器周围的焊盘。所述柔性电路被配置为在x轴和y轴方向上的移动期间滚卷和扭曲。所述柔性电路包括连接到所述半滚筒形中介层下方的静态电路的焊盘。此外，诸如本文所描述的SMA线和弹簧臂的SMA线和弹簧臂可以结合到所述半滚筒形中介层中。图22示出了在形成为如图21中所示的半滚筒形中介层的最终状态之前处于扁平状态的半滚筒形中介层。
图23示出了根据实施例的用于光学图像稳定悬架组件的包括45度角弯曲的中介层。所述中介层包括从一侧突出的四个柔性电路(例如本文所描述的那些)。所述柔性电路相对于所述移动构件的平面中的x轴和y轴以45度形成线形成。对于一些实施例，所述柔性电路在弯曲区域中具有减小的柔性电路的厚度，以进一步降低x轴和y轴上的刚度，从而提供在x轴和y轴方向上更容易的移动。图24示出了根据实施例的用于光学图像稳定悬架组件的包括45度角弯曲的、具有从所述中介层的四侧突出的柔性电路(如本文中所描述的那些)的中介层。中介层可以配置成具有从所述中介层的一到四侧突出的柔性电路。图25示出了在形成为如图24中所示的中介层的最终状态之前处于扁平状态的具有从所述中介层的四侧突出的柔性电路的中介层。
图26示出了根据实施例的光学图像稳定悬架组件的包括散热器特征的移动构件的底侧。所述散热器特征2502位于图像传感器2508附接到所述移动构件2522的区域的下方，并且被配置为有助于从围绕所述图像传感器2508的区域移除热量。所述散热器特征2502可以由各种设计的金属蚀刻或冲压凹槽形成。散热器特征还可以包括单独的高导热材料，所述高导热材料利用导热粘合剂或焊料附接到移动构件的底侧。高导热镀层金属可以位于其上附接有图像传感器的移动构件的顶侧和/或底侧。对于一些实施例，可以在所述移动构件中形成通孔，因此高导热镀层金属可以更有效地将热量从顶侧传导到底侧散热器特征。图27示出了根据实施例的光学图像稳定悬架组件的包括散热器特征的移动构件的底部的横截面视图。图28示出了根据实施例的光学图像稳定悬架组件的包括散热器特征和导热镀层2510的移动构件的顶部的横截面视图。所述导热镀层2510可以是金、镍、铜或其他有助于从所述图像传感器2508传导热量的材料。根据一些实施例，除了所述散热器特征之外，所述移动构件2522包括形成在所述移动构件2522中的通孔，因此导热镀层2510可以更有效地将热量从顶侧传导到底侧散热器特征2502。
图29示出了根据实施例的光学图像稳定悬架组件的包括通孔和导热镀层的移动构件。通孔2802形成在光学图像稳定悬架组件的移动构件2822的基底金属中，以产生远离图像传感器2808的热路径。对于一些实施例，所述通孔2802形成在所述图像传感器2808的位置下方。所述导热镀层2810布置在所述移动构件2822的顶侧和底侧上以及所述通孔2802内，以形成远离所述图像传感器2808的热路径。
图30示出了根据实施例的包括一个或多个霍尔传感器的光学图像稳定悬架组件。所述光学图像稳定悬架组件包括配置为使用包括本文所述技术的技术移动图像传感器2908的移动构件2922和静态构件2924。所述光学图像稳定悬架组件还包括放置在所述移动构件2922上的一个或多个霍尔传感器2904。一个或多个磁体2906靠近相应的霍尔传感器2904放置在所述静态构件2924上。对于一些实施例，所述霍尔传感器2904位于所述移动构件2922上的靠近在自动聚焦组件中使用的磁铁的地方。其他实施例包括附接到所述静态构件2924的一个或多个霍尔传感器以及附接到所述移动构件2922的一个或多个磁体。通过使用所述一个或多个霍尔传感器2904使用包括本领域已知技术的技术感测由所述一个或多个磁体2906产生的磁场强度的变化来确定所述移动构件2922相对于所述静态构件2924的位置。
图31示出了根据实施例的包括作为移动传感器的一个或多个电容探针的光学图像稳定悬架组件的分解图。所述光学图像稳定悬架组件包括被配置为使用包括本文所述技术的技术来移动图像传感器3008的移动构件3022和静态构件3024。所述光学图像稳定悬架组件还包括一个或多个电容探针。所述电容探针具有形成在所述移动构件3022上的第一部分3004和形成在所述静态构件3024上的第二部分3006。所述电容探针的第一部分3004和第二部分3006由诸如镀铜和镀金的导电材料形成。所述第一部分3004和所述第二部分3006可以是圆形、矩形或三角形的。这些形状可以设计成增加当所述移动构件3022在一个方向上而不是在另一个方向上移动时观察到的电容变化量。因此，可以将一个电容探针设计为仅感测沿x轴的运动，而另一个电容探针可以感测沿y轴的运动。通过产生所述第一部分3004和第所述二部分3006之间的重叠区域的变化来确定运动。例如，电容变大意味着所述移动构件3022相对于所述静态构件3024在一个方向上移动。电容变小(如图所示在图32中)意味着所述移动构件3022相对于所述静态构件3024在相反方向上移动。如图33所示，当所述第一部分3004和所述第二部分3006的重叠区域对于每个电容器探针都是相同的时，电容大致相同，表示所述光学图像稳定悬架组件的标称或中心位置。
根据实施例，使用柔性电路或连接器将电引线或迹线连接到所述电容探针的第一部分3004和第二部分3006。可以调节所述移动构件3022和所述静态构件3024之间的距离以达到期望的标称电容值。电容器探针的两块板之间的距离减小将提供更高的电容。当所述移动构件3022在x轴和y轴方向上移动时，该距离将保持恒定。
图34示出了根据实施例的包括作为移动传感器的应变计的光学图像稳定悬架组件。所述光学图像稳定悬架组件包括移动构件3322，所述移动构件3322包括根据本文描述的实施例的弹簧臂，并且被配置为使用包括本文所述技术的技术移动图像传感器。所述光学图像稳定悬架组件包括附接到所述弹簧臂中的一个或多个的一个或多个应变计传感器3304。对于一些实施例，应变计传感器3304附接到弹簧臂的高应力区域。当所述移动构件3322移动时，所述弹簧臂将具有应变，该应变可以通过附接到其上或者构建在其顶部上的应变计测量。通过从多个应变计读取各种应变量，可以例如使用具有算法的控制器确定全x/y位置。这种应变计传感器3322包括与诸如Bennin等人的美国专利8,941,951和Evans等人的美国专利5,862,015中描述的传感器类似的传感器，以及由诸如Bennin等人的美国专利8,941,951和Evans等人的美国专利5,862,015中描述的工艺制造的传感器。
移动传感器的另一实施方式包括使用具有图像控制跟踪算法的镜头基准的反馈位置传感器。根据一些实施例，所述镜头在x轴和y轴方向上是静态的。在相机系统的镜头中的一个上形成可以由所述图像传感器观察到的标记或基准。例如，所述基准可以位于镜头的远边缘上，并因此位于所述图像传感器上的图像圆的远边缘上，并在从保存的图像中裁剪出的图像区域中。另一示例包括在相机系统中的结构上而不是在所述镜头上具有位于所述图像传感器的感测范围内的基准。相机的控制器被配置为跟踪所述一个或多个基准的位置以确定其正在使用传感器的哪个像素。一个或多个基准的位置将通过所述控制器反馈到所述光学图像稳定悬架组件，以移动所述组件以进行位置校正。
图35示出了根据实施例的实现为双金属致动器的光学图像稳定悬架组件的分解图。这种双金属致动器是具有作为移动传感器的传感器移位迹线的集成SMA双晶型X/Y致动器。如图35所示，所述集成SMA双晶型X/Y致动器在所述集成SMA双晶型X/Y致动器3504的每个角部中包括2个SMA致动器3502。所述集成SMA双晶型X/Y致动器3504被配置为搁置在基底构件3524上的一个或多个滑动支承部3510上。可以使用任何数量的滑动支承部3510。一些实施例包括三个滑动支承部3510。所述滑动支承部3510可由低摩擦材料制成，以更好地实现所述集成SMA双晶型X/Y致动器3504和所述基底构件3524之间的相对滑动。对于一些实施例，滑动支承部3510是滚珠支承部，所述滚珠支承部具有形成在基底构件224上以容纳所述滚珠支承部的特征。图36示出了图35中所示的实现为双金属致动器的光学图像稳定悬架组件的透视图。
图37示出了根据实施例的双金属致动器的包括位于内导轨上的双晶型致动器3504、位于外导轨上的柔性迹线布线3506以及诸如本文所述移动传感器的移动传感器的区段。所述迹线布线3506被配置为将电信号传输到包括发送给双晶型致动器3504的激活信号的部件。所述集成SMA双晶型X/Y致动器3504的每个角部中的一对双晶型致动器3504使用SMA材料形成，当使用本文所描述的技术被激活时，所述SMA材料产生如图38所示的移动部分3602。图38示出了根据实施例的双金属致动器的俯视图，该双金属致动器包括移动部分3602和固定部分3604。所述固定部分附接到所述基底构件3524。所述固定部分3604通过包括但不限于粘合剂和焊料的技术附接到所述基底构件3524。因此，所述移动部分3602被配置为相对于所述固定部分3604和所述基底构件3524在x轴和y轴方向上移动。此外，诸如本文所述移动传感器的移动传感器也被集成到集成SMA双晶型X/Y致动器3504中。图39示出了用于使用包括本领域已知技术的蚀刻和沉积技术形成所述集成SMA双晶型X/Y致动器的布局图案。
图40示出了根据实施例的实现为集成SMA致动器组件的光学图像稳定悬架组件的分解图。所述集成SMA致动器组件包括使用本文所描述的技术集成到所述SMA致动器构件4022中的线压接部、迹线和传感器。所述光学图像稳定悬架组件被配置为具有布置在SMA致动器构件4022上并附接到SMA致动器构件4022的图像传感器。所述SMA致动器构件4022包括用于使用包括本文所述技术的技术将4条SMA线4012附接到所述SMA致动器构件4022的线压接部4004。根据一些实施例，线压接部4004被配置为一个或多个压接部子组件，其中每个压接部子组件包括静态压接部和移动压接部。所述SMA致动器构件4022被配置为附接到基底构件4024。根据一些实施例，所述基底构件4024还包括如本文所述的一个或多个滑动支承部4010。可以使用任何数量的滑动支承部4010和任何配置。
图41示出了如图40所示的实现为集成SMA致动器组件的光学图像稳定悬架组件的透视图。所述SMA致动器构件4022包括位于所述SMA致动器构件4022的相对侧上的迹线终端焊盘，所述迹线终端焊盘用于通过所述构件上的迹线提供电信号。图42示出了根据实施例的实现为集成SMA致动器组件的光学图像稳定悬架组件的透视图。所述SMA致动器包括形成在弹簧臂上的迹线导轨4220，所述弹簧臂被配置为使用包括本文所述技术的技术使所述SMA致动器对中。对于一些实施例，所述迹线导轨4220包括位于两个弹簧臂中的每一个上的16条轨迹。图43示出了根据实施例的实现为集成SMA致动器组件的光学图像稳定悬架组件的侧视图。根据一些实施例，所述迹线导轨4220以90度角形成，以降低x轴和y轴方向上的刚度。图44示出了根据实施例的实现为集成SMA致动器组件的光学图像稳定悬架组件的横截面。所述集成SMA致动器包括移动部分4006和固定部分4008。所述固定部分4008附接到所述基底构件4024。所述固定部分4008通过包括但不限于粘合剂和焊料的技术附接到所述基底构件4024。因此，所述移动部分4006被配置为相对于所述固定部分4008和所述基底构件4024在x轴和y轴方向上移动。此外，诸如本文所述传感器的移动传感器也被集成到集成致动器中。
尽管已经参考不同的实施例描述了本发明，但是本领域技术人员将认识到，在不脱离本发明的精神和范围的情况下，可以在形式和细节上进行改变。例如，尽管被描述为双相机组件，但是本发明的其他实施例被配置用于三个或更多个相机。所示的不同实施例的特征可以在其他实施例中彼此组合。因此，说明书和附图应被视为说明性的而非限制性的。

Claims (37)

1.一种悬架组件，包括：
静态构件；
能够相对于所述静态构件围绕x轴和y轴移动的移动构件；
位于所述移动构件上的传感器安装区域，所述传感器安装区域与所述移动构件是一体的，所述移动构件被配置为使所述传感器安装区域相对于一个或多个镜头移位；以及
一个或多个SMA元件，所述SMA元件即形状记忆合金元件，所述一个或多个SMA元件在所述静态构件和移动构件之间延伸并耦接到所述静态构件和移动构件，其中所述SMA元件在被控制器驱动时使所述移动构件及其上的所述传感器安装区域相对于所述静态构件围绕x轴和y轴移动。
2.如权利要求1所述的悬架组件，还包括在所述传感器安装区域处安装到所述移动构件的图像传感器。
3.如权利要求1-2中任一项所述的悬架组件，还包括相对于所述静态构件围绕所述x轴和所述y轴固定地安装的镜头。
4.如权利要求3所述的悬架组件，还包括相对于所述静态构件围绕所述x轴和所述y轴固定地安装的自动聚焦机构。
5.如权利要求1所述的悬架组件，其中，所述传感器安装区域位于由所述静态构件和移动构件限定的z向高度空间内。
6.如权利要求1所述的悬架组件，其中，所述SMA元件包括彼此交叉延伸并且位于所述传感器安装区域下方的至少两条SMA线。
7.如权利要求6所述的悬架组件，其中，彼此交叉延伸的所述至少两条SMA线在z向高度方向上彼此间隔开。
8.如权利要求6-7中任一项所述的悬架组件，其中，所述至少两条SMA线包括位于所述传感器安装区域下方的两对SMA线，其中，每一对中的SMA线与另一对中的SMA线交叉。
9.如权利要求1所述的悬架组件，还包括位于所述静态构件和移动构件中的一个或两者上的一个或多个滑轮，其中，每个滑轮由至少一个SMA元件接合。
10.如权利要求1、2、5-7和9中任一项所述的悬架组件，还包括将所述移动构件耦接到所述静态构件的一个或多个弹簧。
11.如权利要求10所述的悬架组件，其中，所述弹簧中的一个或多个包括弹簧臂。
12.如权利要求11所述的悬架组件，其中，所述一个或多个弹簧臂与所述移动构件和所述静态构件中的一个集成并且与其由相同的材料形成。
13.如权利要求10所述的悬架组件，其中，所述弹簧中的一个或多个成形为或配置成为所述SMA元件中的一个或多个提供间隙。
14.如权利要求1所述的悬架组件，其中，所述SMA元件位于所述传感器安装区域的周边外侧的空间中。
15.如权利要求14所述的悬架组件，包括位于所述静态构件上的弓形SMA元件，以及位于所述移动构件上的由所述SMA元件接合的销。
16.如权利要求1所述的悬架组件，其中：
所述悬架组件还包括一个或多个弹簧臂，所述一个或多个弹簧臂包括拱形部分并且在所述移动构件和所述静态构件之间延伸；并且
所述一个或多个SMA元件包括位于所述一个或多个弹簧臂的所述拱形部分上的SMA材料，以形成双金属致动器。
17.如权利要求16所述的悬架组件，其中：
所述弹簧臂具有主表面，所述弹簧臂的主表面垂直于所述移动构件的主表面；并且
所述SMA材料位于所述弹簧臂的主表面上。
18.如权利要求17所述的悬架组件，其中，所述一个或多个弹簧臂与所述移动构件和所述静态构件中的一个集成并且与其由相同的材料形成。
19.如权利要求1、2、5-7和9中任一项所述的悬架组件，还包括：
从所述移动构件延伸的一个或多个弹簧臂；以及
位于所述弹簧臂上的电迹线；并且
其中，所述悬架组件还包括位于所述电迹线和所述弹簧臂之间的绝缘层。
20.如权利要求19所述的悬架组件，其中，所述弹簧臂是金属的。
21.如权利要求19所述的悬架组件，其中，所述一个或多个弹簧臂与所述移动构件集成并且与其由相同的材料形成。
22.如权利要求21所述的悬架组件，其中，所述弹簧臂包括弯曲。
23.如权利要求1、2、5-7和9中任一项所述的悬架组件，还包括一个或多个柔性电路连接器，所述一个或多个柔性电路连接器包括从所述移动构件延伸的电迹线。
24.如权利要求23所述的悬架组件，其中，所述一个或多个柔性电路连接器与所述移动构件集成。
25.如权利要求23所述的悬架组件，其中，所述一个或多个柔性电路连接器具有一个或多个成角度弯曲。
26.如权利要求25所述的悬架组件，其中，所述弯曲为45度。
27.如权利要求1所述的悬架组件，还包括位于所述移动构件上的散热器。
28.如权利要求27所述的悬架组件，其中，所述散热器包括：位于所述移动构件上的成形散热器特征中的一个或多个；位于所述移动构件上的导热材料；以及延伸通过所述移动构件的一个或多个导热材料通孔。
29.如权利要求28所述的悬架组件，其中，所述导热材料为镀层。
30.如权利要求1所述的悬架组件，还包括位于所述静态构件和移动构件中的一个或两者上的一个或多个位置感测元件。
31.如权利要求30所述的悬架组件，其中，所述一个或多个位置感测元件包括霍尔传感器和磁体中的一个或两者。
32.如权利要求30所述的悬架组件，其中，所述一个或多个位置感测元件包括电容探针。
33.如权利要求30所述的悬架组件，其中，所述悬架组件还包括：
将所述移动构件耦接到所述静态构件的一个或多个弹簧臂；以及
位于所述弹簧臂中的一个或多个上的应变计。
34.如权利要求1所述的悬架组件，包括一个或多个支承部，所述支承部使得所述移动构件能够相对于所述静态构件移动。
35.如权利要求13所述的悬架组件，其中，SMA材料仅在所述SMA元件的两个端部上电附接到且在结构上附接到所述SMA元件中的一个或多个，并且在所述SMA元件的中间部分自由。
36.如权利要求1所述的悬架组件，其中，所述移动构件可围绕z轴在x轴和y轴上移动。
37.如权利要求1所述的悬架组件，其中，所述静态构件为静态板且所述移动构件为移动板。
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