JP4279089B2 - Manufacturing method of component built-in wiring board, component built-in wiring board - Google Patents
Manufacturing method of component built-in wiring board, component built-in wiring board Download PDFInfo
- Publication number
- JP4279089B2 JP4279089B2 JP2003302391A JP2003302391A JP4279089B2 JP 4279089 B2 JP4279089 B2 JP 4279089B2 JP 2003302391 A JP2003302391 A JP 2003302391A JP 2003302391 A JP2003302391 A JP 2003302391A JP 4279089 B2 JP4279089 B2 JP 4279089B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wiring board
- conductive layer
- component
- conductive
- layers
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Production Of Multi-Layered Print Wiring Board (AREA)
Description
本発明は、部品内蔵配線板の製造方法および部品内蔵配線板に係り、特に、さらなる部品実装密度向上に適する部品内蔵配線板の製造方法および部品内蔵配線板に関する。 The present invention relates to a method for manufacturing a component built-in wiring board and a component built-in wiring board, and more particularly, to a method for manufacturing a component built-in wiring board suitable for further improvement in component mounting density and a component built-in wiring board.
近年、エレクトロニクス技術が進展し電子機器や通信機器が高機能化され、かつ小型化も進んでいる。このような状況で配線板への例えば半導体の実装では、実装密度を向上するためパッケージ実装によらないベアチップ実装法が実用化されてきている。また、コンデンサや抵抗などの受動部品では、チップ実装型のものが、0.6mm×0.3mm(0603)のサイズまで小型化している。 In recent years, electronic technology has advanced, electronic devices and communication devices have become highly functional, and miniaturization has also progressed. In such a situation, for example, semiconductor mounting on a wiring board, a bare chip mounting method not using package mounting has been put into practical use in order to improve mounting density. In addition, passive components such as capacitors and resistors are downsized to a size of 0.6 mm × 0.3 mm (0603).
配線板自体としては、配線層間の電気的接続(層間接続)が、スルーホールの内表面に形成された導電層によるものから、CO2レーザやUV−YAGレーザにより各層ごとにホールを形成しその内側にめっきを形成するものや導電性ペーストを充填するものなど(いわゆるブラインドビア)に移行している。また、配線パターン形成には、その微細化のため、エッチングによる方法(サブトラクティブ工法)に代えてめっきにより配線をメタライズ形成する方法(アディティブ工法)も使用されつつある。これにより、L/S(ライン/スペース)=20μm/20μm程度まで微細形成可能となっている。 As the wiring board itself, the electrical connection between the wiring layers (interlayer connection) is based on the conductive layer formed on the inner surface of the through hole, and a hole is formed for each layer by a CO 2 laser or a UV-YAG laser. There is a shift to those that form plating on the inside and those that are filled with conductive paste (so-called blind vias). For wiring pattern formation, a method (additive method) of forming a metallized wiring by plating instead of a method by etching (subtractive method) is being used for miniaturization. Thereby, it is possible to form finely up to about L / S (line / space) = about 20 μm / 20 μm.
このような状況でさらに部品実装密度を向上し機器の小型化に資するには、例えば、配線板内に部品を内蔵する部品内蔵配線板を用いることができる。部品内蔵配線板には、例えば、実開平5−53269号公報に開示されたものがある。
上記公報に開示されたものでは、基板内に内蔵して実装される部品は、基板上に実装される場合と同様に、部品の端子それぞれに対応して設けられたランド(当然、板厚み方向とは垂直方向に形成されている)上に接続される。ここで、部品が基板内に内蔵される場合には、その部品の各周りは電気的接続部を除いて絶縁樹脂で覆われ密着されるのが好ましい。未充填部位が生じると信頼性を劣化させるからである。この点で、上記公報のものは、構造上、部品とこの部品が直接実装される基板との間に隙間が生じた場合、この隙間は非常に狭く樹脂の未充填が生じやすい。 In what is disclosed in the above publication, the component mounted and mounted in the substrate is the land (corresponding to the thickness direction of the plate) provided corresponding to each terminal of the component, as in the case of mounting on the substrate. Are formed in the vertical direction). Here, when the component is built in the substrate, it is preferable that the periphery of the component is covered and intimately covered with an insulating resin except for the electrical connection portion. This is because reliability is deteriorated when an unfilled portion is formed. In this regard, in the above-mentioned publication, when a gap is generated between the component and the substrate on which the component is directly mounted, the gap is very narrow and the resin is not easily filled.
本発明は、上記した事情を考慮してなされたもので、部品内蔵配線板の製造方法および部品内蔵配線板において、信頼性を損なうことなくさらなる部品実装密度を向上することが可能な部品内蔵配線板の製造方法および部品内蔵配線板を提供することを目的とする。 The present invention has been made in consideration of the above-described circumstances. In the method for manufacturing a wiring board with a built-in component and the wiring board with a built-in component, the wiring with a built-in component that can further improve the component mounting density without impairing the reliability. It is an object to provide a board manufacturing method and a component built-in wiring board.
上記の課題を解決するため、本発明に係る部品内蔵配線板の製造方法は、少なくとも上下両面に第1の導電層を有するコア配線板を製造する工程と、前記製造されたコア配線板にほぼ円形の単一の貫通孔を、板面内方向に対してほぼ垂直に形成する工程と、前記形成された貫通孔の内壁面上に第2の導電層を形成する工程と、前記第1の導電層をパターニングする工程と、前記貫通孔の内壁面上に形成された前記第2の導電層を2つに分断するように、前記貫通孔の縁部の向かい合う位置に2箇所のドリリングを行う工程と、前記分断で得られた2つの第2の導電層それぞれの横方向ほぼ中央に対して2つの端子のおのおのが向かい合うように、前記貫通孔内に、厚み方向にほぼ面対称の形状を有する2端子の電気/電子部品を位置させる工程と、前記位置させられた電気/電子部品の前記2つの端子と前記2つの第2の導電層とをそれぞれ半田で接続する工程と、前記半田により前記電気/電子部品が接続された前記コア配線板の上下両面それぞれに重ね前記2つの第2の導電層の上下端面を上下から挟んでかつ前記電気/電子部品の周りを板厚み方向にほぼ対称に充填するように絶縁層を積層形成する工程とを具備することを特徴とする。 To solve the above problems, a manufacturing method of the wiring board according to the present invention includes the steps of producing a core wiring board having a first conductive layer on at least upper and lower surfaces, before SL core wiring board manufactured Forming a substantially circular single through hole substantially perpendicular to the in-plane direction of the plate, forming a second conductive layer on the inner wall surface of the formed through hole, and the first guiding the step of patterning the conductive layer, the second conductive layer formed on the inner wall surface on the through-hole so as to divide into two, the drilling of two places in a position facing the edge of the through hole process and the like each of the two terminals for the obtained two second conductive layers each lateral almost centrally divided face each other, in the through hole, substantially plane-symmetrical in the thickness direction shape to perform Engineering positioning the second electrical / electronic component terminal having When the core and the step of connecting the said two and two pin second conductive layer of the electrical / electronic components, which are then the positions respectively with solder, wherein the electrical / electronic component by solder is connected Insulating layers are formed so as to overlap each other on both upper and lower surfaces of the wiring board so that the upper and lower end surfaces of the two second conductive layers are sandwiched from above and below and the electric / electronic parts are filled almost symmetrically in the thickness direction of the plate. And a process.
この製造方法では、内蔵部品の端子に接続するための導電層を、内蔵すべき電気/電子部品を位置させる空間である貫通孔の内表面に形成する。形成された導電層は内蔵部品の端子の数に応じて分断される。したがって、その部品の端子と導電層との接続は、例えば水平方向にブリッジした形状の導電部材によりなされ得る。よって、内蔵部品の周りに間隙を生じにくくした構造となり、内蔵部品の周りには積層のための絶縁層が充填・密着され得る。したがって、内蔵部品の周辺に空隙が発生せず信頼性を劣化させない配線板を製造することができる。 In this manufacturing method, a conductive layer for connecting to a terminal of a built-in component is formed on the inner surface of a through hole, which is a space where an electric / electronic component to be built is located. The formed conductive layer is divided according to the number of terminals of the built-in component. Therefore, the connection between the terminal of the component and the conductive layer can be made, for example, by a conductive member having a bridge shape in the horizontal direction. Therefore, it becomes a structure in which a gap is hardly generated around the built-in component, and an insulating layer for stacking can be filled and adhered around the built-in component. Therefore, it is possible to manufacture a wiring board in which no gap is generated around the built-in component and reliability is not deteriorated.
また、本発明に係る部品内蔵配線板は、第1の半径の第1の円弧、該第1の円弧に連なる前記第1の半径より小さな第2の半径の第2の円弧、該第2の円弧に連なりかつ前記第1の円弧と同一円を構成する第3の円弧、ならびに該第3の円弧および前記第1の円弧に連なるほぼ前記第2の半径の第4の円弧で構成される縁部を有する開口の形成された第1の絶縁層と、前記開口の前記第2および前記第4の円弧の内壁面上を除く前記第1および前記第3の円弧の内壁面上に、板面内方向に対してほぼ垂直に形成され、かつ板上下面には表出せずに埋設されている導電層と、端子を有し、前記埋設された導電層に前記端子が対向するように板内埋設された、厚み方向にほぼ面対称の形状を有する2端子の電気/電子部品と、前記埋設された電気/電子部品の前記2つの端子と前記導電層との間隙に設けられ、前記導電層の横方向端部に接触せずに前記2つの端子と前記開口の前記第1および前記第3の円弧の内壁面上の前記導電層それぞれとを電気的・機械的におのおの接続する半田と、前記埋設された電気/電子部品の外表面のうち前記半田に接続される部位以外を覆いかつ前記電気/電子部品の板厚み方向上下にほぼ対称に密着するように設けられ、かつ前記導電層を板内埋設すべく該導電層の上下端面を上下から挟むように設けられた上下2つの第2、第3の絶縁層とを具備することを特徴とする。 The component built-in wiring board according to the present invention includes a first arc having a first radius, a second arc having a second radius smaller than the first radius, and the second arc continuing to the first arc. An edge composed of a third arc that is connected to the arc and forms the same circle as the first arc, and a fourth arc of the second radius that is connected to the third arc and the first arc. A first insulating layer having an opening having a portion and a plate surface on the inner wall surface of the first and third arcs except for the inner wall surface of the second and fourth arcs of the opening; A conductive layer that is formed substantially perpendicular to the inward direction and embedded in the upper and lower surfaces of the plate without being exposed, and a terminal , and in the plate so that the terminal faces the embedded conductive layer buried, and the electrical / electronic components of the two-terminal having the shape of a substantially plane-symmetrical in the thickness direction, the buried electrically Provided in a gap between the two terminals of the electronic component and the conductive layer, of said two terminals and said first and said third circular arc of the opening without contacting the lateral ends of the conductive layer and solder for electrically and mechanically each connecting the respective said conductive layers on the walls, cover the other sites said being connected to the solder of the embedded electrical / electronic components of the outer surface and the electrical / electronic components plate provided so as to be in close contact in the thickness direction vertically substantially symmetrical, and the conductive layer vertically provided so as to sandwich the upper and lower end surfaces of the conductive layer so as to embedded within the plate from the top and bottom two second, third And an insulating layer.
この部品内蔵配線板では、内蔵部品の端子に接続するための導電層が板厚み方向に形成されており、導電層の横方向幅は接続部材を介する内蔵部品との接続に十分余裕がある。したがって、その部品の端子と導電層との接続は、例えば水平方向にブリッジした形状の導電部材によりなされる。よって、内蔵部品の周りに間隙を生じにくくした構造となり、内蔵部品の周りには上下2つの絶縁層が密着する。したがって、内蔵部品の周辺に空隙が発生せず信頼性を劣化させない。 In this component built-in wiring board, the conductive layer for connecting to the terminal of the built-in component is formed in the plate thickness direction, and the lateral width of the conductive layer has a sufficient margin for connection with the built-in component via the connecting member. Therefore, the connection between the terminal of the component and the conductive layer is made by, for example, a conductive member bridged in the horizontal direction. Therefore, the structure is such that a gap is hardly generated around the built-in component, and the upper and lower insulating layers are in close contact with the built-in component. Therefore, no gap is generated around the built-in component, and reliability is not deteriorated.
本発明によれば、内蔵部品の端子に接続するための導電層が板厚み方向に形成され、したがって、その部品の端子と導電層との接続は、例えば水平方向にブリッジした形状の導電部材によりなされる。よって、内蔵部品の周りに間隙を生じにくくした構造となり、内蔵部品の周りには上下2つの絶縁層が密着し得る。ゆえに、内蔵部品の周辺に空隙が発生せず信頼性を劣化させない。 According to the present invention, the conductive layer for connecting to the terminal of the built-in component is formed in the plate thickness direction. Therefore, the connection between the terminal of the component and the conductive layer is performed by, for example, a conductive member bridged in the horizontal direction. Made. Therefore, the gap is less likely to occur around the built-in component, and the upper and lower two insulating layers can be in close contact with the built-in component. Therefore, no gap is generated around the built-in component, and reliability is not deteriorated.
本発明の実施態様として、前記形成された貫通孔の内壁面上に第2の導電層を形成する前記工程が、無電解めっきにより下地となる導電層を形成する工程と、前記形成された下地を種に用いて電解めっきにより上層となる導電層を形成する工程とを有する、とすることができる。このような2段階のめっきを用いることで効率的なめっき形成を行なうことができる。 As an embodiment of the present invention, the step of forming a second conductive layer on the inner wall surface of the formed through hole, forming a conductive layer serving as a base by electroless plating, is the formed base And a step of forming a conductive layer as an upper layer by electrolytic plating using as a seed. Efficient plating can be formed by using such two-stage plating.
また、実施態様として、前記貫通孔内に、厚み方向にほぼ面対称の形状を有する2端子の電気/電子部品を位置させる前記工程が、前記貫通孔からのぞく前記コア配線板の下位置に支持部材をあてがい、前記支持部材上に前記電気/電子部品を位置させてなされる、とすることができる。部品の実装位置は、コア配線板に形成された空間であるが、このように支持部材を利用することで、通常のマウンタなど既存の製造装置の利用を図ることができる。 The support, as a form, in the through hole, the step of positioning the electrical / electronic components of the two-terminal having the shape of a substantially plane-symmetrical in the thickness direction, the lower position of the core wiring board except from the through hole Ategai member, said support member said electric / electronic component is a position which name is on, can be. The mounting position of the component is a space formed in the core wiring board. By using the support member in this way, it is possible to use an existing manufacturing apparatus such as a normal mounter.
また、実施態様として、少なくとも上下両面に第1の導電層を有するコア配線板を製造する前記工程が、配線層を4つ有するコア配線板を製造するものであり、かつ、これらの配線層同士の電気的接続が導電性バンプでなされるように製造される、とすることができる。配線層を4つとすることにより、コア配線板の厚さを部品内蔵空間が確保しやすい寸法とし、配線層同士の層間接続を導電性バンプで行なうことにより一層の高密度実装を実現する。 Further, as an aspect, wherein the step of manufacturing the core wiring board having a first conductive layer on at least upper and lower surfaces are are those to produce the core wiring board having four wiring layers and the wiring layers to each other it can be electrically connected are produced as is done with a conductive bump, and to. By using four wiring layers, the thickness of the core wiring board is set to a dimension that can easily secure the component built-in space, and the interlayer connection between the wiring layers is performed by conductive bumps, thereby realizing higher density mounting.
また、部品内蔵配線板の実施態様として、前記埋設された導電層に電気的に接続可能な複数の板方向導電層と、前記複数の板方向導電層を層間接続する導電性バンプによる層間接続体とをさらに具備するようにしてもよい。 Further, as an embodiment of the component built-in wiring board, an interlayer connection body including a plurality of plate-direction conductive layers that can be electrically connected to the embedded conductive layers, and conductive bumps that connect the plurality of plate-direction conductive layers to each other May be further provided.
以上を踏まえ、以下では本発明の実施形態を図面を参照しながら説明する。図1は、本発明の一実施形態に係る部品内蔵配線板の模式的な構成を示す断面図(図1(a))および一部平面図(図1(b))である。 Based on the above, embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 is a cross-sectional view (FIG. 1 (a)) and a partial plan view (FIG. 1 (b)) showing a schematic configuration of a component built-in wiring board according to an embodiment of the present invention.
この実施形態は、図1(a)に示すように、絶縁層11〜14を有し、絶縁層11、12の境界付近、絶縁層13、14の境界付近、および上下面に配線層21〜24をそれぞれ有する4層配線板である。配線層21、22間、および配線層23、24間の電気的接続(層間接続)は導電性バンプ41、42によりそれぞれなされている。このような導電性バンプ41、42により、配線板主面の利用効率が向上し高密度実装に適する。内側の配線層22、23間の層間接続は、縦方向の導電層34、35によるもの以外は図示していないが、導電性組成物によるいわゆるブラインドビアなどの形成により行うことも可能である。なお、上下面の符号31、32は、半田レジストである。
As shown in FIG. 1A, this embodiment has insulating
また、内側の配線層22、23の水平レベル内に含まれるように電気/電子部品33(例えばここではチップ抵抗)が内蔵される。部品33は、その両端子が接続部材としての半田36、37を介して、板厚み方向に形成された導電層34、35に向かい合いかつ電気的、機械的に接続されている。導電層34、35は、図示するように、内側の配線層22、23との直接的な電気的接続が可能となっている。
Further, an electric / electronic component 33 (for example, a chip resistor here) is incorporated so as to be included in the horizontal level of the
部品33は、平面的に見ると図1(b)に示すように配設されている。すなわち、部品33を内蔵するため内側の絶縁層12、13には貫通空間が形成され、この貫通空間は、部品33および接続するための半田36、37ならびに上下両側の絶縁層11、14の内側へのはみ出し部により占められている。半田36、37は、導電層34、35の横方向端部(=製造工程上バリの発生があり得る。詳しくは後述。)までは達していない。なお、部品33は、通常、図1(a)に示す厚さの方が図1(b)に示す幅より寸法が小さいが、図1では配線板の厚み方向を強調拡大して示すため部品33についても厚さの方が大きく表示されている。
The
具体的な寸法(厚さ)は、部品33として0603のチップ抵抗を使用したとき、絶縁層12、13の合計厚が例えば0.2mm〜0.3mm程度となるように、これらの絶縁層12、13それぞれが0.1mmないし0.15mm程度の厚さである。部品としてこれより大きい(厚い)ものを用いる場合には、それに応じた厚さを有する絶縁層12、13を用いることができる。絶縁層12、13は、単一の層のものを用いてもよいが、この実施形態では2つの層の積層により所定の厚さを得ている。
Specific dimensions (thicknesses) are such that when a chip resistance of 0603 is used as the
なお、各部材料は、絶縁層11〜14には例えばエポキシ樹脂、ポリイミド樹脂、ビスマレイミドトリアジン樹脂など、配線層21〜24や導電層34、35には例えば銅など、導電性バンプ41、42には、例えば微細な金属粒(銀、銅、金、半田など)を樹脂中に分散させた導電性樹脂などを用いることができる。また、半田36、37については、これに代えて導電性樹脂を用いることができる。
The material of each part is, for example, epoxy resin, polyimide resin, bismaleimide triazine resin, etc. for the insulating layers 11-14, copper, etc., for the wiring layers 21-24 and the
この実施形態の構造の配線板では、内蔵された部品33の周りを絶縁層11、14が覆うように密着し、空隙の発生を防止するので信頼性向上に極めて好ましい。なお、以上の記述では、電気/電子部品33としてチップ抵抗を例にして説明したが、チップコンデンサ、チップインダクタ、チップダイオードなど端子の配置構造がチップ抵抗とほぼ同じものでは同様な適用が可能である。
The wiring board having the structure of this embodiment is extremely preferable for improving the reliability because the insulating
次に、上記のような構造の部品内蔵配線板を製造するプロセスの例を図2ないし図6を参照して説明する。図2ないし図6は、本発明の一実施形態に係る部品内蔵配線板を製造するプロセスを模式的に断面(または一部平面)にて示す図である。これらの図において、同一相当の部位には同一符号を付してある。また、図1に示す配線板と対応する部位にも同一符号を付してある。 Next, an example of a process for manufacturing the component built-in wiring board having the above structure will be described with reference to FIGS. 2 to 6 are diagrams schematically showing a process of manufacturing the component built-in wiring board according to the embodiment of the present invention in a cross section (or a partial plane). In these drawings, the same reference numerals are assigned to the same equivalent portions. Moreover, the same code | symbol is attached | subjected also to the site | part corresponding to the wiring board shown in FIG.
図2は、コア配線板(部品が内蔵されるべき層を含む配線板素材)に部品内蔵用の貫通孔を形成する途中までの製造工程を示す断面図または一部平面図である。まず、図2(a)に示すように、絶縁板12、13が積層され、その上下面に銅箔(厚さは例えば18μm)22a、23aが配設された両面銅張り板を用意する。これがコア配線板になる。
FIG. 2 is a cross-sectional view or a partial plan view showing a manufacturing process up to the middle of forming a through hole for incorporating a component in a core wiring board (a wiring board material including a layer in which the component is to be incorporated). First, as shown in FIG. 2A, a double-sided copper-clad plate is prepared in which insulating
コア配線板が用意されたら、次に、図2(b1)、(b2)に示すように、コア配線板の必要な位置に円形の貫通孔51を形成する。貫通孔51は、内蔵部品との接続に用いる、板厚み方向の導電層を形成するためのものであり、かつ内蔵部品を位置させる空間となるものである。ここでは、貫通孔51として0.8mm径のNC(numerical control)ドリルを用いて内蔵部品ごとにひとつずつ設ける。ドリルにより孔を明けたら、孔内を、例えば高圧水洗浄および所定の薬液を用いるデスミア処理で洗浄しておく。なお、貫通孔51の形成に金型打ち抜きを用いることもできる。
After the core wiring board is prepared, next, as shown in FIGS. 2B1 and 2B2, circular through
次に、図2(c1)、(c2)に示すように、貫通孔51の内壁面を含むように例えば銅のめっき層52を例えば20μm厚で形成する。めっき層52の形成には、例えば、まず、化学銅めっきのような無電解めっきにより連続面のシード層を形成し、そのあと、形成されたシード層を種に例えば硫酸銅めっき浴にて電解めっき処理することよりなすことができる。このような2段階のめっきにより効率的にめっき層52を形成することができる。
Next, as shown in FIGS. 2C1 and 2C2, for example, a
なお、図2に示す工程は、部品内蔵用の貫通孔51の形成として説明したが、いわゆるブラインドビアによる層間接続の形成工程としての説明にもほぼなっている。すなわち、銅箔22a、23aによる配線層の間の電気的接続が必要な場合には、貫通孔51と同様な孔(ただし直径はそれより小)を形成し、さらにその内壁面にめっき層を形成すれば層間接続を形設することができる。
The process shown in FIG. 2 has been described as the formation of the component-embedded through-
図3は、コア配線板に部品内蔵用の貫通孔を形成する残りの製造工程を示す断面図または一部平面図である。 FIG. 3 is a cross-sectional view or a partial plan view showing the remaining manufacturing process for forming a through hole for incorporating a component in the core wiring board.
図2(c1)、(c2)に示すようにめっき層52が形成されたら、次に、両面の銅箔22a、23a(、および両面に位置するめっき層52)にパターニングを施し配線層22、23を形成する。このパターニングは、例えば、まず、銅箔22a、23a(両面に位置するめっき層52を含む。以下、次段落まで同。)の表面を化学研磨してレジスト用のドライフィルムとの密着性を向上したうえで、レジスト用ドライフィルムを銅箔22a、23aに積層する。そして、フォトマスクを介して例えば超高圧水銀灯を有するアライメント露光機でドライフィルムを露光し、さらに炭酸ナトリウムによってスプレー現像する。この現像パターンのドライフィルムを銅箔22a、23a上に残すことにより、パターニングされたレジストが銅箔22a、23a上に形成される。
After the
レジストが銅箔22a、23a上に形成されたら、これをマスクにエッチャントとして塩化第2鉄をベースとする薬液を用い、レジストパターンとして抜けた位置の銅箔22a、23aをスプレーエッチングする。これにより、銅箔22a、23aから配線層22、23が形成される。形成された配線層22、23は、このあと積層される絶縁層との密着性を向上するために黒化還元処理を行なっておく(これは、後述する図6(a)の段階でもよい。)。形成された配線層22、23は、図3(a2)に示すように、貫通孔51の内壁面に形成されためっき層52に対してのランド部分(その外径は例えば1.2mm)を含む。
When the resist is formed on the copper foils 22a and 23a, a chemical solution based on ferric chloride is used as an etchant using the resist as a mask, and the copper foils 22a and 23a at positions removed as a resist pattern are spray-etched. Thereby, the wiring layers 22 and 23 are formed from the copper foils 22a and 23a. The formed
次に、図3(b1)に示すように、貫通孔51内壁面のめっき層52を分断して内蔵部品との接続部である導電層34、35を独立形成するようにコア配線板を加工する。ここでの加工方法は、NCドリルを用いた孔明けによる。すなわち、貫通孔51の外形上向い合う位置に貫通孔51より小さい直径(例えば0.5mm)の孔(めっき層分断貫通孔)53を明ける。このようなドリルによるめっき層52の分断によれば、既存の装置を用いて容易に導電層34、35を分断形成することができる。
Next, as shown in FIG. 3 (b1), the core wiring board is processed so as to divide the
また、めっき層52の分断が、貫通孔51の直径に対して小さい直径の孔53によりなされるので、独立形成される導電層34、35の横方向寸法は比較的大きな幅になる。このため、図3(b2)に示すように孔53の形成によるバリ53A(主にめっき層52が剥離して切除されずに残ったもの。)が導電層34、35との境界に発生する場合にも、このバリ53Aが内蔵部品の実装に干渉することを防止できる。換言すると、バリ53Aが発生してもこれを取り除く工程を特に必要としないので生産性を向上できる(図4(b3)でも言及する。)。なお、バリ53Aは、孔53を明けるドリルの刃の劣化が進むとより発生しやすいことが分かっている。
Further, since the
以上により、部品を内蔵するための空間(貫通孔51による空間)が形成されたコア配線板を得ることができる。なお、上記でめっき層52の分断は、ドリリングによらなくてもなすことは可能である。例えば金型による打ち抜き(パンチング)や切削機、またはレーザ加工を用いる方法が挙げられる。
As described above, it is possible to obtain a core wiring board in which a space for incorporating a component (a space by the through hole 51) is formed. Note that the
図4は、コア配線板に部品を内蔵するための部品実装工程を示す断面図または一部平面図である。まず、図4(a)に示すように、コア配線板の片側面を支持部材61にあてがい、この状態において、マウンタなどの実装機器により所定位置(内蔵するための空間)に部品33を位置させる。ここで、支持部材61の面上は、粘着層61aを設けるようにするとより好ましい。粘着層61aにより、マウントされた部品33がある程度固定されて次工程に供することができるからである。
FIG. 4 is a cross-sectional view or a partial plan view showing a component mounting process for incorporating components into the core wiring board. First, as shown in FIG. 4A, one side surface of the core wiring board is applied to the
なお、このような粘着層61aを有する支持部材61に代えて、耐熱性の粘着テープ(または耐熱性の粘着シート)をコア配線板の片面に張り付けるようにしてもよい。
Instead of the
次に、図4(b1)、(b2)に示すように、部品33の両端子付近の所定位置にクリーム半田36a、37a(半田は、例えばSn−3.0Ag−0.5Cuの鉛フリーのもの)を塗布する。このような塗布は、例えばスクリーン印刷またはディスペンサにより行なうことができる。ここでは、0.5mm径のピットを有するスクリーン版によるスクリーン印刷を用いた。なお、クリーム半田36a、37aは、これに代えて導電性ペーストを用いてもよい。
Next, as shown in FIGS. 4B1 and 4B2, cream solders 36a and 37a (solder is, for example, Sn-3.0Ag-0.5Cu lead-free solder) at predetermined positions near both terminals of the
部品33のマウント、およびクリーム半田36a、37aの塗布においては、図4(b3)に示すように、部品接続用の導電層34(35)の横方向端部にバリ53Aが生じている場合にも、これらの工程への干渉が生じない。すなわち、導電層34(35)の横方向寸法が部品33に対して大きく確保されており、バリ53Aの発生位置を避けて部品33のマウント、およびクリーム半田36a、37aの塗布が可能だからである。
In mounting the
次に、ここで、部品の実装されたコア配線板の両面に積層すべき絶縁層および導電層を形成する工程について図5を参照して説明する。図5は、コア配線板上に積層するための配線板素材を形成する工程を示す断面図である。このような絶縁層および導電層はあらかじめ配線板素材として形成しておく。 Next, a process of forming an insulating layer and a conductive layer to be laminated on both surfaces of the core wiring board on which components are mounted will be described with reference to FIG. FIG. 5 is a cross-sectional view showing a process of forming a wiring board material to be laminated on the core wiring board. Such an insulating layer and a conductive layer are formed in advance as a wiring board material.
まず、図5(a)に示すように、銅箔(厚さは例えば18μm)21a(24a)を用意し、この銅箔21a(24a)上の必要な位置(特定の配線板のレイアウトに従う位置)にほぼ円錐形の導電性バンプ41a(42a)を形成する。これには、例えばスクリーン印刷を用いて導電性ペーストを銅箔21a(24a)上に印刷してなすことができる。
First, as shown in FIG. 5A, a copper foil (thickness is, for example, 18 μm) 21a (24a) is prepared, and a necessary position on the
この場合のスクリーン版には、例えば0.2mmの貫通孔(ピット)が穿設されたものを用いることができる。これにより、例えば底面径として0.15mm程度以上の導電性バンプを形成することができる。導電性ペーストとしては、例えばエポキシ樹脂のようなペースト状樹脂の中に金属粒(銀、金、銅、半田など)を分散させ、加えて揮発性の溶剤を混合させたもの用いることができる。印刷されたあと、例えばオーブンで乾燥し導電性ペーストを硬化させる。 As the screen plate in this case, for example, a screen plate having 0.2 mm through holes (pits) can be used. Thereby, for example, a conductive bump having a bottom diameter of about 0.15 mm or more can be formed. As the conductive paste, for example, a paste in which metal particles (silver, gold, copper, solder, etc.) are dispersed in a paste-like resin such as an epoxy resin, and a volatile solvent is mixed can be used. After printing, the conductive paste is cured by drying in an oven, for example.
次に、専用機を用い、銅箔21a(24a)に絶縁層11(14)とすべきプリプレグ(厚さは例えば0.06mm)に対向させて、図5(b)に示すように、導電性バンプ41a(42a)を半硬化状態のプリプレグに貫通させる。プリプレグは、例えば、エポキシ樹脂のような硬化性樹脂をガラス繊維のような補強材に含浸させたものである。また、硬化する前には半硬化状態にあり、熱可塑性(熱による流動性)および熱硬化性を有する。図5(b)に示す状態のものを配線板素材1aまたは1bとして後述で参照する。
Next, using a dedicated machine, the
図6は、部品の実装されたコア配線板を用いて完成品としての部品内蔵配線板を形成する工程を断面で示す図である。図4(b1)、(b2)に示すようにクリーム半田36a、37aをコア配線板上に塗布したら、次に、クリーム半田36a、37aをリフロー炉でリフローさせる。これにより、図6(a)に示すような状態となり、接続部材としての半田36、37が導電層34、35と部品33の端子との電気的・機械的接続を確立する。なお、クリーム半田36a、37aに代えて導電性ペーストを用いた場合には、これを例えばオーブンで乾燥させ硬化させて電気的・機械的接続を確立する。
FIG. 6 is a cross-sectional view showing a process of forming a component built-in wiring board as a finished product using the core wiring board on which the components are mounted. After the cream solders 36a and 37a are applied onto the core wiring board as shown in FIGS. 4B1 and 4B2, the cream solders 36a and 37a are then reflowed in a reflow furnace. As a result, the state shown in FIG. 6A is obtained, and the
以上により得られた部品装着のコア配線板4は、その両面の配線層22、23についてこのあと積層される絶縁層との密着性を向上するため黒化還元処理を行なっておく。
The component-mounted
次に、図6(b)に示すように、コア配線板4の両側に配線板素材1a、1bを積層し、これらを一体化する。このとき絶縁層11、14とすべきプリプレグを硬化させる。配線板素材1a、1bは、図5に示したようにして得られたものである。
Next, as shown in FIG. 6B,
この積層・一体化には、例えばレイアップ装置で位置合わせを行いコア配線板4と配線板素材1a、1bとを重ねて配置し、かつ真空積層熱プレス機を用いこれを所定の温度および圧力プロファイルに設定する。この積層・一体化により導電性バンプ41、42は、頭部がつぶされて塑性変形し、配線層22または23との電気的接続が確立する。
For this lamination / integration, for example, alignment is performed using a lay-up device, and the
また、配線層22は、絶縁層11となるべきプリプレグの熱可塑性(熱による流動性)により絶縁層11側へ沈み込んで位置し、配線層23は、絶縁層14となるべきプリプレグの熱可塑性(熱による流動性)により絶縁層14側へ沈み込んで位置するようになる。さらに、絶縁層11、14となるべきプリプレグの熱可塑性(熱による流動性)により、内蔵された部品33を覆いかつ密着するようにその周辺にも絶縁層が絶縁層11、14と一体的に形成される。これにより部品33周りの穴埋め工程は不要であり工程の簡素化が実現するともに、間隙(ボイド)の発生を防止して信頼性を向上できる。
Further, the
なお、外側に積層する配線板素材1a、1bは図5(b)に示す形態のものに代えて、さらに配線層数が多いものでもよい(例えば、図5(a)に示す銅箔21aの代わりにパターニング後の両面銅張り板を用いれば、図5(b)の段階では配線層数は2つになる。)。また、外側に積層する配線板素材1a、1bは、必ずしも、図5(b)に示すように導電性バンプ41a(42a)を伴っていなくてもよい。この場合、導電性バンプ41a(42a)がないので、銅箔21a(24a)と配線層22(23)との層間接続は、導電性バンプによって行なうことはできないが、積層後の配線板にスルーホールを設けこのスルーホールによる層間接続構造を形成することはできる。
The
外側に位置すべき絶縁層をコア配線板4と積層・一体化したら、次に、図6(c)に示すように、両外側の銅箔21a、24aに対してパターニングを施し配線層21、24を形成する。このパターニングは、図3(a1)、(a2)を参照した配線層22、23の形成工程と同様に行なうことができる。すなわち、化学研磨、レジスト用ドライフィルム積層、フォトマスクを介する露光、現像、エッチングという手順である。なお、以上の外側絶縁層11、14の積層、配線層21、24の形成のあと、さらにこの外側に同様の要領により絶縁層と銅箔とを積層・一体化(ビルドアップ)してもよい。
After the insulating layer to be positioned outside is laminated and integrated with the
次に、図6(c)に示すように、最外側面の所定の位置に半田レジスト31、32を形成する。さらに、配線層21または24の半田レジストの形成されない部位には腐蝕防止のため無電解めっき法によりニッケル/金(ニッケルが下地)の層(図示せず)を形成する。そして、配線板をルータ加工機により所定の外形となるように切り出す。以上により本実施形態に係る部品内蔵配線板を得ることができる。
Next, as shown in FIG. 6C, solder resists 31 and 32 are formed at predetermined positions on the outermost surface. Further, a nickel / gold (nickel base) layer (not shown) is formed by an electroless plating method at a portion of the
この実施形態では、製造設備として既存のものをほとんどそのまま使用することができ、配線板の製造コストの抑制につながる。また、最外の配線層21、24下の層間接続に導電性バンプ41、42を用いたので配線長を短くし電気的特性を向上して効率的に配線板としてレイアウトができる。また、比較的実装点数が多くなるチップ抵抗、チップコンデンサを内蔵できるので、現行設計ルールの緩和および一層の高密度実装が可能である。さらに、部品33をマウント・内蔵するための工程では、部品マウントでの不良発生が極めて小さく歩留まりのよい製造が可能である。加えて、内蔵された部品33の周りを絶縁層11、14が覆うように密着し、空隙の発生を防止するので信頼性の向上がなされる。
In this embodiment, the existing manufacturing equipment can be used almost as it is, which leads to a reduction in the manufacturing cost of the wiring board. In addition, since the
次に、本発明の別の実施形態に係る部品内蔵配線板について図7を参照して説明する。図7は、本発明の別の実施形態に係る部品内蔵配線板の模式的な構成を示す断面図である。図7において、すでに図1ないし図6において説明したものと同一の部位には同一の符合を付してある。以下重複を避けて説明する。 Next, a component built-in wiring board according to another embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. FIG. 7 is a cross-sectional view showing a schematic configuration of a component built-in wiring board according to another embodiment of the present invention. In FIG. 7, the same parts as those already described in FIGS. 1 to 6 are denoted by the same reference numerals. The following explanation will be made avoiding duplication.
この実施形態では、内側積層の絶縁層12、13に代えて絶縁層15、16、17を用い、それらの境界付近には配線層25、26が設けられている。また、配線層22、23と配線層25、26の4層でもそれらの隣接する配線層間の層間接続には導電性バンプ43、44、45が用いられている。部品33が半田36、37を介して接続される導電層34、35は、内側の配線層25、26とも直接的な電気的接続が可能となっている。なお、導電性バンプ43、44、45は、その製造工程として例えば図5で説明したようなスクリーン印刷を用いて形成することができる。
In this embodiment, insulating
この実施形態の利点は、部品33を内蔵するためのコア配線板の総厚(絶縁層15、16、17の総厚:例えば0.2mm)に対して、3つの導電性バンプ43、44、45で層間接続を行うことにより、すべての層間接続を導電性バンプによりなすようにしたことである。ここで、コア配線板を3つの導電性バンプ43、44、45により層間接続したのは、これより数が少ない場合には高いバンプ形成が必要となり効率的な導電性バンプの形成が難しいからである。このように3つ程度とすれば、0.2mm程度の総厚に対して必要な形成高さにはさほどの困難さは生じない。この結果、コア配線板は4層の配線層となり、全体として6層の配線層となっている。
The advantage of this embodiment is that, with respect to the total thickness of the core wiring board for incorporating the component 33 (total thickness of the insulating
ただし、導電性バンプ43、44、45の形成高さをより高くすればより厚いプリプレグを貫通させることが可能であり、この結果、同じ部品33を内蔵するとしてもコア配線板の配線層の数を少なくすることができる。逆に、導電性バンプ43、44、45の形成高さをより低くすればより薄いプリプレグを用いることになり、この結果コア配線板の配線層の数を多くすることができる。
However, if the formation height of the
図7に示す部品内蔵配線板を製造するには、図2(a)に示した両面銅張り板に代えて、絶縁板15、16、17、銅箔22a、23a、配線層25、26、導電性バンプ43、44、45を構成要素とする4層板を用いればよい。その後のプロセスは図2から図6に示したものと本質的に同様である。4層板を得るには、導電性バンプの印刷・形成、形成された導電性バンプにプリプレグを貫通(以上は図5を参照できる。)、貫通後に対向する側に銅箔(または配線層付きの絶縁層)を積層、というプロセスを繰り返せばよい。
In order to manufacture the component built-in wiring board shown in FIG. 7, instead of the double-sided copper-clad board shown in FIG. 2 (a), insulating
この実施形態では、先の実施形態と同様に製造設備として既存のものをほとんどそのまま使用することができ、配線板の製造コストの抑制につながる。また、部品33をマウント・内蔵するための工程では部品マウントでの不良発生が極めて小さく歩留まりのよい製造が可能であることも同様である。さらに、コア配線板における配線層を4つとすることにより、コア配線板の厚さを部品内蔵空間が確保しやすい寸法とし、配線層同士の層間接続をすべて導電性バンプ41〜45で行うことにより一層の高密度実装を実現することが可能である。
In this embodiment, as in the previous embodiment, the existing manufacturing equipment can be used almost as it is, leading to a reduction in the manufacturing cost of the wiring board. Similarly, in the process for mounting and incorporating the
1a、1b…配線板素材、4…配線板素材(コア配線板)、11、12、13、14、15、16、17…絶縁層、21、22、23、24、25、26…配線層、21a、22a、23a、24a…銅箔、31、32…半田レジスト、33…電気/電子部品、34、35…導電層、36、37…半田、36a、37a…クリーム半田、41、42、43、44、45…導電性バンプ(接続形成後)、41a、42a…導電性バンプ(接続形成前)、51…貫通孔、52…めっき層、53…めっき層分断貫通孔、53A…バリ、61…支持部材、61a…粘着層。
DESCRIPTION OF
Claims (6)
前記製造されたコア配線板にほぼ円形の単一の貫通孔を、板面内方向に対してほぼ垂直に形成する工程と、
前記形成された貫通孔の内壁面上に第2の導電層を形成する工程と、
前記第1の導電層をパターニングする工程と、
前記貫通孔の内壁面上に形成された前記第2の導電層を2つに分断するように、前記貫通孔の縁部の向かい合う位置に2箇所のドリリングを行う工程と、
前記分断で得られた2つの第2の導電層それぞれの横方向ほぼ中央に対して2つの端子のおのおのが向かい合うように、前記貫通孔内に、厚み方向にほぼ面対称の形状を有する2端子の電気/電子部品を位置させる工程と、
前記位置させられた電気/電子部品の前記2つの端子と前記2つの第2の導電層とをそれぞれ半田で接続する工程と、
前記半田により前記電気/電子部品が接続された前記コア配線板の上下両面それぞれに重ね前記2つの第2の導電層の上下端面を上下から挟んでかつ前記電気/電子部品の周りを板厚み方向にほぼ対称に充填するように絶縁層を積層形成する工程と
を具備することを特徴とする部品内蔵配線板の製造方法。 Producing a core wiring board having a first conductive layer on at least upper and lower surfaces;
A substantially circular single through-hole in the core circuit board having a pre-SL manufactured, and forming substantially perpendicularly to the plate plane direction,
Forming a second conductive layer on the inner wall surface of the formed through hole;
Patterning the first conductive layer;
Said second conductive layer formed on the inner wall surface on the through-hole so as to divide into two, and performing drilling of two places in a position facing the edge of the through hole,
Two terminals having a substantially plane-symmetrical shape in the thickness direction in the through-hole so that each of the two terminals faces the substantially horizontal center of each of the two second conductive layers obtained by the division. Positioning the electrical / electronic parts of
A step of connecting the second conductive layer above said two and two jacks of the electrical / electronic components, which are then the positions respectively with solder,
The upper and lower end surfaces of the two second conductive layers are overlapped on the upper and lower surfaces of the core wiring board to which the electric / electronic component is connected by the solder , and the periphery of the electric / electronic component is sandwiched in the plate thickness direction. And a step of laminating and forming an insulating layer so as to fill substantially symmetrically .
前記開口の前記第2および前記第4の円弧の内壁面上を除く前記第1および前記第3の円弧の内壁面上に、板面内方向に対してほぼ垂直に形成され、かつ板上下面には表出せずに埋設されている導電層と、
端子を有し、前記埋設された導電層に前記端子が対向するように板内埋設された、厚み方向にほぼ面対称の形状を有する2端子の電気/電子部品と、
前記埋設された電気/電子部品の前記2つの端子と前記導電層との間隙に設けられ、前記導電層の横方向端部に接触せずに前記2つの端子と前記開口の前記第1および前記第3の円弧の内壁面上の前記導電層それぞれとを電気的・機械的におのおの接続する半田と、
前記埋設された電気/電子部品の外表面のうち前記半田に接続される部位以外を覆いかつ前記電気/電子部品の板厚み方向上下にほぼ対称に密着するように設けられ、かつ前記導電層を板内埋設すべく該導電層の上下端面を上下から挟むように設けられた上下2つの第2、第3の絶縁層と
を具備することを特徴とする部品内蔵配線板。 A first arc of a first radius, a second arc of a second radius smaller than the first radius that is continuous with the first arc, a circle that is continuous with the second arc and is the same circle as the first arc And a first insulation having an opening having an edge portion constituted by a fourth arc of the second radius substantially connected to the third arc and the first arc. Layers,
On the inner wall surfaces of the first and third arcs except for the inner wall surfaces of the second and fourth arcs of the opening, the upper and lower surfaces of the plate are formed substantially perpendicular to the in-plane direction. And a conductive layer that is buried without being exposed,
A two-terminal electrical / electronic component having a terminal and embedded in a plate so that the terminal is opposed to the embedded conductive layer, and having a substantially plane-symmetric shape in the thickness direction ;
Provided in a gap between the two terminals of the embedded electric / electronic component and the conductive layer, the first terminal and the opening of the two terminals and the opening without contacting a lateral end of the conductive layer. and solder for electrically and mechanically each connects the conductive layer each on the inner wall surface of the third circular arc,
Provided so as to be in close contact with substantially symmetrical to cover the other portion to be connected and the plate thickness direction and below the electrical / electronic component the solder of the outer surface of the embedded electrical / electronic components, and the conductive layer A component built-in wiring board comprising: upper and lower second and third insulating layers provided so as to sandwich the upper and lower end surfaces of the conductive layer from above and below to be embedded in the board.
前記複数の板方向導電層を層間接続する導電性バンプによる層間接続体と
をさらに具備することを特徴とする請求項5載の部品内蔵配線板。 A plurality of plate-direction conductive layers that can be electrically connected to the embedded conductive layers;
The component built-in wiring board according to claim 5 , further comprising: an interlayer connection body formed of conductive bumps for interlayer connection of the plurality of plate-direction conductive layers.
Priority Applications (6)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003302391A JP4279089B2 (en) | 2003-08-27 | 2003-08-27 | Manufacturing method of component built-in wiring board, component built-in wiring board |
US10/530,518 US7242591B2 (en) | 2002-10-08 | 2003-10-06 | Wiring board incorporating components and process for producing the same |
KR1020057005949A KR101046077B1 (en) | 2002-10-08 | 2003-10-06 | Manufacturing method of parts-embedded wiring board, manufacturing method of parts-embedded wiring board |
PCT/JP2003/012749 WO2004034759A1 (en) | 2002-10-08 | 2003-10-06 | Wiring board incorporating components and process for producing the same |
US11/785,607 US7345888B2 (en) | 2002-10-08 | 2007-04-19 | Component built-in wiring board and manufacturing method of component built-in wiring board |
US12/007,924 US7644497B2 (en) | 2002-10-08 | 2008-01-17 | Component built-in wiring board and manufacturing method of component built-in wiring board |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003302391A JP4279089B2 (en) | 2003-08-27 | 2003-08-27 | Manufacturing method of component built-in wiring board, component built-in wiring board |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005072414A JP2005072414A (en) | 2005-03-17 |
JP4279089B2 true JP4279089B2 (en) | 2009-06-17 |
Family
ID=34406670
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003302391A Expired - Fee Related JP4279089B2 (en) | 2002-10-08 | 2003-08-27 | Manufacturing method of component built-in wiring board, component built-in wiring board |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4279089B2 (en) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006049457A (en) * | 2004-08-03 | 2006-02-16 | Dt Circuit Technology Co Ltd | Wiring board with built-in parts and manufacturing method thereof |
JP5082321B2 (en) | 2006-07-28 | 2012-11-28 | 大日本印刷株式会社 | Multilayer printed wiring board and manufacturing method thereof |
JP5074089B2 (en) * | 2007-04-27 | 2012-11-14 | 株式会社Jvcケンウッド | Electronic component housing substrate and manufacturing method thereof |
-
2003
- 2003-08-27 JP JP2003302391A patent/JP4279089B2/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2005072414A (en) | 2005-03-17 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR101046077B1 (en) | Manufacturing method of parts-embedded wiring board, manufacturing method of parts-embedded wiring board | |
US8586875B2 (en) | Wiring board and method for manufacturing the same | |
US8541695B2 (en) | Wiring board and method for manufacturing the same | |
JP2009277916A (en) | Wiring board, manufacturing method thereof, and semiconductor package | |
JP2012039090A (en) | Semiconductor device and method of manufacturing the same | |
JPWO2004103039A1 (en) | Double-sided wiring board and method for manufacturing double-sided wiring board | |
JP4592891B2 (en) | Multilayer circuit board and semiconductor device | |
TWI500366B (en) | Multilayer printed wiring board and manufacturing method thereof | |
JP4717316B2 (en) | Component built-in wiring board, method of manufacturing component built-in wiring board | |
JP2005236067A (en) | Wiring substrate, its manufacturing method and semiconductor package | |
US20120152606A1 (en) | Printed wiring board | |
JP4279090B2 (en) | Manufacturing method of component built-in wiring board, component built-in wiring board | |
JP2010278067A (en) | Method of manufacturing multilayer flexible printed circuit board, and multilayer circuit base material | |
JP4279089B2 (en) | Manufacturing method of component built-in wiring board, component built-in wiring board | |
JP4319917B2 (en) | Manufacturing method of component built-in wiring board | |
JP4219541B2 (en) | Wiring board and method of manufacturing wiring board | |
JP2006165242A (en) | Printed-wiring board and its manufacturing method | |
JP2004111578A (en) | Process for producing build-up printed wiring board with heat spreader and build-up printed wiring board with heat spreader | |
JP4451238B2 (en) | Manufacturing method of component-embedded substrate and component-embedded substrate | |
JP2005236220A (en) | Wiring substrate and its manufacturing method, and semiconductor package | |
JP2001308484A (en) | Circuit board and manufacturing method therefor | |
KR20100095742A (en) | Manufacturing method for embedded pcb, and embedded pcb structure using the same | |
KR100477258B1 (en) | Method for creating bump and making printed circuit board using the said bump | |
JP2006049457A (en) | Wiring board with built-in parts and manufacturing method thereof | |
JP2004022713A (en) | Multilayer wiring board |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A712 Effective date: 20060215 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A711 Effective date: 20060215 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20060725 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20081216 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20090216 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20090310 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20090311 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120319 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent (=grant) or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130319 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130319 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140319 Year of fee payment: 5 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |