JP3045483B2 - 反射光学系 - Google Patents
反射光学系Info
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- JP3045483B2 JP3045483B2 JP9079279A JP7927997A JP3045483B2 JP 3045483 B2 JP3045483 B2 JP 3045483B2 JP 9079279 A JP9079279 A JP 9079279A JP 7927997 A JP7927997 A JP 7927997A JP 3045483 B2 JP3045483 B2 JP 3045483B2
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- concave mirror
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、反射光学系に関
し、より詳細には、プッシュブルーム方式による走査に
より２次元画像を形成する反射望遠鏡光学系に関するも
のである。
し、より詳細には、プッシュブルーム方式による走査に
より２次元画像を形成する反射望遠鏡光学系に関するも
のである。
【０００２】
【従来の技術】反射光学系は、色収差がなく、温度変化
による結像性能の劣化が少ないこと等を特徴としている
ため、特に長焦点の望遠鏡に広く用いられている。近
年、リッチークレチアン、カセグレン、グレゴリアン等
の２枚構成の反射望遠鏡に代わり、広フィールドを実現
できる３枚構成の反射望遠鏡の例が多く開示されてい
る。米国特許第４，２４０，７０７号は、図７に示すよ
うに、物体からの光束を、第１の凹面鏡７１、その周囲
に絞り７４が配設されている凸面鏡７２、及び第２の凹
面鏡７３の順に反射させ、光軸７５外の像面に良像を形
成する構成が示されている。この構成の場合、光軸７５
上の入射瞳に向けて光軸７５からある角度傾いて光束が
入射すると、光軸７５から離れた円環状フィールド内に
像として良好なエリアが存在する。従って、上記構成の
反射光学系は、上記円環フィールドの像のみを取り込む
場合、中心遮蔽のない構成をとることができると共に、
プッシュブルーム方式による走査（円環状フィールド内
に配置されている１次元センサに対し、それに直交する
方向の走査）を行うことにより、２次元画像を形成する
ことができる。しかしながら、上記米国特許は、各反射
鏡の形状については、何ら開示していない。
による結像性能の劣化が少ないこと等を特徴としている
ため、特に長焦点の望遠鏡に広く用いられている。近
年、リッチークレチアン、カセグレン、グレゴリアン等
の２枚構成の反射望遠鏡に代わり、広フィールドを実現
できる３枚構成の反射望遠鏡の例が多く開示されてい
る。米国特許第４，２４０，７０７号は、図７に示すよ
うに、物体からの光束を、第１の凹面鏡７１、その周囲
に絞り７４が配設されている凸面鏡７２、及び第２の凹
面鏡７３の順に反射させ、光軸７５外の像面に良像を形
成する構成が示されている。この構成の場合、光軸７５
上の入射瞳に向けて光軸７５からある角度傾いて光束が
入射すると、光軸７５から離れた円環状フィールド内に
像として良好なエリアが存在する。従って、上記構成の
反射光学系は、上記円環フィールドの像のみを取り込む
場合、中心遮蔽のない構成をとることができると共に、
プッシュブルーム方式による走査（円環状フィールド内
に配置されている１次元センサに対し、それに直交する
方向の走査）を行うことにより、２次元画像を形成する
ことができる。しかしながら、上記米国特許は、各反射
鏡の形状については、何ら開示していない。
【０００３】上記米国特許明細書に示されているものと
同様の構成を有する反射光学系が、Ｒｅｆｌｅｃｔｉｖ
ｅ Ｏｐｔｉｃｓ（Ａｃａｄｅｍｉｃ Ｐｒｅｓｓ，１
９９１）にも示されており、この文献に示されている各
反射鏡の反射面の形状は、それぞれ、第１の凹面鏡は双
曲面、凸面鏡は楕円面、及び第２の凹面鏡は偏球面であ
る。
同様の構成を有する反射光学系が、Ｒｅｆｌｅｃｔｉｖ
ｅ Ｏｐｔｉｃｓ（Ａｃａｄｅｍｉｃ Ｐｒｅｓｓ，１
９９１）にも示されており、この文献に示されている各
反射鏡の反射面の形状は、それぞれ、第１の凹面鏡は双
曲面、凸面鏡は楕円面、及び第２の凹面鏡は偏球面であ
る。
【０００４】また、ＳＰＩＥ Ｖｏｌ．１１１３ Ｒｅ
ｆｌｅｃｔｉｖｅ ＯｐｔｉｃｓＩＩ（１９８９）ｐ
ｐ．１２６−１３３に示されている光学系は、その構成
が図７に示されているものと同様であり、各反射鏡は、
非球面形状式 ｚ＝Ｃ・ρ2／［１＋｛１−（１＋κ）・Ｃ2・
ρ2｝1/2］＋Ｄ・ρ6＋Ｅ・ρ8 において、下記の表１に示す係数を必要とする形状を有
している。
ｆｌｅｃｔｉｖｅ ＯｐｔｉｃｓＩＩ（１９８９）ｐ
ｐ．１２６−１３３に示されている光学系は、その構成
が図７に示されているものと同様であり、各反射鏡は、
非球面形状式 ｚ＝Ｃ・ρ2／［１＋｛１−（１＋κ）・Ｃ2・
ρ2｝1/2］＋Ｄ・ρ6＋Ｅ・ρ8 において、下記の表１に示す係数を必要とする形状を有
している。
【０００５】
【表１】
【０００６】ここで、上記表１に基づいて作成した光学
データの一例を下記の表２に示す。Ｆナンバは４．５、
焦点距離は１０００ｍｍである。また、表２に示されて
いる光学データに基づいて計算した横収差及びスポット
を図６に示す。
データの一例を下記の表２に示す。Ｆナンバは４．５、
焦点距離は１０００ｍｍである。また、表２に示されて
いる光学データに基づいて計算した横収差及びスポット
を図６に示す。
【０００７】
【表２】
【０００８】ここで、図６中の横収差図に付されている
符号について説明する。なお、以下の説明は、後述する
図４及び図５についても適用される。先ず、図７中の光
軸７５をｚ軸、図７が図示されている紙面内にあり且つ
光軸７５即ちｚ軸に垂直な軸をｙ軸、及びｙｚ平面に垂
直な軸をｘ軸とする。図６における「ｙ−ｚ断面」は入
射瞳面の光束のｙ−ｚ断面の光線の横収差を、「ｘ−ｚ
断面」は入射瞳面の光束のｘ−ｚ断面の光線の横収差を
表している。
符号について説明する。なお、以下の説明は、後述する
図４及び図５についても適用される。先ず、図７中の光
軸７５をｚ軸、図７が図示されている紙面内にあり且つ
光軸７５即ちｚ軸に垂直な軸をｙ軸、及びｙｚ平面に垂
直な軸をｘ軸とする。図６における「ｙ−ｚ断面」は入
射瞳面の光束のｙ−ｚ断面の光線の横収差を、「ｘ−ｚ
断面」は入射瞳面の光束のｘ−ｚ断面の光線の横収差を
表している。
【０００９】次に、「０．００°」、「１．５０°」、
「２．１０°」及び「３．００°」について説明する。
「０．００°」は、図７中の光束７６の主光線７７が、
上記紙面内にあり且つ光軸７５に対して８．７°の角度
を成して反射光学系７０に入射した場合を示す。
「２．１０°」及び「３．００°」について説明する。
「０．００°」は、図７中の光束７６の主光線７７が、
上記紙面内にあり且つ光軸７５に対して８．７°の角度
を成して反射光学系７０に入射した場合を示す。
【００１０】「１．５０°」、「２．１０°」及び
「３．００°」は、上記紙面に垂直な平面内において、
主光線に対してそれぞれ１．５０°、２．１０°及び
３．００°の角度を成し且つ上記紙面内の光軸７５に対
して８．７°の角度を成して反射光学系に入射した場合
を示す。
「３．００°」は、上記紙面に垂直な平面内において、
主光線に対してそれぞれ１．５０°、２．１０°及び
３．００°の角度を成し且つ上記紙面内の光軸７５に対
して８．７°の角度を成して反射光学系に入射した場合
を示す。
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】従来この種の反射光学
系に用いられている反射鏡は、上述したように、全て非
球面形状であり、そのような非球面形状を有する反射鏡
を加工する際には、コンピュータ制御による研磨を行
い、且つ、高い研磨精度を得るためには、ナル（ｎｕｌ
ｌ）干渉計等の特別な検査装置を用いて鏡面の検査を行
っている。この検査において、ナル・レンズと市販の干
渉計との組合せで非球面の検査を行うことができるが、
特に凸面の検査の場合においては、干渉計の口径と参照
用レンズの焦点距離を考えると、検査する凸面鏡の口径
が大きいときには複雑なナル干渉計を構成しなければな
らない。このため、測定系の信頼性が低下する一方、コ
ストは増大する等の問題が生ずる。更に、ナル干渉計に
は、後述のように、中心遮蔽の問題もある。また、被検
面が２次曲面の場合には、凸面であっても無収差となる
２つの焦点の性質を利用したヒンドル・スフィア（Ｈｉ
ｎｄｌｅ Ｓｐｈｅｒｅ）を用いた検査によって原理的
には検査可能ではあるが、やはりヒンドル・スフィアに
よる中心遮蔽の問題は避けらない。このため、殆どの場
合において全面測定が困難であり、従って、面形状がか
なり制約される等の問題があるため、簡易な検査ができ
ないという問題点があった。
系に用いられている反射鏡は、上述したように、全て非
球面形状であり、そのような非球面形状を有する反射鏡
を加工する際には、コンピュータ制御による研磨を行
い、且つ、高い研磨精度を得るためには、ナル（ｎｕｌ
ｌ）干渉計等の特別な検査装置を用いて鏡面の検査を行
っている。この検査において、ナル・レンズと市販の干
渉計との組合せで非球面の検査を行うことができるが、
特に凸面の検査の場合においては、干渉計の口径と参照
用レンズの焦点距離を考えると、検査する凸面鏡の口径
が大きいときには複雑なナル干渉計を構成しなければな
らない。このため、測定系の信頼性が低下する一方、コ
ストは増大する等の問題が生ずる。更に、ナル干渉計に
は、後述のように、中心遮蔽の問題もある。また、被検
面が２次曲面の場合には、凸面であっても無収差となる
２つの焦点の性質を利用したヒンドル・スフィア（Ｈｉ
ｎｄｌｅ Ｓｐｈｅｒｅ）を用いた検査によって原理的
には検査可能ではあるが、やはりヒンドル・スフィアに
よる中心遮蔽の問題は避けらない。このため、殆どの場
合において全面測定が困難であり、従って、面形状がか
なり制約される等の問題があるため、簡易な検査ができ
ないという問題点があった。
【００１２】図３は、凸面鏡の非球面とナル・テストを
行うためのナル干渉計を示している。図示のように、ナ
ル干渉計３０は、ナル・レンズ３１、ミラー３２、ナル
・ミラー３３及びフィゾー干渉計３５を備えており、被
検物３４の面形状を測定する。このとき、観察面３６
は、フィゾー干渉計３５の内部にある。この図３から分
るように、被検物３４即ち凸面鏡の中心部分はミラー３
３によって遮蔽されており、このため、凸面鏡全面の測
定を行うことはできない。しかも、ナル干渉光学系は高
精度に構成することが要求されるため、多大なコストが
発生する。
行うためのナル干渉計を示している。図示のように、ナ
ル干渉計３０は、ナル・レンズ３１、ミラー３２、ナル
・ミラー３３及びフィゾー干渉計３５を備えており、被
検物３４の面形状を測定する。このとき、観察面３６
は、フィゾー干渉計３５の内部にある。この図３から分
るように、被検物３４即ち凸面鏡の中心部分はミラー３
３によって遮蔽されており、このため、凸面鏡全面の測
定を行うことはできない。しかも、ナル干渉光学系は高
精度に構成することが要求されるため、多大なコストが
発生する。
【００１３】このように、非球面の凸面鏡を低コストで
且つ高い信頼性で測定することのできる測定系は存在し
ない。そして、反射鏡の測定系の信頼性が低くなれば、
光学系を構成したときに設計値に近い性能を達成するこ
とは困難になり、非球面を多用した反射光学系の優位性
は消滅する。また、図７に示す構成の光学系を組み立て
る場合、全ての反射鏡が非球面であると各反射鏡の軸を
見つけることが非常に困難であり、組立て・調整が難し
いという問題点もあった。
且つ高い信頼性で測定することのできる測定系は存在し
ない。そして、反射鏡の測定系の信頼性が低くなれば、
光学系を構成したときに設計値に近い性能を達成するこ
とは困難になり、非球面を多用した反射光学系の優位性
は消滅する。また、図７に示す構成の光学系を組み立て
る場合、全ての反射鏡が非球面であると各反射鏡の軸を
見つけることが非常に困難であり、組立て・調整が難し
いという問題点もあった。
【００１４】従って、本発明の目的は、非球面の凸面鏡
を使用しない反射光学系を提供することである。
を使用しない反射光学系を提供することである。
【００１５】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明によれば、遠方物体の像を光軸外に形成する
反射光学系であって、物体側から順に、第１の凹面鏡、
凸面鏡、及び第２の凹面鏡を有するものが提供され、こ
の反射光学系は、凸面鏡が球面で構成されていることを
特徴としている。
め、本発明によれば、遠方物体の像を光軸外に形成する
反射光学系であって、物体側から順に、第１の凹面鏡、
凸面鏡、及び第２の凹面鏡を有するものが提供され、こ
の反射光学系は、凸面鏡が球面で構成されていることを
特徴としている。
【００１６】この場合において、第１の凹面鏡が光軸に
関し回転対称な２次曲面であり、非球面形状式を ｚ＝Ｃ・ρ2／［１＋｛１−（κ＋１）・Ｃ2・ρ2｝1/2］ （式中、Ｃは曲率半径Ｒの逆数、ρは反射鏡面の光軸か
らの高さ、ｚはサグ（ｓａｇ）量、及びκは円錐係数を
それぞれ表す）としたとき、第１の凹面鏡の円錐係数κ
1が、 −９＜κ1＜−２ の条件を満たすのが好ましい。円錐係数κ1が−９以下
又は−２以上になると、反射光学系の小型化が困難にな
る。
関し回転対称な２次曲面であり、非球面形状式を ｚ＝Ｃ・ρ2／［１＋｛１−（κ＋１）・Ｃ2・ρ2｝1/2］ （式中、Ｃは曲率半径Ｒの逆数、ρは反射鏡面の光軸か
らの高さ、ｚはサグ（ｓａｇ）量、及びκは円錐係数を
それぞれ表す）としたとき、第１の凹面鏡の円錐係数κ
1が、 −９＜κ1＜−２ の条件を満たすのが好ましい。円錐係数κ1が−９以下
又は−２以上になると、反射光学系の小型化が困難にな
る。
【００１７】更に、第２の凹面鏡が光軸に関し回転対称
な２次曲面であり、その円錐係数κ2が、 ０＜κ2＜０．５ の条件を満たすのが好ましい。円錐係数κ2が０以下又
は０．５以上になると、反射光学系の小型化が困難にな
る。なお、より好ましくは、０．１５＜κ2＜０．２で
ある。
な２次曲面であり、その円錐係数κ2が、 ０＜κ2＜０．５ の条件を満たすのが好ましい。円錐係数κ2が０以下又
は０．５以上になると、反射光学系の小型化が困難にな
る。なお、より好ましくは、０．１５＜κ2＜０．２で
ある。
【００１８】また、好適に、凸面鏡の周囲には絞りが配
設されており、且つ、反射光学系は像側にテレセントリ
ックである。
設されており、且つ、反射光学系は像側にテレセントリ
ックである。
【００１９】更に、反射光学系のＦナンバーは３．５以
上であるのが好ましい。Ｆナンバーが３．５未満である
と、入射角が大きくなり、これにより、非点隔差が大き
くなり、もって広フィールドの実現が困難になる。ま
た、口径が大きくなるので、球面収差やコマ収差も大き
くなる。
上であるのが好ましい。Ｆナンバーが３．５未満である
と、入射角が大きくなり、これにより、非点隔差が大き
くなり、もって広フィールドの実現が困難になる。ま
た、口径が大きくなるので、球面収差やコマ収差も大き
くなる。
【００２０】
【発明の実施の形態】図１を参照するに、本発明に係る
反射光学系１０は、非球面形状の第１の凹面鏡１１、球
面形状の凸面鏡１２、及び非球面形状の第２の凹面鏡１
３を備えており、凸面鏡１２の周囲には絞り１４が配設
されている。各反射鏡の曲率中心は光学系の光軸１５上
にあり、反射光学系１０は、共軸系を成している。光軸
１５から所定角度傾いて第１の反射鏡１１の後方にある
虚の入射瞳に向けて、主光線１７を含む、遠方の物体か
らの光束１６が入射し、第１の凹面鏡１１、凸面鏡１
２、及び第２の凹面鏡１３の順に反射して光軸１５外の
像面１８に良像を形成する。ここで、良像を形成する範
囲は、光軸１５から離れた円環状のフィールド内であ
り、この部分に達する光束は、光学系を構成する反射鏡
によって遮蔽されることはない。また、凸面鏡１２と第
２の凹面鏡１３との位置関係は、実質的に第２の凹面鏡
１３の中心曲率半径の２分の１の位置に凸面鏡１２が配
置されており、もって、反射光学系１０は、実質的にテ
レセントリックな光学系を成している。
反射光学系１０は、非球面形状の第１の凹面鏡１１、球
面形状の凸面鏡１２、及び非球面形状の第２の凹面鏡１
３を備えており、凸面鏡１２の周囲には絞り１４が配設
されている。各反射鏡の曲率中心は光学系の光軸１５上
にあり、反射光学系１０は、共軸系を成している。光軸
１５から所定角度傾いて第１の反射鏡１１の後方にある
虚の入射瞳に向けて、主光線１７を含む、遠方の物体か
らの光束１６が入射し、第１の凹面鏡１１、凸面鏡１
２、及び第２の凹面鏡１３の順に反射して光軸１５外の
像面１８に良像を形成する。ここで、良像を形成する範
囲は、光軸１５から離れた円環状のフィールド内であ
り、この部分に達する光束は、光学系を構成する反射鏡
によって遮蔽されることはない。また、凸面鏡１２と第
２の凹面鏡１３との位置関係は、実質的に第２の凹面鏡
１３の中心曲率半径の２分の１の位置に凸面鏡１２が配
置されており、もって、反射光学系１０は、実質的にテ
レセントリックな光学系を成している。
【００２１】ここで、本発明においては、凸面鏡１２の
面形状は、非球面ではなく、球面である。このため、図
２に示すフィゾー干渉計２０による面形状の検査が可能
となり、もって検査が容易となり、且つ、球面は、非球
面に比べると加工も容易であり、加工誤差も生じ難い。
なお、フィゾー干渉計２０は、参照面２１ａを有する参
照レンズ２１とハーフミラー２２とを備えており、面形
状の検査は、被検物２３を観察面２４で観察することに
より行う。また、凸面鏡が球面であるため凸面鏡の軸が
容易に設定でき、これを基準に組み立てることができる
ため、組立て・調整が容易になる。
面形状は、非球面ではなく、球面である。このため、図
２に示すフィゾー干渉計２０による面形状の検査が可能
となり、もって検査が容易となり、且つ、球面は、非球
面に比べると加工も容易であり、加工誤差も生じ難い。
なお、フィゾー干渉計２０は、参照面２１ａを有する参
照レンズ２１とハーフミラー２２とを備えており、面形
状の検査は、被検物２３を観察面２４で観察することに
より行う。また、凸面鏡が球面であるため凸面鏡の軸が
容易に設定でき、これを基準に組み立てることができる
ため、組立て・調整が容易になる。
【００２２】
［実施例１］本発明の第１実施例の光学データを下記の
表３に示す。Ｆナンバは４．５、焦点距離は１０００で
ある。
表３に示す。Ｆナンバは４．５、焦点距離は１０００で
ある。
【００２３】
【表３】
【００２４】表３に示されている光学データに基づいて
計算した横収差及びスポットを図４に示す。図４と図６
との比較から、本発明の第１実施例は、性能において従
来例に遜色がないということが理解されよう。
計算した横収差及びスポットを図４に示す。図４と図６
との比較から、本発明の第１実施例は、性能において従
来例に遜色がないということが理解されよう。
【００２５】［実施例２］本発明の第２実施例の光学デ
ータを下記の表４に示す。Ｆナンバは６．７、焦点距離
は１０００である。
ータを下記の表４に示す。Ｆナンバは６．７、焦点距離
は１０００である。
【００２６】
【表４】
【００２７】表４に示されている光学データに基づいて
計算した横収差及びスポットを図５に示す。図５から、
本発明の第２実施例は、十分実用に耐え得る性能を有し
ているということが理解されよう。
計算した横収差及びスポットを図５に示す。図５から、
本発明の第２実施例は、十分実用に耐え得る性能を有し
ているということが理解されよう。
【００２８】
【発明の効果】以上のように、本発明によれば、中心遮
蔽のない軸外し反射光学系の凸面鏡を球面化することに
より、凸面鏡の加工信頼性を向上させることが可能にな
ると共に、検査・加工にかかるコストを大幅に削減する
ことが可能になる。また、凸面鏡を基準に組み立てるこ
とができ、組立て・調整の容易化が可能となる。
蔽のない軸外し反射光学系の凸面鏡を球面化することに
より、凸面鏡の加工信頼性を向上させることが可能にな
ると共に、検査・加工にかかるコストを大幅に削減する
ことが可能になる。また、凸面鏡を基準に組み立てるこ
とができ、組立て・調整の容易化が可能となる。
【図１】本発明に係る反射光学系の基本的な構成を示す
概略図である。
概略図である。
【図２】フィゾー干渉計の構成を示す概略図である。
【図３】ナル干渉計の構成を示す概略図である。
【図４】本発明に係る反射光学系の第１実施例における
横収差及びスポットを示す図である。
横収差及びスポットを示す図である。
【図５】本発明に係る反射光学系の第２実施例における
横収差及びスポットを示す図である。
横収差及びスポットを示す図である。
【図６】従来の反射光学系における横収差及びスポット
を示す図である。
を示す図である。
【図７】従来の反射光学系を示す図である。
１０ 反射光学系 １１ 第１の凹面鏡 １２ 凸面鏡 １３ 第２の凹面鏡 １４ 絞り １５ 光軸 １６ 光束 １７ 主光線 １８ 像面 ２０ フィゾー干渉計 ３０ ナル干渉計
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 岡村 壽洋 神奈川県川崎市中原区木月住吉町2022ジ ョイメゾン105 (72)発明者 小笠原 俊広 東京都港区芝５丁目７番１号 日本電気 株式会社内 (72)発明者 作田 博伸 東京都千代田区丸の内３丁目２番３号 株式会社ニコン内 (56)参考文献 特開 平７−146442（ＪＰ，Ａ) 特表 平１−502461（ＪＰ，Ａ) 米国特許4240707（ＵＳ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G02B 9/00 - 17/08 G02B 21/02 - 21/04 G02B 25/00 - 25/04
Claims (4)
- 【請求項１】 遠方物体の像を光軸外に形成する反射光
学系であって、物体側から順に、第１の凹面鏡、凸面
鏡、及び第２の凹面鏡を有するものにおいて、 前記凸面
鏡が球面で構成されており、且つ前記第１の凹面鏡は光
軸に関し回転対称な２次曲面であり、非球面形状式を ｚ＝Ｃ・ρ2／［１＋｛１−（１＋κ1）・Ｃ2・ρ2｝
1/2］ で表し、Ｃを曲率半径Ｒの逆数、ρを反射鏡面の光軸か
らの高さ、ｚをサグ（ｓａｇ）量、及びκ1を前記第１
の凹面鏡の円錐係数としたとき、 −９＜κ1＜−２ の条件を満たすことを特徴とする反射光学系。 - 【請求項２】 前記第２の凹面鏡は光軸に関し回転対称
な２次曲面であり、非球面形状式を ｚ＝Ｃ・ρ2／［１＋｛１−（１＋κ2）・Ｃ2・ρ2｝
1/2］ で表し、Ｃを曲率半径Ｒの逆数、ρを反射鏡面の光軸か
らの高さ、ｚをサグ（ｓａｇ）量、及びκ2を前記第２
の凹面鏡の円錐係数としたとき、 ０＜κ2＜０．５ の条件を満たす請求項１に記載の反射光学系。 - 【請求項３】 前記凸面鏡の周囲に絞りが配設されてお
り、且つ像側にテレセントリックである請求項１又は２
に記載の反射光学系。 - 【請求項４】 前記反射光学系のＦナンバーは３．５以
上である請求項１〜３のいずれか一項に記載の反射光学
系。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9079279A JP3045483B2 (ja) | 1997-03-31 | 1997-03-31 | 反射光学系 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9079279A JP3045483B2 (ja) | 1997-03-31 | 1997-03-31 | 反射光学系 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10274740A JPH10274740A (ja) | 1998-10-13 |
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