JP4292609B2 - 軸外し反射光学系 - Google Patents
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、遠方に位置する物体の像を形成する反射光学系に関する。
【０００２】
【従来の技術】
口径が大きく、且つ、広フィールドでブロードな波長域をカバーした光学系として３枚構成の反射型アナスチグマート望遠鏡が知られている。例えば、米国特許第４２４０７０７号には、凹凸凹の３枚の反射鏡からなる反射光学系が開示されている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上述の従来の軸外し反射光学系は、口径が大きく、広い画角に渡って結像性能が良好であるが、一般に光学系のサイズが大きくなるという問題がある。
例えば、人工衛星等のプラットホームから地球上を観測するような場合、衛星に占める観測機器の重量やサイズに制約があり、従来の軸外し３枚反射光学系を用いることは必ずしも好ましくない。上記従来技術の反射光学系では、その全長がおよそ焦点距離の１．１倍程度と大きく、さらに軸外しで利用した中心遮蔽のない系であるため、径方向のサイズも大きいという問題がある。
【０００４】
そこで、本発明では、全長が短く径方向のサイズの小さいコンパクトな光学系でありながら、極めて良好な像を形成することができる軸外し反射光学系を提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、請求項１の発明にかかる反射光学系は、遠方物体の像を光軸外の位置に形成する軸外し反射光学系であって、
光の入射側から順に、正パワーの第１凹面鏡と、負パワーの凸面鏡と、正パワーの第２凹面鏡とを有し、
前記第１凹面鏡と前記凸面鏡とは実質的にアフォーカル光学系を構成しており、
前記凸面鏡と前記第２凹面鏡との間の光路中には絞りが配置され、
前記第１凹面鏡、前記凸面鏡及び前記第２凹面鏡の反射面形状を非球面としたものである。
【０００６】
また、請求項２の発明にかかる軸外し反射光学系では、請求項１の反射光学系の構成を前提として、前記絞りは前記光軸に対して偏心した位置に配置される。
また、請求項３の発明にかかる軸外し反射光学系では、請求項１の反射光学系の構成を基本とし、前記絞りの位置に平面反射鏡が配置されるものである。
また、請求項４の発明にかかる軸外し反射光学系では、請求項１〜３の反射光学系の構成を基本とし、以下の条件を満足するものである。
【０００７】
φ＞φ１／（１＋Ｍ）
但し
φ ：全系のパワー
φ１：前記第１凹面鏡のパワー
Ｍ ：前記アフォーカル光学系の角倍率
である。
【０００８】
さて、上述の目的を達成するために、請求項５の発明にかかる反射光学系は、遠方物体の像を光軸外の位置に形成する軸外し反射光学系であって、
光の入射側から順に、正パワーの第１凹面鏡と、負パワーの凸面鏡と、正パワーの第２凹面鏡とを有し、
前記第１凹面鏡と前記凸面鏡とは実質的にアフォーカル光学系を構成しており、
前記凸面鏡上であって前記光軸に対して偏心した位置には絞りが配置され、
前記第１凹面鏡、前記凸面鏡及び前記第２凹面鏡の反射面形状を非球面としたものである。
【０００９】
【発明の実施の形態】
上述の如き、請求項１の発明にかかる軸外し反射光学系においては、正パワーの第１凹面鏡と負パワーの凸面鏡により実質的にアフォーカル系を構成し、かつ凸面鏡と第２凹面鏡との間に絞りを配置するようにしているため、従来の三枚構成の反射光学系よりも格段に小型化を図ることが可能である。さらに各反射鏡を非球面とすることにより、ペッツバール和を除く他の収差に関して良好に補正し、優れた結像性能を達成することができる。
【００１０】
この構成において、上記絞りは、軸外し反射光学系の光軸に対して偏心した位置に配置することが好ましい。この構成により、結像性能のさらなる向上を図ることが可能となる。
また、請求項１の発明において絞りの位置に平面反射面を配置すれば、この平面反射面により光路を折り返して光学系全体のコンパクト化を図ることができる。
【００１１】
また、上記構成の何れかにおいて、軸外し反射光学系は、
φ＞φ１／（１＋Ｍ）
を満足することが好ましい。
但し
φ ：全系のパワー
φ１：前記第１凹面鏡のパワー
Ｍ ：前記アフォーカル光学系の角倍率
である。
【００１２】
本発明において、第１凹面鏡、凸面鏡、第２凹面鏡のパワーをそれぞれφ１、φ２、φ３とし、全系のパワーをφ、第１凹面鏡及び凸面鏡により構成されるアフォーカル系の各倍率をＭとするとき、
（ａ） Ｍ ＝−φ２／φ１
（ｂ） φ３＝ Ｍφ
が成立する。ここで、
（ｃ） φ３＞（φ１・φ２）／（φ１＋φ２）
の関係が成立するとき、小さなペッツバール和を達成するとともに、全系の小型化を達成することが可能となる。
【００１３】
以上の（ａ）〜（ｃ）式をまとめると、
φ ＞φ１／（１＋Ｍ）
が得られる。
従って、上記条件式の範囲外となる場合には、全系の小型化を図る際に不利になるのみならず、ペッツバール和を小さくすることが困難になるので広角化を図る際に不利になる。
【００１４】
さて、請求項５の発明にかかる軸外し反射光学系においては、凸面鏡上に光軸に対して偏心した絞りを配置する構成としているため、凸面鏡と第２凹面鏡との距離を短くして小型化を図ることができる。
【００１５】
【実施例】
以下、本発明にかかる数値実施例を図面を参照して説明する。
以下の数値実施例の軸外し反射光学系は、プッシュブルーム方式による走査（円環状フィールド内に配置されている１次元センサに対し、それに直交する方向への走査）により２次元画像を形成する際に好適な反射光学系であり、そのＦナンバーが４〜６、その画角が５°以上となるものである。
【００１６】
［第１実施例］
図１は、第１実施例の軸外し反射光学系の光路図である。図１において、軸外し反射光学系は、第１凹面鏡Ｍ１、凸面鏡Ｍ２及び第２凹面鏡Ｍ３を有する。ここで各反射鏡Ｍ１〜Ｍ３の曲率中心は、軸外し反射光学系の光軸上に配置されており、共軸系をなしている。また、第１凹面鏡Ｍ１及び凸面鏡Ｍ２の曲率中心位置は実質的に一致しており、これら第１凹面鏡Ｍ１及び凸面鏡Ｍ２は実質的にアフォーカル系をなしている。
【００１７】
さて、図１において、遠方物体からの光束は、光軸に対して所定の角度をなして第１反射鏡Ｍ１の後方に存在する入射瞳へ向けて進行し、この第１反射鏡Ｍ１にて反射された後に、凸面鏡Ｍ２で反射され、絞りＳを介し、第２反射鏡Ｍ２にて反射される。第２反射鏡からの光束は、光軸外の所定の位置に集光され物体像を形成する。ここで、像面内における良像範囲（像面内で良好な像を形成する範囲）は、光軸からはなれた位置にある円環状のフィールド内であり、ここにＣＣＤ等の光電センサや写真フィルム等を配置すれば、物体像を得ることができる。
【００１８】
各反射鏡Ｍ１〜Ｍ３の反射面の大きさ及び形状は、像面上の良像範囲に到達する光束が各反射鏡により遮蔽されることがないように決定される。絞りＳは実質的に第２凹面鏡の前側焦点面に配置されており、第１実施例の軸外し反射光学系は像側テレセントリックな光学系となる。
以下の表１〜表３に第１実施例の軸外し反射光学系の光学データを掲げる。表１において、ＦはＦナンバ、ｆは全系の焦点距離を示し、曲率半径及び面間隔の単位は一例としてｍｍが採用され、面間隔の符号は反射面を経る毎に正負が逆転するものとする。また、非球面となっている光学面には面番号の個所に＊を付し、この非球面データを表２に示してある。なお、各表において「Ｅｎ」は１０のｎ乗を表す。本実施例では、非球面頂点での接平面を考え、光軸から接平面上に測った距離をｙ、この接平面からの光軸に沿った方向での変位（サグ量）をＺとするとき、非球面形状式は以下の（ｄ）式で与えられる。
【００１９】
【数１】
【００２０】
但し
ｒ：頂点曲率半径、
κ：円錐係数、
Ａ：４次の非球面係数、
Ｂ：６次の非球面係数、
Ｃ：８次の非球面係数、
Ｄ：１０次の非球面係数、
である。
【００２１】
また、表３には第１実施例の条件対応数値を示す。表３において、φ（＝１／ｆ）は全系のパワー、φ１は第１凹面鏡Ｍ１のパワー、φ２は凸面鏡のパワー、φ３は第２凹面鏡のパワー、Ｍは第１凹面鏡Ｍ１及び凸面鏡Ｍ２により構成されるアフォーカル系の角倍率を示す。
【００２２】
【表１】
【００２３】
【表２】
【００２４】
【表３】
上記第１実施例の軸外し反射光学系の横収差図を図２に、スポットダイアグラムを図３に示す。
【００２５】
図２の横収差図において、軸外し反射光学系の光軸をＺ軸とし、このＺ軸に垂直でかつ図１の紙面内方向の軸をＹ軸、ＹＺ平面に垂直な軸をＺ軸とするとき、図２（Ａ）はＹＺ平面における入射角が−７．１０°でＸＺ平面における入射角が２．５０°の場合に入射瞳面における光束中のＹＺ断面の光線の横収差を示し、図２（Ｂ）はＹＺ平面における入射角が−７．１０°でＸＺ平面における入射角が１．７５°の場合に入射瞳面における光束中のＹＺ断面の光線の横収差を示し、図２（Ｃ）はＹＺ平面における入射角が−７．１０°でＸＺ平面における入射角が０．００°の場合に入射瞳面における光束中のＹＺ断面の光線の横収差を示す。図２（Ｄ）はＹＺ平面における入射角が−７．１０°でＸＺ平面における入射角が２．５０°の場合に入射瞳面における光束中のＸＺ断面の光線の横収差を示し、図２（Ｅ）はＹＺ平面における入射角が−７．１０°でＸＺ平面における入射角が１．７５°の場合に入射瞳面における光束中のＸＺ断面の光線の横収差を示し、図２（Ｆ）はＹＺ平面における入射角が−７．１０°でＸＺ平面における入射角が０．００°の場合に入射瞳面における光束中のＸＺ断面の光線の横収差を示す。そして、図３（Ａ）はＹＺ平面における入射角が−７．１０°でＸＺ平面における入射角が２．５０°の場合の像面でのスポットダイアグラム、図３（Ｂ）はＹＺ平面における入射角が−７．１０°でＸＺ平面における入射角が１．７５°の場合の像面でのスポットダイアグラム、図３（Ｃ）はＹＺ平面における入射角が−７．１０°でＸＺ平面における入射角が０．００°の場合の像面でのスポットダイアグラムである。
【００２６】
以上の通り、第１実施例にかかる軸外し反射光学系は、コンパクト化が図られているにもかかわらず、優れた結像性能を達成していることが分かる。
図４は、上記第１実施例の変形例を示す光路図であって、第１実施例の軸外し反射光学系における絞りＳの位置に平面反射面Ｍ４を設けたものである。この図４からも明らかな通り、上記第１実施例の光学系よりもさらなるコンパクト化が達成されている。なお、この変形例において、光学データは上記表１〜表３の光学データと実質的に同一（表１の第３面以降の面間隔の符号が逆転するだけ）であるため、ここでは変形例の結像性能の説明を省略する。
【００２７】
［第２実施例］
図５は、第２実施例の軸外し反射光学系の光路図である。図５において、軸外し反射光学系は、第１凹面鏡Ｍ１、凸面鏡Ｍ２及び第２凹面鏡Ｍ３を有する。ここで各反射鏡Ｍ１〜Ｍ３の曲率中心は、軸外し反射光学系の光軸上に配置されており、共軸系をなしている。また、第１凹面鏡Ｍ１及び凸面鏡Ｍ２の曲率中心位置は実質的に一致しており、これら第１凹面鏡Ｍ１及び凸面鏡Ｍ２は実質的にアフォーカル系をなしている。
【００２８】
さて、図５において、遠方物体からの光束は、光軸に対して所定の角度をなして第１反射鏡Ｍ１の後方に存在する入射瞳へ向けて進行し、この第１反射鏡Ｍ１にて反射された後に、凸面鏡Ｍ２で反射され、絞りＳを介し、第２反射鏡Ｍ２にて反射される。第２反射鏡からの光束は、光軸外の所定の位置に集光され物体像を形成する。ここで、像面内における良像範囲は、光軸からはなれた位置にある円環状のフィールド内である。各反射鏡Ｍ１〜Ｍ３の反射面の大きさ及び形状は、像面上の良像範囲に到達する光束が各反射鏡により遮蔽されることがないように決定される。
【００２９】
第２実施例において、絞りＳは実質的に第２凹面鏡の前側焦点面上であって、光軸から偏心し且つ光軸に対して傾けて配置されており、第２実施例の軸外し反射光学系は像側テレセントリックな光学系となる。
以下の表４〜表６に第２実施例の軸外し反射光学系の光学データを掲げる。表４において、ＦはＦナンバ、ｆは全系の焦点距離を示し、曲率半径及び面間隔の単位は一例としてｍｍが採用され、面間隔の符号は反射面を経る毎に正負が逆転するものとする。また、非球面となっている光学面には面番号の個所に＊を付し、この非球面データを表５に示してある。また、絞りＳの位置も表５に示し、表５において、αは図５の紙面内での反時計回りを正とする回転方向、Ｙは図５紙面内における上方を正とするＹ軸方向である。また、非球面形状は上記（ｄ）式で与えられる。なお、各表において「Ｅｎ」は１０のｎ乗を表す。
【００３０】
表６に第２実施例の条件対応数値を示す。表６において、φ（＝１／ｆ）は全系のパワー、φ１は第１凹面鏡Ｍ１のパワー、φ２は凸面鏡のパワー、φ３は第２凹面鏡のパワー、Ｍは第１凹面鏡Ｍ１及び凸面鏡Ｍ２により構成されるアフォーカル系の角倍率を示す。
【００３１】
【表４】
【００３２】
【表５】
【００３３】
【表６】
上記第２実施例の軸外し反射光学系の横収差図を図６に、スポットダイアグラムを図７に示す。
【００３４】
図６の横収差図において、軸外し反射光学系の光軸をＺ軸とし、このＺ軸に垂直でかつ図５の紙面内方向の軸をＹ軸、ＹＺ平面に垂直な軸をＺ軸とするとき、図６（Ａ）はＹＺ平面における入射角が−７．１０°でＸＺ平面における入射角が２．５０°の場合に入射瞳面における光束中のＹＺ断面の光線の横収差を示し、図６（Ｂ）はＹＺ平面における入射角が−７．１０°でＸＺ平面における入射角が１．７５°の場合に入射瞳面における光束中のＹＺ断面の光線の横収差を示し、図６（Ｃ）はＹＺ平面における入射角が−７．１０°でＸＺ平面における入射角が０．００°の場合に入射瞳面における光束中のＹＺ断面の光線の横収差を示す。図６（Ｄ）はＹＺ平面における入射角が−７．１０°でＸＺ平面における入射角が２．５０°の場合に入射瞳面における光束中のＸＺ断面の光線の横収差を示し、図６（Ｅ）はＹＺ平面における入射角が−７．１０°でＸＺ平面における入射角が１．７５°の場合に入射瞳面における光束中のＸＺ断面の光線の横収差を示し、図６（Ｆ）はＹＺ平面における入射角が−７．１０°でＸＺ平面における入射角が０．００°の場合に入射瞳面における光束中のＸＺ断面の光線の横収差を示す。そして、図７（Ａ）はＹＺ平面における入射角が−７．１０°でＸＺ平面における入射角が２．５０°の場合の像面でのスポットダイアグラム、図７（Ｂ）はＹＺ平面における入射角が−７．１０°でＸＺ平面における入射角が１．７５°の場合の像面でのスポットダイアグラム、図７（Ｃ）はＹＺ平面における入射角が−７．１０°でＸＺ平面における入射角が０．００°の場合の像面でのスポットダイアグラムである。
【００３５】
以上の通り、第２実施例にかかる軸外し反射光学系は、コンパクト化が図られているにもかかわらず、優れた結像性能を達成していることが分かる。
なお、第２実施例の軸外し反射光学系において、第１実施例の変形例と同様に絞りＳの位置に平面反射面を配置することも可能である。
［第３実施例］
図８は、第３実施例の軸外し反射光学系の光路図である。図８において、軸外し反射光学系は、第１凹面鏡Ｍ１、凸面鏡Ｍ２及び第２凹面鏡Ｍ３を有する。ここで各反射鏡Ｍ１〜Ｍ３の曲率中心は、軸外し反射光学系の光軸上に配置されており、共軸系をなしている。また、第１凹面鏡Ｍ１及び凸面鏡Ｍ２の曲率中心位置は実質的に一致しており、これら第１凹面鏡Ｍ１及び凸面鏡Ｍ２は実質的にアフォーカル系をなしている。
【００３６】
さて、図８において、遠方物体からの光束は、光軸に対して所定の角度をなして第１反射鏡Ｍ１の後方に存在する入射瞳へ向けて進行し、この第１反射鏡Ｍ１にて反射された後に、凸面鏡Ｍ２で反射されて、第２反射鏡Ｍ２にて反射される。第２反射鏡からの光束は、光軸外の所定の位置に集光され物体像を形成する。ここで、像面内における良像範囲は、光軸からはなれた位置にある円環状のフィールド内である。なお、各反射鏡Ｍ１〜Ｍ３の反射面の大きさ及び形状は、像面上の良像範囲に到達する光束が各反射鏡により遮蔽されることがないように決定される。
【００３７】
第３実施例において、絞りＳは実質的に凸面鏡Ｍ２上であって、光軸から偏心して配置されている。この構成により、凸面鏡Ｍ２と第２凹面鏡Ｍ３との距離の短縮化を図ることができる。本実施例の軸外し反射光学系の全長は、第２凹面鏡Ｍ３の焦点距離程度と短縮化されている。
以下の表７〜表９に第３実施例の軸外し反射光学系の光学データを掲げる。表７において、ＦはＦナンバ、ｆは全系の焦点距離を示し、曲率半径及び面間隔の単位は一例としてｍｍが採用され、面間隔の符号は反射面を経る毎に正負が逆転するものとする。また、非球面となっている光学面には面番号の個所に＊を付し、この非球面データを表８に示してある。また、絞りＳの位置も表８に示し、表８において、Ｙは図８紙面内における上方を正とするＹ軸方向である。また、非球面形状は上記（ｄ）式で与えられる。なお、各表において「Ｅｎ」は１０のｎ乗を表す。
【００３８】
表９に第３実施例の条件対応数値を示す。表９において、φ（＝１／ｆ）は全系のパワー、φ１は第１凹面鏡Ｍ１のパワー、φ２は凸面鏡のパワー、φ３は第２凹面鏡のパワー、Ｍは第１凹面鏡Ｍ１及び凸面鏡Ｍ２により構成されるアフォーカル系の角倍率を示す。
【００３９】
【表７】
【００４０】
【表８】
【００４１】
【表９】
上記第３実施例の軸外し反射光学系の横収差図を図９に、スポットダイアグラムを図１０に示す。
【００４２】
図９の横収差図において、軸外し反射光学系の光軸をＺ軸とし、このＺ軸に垂直でかつ図８の紙面内方向の軸をＹ軸、ＹＺ平面に垂直な軸をＺ軸とするとき、図９（Ａ）はＹＺ平面における入射角が−７．１０°でＸＺ平面における入射角が２．５０°の場合に入射瞳面における光束中のＹＺ断面の光線の横収差を示し、図９（Ｂ）はＹＺ平面における入射角が−７．１０°でＸＺ平面における入射角が１．７５°の場合に入射瞳面における光束中のＹＺ断面の光線の横収差を示し、図９（Ｃ）はＹＺ平面における入射角が−７．１０°でＸＺ平面における入射角が０．００°の場合に入射瞳面における光束中のＹＺ断面の光線の横収差を示す。図９（Ｄ）はＹＺ平面における入射角が−７．１０°でＸＺ平面における入射角が２．５０°の場合に入射瞳面における光束中のＸＺ断面の光線の横収差を示し、図９（Ｅ）はＹＺ平面における入射角が−７．１０°でＸＺ平面における入射角が１．７５°の場合に入射瞳面における光束中のＸＺ断面の光線の横収差を示し、図９（Ｆ）はＹＺ平面における入射角が−７．１０°でＸＺ平面における入射角が０．００°の場合に入射瞳面における光束中のＸＺ断面の光線の横収差を示す。そして、図１０（Ａ）はＹＺ平面における入射角が−７．１０°でＸＺ平面における入射角が２．５０°の場合の像面でのスポットダイアグラム、図１０（Ｂ）はＹＺ平面における入射角が−７．１０°でＸＺ平面における入射角が１．７５°の場合の像面でのスポットダイアグラム、図１０（Ｃ）はＹＺ平面における入射角が−７．１０°でＸＺ平面における入射角が０．００°の場合の像面でのスポットダイアグラムである。
【００４３】
以上の通り、第３実施例にかかる軸外し反射光学系は、コンパクト化が図られているにもかかわらず、優れた結像性能を達成していることが分かる。
【００４４】
【発明の効果】
本発明によれば、第１の凹面鏡・凸面鏡・第２の凹面鏡からなる中心遮蔽のない軸外し反射光学系の各反射鏡を非球面とし、第１の凹面鏡と凸面鏡をアフォーカル系とすることにより、従来に比べ光学系の小型化を実現し、また、光学性能の優れた軸外し反射光学系を提供することが可能となった。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明にかかる第１実施例の光路図である。
【図２】第１実施例の横収差図である。
【図３】第１実施例のスポットダイアグラムである。
【図４】第１実施例の変形例を示す光路図である。
【図５】本発明にかかる第２実施例の光路図である。
【図６】第２実施例の横収差図である。
【図７】第２実施例のスポットダイアグラムである。
【図８】本発明にかかる第３実施例の光路図である。
【図９】第３実施例の横収差図である。
【図１０】第３実施例のスポットダイアグラムである。
【符号の説明】
Ｍ１：第１凹面鏡
Ｍ２：凸面鏡
Ｍ３：第２凹面鏡
Ｍ４：平面反射鏡
Ｓ ：絞り
【発明の属する技術分野】
本発明は、遠方に位置する物体の像を形成する反射光学系に関する。
【０００２】
【従来の技術】
口径が大きく、且つ、広フィールドでブロードな波長域をカバーした光学系として３枚構成の反射型アナスチグマート望遠鏡が知られている。例えば、米国特許第４２４０７０７号には、凹凸凹の３枚の反射鏡からなる反射光学系が開示されている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上述の従来の軸外し反射光学系は、口径が大きく、広い画角に渡って結像性能が良好であるが、一般に光学系のサイズが大きくなるという問題がある。
例えば、人工衛星等のプラットホームから地球上を観測するような場合、衛星に占める観測機器の重量やサイズに制約があり、従来の軸外し３枚反射光学系を用いることは必ずしも好ましくない。上記従来技術の反射光学系では、その全長がおよそ焦点距離の１．１倍程度と大きく、さらに軸外しで利用した中心遮蔽のない系であるため、径方向のサイズも大きいという問題がある。
【０００４】
そこで、本発明では、全長が短く径方向のサイズの小さいコンパクトな光学系でありながら、極めて良好な像を形成することができる軸外し反射光学系を提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、請求項１の発明にかかる反射光学系は、遠方物体の像を光軸外の位置に形成する軸外し反射光学系であって、
光の入射側から順に、正パワーの第１凹面鏡と、負パワーの凸面鏡と、正パワーの第２凹面鏡とを有し、
前記第１凹面鏡と前記凸面鏡とは実質的にアフォーカル光学系を構成しており、
前記凸面鏡と前記第２凹面鏡との間の光路中には絞りが配置され、
前記第１凹面鏡、前記凸面鏡及び前記第２凹面鏡の反射面形状を非球面としたものである。
【０００６】
また、請求項２の発明にかかる軸外し反射光学系では、請求項１の反射光学系の構成を前提として、前記絞りは前記光軸に対して偏心した位置に配置される。
また、請求項３の発明にかかる軸外し反射光学系では、請求項１の反射光学系の構成を基本とし、前記絞りの位置に平面反射鏡が配置されるものである。
また、請求項４の発明にかかる軸外し反射光学系では、請求項１〜３の反射光学系の構成を基本とし、以下の条件を満足するものである。
【０００７】
φ＞φ１／（１＋Ｍ）
但し
φ ：全系のパワー
φ１：前記第１凹面鏡のパワー
Ｍ ：前記アフォーカル光学系の角倍率
である。
【０００８】
さて、上述の目的を達成するために、請求項５の発明にかかる反射光学系は、遠方物体の像を光軸外の位置に形成する軸外し反射光学系であって、
光の入射側から順に、正パワーの第１凹面鏡と、負パワーの凸面鏡と、正パワーの第２凹面鏡とを有し、
前記第１凹面鏡と前記凸面鏡とは実質的にアフォーカル光学系を構成しており、
前記凸面鏡上であって前記光軸に対して偏心した位置には絞りが配置され、
前記第１凹面鏡、前記凸面鏡及び前記第２凹面鏡の反射面形状を非球面としたものである。
【０００９】
【発明の実施の形態】
上述の如き、請求項１の発明にかかる軸外し反射光学系においては、正パワーの第１凹面鏡と負パワーの凸面鏡により実質的にアフォーカル系を構成し、かつ凸面鏡と第２凹面鏡との間に絞りを配置するようにしているため、従来の三枚構成の反射光学系よりも格段に小型化を図ることが可能である。さらに各反射鏡を非球面とすることにより、ペッツバール和を除く他の収差に関して良好に補正し、優れた結像性能を達成することができる。
【００１０】
この構成において、上記絞りは、軸外し反射光学系の光軸に対して偏心した位置に配置することが好ましい。この構成により、結像性能のさらなる向上を図ることが可能となる。
また、請求項１の発明において絞りの位置に平面反射面を配置すれば、この平面反射面により光路を折り返して光学系全体のコンパクト化を図ることができる。
【００１１】
また、上記構成の何れかにおいて、軸外し反射光学系は、
φ＞φ１／（１＋Ｍ）
を満足することが好ましい。
但し
φ ：全系のパワー
φ１：前記第１凹面鏡のパワー
Ｍ ：前記アフォーカル光学系の角倍率
である。
【００１２】
本発明において、第１凹面鏡、凸面鏡、第２凹面鏡のパワーをそれぞれφ１、φ２、φ３とし、全系のパワーをφ、第１凹面鏡及び凸面鏡により構成されるアフォーカル系の各倍率をＭとするとき、
（ａ） Ｍ ＝−φ２／φ１
（ｂ） φ３＝ Ｍφ
が成立する。ここで、
（ｃ） φ３＞（φ１・φ２）／（φ１＋φ２）
の関係が成立するとき、小さなペッツバール和を達成するとともに、全系の小型化を達成することが可能となる。
【００１３】
以上の（ａ）〜（ｃ）式をまとめると、
φ ＞φ１／（１＋Ｍ）
が得られる。
従って、上記条件式の範囲外となる場合には、全系の小型化を図る際に不利になるのみならず、ペッツバール和を小さくすることが困難になるので広角化を図る際に不利になる。
【００１４】
さて、請求項５の発明にかかる軸外し反射光学系においては、凸面鏡上に光軸に対して偏心した絞りを配置する構成としているため、凸面鏡と第２凹面鏡との距離を短くして小型化を図ることができる。
【００１５】
【実施例】
以下、本発明にかかる数値実施例を図面を参照して説明する。
以下の数値実施例の軸外し反射光学系は、プッシュブルーム方式による走査（円環状フィールド内に配置されている１次元センサに対し、それに直交する方向への走査）により２次元画像を形成する際に好適な反射光学系であり、そのＦナンバーが４〜６、その画角が５°以上となるものである。
【００１６】
［第１実施例］
図１は、第１実施例の軸外し反射光学系の光路図である。図１において、軸外し反射光学系は、第１凹面鏡Ｍ１、凸面鏡Ｍ２及び第２凹面鏡Ｍ３を有する。ここで各反射鏡Ｍ１〜Ｍ３の曲率中心は、軸外し反射光学系の光軸上に配置されており、共軸系をなしている。また、第１凹面鏡Ｍ１及び凸面鏡Ｍ２の曲率中心位置は実質的に一致しており、これら第１凹面鏡Ｍ１及び凸面鏡Ｍ２は実質的にアフォーカル系をなしている。
【００１７】
さて、図１において、遠方物体からの光束は、光軸に対して所定の角度をなして第１反射鏡Ｍ１の後方に存在する入射瞳へ向けて進行し、この第１反射鏡Ｍ１にて反射された後に、凸面鏡Ｍ２で反射され、絞りＳを介し、第２反射鏡Ｍ２にて反射される。第２反射鏡からの光束は、光軸外の所定の位置に集光され物体像を形成する。ここで、像面内における良像範囲（像面内で良好な像を形成する範囲）は、光軸からはなれた位置にある円環状のフィールド内であり、ここにＣＣＤ等の光電センサや写真フィルム等を配置すれば、物体像を得ることができる。
【００１８】
各反射鏡Ｍ１〜Ｍ３の反射面の大きさ及び形状は、像面上の良像範囲に到達する光束が各反射鏡により遮蔽されることがないように決定される。絞りＳは実質的に第２凹面鏡の前側焦点面に配置されており、第１実施例の軸外し反射光学系は像側テレセントリックな光学系となる。
以下の表１〜表３に第１実施例の軸外し反射光学系の光学データを掲げる。表１において、ＦはＦナンバ、ｆは全系の焦点距離を示し、曲率半径及び面間隔の単位は一例としてｍｍが採用され、面間隔の符号は反射面を経る毎に正負が逆転するものとする。また、非球面となっている光学面には面番号の個所に＊を付し、この非球面データを表２に示してある。なお、各表において「Ｅｎ」は１０のｎ乗を表す。本実施例では、非球面頂点での接平面を考え、光軸から接平面上に測った距離をｙ、この接平面からの光軸に沿った方向での変位（サグ量）をＺとするとき、非球面形状式は以下の（ｄ）式で与えられる。
【００１９】
【数１】
但し
ｒ：頂点曲率半径、
κ：円錐係数、
Ａ：４次の非球面係数、
Ｂ：６次の非球面係数、
Ｃ：８次の非球面係数、
Ｄ：１０次の非球面係数、
である。
【００２１】
また、表３には第１実施例の条件対応数値を示す。表３において、φ（＝１／ｆ）は全系のパワー、φ１は第１凹面鏡Ｍ１のパワー、φ２は凸面鏡のパワー、φ３は第２凹面鏡のパワー、Ｍは第１凹面鏡Ｍ１及び凸面鏡Ｍ２により構成されるアフォーカル系の角倍率を示す。
【００２２】
【表１】
【表２】
【表３】
【００２５】
図２の横収差図において、軸外し反射光学系の光軸をＺ軸とし、このＺ軸に垂直でかつ図１の紙面内方向の軸をＹ軸、ＹＺ平面に垂直な軸をＺ軸とするとき、図２（Ａ）はＹＺ平面における入射角が−７．１０°でＸＺ平面における入射角が２．５０°の場合に入射瞳面における光束中のＹＺ断面の光線の横収差を示し、図２（Ｂ）はＹＺ平面における入射角が−７．１０°でＸＺ平面における入射角が１．７５°の場合に入射瞳面における光束中のＹＺ断面の光線の横収差を示し、図２（Ｃ）はＹＺ平面における入射角が−７．１０°でＸＺ平面における入射角が０．００°の場合に入射瞳面における光束中のＹＺ断面の光線の横収差を示す。図２（Ｄ）はＹＺ平面における入射角が−７．１０°でＸＺ平面における入射角が２．５０°の場合に入射瞳面における光束中のＸＺ断面の光線の横収差を示し、図２（Ｅ）はＹＺ平面における入射角が−７．１０°でＸＺ平面における入射角が１．７５°の場合に入射瞳面における光束中のＸＺ断面の光線の横収差を示し、図２（Ｆ）はＹＺ平面における入射角が−７．１０°でＸＺ平面における入射角が０．００°の場合に入射瞳面における光束中のＸＺ断面の光線の横収差を示す。そして、図３（Ａ）はＹＺ平面における入射角が−７．１０°でＸＺ平面における入射角が２．５０°の場合の像面でのスポットダイアグラム、図３（Ｂ）はＹＺ平面における入射角が−７．１０°でＸＺ平面における入射角が１．７５°の場合の像面でのスポットダイアグラム、図３（Ｃ）はＹＺ平面における入射角が−７．１０°でＸＺ平面における入射角が０．００°の場合の像面でのスポットダイアグラムである。
【００２６】
以上の通り、第１実施例にかかる軸外し反射光学系は、コンパクト化が図られているにもかかわらず、優れた結像性能を達成していることが分かる。
図４は、上記第１実施例の変形例を示す光路図であって、第１実施例の軸外し反射光学系における絞りＳの位置に平面反射面Ｍ４を設けたものである。この図４からも明らかな通り、上記第１実施例の光学系よりもさらなるコンパクト化が達成されている。なお、この変形例において、光学データは上記表１〜表３の光学データと実質的に同一（表１の第３面以降の面間隔の符号が逆転するだけ）であるため、ここでは変形例の結像性能の説明を省略する。
【００２７】
［第２実施例］
図５は、第２実施例の軸外し反射光学系の光路図である。図５において、軸外し反射光学系は、第１凹面鏡Ｍ１、凸面鏡Ｍ２及び第２凹面鏡Ｍ３を有する。ここで各反射鏡Ｍ１〜Ｍ３の曲率中心は、軸外し反射光学系の光軸上に配置されており、共軸系をなしている。また、第１凹面鏡Ｍ１及び凸面鏡Ｍ２の曲率中心位置は実質的に一致しており、これら第１凹面鏡Ｍ１及び凸面鏡Ｍ２は実質的にアフォーカル系をなしている。
【００２８】
さて、図５において、遠方物体からの光束は、光軸に対して所定の角度をなして第１反射鏡Ｍ１の後方に存在する入射瞳へ向けて進行し、この第１反射鏡Ｍ１にて反射された後に、凸面鏡Ｍ２で反射され、絞りＳを介し、第２反射鏡Ｍ２にて反射される。第２反射鏡からの光束は、光軸外の所定の位置に集光され物体像を形成する。ここで、像面内における良像範囲は、光軸からはなれた位置にある円環状のフィールド内である。各反射鏡Ｍ１〜Ｍ３の反射面の大きさ及び形状は、像面上の良像範囲に到達する光束が各反射鏡により遮蔽されることがないように決定される。
【００２９】
第２実施例において、絞りＳは実質的に第２凹面鏡の前側焦点面上であって、光軸から偏心し且つ光軸に対して傾けて配置されており、第２実施例の軸外し反射光学系は像側テレセントリックな光学系となる。
以下の表４〜表６に第２実施例の軸外し反射光学系の光学データを掲げる。表４において、ＦはＦナンバ、ｆは全系の焦点距離を示し、曲率半径及び面間隔の単位は一例としてｍｍが採用され、面間隔の符号は反射面を経る毎に正負が逆転するものとする。また、非球面となっている光学面には面番号の個所に＊を付し、この非球面データを表５に示してある。また、絞りＳの位置も表５に示し、表５において、αは図５の紙面内での反時計回りを正とする回転方向、Ｙは図５紙面内における上方を正とするＹ軸方向である。また、非球面形状は上記（ｄ）式で与えられる。なお、各表において「Ｅｎ」は１０のｎ乗を表す。
【００３０】
表６に第２実施例の条件対応数値を示す。表６において、φ（＝１／ｆ）は全系のパワー、φ１は第１凹面鏡Ｍ１のパワー、φ２は凸面鏡のパワー、φ３は第２凹面鏡のパワー、Ｍは第１凹面鏡Ｍ１及び凸面鏡Ｍ２により構成されるアフォーカル系の角倍率を示す。
【００３１】
【表４】
【表５】
【表６】
【００３４】
図６の横収差図において、軸外し反射光学系の光軸をＺ軸とし、このＺ軸に垂直でかつ図５の紙面内方向の軸をＹ軸、ＹＺ平面に垂直な軸をＺ軸とするとき、図６（Ａ）はＹＺ平面における入射角が−７．１０°でＸＺ平面における入射角が２．５０°の場合に入射瞳面における光束中のＹＺ断面の光線の横収差を示し、図６（Ｂ）はＹＺ平面における入射角が−７．１０°でＸＺ平面における入射角が１．７５°の場合に入射瞳面における光束中のＹＺ断面の光線の横収差を示し、図６（Ｃ）はＹＺ平面における入射角が−７．１０°でＸＺ平面における入射角が０．００°の場合に入射瞳面における光束中のＹＺ断面の光線の横収差を示す。図６（Ｄ）はＹＺ平面における入射角が−７．１０°でＸＺ平面における入射角が２．５０°の場合に入射瞳面における光束中のＸＺ断面の光線の横収差を示し、図６（Ｅ）はＹＺ平面における入射角が−７．１０°でＸＺ平面における入射角が１．７５°の場合に入射瞳面における光束中のＸＺ断面の光線の横収差を示し、図６（Ｆ）はＹＺ平面における入射角が−７．１０°でＸＺ平面における入射角が０．００°の場合に入射瞳面における光束中のＸＺ断面の光線の横収差を示す。そして、図７（Ａ）はＹＺ平面における入射角が−７．１０°でＸＺ平面における入射角が２．５０°の場合の像面でのスポットダイアグラム、図７（Ｂ）はＹＺ平面における入射角が−７．１０°でＸＺ平面における入射角が１．７５°の場合の像面でのスポットダイアグラム、図７（Ｃ）はＹＺ平面における入射角が−７．１０°でＸＺ平面における入射角が０．００°の場合の像面でのスポットダイアグラムである。
【００３５】
以上の通り、第２実施例にかかる軸外し反射光学系は、コンパクト化が図られているにもかかわらず、優れた結像性能を達成していることが分かる。
なお、第２実施例の軸外し反射光学系において、第１実施例の変形例と同様に絞りＳの位置に平面反射面を配置することも可能である。
［第３実施例］
図８は、第３実施例の軸外し反射光学系の光路図である。図８において、軸外し反射光学系は、第１凹面鏡Ｍ１、凸面鏡Ｍ２及び第２凹面鏡Ｍ３を有する。ここで各反射鏡Ｍ１〜Ｍ３の曲率中心は、軸外し反射光学系の光軸上に配置されており、共軸系をなしている。また、第１凹面鏡Ｍ１及び凸面鏡Ｍ２の曲率中心位置は実質的に一致しており、これら第１凹面鏡Ｍ１及び凸面鏡Ｍ２は実質的にアフォーカル系をなしている。
【００３６】
さて、図８において、遠方物体からの光束は、光軸に対して所定の角度をなして第１反射鏡Ｍ１の後方に存在する入射瞳へ向けて進行し、この第１反射鏡Ｍ１にて反射された後に、凸面鏡Ｍ２で反射されて、第２反射鏡Ｍ２にて反射される。第２反射鏡からの光束は、光軸外の所定の位置に集光され物体像を形成する。ここで、像面内における良像範囲は、光軸からはなれた位置にある円環状のフィールド内である。なお、各反射鏡Ｍ１〜Ｍ３の反射面の大きさ及び形状は、像面上の良像範囲に到達する光束が各反射鏡により遮蔽されることがないように決定される。
【００３７】
第３実施例において、絞りＳは実質的に凸面鏡Ｍ２上であって、光軸から偏心して配置されている。この構成により、凸面鏡Ｍ２と第２凹面鏡Ｍ３との距離の短縮化を図ることができる。本実施例の軸外し反射光学系の全長は、第２凹面鏡Ｍ３の焦点距離程度と短縮化されている。
以下の表７〜表９に第３実施例の軸外し反射光学系の光学データを掲げる。表７において、ＦはＦナンバ、ｆは全系の焦点距離を示し、曲率半径及び面間隔の単位は一例としてｍｍが採用され、面間隔の符号は反射面を経る毎に正負が逆転するものとする。また、非球面となっている光学面には面番号の個所に＊を付し、この非球面データを表８に示してある。また、絞りＳの位置も表８に示し、表８において、Ｙは図８紙面内における上方を正とするＹ軸方向である。また、非球面形状は上記（ｄ）式で与えられる。なお、各表において「Ｅｎ」は１０のｎ乗を表す。
【００３８】
表９に第３実施例の条件対応数値を示す。表９において、φ（＝１／ｆ）は全系のパワー、φ１は第１凹面鏡Ｍ１のパワー、φ２は凸面鏡のパワー、φ３は第２凹面鏡のパワー、Ｍは第１凹面鏡Ｍ１及び凸面鏡Ｍ２により構成されるアフォーカル系の角倍率を示す。
【００３９】
【表７】
【表８】
【表９】
【００４２】
図９の横収差図において、軸外し反射光学系の光軸をＺ軸とし、このＺ軸に垂直でかつ図８の紙面内方向の軸をＹ軸、ＹＺ平面に垂直な軸をＺ軸とするとき、図９（Ａ）はＹＺ平面における入射角が−７．１０°でＸＺ平面における入射角が２．５０°の場合に入射瞳面における光束中のＹＺ断面の光線の横収差を示し、図９（Ｂ）はＹＺ平面における入射角が−７．１０°でＸＺ平面における入射角が１．７５°の場合に入射瞳面における光束中のＹＺ断面の光線の横収差を示し、図９（Ｃ）はＹＺ平面における入射角が−７．１０°でＸＺ平面における入射角が０．００°の場合に入射瞳面における光束中のＹＺ断面の光線の横収差を示す。図９（Ｄ）はＹＺ平面における入射角が−７．１０°でＸＺ平面における入射角が２．５０°の場合に入射瞳面における光束中のＸＺ断面の光線の横収差を示し、図９（Ｅ）はＹＺ平面における入射角が−７．１０°でＸＺ平面における入射角が１．７５°の場合に入射瞳面における光束中のＸＺ断面の光線の横収差を示し、図９（Ｆ）はＹＺ平面における入射角が−７．１０°でＸＺ平面における入射角が０．００°の場合に入射瞳面における光束中のＸＺ断面の光線の横収差を示す。そして、図１０（Ａ）はＹＺ平面における入射角が−７．１０°でＸＺ平面における入射角が２．５０°の場合の像面でのスポットダイアグラム、図１０（Ｂ）はＹＺ平面における入射角が−７．１０°でＸＺ平面における入射角が１．７５°の場合の像面でのスポットダイアグラム、図１０（Ｃ）はＹＺ平面における入射角が−７．１０°でＸＺ平面における入射角が０．００°の場合の像面でのスポットダイアグラムである。
【００４３】
以上の通り、第３実施例にかかる軸外し反射光学系は、コンパクト化が図られているにもかかわらず、優れた結像性能を達成していることが分かる。
【００４４】
【発明の効果】
本発明によれば、第１の凹面鏡・凸面鏡・第２の凹面鏡からなる中心遮蔽のない軸外し反射光学系の各反射鏡を非球面とし、第１の凹面鏡と凸面鏡をアフォーカル系とすることにより、従来に比べ光学系の小型化を実現し、また、光学性能の優れた軸外し反射光学系を提供することが可能となった。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明にかかる第１実施例の光路図である。
【図２】第１実施例の横収差図である。
【図３】第１実施例のスポットダイアグラムである。
【図４】第１実施例の変形例を示す光路図である。
【図５】本発明にかかる第２実施例の光路図である。
【図６】第２実施例の横収差図である。
【図７】第２実施例のスポットダイアグラムである。
【図８】本発明にかかる第３実施例の光路図である。
【図９】第３実施例の横収差図である。
【図１０】第３実施例のスポットダイアグラムである。
【符号の説明】
Ｍ１：第１凹面鏡
Ｍ２：凸面鏡
Ｍ３：第２凹面鏡
Ｍ４：平面反射鏡
Ｓ ：絞り
Claims (5)
- 遠方物体の像を光軸外の位置に形成する軸外し反射光学系において、
光の入射側から順に、正パワーの第１凹面鏡と、負パワーの凸面鏡と、正パワーの第２凹面鏡とを有し、
前記第１凹面鏡と前記凸面鏡とは実質的にアフォーカル光学系を構成しており、
前記凸面鏡と前記第２凹面鏡との間の光路中には絞りが配置され、
前記第１凹面鏡、前記凸面鏡及び前記第２凹面鏡の反射面形状は非球面であることを特徴とする軸外し反射光学系。 - 前記絞りは前記光軸に対して偏心した位置に配置されることを特徴とする請求項１記載の軸外し反射光学系。
- 前記絞りの位置に平面反射鏡が配置されることを特徴とする請求項１記載の軸外し反射光学系。
- 以下の条件を満足することを特徴とする請求項１乃至３の何れか一項記載の軸外し反射光学系。
φ＞φ１／（１＋Ｍ）
但し
φ ：全系のパワー
φ１：前記第１凹面鏡のパワー
Ｍ ：前記アフォーカル光学系の角倍率
である。 - 遠方物体の像を光軸外の位置に形成する軸外し反射光学系において、
光の入射側から順に、正パワーの第１凹面鏡と、負パワーの凸面鏡と、正パワーの第２凹面鏡とを有し、
前記第１凹面鏡と前記凸面鏡とは実質的にアフォーカル光学系を構成しており、
前記凸面鏡上であって前記光軸に対して偏心した位置には絞りが配置され、
前記第１凹面鏡、前記凸面鏡及び前記第２凹面鏡の反射面形状は非球面であることを特徴とする軸外し反射光学系。
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Families Citing this family (13)
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|---|---|---|---|---|
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| CN103412397B (zh) * | 2013-07-12 | 2016-01-20 | 中国电子科技集团公司第四十一研究所 | 基于光束变换的大口径激光远场分布检测系统及方法 |
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| JP2020086174A (ja) * | 2018-11-27 | 2020-06-04 | 富士フイルム株式会社 | 結像光学系、投写型表示装置、および撮像装置 |
| CN116909017B (zh) * | 2023-09-13 | 2023-11-21 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 一种Cooke式球像场三反消像散望远镜设计方法 |
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Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN101318029B (zh) * | 2008-06-20 | 2012-02-01 | 周辉 | 眼用可塑性高分子聚合材料及其应用 |
| TWI724275B (zh) * | 2018-01-12 | 2021-04-11 | 鴻海精密工業股份有限公司 | 自由曲面離軸三反成像系統 |
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