JP4264041B2

JP4264041B2 - 磁気ヘッド位置決め用アクチュエータ装置及びその製造方法

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Publication number: JP4264041B2
Application number: JP2004258248A
Authority: JP
Inventors: 亨水野; 博池田; 哲山口
Original assignee: SAE Magnetics HK Ltd
Current assignee: SAE Magnetics HK Ltd
Priority date: 2004-09-06
Filing date: 2004-09-06
Publication date: 2009-05-13
Anticipated expiration: 2024-09-06
Also published as: JP2006073147A

Description

本発明は、磁気ヘッドスライダ、光ヘッド素子等のコア部材を担持し、当該部材の微小位置決めを行うアクチュエータ装置及び当該アクチュエータ装置の製造方法に関する。また、本発明は更に、当該アクチュエータ装置を内蔵するヘッドジンバルアセンブリ(以下HGAと述べる)及び当該HGAを備えるディスク装置にも関する。

近年、いわゆる磁気ディスク装置の大容量化及び高記録密度化が進められており、これに対応して記録媒体においてはいわゆるトラック幅の狭隘化が進められている。実際に記録媒体に対する情報の記録再生を行う磁気ヘッドスライダは、他端がボイスコイルモータ(以下VCMと述べる)によって回動可能に支持されるHGAにおいて、その一端に配置されている。しかし、トラック幅の狭隘化に伴って、従来のVCMのみでは、磁気ヘッドスライダを所定のトラックに対して正確に位置決めすることが困難となりつつある。

このため、HGA上の磁気ヘッド支持部分に微小なアクチュエータ装置を付加的に搭載し、このアクチュエータ装置を用いて微細且つ正確な位置決めを行う方法が提案されている。アクチュエータ装置としては、サスペンションと磁気ヘッドスライダとの間に例えば略I字形状の圧電素子を配置し、当該素子を駆動して磁気ヘッドスライダを変位させるピギーバック型、及びロードビーム上に一対の圧電素子を搭載し、これらが互い補助し合うように駆動することでロードビームを変位させるロードビーム型が知られている。ピギーバック型の装置としては特許文献１或いは２に開示されるものが、またロードビーム型の装置としては特許文献３或いは４に開示されるものが例示できる。

しかしながら、これら形式からなるアクチュエータ装置は、耐衝撃性が低いこと、組立時の取り扱い或いは正確な取り付けが難しく生産性に劣ること等により、構成上の改善或いは更なる構造からなるアクチュエータ装置の構築が求められている。このような状況に答え、近年開発されたアクチュエータ装置として特許文献５に例示されるアクチュエータ装置がある。該アクチュエータ装置は、一枚の金属板からなる部材を梯子状に切り出し且つこれを立体的に折り曲げたものと、この金属板に固定される一対の圧電素子とから構成されている。該構成においては、金属板からなる部材をアクチュエータ装置本体として用いることによって、耐衝撃性等の向上が期待される。

ここで、金属板からなる部材は、梯子状の両側部を向かい合わせるように折り曲げてなるコの字状とされている。コの字状の向かい合う側部の外側の面には、各々圧電素子が貼り付けられている。向かい合う側部を連結する部分は複数箇所あり、その一の連結部分に対して磁気ヘッドスライダが固着され、他の連結部分がサスペンションに対して固定される。一対の圧電素子が各々伸縮することにより、コの字状の向かい合う側部がその対向する方向において各々移動し、結果として連結部分に固着された磁気ヘッドスライダの駆動が行われる。

特開平６−２５９９０５号公報特開平６−３０９８２２号公報特開２００２−０７４８７０号公報特開２００２−１３３８０３号公報特開２００２−２９８５２６号公報

前述した、コの字状に折り曲げた金属板を用いた構成の場合、実際のアクチュエータ装置を得るために、当該金属板に対して、一対の薄板状の圧電素子を貼り付ける必要がある。ここで、例えばステンレスからなる該金属板の厚さはおよそ0.05mmである。また、コの字状とした場合の向かい合う側部同士の間隔はおよそ0.9mmであり、側部各々の幅はおよそ0.23mmであり、長さが1.6mmであり、実際には非常に小さな部材として構成されている。圧電素子は、側部の外側面に対して接着剤を塗布し、該接着剤によって金属板からなる部材に貼り付けられている。該接着剤は、微小領域である側部外側面の中の所定領域に正確且つ適切な量を塗布する必要がある。また、圧電素子も、側部外側面に対して正確に位置決めされた状態にて接着剤上に固定されることを要する。

さらに、このような工程は片側の側部に対してまず行い、該片側側部に対する圧電素子の固定が完了した後に金属板からなる部材を反転させ、再度他方の片側側部に対して同一の作業が行われなければならない。このような工程においては、両側部に対して圧電素子を正確且つ均等に固定することは、事実上困難である。従って、生産性を向上させることが難しく、生産装置を構築しようとした場合該装置自体が非常に高価なものとなると考えられる。

このような工程の代替案として、金属板をコの字状に折り曲げる前に、圧電素子を該金属板に貼付け、その後金属板を折り曲げる工程が考えられる。しかし、この場合、曲げ工程において圧電素子に負荷がかかり圧電素子が破損する、或いは圧電素子の存在によって曲げ位置が不正確となる等の問題が生じる可能性がある。また、曲げ操作によって接着部分に対して負荷がかかり、接着強度が低下する恐れもある。

本発明は、上述した状況に鑑みて為されたものであり、金属板等からなる部材を主たる構成として用いるアクチュエータ装置であって、製造が容易であり、且つ圧電素子等にかかる負荷を低減することを可能とするアクチュエータ装置の提供を目的とする。また、本発明は、簡易且つ安価な構成からなる製造装置によってもアクチュエータ装置を製造可能とするアクチュエータ装置の製造方法を提供することを目的とする。

上記課題を解決するために、本発明に係るアクチュエータ装置は、固定部となる平板状の第一平板部と、第一平板部と所定方向に並び且つ第一平板部と平行な面内に存在する可動部となる平板状の第二平板部と、第一平板部及び第二平板部が含まれる面に対して所定の角度を維持して立ち上がるように延在して、第一平板部の両側辺の各々と一対の第一連結部を介して繋がると共に、第二平板部の両側辺の各々とも一対の第二連結部を介して繋がる一対の側部と、一対の側部各々に対して固定された一対の駆動部材とを有し、一対の第一連結部及び一対の第二連結部の少なくとも何れかにおいて、強度が低下された領域が形成されていることを特徴としている。

なお、ここで、第一平板部は後述するフレキシャ接合部に、第二平板部はスライダ接合部に、側部は側部に、また、駆動部材は圧電素子に各々対応している。フレキシャ接合部とスライダ接合部は略同一平面内に並列に存在する。また、第一平板部、第二平板部及び側部は各々対応する位置に配置される板状の部材を示す名称であり、具体的にその形状を平角板と規定するものではない。即ち、これら部材は加工の容易性等の諸条件に応じて円盤状等の形状変形を行うことが可能である。また、側部が第一平板部等から立ち上がる際の角度は、アクチュエータの駆動域、加工の容易性等を考慮すると垂直であることが好ましい。しかしながら、側部の剛性、曲げ加工時のスプリングバックの影響等を考慮した場合、垂直に近い所定角度を有して立ち上がるように設定することが好ましい場合もある。
上述したアクチュエータ装置について、強度の低下は、第一及び第二連結部の断面積の減少によって為されることが好ましく、この断面積とは曲げ部分全域の断面積であって、その減少は当該部分に穴を空けてなす、断面周囲を侵食してなす等の方法によって行われる。また、第一平板部、第二平板部、一対の側部、第一連結部、及び第二連結部は、同一の材料から構成される必要はなく、複数の素材を一体化させることでアクチュエータ本体を形成することも可能である。

また、当該アクチュエータ装置を磁気ヘッドに用いる場合、アクチュエータ装置は、磁気ヘッド装置における磁気ヘッドスライダと磁気ヘッドスライダを支持する支持部材との間に配置され、第一平板部が支持部材に固定され、第二平板部に対して磁気ヘッドスライダが固定される。
なお、当該アクチュエータ装置を磁気ヘッドに用いる場合、第一平板部上において支持部材に対して固定される固定面は、第二平板部において磁気ヘッドスライダが固定される面とは逆の面を含む平面に対して、第二平板部から離れる方向に向かい該平面から所定距離隔置して設けられることが好ましい。この場合、第一平板部はフレキシャ(支持部材)と実際に接合される領域として、第一平板部において側部と繋がる平面とは異なる面からなる固定面を有することとなる。当該固定面は、第一平板部に対していわゆる絞り加工、曲げ加工等を施すことによって得ても良く、スペーサ等を第一平板部上に配置することとしても良い。このような固定部を設けることにより、フレキシャと、第二平板部との接触を防止することが可能となる。

また、上記課題を解決するために、本発明に係るアクチュエータ装置は、平板状の第一平板部、第一平板部と略並列に配置される平板状の第二平板部、及び第一平板部及び第二平板部の両側部に配置される平板状の一対の側部からなる略枠状の金属板の、一対の側部を金属板の同一面側に折り曲げてなるアクチュエータ本体と、側部各々に対して固定される一対の駆動部材とを有し、側部と第一平板部との連結部分であって且つ折り曲げられる部分と、側部と第二平板部との連結部分であって且つ折り曲げられる部分との少なくともいずれかにおいて強度が低下された領域が形成されていることを特徴としている。

なお、ここで、第一平板部は後述するフレキシャ接合部に、第二平板部はスライダ接合部に、側部は側部に、また、駆動部材は圧電素子に各々対応している。フレキシャ接合部とスライダ接合部は略同一平面内に並列に存在する。また、第一平板部、第二平板部及び側部は各々対応する位置に配置される板状の部材を示す名称であり、具体的にその形状を平角板と規定するものではない。即ち、これら部材は加工の容易性等の諸条件に応じて円盤状等の形状変形を行うことが可能である。
上述したアクチュエータ装置について、強度の低下は、第一及び第二連結部の断面積の減少によって為されることが好ましく、この断面積とは曲げ部分全域の断面積であって、その減少は当該部分に穴を空けてなす、断面周囲を侵食してなす等の方法によって行われる。

また、上記課題を解決するために、本発明に係るアクチュエータ装置の製造方法は、一枚の金属板を、平板状の第一平板部、第一平板部と略並列に配置される平板状の第二平板部、及び第一平板部及び第二平板部の両側部に配置される平板状の一対の側部からなる略枠状にし、金属板の同一面となる側部各々の面に対して駆動部材を固定し、側部を前記金属板の同一面側に折り曲げる工程を有し、折り曲げる工程に際して、側部と第一平板部との連結部分であって且つ折り曲げられる部分と、側部と第二平板部との連結部分であって且つ折り曲げられる部分との少なくともいずれかにおいて強度が低下された領域が形成されていることを特徴としている。

なお、ここで、第一平板部は後述するフレキシャ接合部に、第二平板部はスライダ接合部に、側部は側部に、また、駆動部材は圧電素子に各々対応している。フレキシャ接合部とスライダ接合部は略同一平面内に並列に存在する。また、第一平板部、第二平板部及び側部は各々対応する位置に配置される板状の部材を示す名称であり、具体的にその形状を平角板と規定するものではない。即ち、これら部材は加工の容易性等の諸条件に応じて円盤状等の形状変形を行うことが可能である。
上述したアクチュエータ装置について、強度の低下は、第一及び第二連結部の断面積の減少によって為されることが好ましく、この断面積とは曲げ部分全域の断面積であって、その減少は当該部分に穴を空けてなす、断面周囲を侵食してなす等の方法によって行われる。
また、上述したアクチュエータ装置について、第一平板部における駆動部材の固定側の面上に、第二平板部における駆動部材の固定側の面を含む平面に対して、駆動側部材の固定側方向に該平面から所定距離隔置した領域を形成する工程を更に有することが好ましい。当該工程は、第一平板部に対していわゆる絞り加工、曲げ加工等を施すものであっても良く、スペーサ等を第一平板部上に配置するものであっても良い。
また、上述したアクチュエータ装置について、第一平板部における駆動部材の固定側の面上に、第二平板部における駆動部材の固定側の面とは逆側の面を含む平面に対して、駆動側部材の固定側とは逆の方向に該平面から所定距離隔置した領域を形成する工程を更に有することが好ましい。当該工程は、第一平板部に対していわゆる絞り加工、曲げ加工等を施すものであっても良く、スペーサ等を第一平板部上に配置するものであっても良い。

本発明によれば、圧電素子の金属板からなる部材への取り付けは、平板状の金属板に対して行うこととしている。従って、圧電素子の貼付け位置を正確に制御することが可能となる。また、金属板に対する接着剤の供給位置、供給量等に関しても正確且つ精密に制御することが可能となる。また、金属板に対して一対の圧電素子を同時に貼り付けることが可能となり、貼付け工程の簡略化、貼付け装置の簡素化が図れる。

また、本発明によれば、金属板の曲げ部分、即ち側部と平板部との連結部分に抜き穴或いは断面減少領域を設け、当該部分の強度の低下を図っている。従って、曲げ操作時に圧電素子等に加えられる負荷は、従来の構成における負荷と比較して大きく低減されており、圧電素子の破損等の可能性も大きく低減される。また、曲げ操作時に金属板に加える力が小さくてすむこととなり、曲げ装置自体の簡素化、低価格化を図ることが可能となる。また、圧電素子が側部を変位させる際には、側部は金属板の平板部によってその動作の制約を受けている。側部と平板部との連結部分の強度が低下することによって、当該制約が小さくなり、圧電素子をより小さなものとの代替が可能となり、装置構成の自由度が大きくなるといった効果も得られる。

本発明の実施形態について、以下に図面を参照して説明する。図１は本発明における第一の実施の形態に係るアクチュエータ装置の概略斜視図を示している。アクチュエータ装置１は、磁気ヘッドスライダ２及び不図示のフレキシャと接続される、金属板からなる部材であるアクチュエータ本体３と、アクチュエータ本体３に貼り付けられたアクチュエータ本体３を駆動する一対の圧電素子５とを有する。アクチュエータ本体３は、金属板の平板部からなるスライダ接合部７、同じく平板部からなるフレキシャ接合部９、及び金属板の被曲げ部分からなる一対の側部１１を主たる構成として有している。

一対の側部１１各々は、スライダ接合部７及びフレキシャ接合部９の平板部から同一側に垂直に立ち上がっている。また、圧電素子７は、側部１１各々の向かい合う側とは異なる面にそれぞれ接着剤等によって貼り付けられている。磁気ヘッドスライダ２は、スライダ接合部７における側部１１が立ち上がる側の面に対して固定される。不図示のフレキシャはフレキシャ接合部９における側部１１が立ち上がる側とは異なる面に対して取り付けられる。圧電素子７に対して電圧が印加され、伸縮の動作を行うことによって、側部１１が各々駆動されることとなる。この側部１１の駆動によって、スライダ接合部７がフレキシャ接合部９に対して相対的に移動し、磁気ヘッドスライダ２の微小駆動が可能となる。

なお、側部１１とスライダ接合部７とが連結する部分には、実際に曲げられる部分を減少させるための抜き穴７ａが形成されている。また、側部１１とフレキシャ接合部９とが連結する部分には、実際に曲げられる部分を減少させるための抜き穴９ａが形成されている。抜き穴７ａ及び抜き穴９ａの形成により、連結部分全体としての強度が低下され、金属板を曲げる際に要する付加の低減等が図られる。また、側部１１の可動領域がフレキシャ接合部９によって不必要に拘束されることがなくなり、アクチュエータ装置１としての可動域が拡大する等の効果が得られる。

次に、本実施の形態に係るアクチュエータ装置に製造工程について述べる。図２Ａ〜２Ｃは、リードフレームから連続する金属板から、アクチュエータ装置を得るまでの工程を部分的に示している。図２Ａは、リードフレーム１５に繋がった状態の、曲げ等が為されていない平板状のアクチュエータ本体３を示している。本段階において、アクチュエータ本体３は、スライダ接合部７とフレキシャ接合部９とを一対の側部１１にて繋げた略枠状の金属板として存在している。なお、本実施の形態において、用いる金属板はステンレスからなり、厚さ0.05mmの板材を加工して、図に示す素材を得ている。

図２Ｂに示す次工程において、側部１１の所定部位に対して接着剤１７が塗布される。この場合、接着剤の塗布が平板状の金属に対して行われることから、塗布位置の位置決め及びと塗布量の制御は容易である。なお、位置決めに関しては、平板状態にあるアクチュエータ本体３の外形、或いは抜き穴７ａ等を利用し、画像検出等のプロセスをへて為されることが好ましい。接着剤１７の塗布の終了後に、圧電素子５の接着剤１７上への貼付けが為される。この貼付け操作においても、貼付け位置の位置決めは容易であり、さらには貼付け時に適当な荷重を圧電素子５に対して加えることも容易である。

圧電素子の貼付け終了後、側部１１の曲げ操作が行われ、図２Ｃに示す状態のアクチュエータ装置が得られる。ここで、図３Ａ〜３Ｃを用いて、側部１１の曲げ工程について説明する。図３Ａは、図２Ｂに示す曲げ等が為されていないアクチュエータ装置１を図中３Ａ方向から見た状態を示している。また、図３Ｂ及び３Ｃは、図３Ａと同じ方向から見たアクチュエータ装置が曲げられていく工程を順次示している。曲げ工程においては、図３Ａに示した圧電素子５が貼り付けられた金属板を、まず図３Ｂに示すように上下のクランプ部材１９、２０によって挟持する。なお、クランプ部材１９、２０によるクランプ幅は、曲げ工程を経た後におけるスライダ接合部７等の平板状部分の幅と一致している。

クランプ後、圧電素子５が各々外側を向くように、圧電素子５或いは圧電素子５の貼付け部周囲に対して不図示の曲げ手段によって荷重が加えられる。ここで、上クランプ部材１９の側面は、クランプ部材の挟持面と垂直に形成されており、側部１１における圧電素子５の貼付け面とは異なる面が上クランプ部材１９の側面に密着した段階で曲げ工程が終了する。なお、クランプ時における平板状態でのアクチュエータ装置１の位置決めは、画像処理によって行っても良く、或いはアクチュエータ本体３に位置決め用の穴（不図示）を設けてこれを用いて行うこととしても良い。

以上の工程を経ることによって、図２Ｃに示す状態が得られる。続いて、リードフレーム１５からアクチュエータ装置１を各々切り離し、実際の磁気ヘッド装置のアセンブリにこれらを用いる。なお、アクチュエータ装置１の切り離しは、アクチュエータ装置１に対する磁気ヘッドスライダ２或いは不図示のフレキシャの取り付け等を行った後に行っても良い。また、実際には、磁気ヘッドスライダ２及び圧電素子５には各々複数の端子が存在しており、且つフレキシャ、或いは必要に応じてアクチュエータ本体３にも端子或いは配線が形成されており、これらの接続工程も必要となる。しかし、これら構成等は本発明の主たる部分を構成しないことから、本明細書での説明は省略することとする。

図４に、本発明の更なる実施形態に係るアクチュエータ装置の概略斜視図を示す。なお、図４において、図１に示した実施の形態と同一の作用を呈する構成要素に関しては、同一の参照符号を用いて説明することとする。また、説明の簡略化のため、図１に示す実施の形態と異なる部分に関してのみ説明する。図４に示す実施の形態においては、抜き穴７ａ或いは抜き穴９ａに換えて、厚み減少部７ｂ及び厚み減少部９ｂを形成したことを特徴とする。具体的には、例えばエッチング等によって、側部１１とスライダ接合部７或いはフレキシャ接合部９との連結部分の板厚を、元の厚さの１/２程度まで減少させている。当該操作により、連結部分の強度を低下させ、抜き穴を設けた場合と同等の効果を得ている。なお、製造工程に関しては、先の実施の形態の場合と特に異なる部分はないことから、ここでの説明は省略する。

なお、図１或いは図４に示した実施の形態においては、スライダ接合部７とフレキシャ接合部９とが同一平面内に存在している。しかし、当該構成の場合、アクチュエータ装置の駆動時において不図示のフレキシャがスライダ接合部７と接触する恐れがある。図５に示す本発明の更なる実施の形態においては、このような状況の発生を考慮し、フレキシャとスライダ接合部との接触防止を図っている。なお、図５は、図１或いは図４と同様にアクチュエータ装置の概略斜視図を示し、図１に示した実施の形態と同一の作用を呈する構成要素に関しては、同一の参照符号を用いて説明することとする。また、説明の簡略化のため、図１に示す実施の形態と異なる部分に関してのみ説明する。

本アクチュエータ装置１は、フレキシャ接合部９における、側部１１が立ち上げられた方向に向かう面とは逆の面に対して、突出部１３が設けられている。図に示す突出部１３は、フレキシャ接合部９を形成する平板部に対して曲げ加工を施すことによって得られている。なお、突出部１３の表面１３ａは実際にフレキシャが接合、固定される固定面として作用し、曲げ加工のみならず深絞り等の加工を施すことによって得ても良く、或いは板状の部材をフレキシャ接合部９に対して接合することで得ても良い。即ち、図に示す帯状の形態或いは、突起状の形態からなる部分の表面を固定面としてフレキシャ接合部９上に形成すれば良い。換言すれば、固定面１３ａは、フレキシャ接合部９に含まれると共に、フレキシャ接合部表面とは異なる表面を有する領域として形成されている。
当該固定面表面は、スライダ接合部におけるスライダ接合面とは逆の面を含む平面に対して、スライダ接合部における当該面が存在する方向に所定距離隔置されていれば良い。当該所定距離は、アクチュエータ装置駆動時にフレキシャがスライダ接合部と接触することができるだけの距離であれば良い。従って、例えば、スライダ接合部におけるスライダ接合面とは逆の面を所定量エッチングして得ることとしても良い。
なお、突出部１３において実際に不図示のフレキシャが接合される接合面１３ａ（固定面）は、スライダ接合部７を形成する平板部と平行な面内に存在している。また、フレキシャ接合部９に対する突出部１３の形成位置を部分的なものとすることで、突出部以外の部分でフレキシャ接合部９を保持することが可能となる。その結果、アクチュエータ本体の形成時に、予め突出部分１３を設けた略枠状の部材からのアクチュエータ本体を形成することも容易となる。当該突出部１３の存在により、フレキシャはスライダ接合部７と接触することがなくなる。

なお、以上の実施の形態において、スライダ接合部７、フレキシャ接合部９、側部１１及び突出部１３は、全て平角板状の形状からなるものとして述べている。しかし、本発明の実施形態は当該形状に限定されない。曲げ加工が施される前のアクチュエータ本体３について、その変形例を図６に示す。図６は、図２Ａに示すアクチュエータ本体３と同様の様式にて、これを拡大して示している。図中スライダ接合部７は円板状の形状を有し、フレキシャ接合部９は部分的な円板形状を有している。当該例に示されるように、課題を解決するための手段等において述べられる第一平板部、第二平板部及び側部は、あくまで略枠上の部材３を構成する各部分を平らな部材として定義するだけであり、これらの形状を角状のものと定義するものではない。

なお、本実施の形態においては、金属板に用いる材料としてステンレスを例示したが、当該材料としてはステンレス或いは金属に限られず、種々の材料を用いることが可能である。また、金属を用いる場合、曲げ加工後に強度が高くなる加工硬化型の材料を用いることが好ましい。この場合、曲げ操作がより容易いに行うことが可能となり、圧電素子の選択幅がより大きくなる。また、駆動用の材料として圧電素子を用いることとしているが、いわゆる電歪材料等、電圧の印加によって変形する材料であれば、これに限定されない。

また、抜き穴或いは厚さ減少部は、スライダ接合部及びフレキシャ接合部の何れにも設けることとしているが、曲げ荷重の大きさ、圧電素子の変形量等に鑑みていずれか一方にのみ設けることとしても良い。また、逆に、各連結部に一個のみであった抜き穴を、複数個設けることとしても良い。このことは厚さ減少部の減少量及び形成位置に関しても同様であり、アクチュエータ装置にも止められる可動域等に応じて随時変更されることが望ましい。

次に、本発明の実施例として実際に作製した、図１に示した実施の形態に係るアクチュエータ装置の構成について述べる。図７Ａ及び７Ｂは、実際に作製したアクチュエータ装置について、図２Ａに示したようなリードフレーム１５に繋がった状態での平面図であって、各寸法を追記してこれを示している。図７Ａは平面図であり、図７Ｂは図７Ａにおける線７Ｂ−７Ｂにて当該金属板を切断した断面を示している。本実施例において、アクチュエータ本体３は0.05mm厚さのステンレス板より形成されている。

スライダ接合部７と側部１１との連結部分は抜き穴７ａ形成前の状態で0.4mmの幅を有しており、この部分に幅0.2mm、長さ0.1mmの抜き穴７ａを形成している。また、フレキシャ接合部９と側部１１との連結部分は抜き穴９ａ形成前の状態で0.5mmの幅を有しており、この部分に幅0.3mm、長さ0.1mmの抜き穴９ａを形成している。即ち、個々の側部１１は、スライダ接合部７に対して0.1mmＸ0.1mmＸ0.05mmの金属細線によって連結されており、フレキシャ接合部９に対しても0.1mmＸ0.1mmＸ0.05mmの金属細線によって連結されていることとなる。従って、この部分の曲げ操作は、容易且つ低付加荷重にて行うことが可能である。

次に、図４に示す実施の形態の実施例について述べる。なお、当該実施例について、図８Ａは金属板の平面図を示し、図８Ｂは、図８Ａにおける線８Ｂ−８Ｂにて当該金属板を切断した断面を示している。本実施例において、アクチュエータ本体３は0.05mm厚さのステンレス板より形成されている。図８Ａに示されるように、折り曲げ部分に対応して、厚さ減少部７ｂ、厚さ減少部９ｂが同一直線状に整列するようにが帯状に形成されている。本実施例において、当該厚さ減少部７ｂ、９ｂはエッチングによって形成されており、当該部分の厚さが0.025mmとされている。

なお、厚さ減少部における被エッチング面は、圧電素子の貼付け面と同一であっても、異なっていても良い。曲げ工程終了後のアクチュエータ装置を図３の同一方向から見た状態を図９Ａ及び９Ｂに示す。図９Ａは、圧電素子の貼り付け面と被エッチング面とが異なる面に形成された場合、図９Ｂは、圧電素子の貼付け面を被エッチング面とが同一面に形成された場合を各々示している。このような厚さ減少部分の形成によって連結部分は更に薄い金属板によって構成されることとなり、曲げの方向によらず、曲げ操作を容易且つ低付加荷重にて行うことが可能である。
また、上述した実施形態及び実施例においては、圧電素子が各々逆の方向に向かうように側部を折り曲げた形態について述べている。しかしながら、これら圧電素子が各々向かい合って対向するように側部を折り曲げる形態としても良い。

本発明に係るアクチュエータ装置は、本明細書においては磁気ヘッド装置を主たる例として、情報記録装置の書き込み、読み取り装置に対して用いることを前提として述べられている。しかしながら、当該アクチュエータ装置或いはその構成の適用分野はこれら装置に限られるものではなく、微小変位が求められる種々の装置に対しても適用可能である。

本発明の一実施形態に係るアクチュエータ装置について、その概略構成を示す斜視図である。図１に示すアクチュエータ装置の製造工程について、一工程中におけるアクチュエータ本体の状態を示す図である。図１に示すアクチュエータ装置の製造工程について、一工程中におけるアクチュエータ本体の状態を示す図である。図１に示すアクチュエータ装置の製造工程について、一工程中におけるアクチュエータ本体の状態を示す図である。図２Ｃに示す状態を得る際の曲げ工程の一部を示す図である。図２Ｃに示す状態を得る際の曲げ工程の一部を示す図である。図２Ｃに示す状態を得る際の曲げ工程の一部を示す図である。本発明の他の実施形態に係るアクチュエータ装置について、その概略構成を示す斜視図である。本発明の他の実施形態に係るアクチュエータ装置について、その概略構成を示す斜視図である。本発明の他の実施形態に係るアクチュエータ本体について、曲げ加工前の状態を示す平面図である。本発明の実施例を示す図である。図７Ａ中の線７Ｂ−７Ｂにおける金属板の断面を示す図である。本発明の実施例を示す図である。図８Ａ中の線８Ｂ−８Ｂにおける金属板の断面を示す図である。図８Ａ及び８Ｂに示す実施例におけるアクチュエータ装置を正面から見た状態の概略構成を示す図である。図８Ａ及び８Ｂに示す実施例におけるアクチュエータ装置を正面から見た状態の概略構成を示す図である。

符号の説明

１：アクチュエータ装置、２：磁気ヘッドスライダ、３：アクチュエータ本体、５：圧電素子、７：スライダ接合部、９：フレキシャ接合部、１１：側部、１３：突出部、１５：リードフレーム、１７：接着剤、１９：上クランプ部材、２０：下クランプ部材

Claims

磁気ヘッド装置における磁気ヘッドスライダと前記磁気ヘッドスライダを支持する支持部材との間に配置され、
略平板状の第一平板部、前記第一平板部と略並列に配置される平板状の第二平板部、及び前記第一平板部及び前記第二平板部の両側部に配置される平板状の一対の側部からなる略枠状の金属板の、一対の前記側部を前記金属板の同一面側に折り曲げてなるアクチュエータ本体と、前記側部各々に対して固定される一対の駆動部材とを有し、
前記第一平板部が前記支持部材に固定され、前記第二平板部に対して前記磁気ヘッドスライダが固定され、前記側部と前記第一平板部との連結部分であって且つ折り曲げられる部分と、前記側部と前記第二平板部との連結部分であって且つ折り曲げられる部分との少なくともいずれかにおいて、強度が低下されて前記側部の可動域領域に対する拘束を減少させた領域が形成されていることを特徴とするアクチュエータ装置。
前記強度の低下は、前記連結部分の断面積の減少によって為されることを特徴とする請求項１記載のアクチュエータ装置。