JP2006165242A - Printed-wiring board and its manufacturing method - Google Patents

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a multilayer printed-wiring board fitted to a high-density mounting by completely burying a via hole with a metal plating in the multilayer printed-wiring board widely used for various electronic equipment. <P>SOLUTION: A copper foil 4 with a resin is laminated on an internal layer material with a conductor pattern 2, the copper foil is removed, a non-through-hole is formed by a laser machining, and a via 7 is obtained by completely burying the non-through-hole by repeating the metal plating. A land 9 on a conductor pattern 8 for an external layer and the via 7 is formed by using a means such as a screen printing method, a photographing method on a surface, and the multilayer printed-wiring board 10 shown in Fig. (d) is manufactured. <P>COPYRIGHT: (C)2006,JPO&NCIPI

Description

本発明は産業用および民生用などの各種電子機器に広く用いられている多層プリント配線板の製造方法に関するものである。   The present invention relates to a method for manufacturing a multilayer printed wiring board that is widely used in various electronic devices for industrial use and consumer use.

近年、パーソナルコンピュータ、ワードプロセッサー、ビデオ一体型カメラや携帯電話機などの普及に伴い、多層プリント配線板の需要はますます増加する傾向にあるが、それら電子機器の小型・軽量・多機能化などの理由から、多層プリント配線板へは、配線収容性、表面実装密度をより向上させるための非貫通のバイアホールによる層間電気的接続方法であるインタースティシャルバイアホール(以下IVHと称す)が要求され始めている。   In recent years, with the spread of personal computers, word processors, video-integrated cameras, mobile phones, etc., the demand for multilayer printed wiring boards has been increasing. Reasons for making these electronic devices smaller, lighter, multifunctional, etc. Therefore, multilayer printed wiring boards have started to require interstitial via holes (hereinafter referred to as IVH), which is an interlayer electrical connection method using non-through via holes to further improve wiring accommodation and surface mounting density. Yes.

また、部品実装密度を高めるため導通孔直上に実装用ランドを形成するために、貫通孔に導電性ペーストを充填し、銅はくを圧着・積層した後、導体回路や実装用ランドを形成するプリント配線板や、貫通孔または非貫通孔に電気めっきを施し導通孔を形成した後、導電性ペーストや樹脂ペーストを充填したのち再度電気めっきを施し、その後導体回路、実装用ランドを形成することによって貫通孔上にも部品を実装することも可能となり、これにより部品の実装密度を向上させ、電子機器の小型軽量化に対応しうる多層プリント配線板が年々増加してきた。   In addition, in order to form a mounting land directly above the conduction hole in order to increase the component mounting density, a conductive paste is filled in the through hole, and copper foil is pressure-bonded and laminated, and then a conductor circuit and a mounting land are formed. After conducting electroplating on printed wiring boards and through-holes or non-through-holes to form conductive holes, filling with conductive paste or resin paste, then electroplating again, and then forming conductor circuits and mounting lands As a result, it is possible to mount components on the through-holes, thereby increasing the number of multilayer printed wiring boards that can improve the mounting density of components and reduce the size and weight of electronic devices.

さらにチップサイズパッケージ(CSP)やボールグリッドアレイ(BGA)に代表されるように近年の半導体部品の多ピン、多端子化により部品のはんだ付け端子の面積も小さくなり、それに伴いプリント配線板の実装用ランドの面積も小さくなってきた。   Furthermore, as represented by chip size package (CSP) and ball grid array (BGA), the area of soldering terminals of components has been reduced due to the recent increase in the number of pins and the number of terminals of semiconductor components. Land area has also been reduced.

また従来のはんだフロー方式から高温の熱雰囲気中ではんだを溶融し部品とプリント配線板の実装用ランドをはんだ付けするいわゆるリフローはんだ方式も年々増加しており、プリント配線板の耐熱性に対する要求も高くなってきた。   In addition, the so-called reflow soldering method, in which solder is melted in a high-temperature heat atmosphere from the conventional solder flow method to solder the component and the printed circuit board mounting land, is increasing year by year, and there is a demand for heat resistance of the printed circuit board. It's getting higher.

なお、この出願の発明に関連する先行技術文献資料としては、例えば、特許文献1が知られている。
特開平6−268345号公報
As a prior art document related to the invention of this application, for example, Patent Document 1 is known.
JP-A-6-268345

このようにプリント配線板への部品実装の背景において、実装用ランド面積の縮小化によってプリント配線板を構成する基材との密着および引き剥がし強度が低下し、さらに高温の雰囲気中におけるはんだ付けの際の、部品端子とプリント配線板実装用ランドの接合において寸法変化による熱応力が生じ、実装用ランドと基材との密着を引き剥がす力が加わることもあり、極端な場合や電子機器が使用される環境によっては、実装用ランドが基材から剥離する可能性もある。   As described above, in the background of component mounting on a printed wiring board, due to the reduction of the mounting land area, the adhesion and peeling strength with the substrate constituting the printed wiring board is reduced, and further soldering in a high temperature atmosphere is reduced. When the component terminals and printed circuit board mounting lands are joined, thermal stress is generated due to dimensional changes, which may cause a force to peel off the adhesion between the mounting lands and the base material. Depending on the environment, the mounting land may be peeled off from the base material.

本発明は上記従来の問題点を解決するもので、貫通孔または非貫通孔上に部品等を実装することを可能にし、高温雰囲気中での部品はんだ付け後においても寸法変化に耐えうる引き剥がし強度を有する実装用ランドを備えた高密度実装に適したプリント配線板とその製造方法を提供することを目的とするものである。   The present invention solves the above-mentioned conventional problems, and enables the mounting of parts and the like on through holes or non-through holes, and is capable of withstanding dimensional changes even after component soldering in a high temperature atmosphere. An object of the present invention is to provide a printed wiring board suitable for high-density mounting including a mounting land having strength and a method for manufacturing the same.

この課題を解決するために本発明は、銅はくと絶縁樹脂層からなる銅張積層板に加工孔を形成する工程と、前記加工孔を導電性めっきにより埋設する工程からなるプリント配線板の製造方法を用いて銅はくと絶縁層からなる銅張積層板に貫通孔あるいは非貫通孔の加工孔を形成し、前記加工孔が導電性めっきにより埋設し、この加工孔上に部品実装用のランドを形成したプリント配線板を提供するものである。   In order to solve this problem, the present invention provides a printed wiring board comprising a step of forming a processed hole in a copper clad laminate comprising a copper foil and an insulating resin layer, and a step of embedding the processed hole by conductive plating. A through hole or non-through hole is formed in a copper clad laminate made of copper foil and an insulating layer using a manufacturing method, and the processed hole is embedded by conductive plating. The printed wiring board which formed the land of this is provided.

本発明の請求項1に記載の発明は、銅はくと絶縁層からなる銅張積層板に加工孔を形成し、前記加工孔が導電性めっきにより埋設されたプリント配線板としたものであり、加工孔および加工孔近傍の導体の強度を向上するという作用を有する。   The invention according to claim 1 of the present invention is a printed wiring board in which processed holes are formed in a copper clad laminate made of copper foil and an insulating layer, and the processed holes are embedded by conductive plating. In addition, it has the effect of improving the strength of the processed hole and the conductor in the vicinity of the processed hole.

本発明の請求項2に記載の発明は、加工孔が貫通孔である請求項1に記載のプリント配線板としたものであり、貫通した導通孔およびその近傍の導体の強度を向上し、電気接続的信頼性を向上するという作用を有する。   The invention according to claim 2 of the present invention is the printed wiring board according to claim 1 in which the processed hole is a through hole, and improves the strength of the through hole and the conductor in the vicinity thereof, It has the effect of improving connective reliability.

本発明の請求項3に記載の発明は、加工孔が非貫通孔である請求項1に記載のプリント配線板としたものであり、非貫通の導通孔およびその近傍の導体の強度を向上し、表層と内層の電気接続的信頼性を向上するという作用を有する。   The invention according to claim 3 of the present invention is the printed wiring board according to claim 1 in which the processed hole is a non-through hole, and improves the strength of the non-through hole and a conductor in the vicinity thereof. , It has the effect of improving the electrical connection reliability of the surface layer and the inner layer.

本発明の請求項4に記載の発明は、加工孔上に実装用の導体ランドを形成した請求項1に記載のプリント配線板としたものであり、加工孔および加工孔近傍を含む実装用の導体ランドの引き剥がし強度や密着性および耐熱性を向上するという作用を有する。   The invention according to claim 4 of the present invention is the printed wiring board according to claim 1 in which a conductor land for mounting is formed on the processing hole, and includes a processing hole and the vicinity of the processing hole. It has the effect of improving the peel strength, adhesion and heat resistance of the conductor land.

本発明の請求項5に記載の発明は、銅張積層板が内層に回路形成基板を有する多層の銅張積層板である請求項1に記載のプリント配線板としたものであり、表層と内層または両表層間の導通孔および導通孔近傍の表層の導体の強度を向上し、層間の電気接続的信頼性を向上するという作用を有する。   Invention of Claim 5 of this invention is a printed wiring board of Claim 1 which is a multilayer copper clad laminated board in which a copper clad laminated board has a circuit formation board | substrate in an inner layer, Surface layer and inner layer Or it has the effect | action of improving the intensity | strength of the conduction | electrical_connection hole of both surface layers, and the conductor of the surface layer of the conduction | electrical_connection vicinity, and improving the electrical connection reliability between layers.

本発明の請求項6に記載の発明は、請求項5に記載した多層の銅張積層板に層間接続のための非貫通孔を形成した請求項1に記載のプリント配線板としたものであり、表層と内層の導通孔および導通孔近傍の表層の導体の強度を向上し、層間の電気接続的信頼性を向上するとともに、導体の配線密度を高め、高密度実装に対応しうる多層のプリント配線板を提供できるものである。   The invention according to claim 6 of the present invention is the printed wiring board according to claim 1 in which a non-through hole for interlayer connection is formed in the multilayer copper-clad laminate described in claim 5. Multi-layer prints that improve the strength of the surface layer and inner layer conduction holes and the surface layer conductors near the conduction holes, improve the electrical connection reliability between the layers, increase the conductor wiring density, and support high-density mounting A wiring board can be provided.

本発明の請求項7に記載の発明は、回路形成基板が多層の回路形成基板である請求項5に記載のプリント配線板としたものであり、表層と内層または両表層間の導通孔および導通孔近傍の表層の導体の強度を向上し、層間の電気接続的信頼性を向上しうる高多層のプリント配線板を提供できるものである。   The invention according to claim 7 of the present invention is the printed wiring board according to claim 5 in which the circuit forming substrate is a multilayer circuit forming substrate, and a conductive hole and a conductive layer between the surface layer and the inner layer or both surface layers. It is possible to provide a high-layer printed wiring board capable of improving the strength of the surface conductor near the hole and improving the electrical connection reliability between the layers.

本発明の請求項8に記載の発明は、多層の回路形成基板の層間接続が導電性ペーストを充填した導通孔で形成されている請求項7に記載のプリント配線板としたものであり、導電性ペーストの充填により層間接続を図ることにより、導体の厚みを薄くできるため、内層の導体回路の配線密度を向上させることができ、さらに表層と内層または両表層間の導通孔および導通孔近傍の表層の導体の強度を向上し、層間の電気接続的信頼性を向上しうる高多層のプリント配線板を提供できるものである。   The invention according to claim 8 of the present invention is the printed wiring board according to claim 7, wherein the interlayer connection of the multilayer circuit forming substrate is formed by a conduction hole filled with a conductive paste. By connecting the layers with conductive paste, the thickness of the conductor can be reduced, so that the wiring density of the conductor circuit in the inner layer can be improved, and the conductive holes between the surface layer and the inner layer or both surface layers and in the vicinity of the conductive holes It is possible to provide a high-layer printed wiring board capable of improving the strength of the surface conductor and improving the electrical connection reliability between the layers.

本発明の請求項9に記載の発明は、非貫通孔の断面形状が逆台形形状である請求項5に記載のプリント配線板としたものであり、積層板の厚さ方向に熱膨張に対して非貫通の導通孔の強度を向上させるとともに、部品実装時の導体ランドの耐熱強度および実装の信頼性を向上するという作用を有する。   The invention according to claim 9 of the present invention is the printed wiring board according to claim 5, wherein the cross-sectional shape of the non-through hole is an inverted trapezoidal shape, and against thermal expansion in the thickness direction of the laminate. Thus, the strength of the non-through conduction hole is improved, and the heat resistance strength of the conductor land and the mounting reliability at the time of component mounting are improved.

本発明の請求項10に記載の発明は、加工孔の直径が20〜100μmの範囲で形成された請求項1に記載のプリント配線板としたものであり、導電性めっきにより加工孔を埋設するに際し、20μm以下の場合、めっき液が加工孔内に侵入しにくく、めっきのつきまわりが悪く導通孔としての信頼性に欠け、100μm以上の加工孔を埋設すると、表層の導体厚が厚く、導体の細線化が困難となる。したがって加工孔の直径を20〜100μmの範囲とすることで、導通孔としての信頼性が高く、導体の細線化が可能な高密度のプリント配線板を提供できるものである。   Invention of Claim 10 of this invention is set as the printed wiring board of Claim 1 formed in the range whose diameter of a process hole is 20-100 micrometers, and embeds a process hole by electroconductive plating. In the case of 20 μm or less, the plating solution hardly penetrates into the processing hole, the plating is poor and the reliability as the conduction hole is poor, and when the processing hole of 100 μm or more is embedded, the conductor thickness of the surface layer is thick, and the conductor It becomes difficult to make the line thinner. Therefore, by setting the diameter of the processed hole in the range of 20 to 100 μm, it is possible to provide a high-density printed wiring board that is highly reliable as a conduction hole and can be thinned.

本発明の請求項11に記載の発明は、非貫通孔の深さが40〜200μmの範囲で形成された請求項5に記載のプリント配線板としたものであり、直径が20〜100μmの範囲の非貫通孔に対応して、その深さを40〜200μmの範囲で形成することにより、一定のアスペクト比(深さ/孔径)を保ち、めっきの均一な電着性を図ることができるため、導通孔の信頼性を安定させることができるという作用を有する。   Invention of Claim 11 of this invention is set as the printed wiring board of Claim 5 formed in the range whose depth of a non-through-hole is 40-200 micrometers, and a diameter is the range of 20-100 micrometers. By forming the depth in the range of 40 to 200 μm corresponding to the non-through holes, it is possible to maintain a constant aspect ratio (depth / hole diameter) and achieve uniform electrodeposition of plating. And, it has an effect that the reliability of the conduction hole can be stabilized.

本発明の請求項12に記載の発明は、導電性めっきが銅はくと異なる導電性物質で形成された請求項1に記載のプリント配線板としたものであり、導通孔を形成する導電性物質を実装する要求特性に対応して選択することが可能であり、また、導体回路をエッチングにより形成する際のエッチング液を回路形成の工法に応じて選択することが可能であるというものである。   The invention according to claim 12 of the present invention is the printed wiring board according to claim 1 in which the conductive plating is formed of a conductive material different from copper foil, and is a conductive material that forms a conductive hole. It is possible to select according to the required characteristics for mounting the substance, and it is possible to select the etching solution for forming the conductor circuit by etching according to the circuit forming method. .

本発明の請求項13に記載の発明は、加工孔及び加工孔近傍のみを金めっきで形成した請求項1に記載のプリント配線板としたものであり、部品実装での部品端子と導体ランドとのはんだ付け性や、接点電極としての接触抵抗を最少にし、さらに他の配線導体を銅はくのみで構成するため細線化が容易であるという作用を有する。   The invention according to claim 13 of the present invention is the printed wiring board according to claim 1 in which only the processed hole and the vicinity of the processed hole are formed by gold plating. Soldering property and contact resistance as a contact electrode are minimized, and the other wiring conductors are configured only by copper foil, so that thinning is easy.

本発明の請求項14に記載の発明は、絶縁層が芳香族ポリアミドの織布または不織布に樹脂を含浸してなる基材である請求項1に記載のプリント配線板としたものであり、レーザによる孔加工に適しているため高密度のプリント配線板を提供できるものである。   The invention according to claim 14 of the present invention is the printed wiring board according to claim 1, wherein the insulating layer is a base material obtained by impregnating a resin into a woven or non-woven fabric of aromatic polyamide. Since it is suitable for the hole processing by, it can provide a high-density printed wiring board.

本発明の請求項15に記載の発明は、絶縁層がセラミック材である請求項1に記載のプリント配線板としたものであり、未焼成のグリーンシート等の打ち抜き孔加工にも対応でき、生産性を向上させることも可能であり、さらに実装用の導体ランドの密着性が高く、高耐熱を要求されるプリント配線板を提供できるものである。   The invention according to the fifteenth aspect of the present invention is the printed wiring board according to the first aspect, wherein the insulating layer is a ceramic material, and can be used for punching holes such as unfired green sheets. It is also possible to provide a printed wiring board that requires high heat resistance and has high adhesion to the conductor lands for mounting.

本発明の請求項16に記載の発明は、貫通した導通孔を有する内層の回路形成基板の前記導通孔に予め熱硬化性樹脂を充填した請求項5に記載のプリント配線板としたものであり、銅張積層板を形成する前に、導通孔内に予め熱硬化性樹脂を充填することで加熱積層でのボイドや、板厚のばらつきを低減させるという効果を有する。   The invention according to claim 16 of the present invention is the printed wiring board according to claim 5 in which the conduction hole of the inner-layer circuit forming substrate having a through-hole is filled with a thermosetting resin in advance. Before forming the copper-clad laminate, filling the conductive holes in advance with a thermosetting resin has the effect of reducing voids in heating lamination and variations in plate thickness.

本発明の請求項17に記載の発明は、銅はくと、表面に絶縁化処理を施した金属板と、絶縁層からなる銅張積層板である請求項1に記載のプリント配線板としたものであり、高密度実装および放熱性に優れたプリント配線板を提供できるものである。   The invention according to claim 17 of the present invention is the printed wiring board according to claim 1, which is a copper clad laminate comprising copper foil, a metal plate having a surface subjected to insulation treatment, and an insulating layer. Therefore, it is possible to provide a printed wiring board excellent in high-density mounting and heat dissipation.

本発明の請求項18に記載の発明は、選択的に加工孔を埋設した請求項1に記載のプリント配線板としたものであり、必要な加工孔のみを埋設することによって消費する導電性材料を低減し、配線用の導体厚みを薄くすることで、導体の細線化が容易となり、さらにプリント配線板の軽量化を図ることができるという作用を有する。   The invention according to claim 18 of the present invention is the printed wiring board according to claim 1 in which the processing holes are selectively embedded, and the conductive material consumed by embedding only the necessary processing holes. By reducing the thickness of the conductor for wiring and reducing the thickness of the conductor for wiring, the conductor can be easily thinned, and the printed wiring board can be reduced in weight.

本発明の請求項19に記載の発明は、銅はくと絶縁樹脂層からなる銅張積層板に加工孔を形成する工程と、前記加工孔を導電性めっきにより埋設する工程からなることを特徴とするプリント配線板の製造方法としたものであり、加工孔および加工孔近傍の導体の強度を向上することのできるプリント配線板を提供することができるものである。   The invention according to claim 19 of the present invention comprises a step of forming a processed hole in a copper clad laminate made of copper foil and an insulating resin layer, and a step of embedding the processed hole by conductive plating. And a printed wiring board capable of improving the strength of the processed hole and the conductor in the vicinity of the processed hole.

本発明の請求項20に記載の発明は、貫通した加工孔を施すことを特徴とする請求項19に記載のプリント配線板の製造方法としたものであり、貫通した導通孔およびその近傍の導体の強度を向上し、電気接続的信頼性を向上することのできるプリント配線板を提供できるものである。   The invention according to claim 20 of the present invention is the method for manufacturing a printed wiring board according to claim 19, wherein the through hole is provided with a through hole and a conductor in the vicinity thereof. The printed wiring board which can improve the intensity | strength of this and can improve electrical connection reliability can be provided.

本発明の請求項21に記載の発明は、非貫通の加工孔を施すことを特徴とする請求項19に記載のプリント配線板の製造方法としたものであり、非貫通の導通孔およびその近傍の導体の強度を向上し、表層と内層の電気接続的信頼性を向上することのできるプリント配線板を提供できるものである。   The invention according to claim 21 of the present invention is the method for manufacturing a printed wiring board according to claim 19, wherein a non-through hole is provided, and the non-through hole and its vicinity It is possible to provide a printed wiring board capable of improving the strength of the conductor and improving the electrical connection reliability of the surface layer and the inner layer.

本発明の請求項22に記載の発明は、レーザにて加工孔を施すことを特徴とする請求項19に記載のプリント配線板の製造方法としたものであり、小径の加工孔を形成できるため、高密度実装に適したプリント配線板を提供できるものである。   The invention described in claim 22 of the present invention is the method for manufacturing a printed wiring board according to claim 19, wherein the processing hole is formed by a laser, and a small-diameter processing hole can be formed. A printed wiring board suitable for high-density mounting can be provided.

本発明の請求項23に記載の発明は、焦点ビーム径が40〜120μmである炭酸ガスレーザを用いる請求項22に記載のプリント配線板の製造方法としたものであり、加工孔への導電性めっきの埋設に適した加工孔の仕上げ範囲として、20〜100μmを実現できるものである。   The invention described in claim 23 of the present invention is the method for producing a printed wiring board according to claim 22, wherein a carbon dioxide laser having a focal beam diameter of 40 to 120 μm is used. 20 to 100 μm can be realized as the finishing range of the processing hole suitable for the embedding of steel.

本発明の請求項24に記載の発明は、加工孔を形成したのち、前記加工孔をアルコール系溶液にて処理する請求項19に記載のプリント配線板の製造方法としたものであり、加工後の加工孔内の異物や付着物を溶解除去することにより、加工孔への導電性めっきの形成を確実に行い、層間の導通孔としての電気的接続の信頼性を安定させるという作用を有する。   The invention according to claim 24 of the present invention is the method for producing a printed wiring board according to claim 19, wherein the processed hole is treated with an alcohol-based solution after the processed hole is formed. By dissolving and removing foreign matters and deposits in the processed holes, conductive plating is reliably formed on the processed holes, and the reliability of electrical connection as a conductive hole between layers is stabilized.

本発明の請求項25に記載の発明は、銅はくが接着性樹脂付き銅はくである請求項19に記載のプリント配線板の製造方法としたものであり、積層の効率化および加工孔および加工孔近傍の導体ランドや配線導体の密着性の向上、さらに銅張積層板の板厚の安定化を図るという作用を有する。   The invention according to claim 25 of the present invention is the method for producing a printed wiring board according to claim 19, wherein the copper foil is copper foil with an adhesive resin, and the efficiency of lamination and processing holes are increased. In addition, it has the effect of improving the adhesion of the conductor lands and wiring conductors in the vicinity of the processed holes and further stabilizing the thickness of the copper-clad laminate.

本発明の請求項26に記載の発明は、銅はくと接着性を有する絶縁樹脂層とを積層し、加熱圧着して銅張積層板を形成する請求項19に記載のプリント配線板の製造方法としたものであり、加工孔および加工孔近傍の導体ランドや配線導体の密着性の向上および層間剥離等の防止を図り、積層信頼性を向上させ、さらに銅張積層板の板厚の安定化を図るという作用を有する。   The invention according to claim 26 of the present invention is the production of a printed wiring board according to claim 19, wherein a copper foil and an insulating resin layer having adhesiveness are laminated and thermocompression bonded to form a copper clad laminate. This is a method that improves adhesion of conductor lands and wiring conductors in the vicinity of processed holes and wiring conductors and prevents delamination, improves lamination reliability, and stabilizes the thickness of copper-clad laminates. It has the effect | action of aiming at conversion.

本発明の請求項27に記載の発明は、接着性樹脂付き銅はくと、回路形成基板とを積層し、加熱圧着して多層の銅張積層板を形成する請求項19に記載のプリント配線板の製造方法としたものであり、多層積層工程での効率化および加工孔および加工孔近傍の導体ランドや配線導体の密着性の向上、積層後の板厚の安定化を図り、高密度実装に適した多層のプリント配線板を提供するものである。   The invention according to claim 27 of the present invention is a printed wiring board according to claim 19, wherein the copper foil with adhesive resin and the circuit forming substrate are laminated and heat-pressed to form a multilayer copper-clad laminate. This is a board manufacturing method that improves efficiency in the multi-layer stacking process, improves the adhesion of processed holes and conductor lands in the vicinity of processed holes and wiring conductors, stabilizes the thickness after stacking, and implements high-density mounting. A multilayer printed wiring board suitable for the above is provided.

本発明の請求項28に記載の発明は、接着性を有する絶縁樹脂基材に貫通孔を形成する工程と、前記貫通孔に導電性ペーストを充填する工程と、両面に銅はくを積層し加熱圧着する工程と、両面の銅はくを選択的にエッチングし導体回路を形成して回路形成基板を形成する請求項27に記載のプリント配線板の製造方法としたものであり、多層積層工程での効率化および加工孔および加工孔近傍の導体ランドや配線導体の密着性の向上、積層後の板厚の安定化を図り、導通孔の配置の自由度を高めることにより設計を容易にするとともに高密度実装に適した多層のプリント配線板を提供するものである。   The invention according to claim 28 of the present invention includes a step of forming a through hole in an insulating resin base material having adhesiveness, a step of filling the through hole with a conductive paste, and laminating copper foil on both surfaces. 28. The method for producing a printed wiring board according to claim 27, wherein the step of thermocompression bonding and the copper foil on both sides are selectively etched to form a conductor circuit to form a circuit-formed substrate. Easier design by improving efficiency and improving adhesion of conductor lands and wiring conductors in the vicinity of the processing holes and wiring conductors, stabilizing the plate thickness after lamination, and increasing the degree of freedom of arrangement of the conductive holes A multilayer printed wiring board suitable for high-density mounting is also provided.

本発明の請求項29に記載の発明は、絶縁樹脂基材に芳香族ポリアミド不織布エポキシ樹脂基材を用いた請求項28に記載のプリント配線板の製造方法としたものであり、耐熱性に対応するとともに貫通孔のレーザー加工性を容易にし、高密度実装に適した多層のプリント配線板を提供するものである。   The invention according to claim 29 of the present invention is the method for producing a printed wiring board according to claim 28, wherein an aromatic polyamide nonwoven fabric epoxy resin base material is used as the insulating resin base material. In addition, the present invention provides a multilayer printed wiring board suitable for high-density mounting by facilitating laser processability of through holes.

本発明の請求項30に記載の発明は、導電性めっきにより加工孔を埋設した後、銅張積層板の両面全域に形成された導電性めっき層を研磨またはエッチングする請求項19に記載のプリント配線板の製造方法としたものであり、銅張積層板の両面表層の導電性めっき層を薄くする工程を設けることにより、導体回路の形成における高密度および細線化を容易に実現できるという作用を有する。   The invention according to claim 30 of the present invention is the print according to claim 19, wherein the conductive plating layer formed on both sides of the copper clad laminate is polished or etched after embedding the processed hole by conductive plating. This is a method for manufacturing a wiring board. By providing a process for thinning the conductive plating layers on both surfaces of a copper clad laminate, it is possible to easily realize high density and thinning in the formation of conductor circuits. Have.

本発明の請求項31に記載の発明は、10〜30μmの範囲の厚さまで導電性めっき層を研磨またはエッチングする請求項30に記載のプリント配線板の製造方法としたものであり、加工孔と導体の接続信頼性を保持しつつ、導体回路の細線化を容易にするという作用を有する。   The invention according to claim 31 of the present invention is the method for producing a printed wiring board according to claim 30, wherein the conductive plating layer is polished or etched to a thickness in the range of 10 to 30 μm. It has the effect of facilitating the thinning of the conductor circuit while maintaining the connection reliability of the conductor.

本発明の請求項32に記載の発明は、加工孔を形成した後、剥離可能なめっきレジストにて前記加工孔(と銅はく表面)を選択的に被覆し、導電性めっきの後前記めっきレジストを剥離除去する請求項19に記載のプリント配線板の製造方法としたものであり、必要な加工孔(と銅はく表面)のみを埋設することによって消費する導電性材料を低減し、配線用の導体厚みを薄くすることで、導体の細線化が容易となり、さらにプリント配線板の軽量化を図ることができるという作用を有する。   According to the thirty-second aspect of the present invention, after forming the processing hole, the processing hole (and the copper foil surface) is selectively covered with a detachable plating resist, and after the electroplating, the plating is performed. 20. The printed wiring board manufacturing method according to claim 19, wherein the resist is peeled and removed, and the conductive material consumed is reduced by embedding only the necessary processed holes (and the copper foil surface). By reducing the thickness of the conductor, the conductor can be easily thinned, and the printed wiring board can be reduced in weight.

本発明の請求項33に記載の発明は、銅はくと異なる金属で導電性めっきを行う請求項32に記載のプリント配線板の製造方法としたものであり、導通孔を形成する導電性物質を実装する要求特性に対応して選択することが可能であり、また、導体回路をエッチングにより形成する際のエッチング液を回路形成の工法、特にエッチングレジストに応じて選択することが可能であるというものである。   A thirty-third aspect of the present invention is the method for manufacturing a printed wiring board according to the thirty-second aspect, wherein the conductive plating is performed with a metal different from copper foil, and a conductive substance forming a conductive hole. It is possible to select according to the required characteristics for mounting, and it is possible to select the etching solution for forming the conductor circuit by etching according to the circuit formation method, particularly the etching resist. Is.

本発明は、貫通孔または非貫通孔上に部品等を実装することを可能にし、高温雰囲気中での部品はんだ付け後においても、寸法変化に耐えうる引き剥がし強度を有する実装用ランドを備えた、高密度実装に適したプリント配線板を容易な方法で提供することができる。   The present invention includes a mounting land that can mount a component or the like on a through-hole or a non-through-hole and has a peel strength that can withstand dimensional changes even after component soldering in a high-temperature atmosphere. A printed wiring board suitable for high-density mounting can be provided by an easy method.

以下、本発明の実施の形態について、図面を参照しながら説明する。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.

(実施の形態1)
図1(a)〜(e)は本発明の一実施の形態における多層プリント配線板の製造方法を示す断面図である。図1において、1は内層材、2は内層用の導体パターン、3は内層用の絶縁基板、4は樹脂付き銅はく、5はレーザ加工により形成された非貫通孔を金属めっきしたIVH(以下レーザビアと称す)、6は内層間を電気的に接続するスルーホール、10は内外部に導体パターンを有する多層プリント配線板、7は金属めっきにより埋められたレーザビア、8は外層用の導体パターン、9はビア上に設けられたランドである。
(Embodiment 1)
1A to 1E are cross-sectional views showing a method for manufacturing a multilayer printed wiring board according to an embodiment of the present invention. In FIG. 1, 1 is an inner layer material, 2 is a conductor pattern for an inner layer, 3 is an insulating substrate for an inner layer, 4 is copper foil with resin, and 5 is an IVH (metal plated non-through hole formed by laser processing) (Hereinafter referred to as “laser via”), 6 is a through hole for electrically connecting the inner layers, 10 is a multilayer printed wiring board having a conductor pattern inside and outside, 7 is a laser via buried by metal plating, and 8 is a conductor pattern for the outer layer. , 9 are lands provided on the vias.

以上のように構成された多層プリント配線板の製造方法について、以下説明する。   A method for manufacturing the multilayer printed wiring board configured as described above will be described below.

まず、図1(a)に示すように、絶縁基板3の両側に銅はくをラミネートした銅張積層板の銅はくをスクリーン印刷法や写真法などの手段を用いて、内層用の導体パターン2を形成し、多層プリント配線板用の内層材1を得る。   First, as shown in FIG. 1 (a), a copper clad laminate having copper foil laminated on both sides of an insulating substrate 3 is coated with an inner layer conductor by means of screen printing or photographic methods. A pattern 2 is formed to obtain an inner layer material 1 for a multilayer printed wiring board.

次に、図1(b)に示すように、絶縁基板3上に形成された内層用の導体パターン2を有する内層材1に、樹脂付き銅はく4をラミネートし、銅はくを除去した後、レーザ加工(加工条件:パルス幅6μs×1回+パルス幅3μs×1回+パルス幅2μs×1回)により孔径が50μmの非貫通孔を形成し、さらにドリル加工等により貫通孔を形成し金属めっきし、内外層を電気的に接続するレーザビア5および内層間を電気的に接続するスルーホール6を得る。   Next, as shown in FIG.1 (b), the copper foil 4 with a resin was laminated to the inner layer material 1 which has the conductor pattern 2 for inner layers formed on the insulating substrate 3, and the copper foil was removed. Then, non-through holes with a hole diameter of 50 μm are formed by laser processing (processing conditions: pulse width 6 μs × 1 time + pulse width 3 μs × 1 time + pulse width 2 μs × 1 time), and further, through holes are formed by drilling or the like. Then, metal plating is performed to obtain a laser via 5 that electrically connects the inner and outer layers and a through hole 6 that electrically connects the inner and outer layers.

本実施の形態においては、銅はくは、接着性樹脂付き銅はくを採用した。積層の効率化および加工孔および加工孔近傍の導体ランドや配線導体の密着性の向上、さらに銅張積層板の板厚の安定化を図ることができるためである。   In this embodiment, copper foil with adhesive resin is used. This is because it is possible to improve the efficiency of the lamination, improve the adhesion between the processed holes and the conductor lands in the vicinity of the processed holes and the wiring conductor, and stabilize the thickness of the copper-clad laminate.

また、内層材1上に接着性を有する絶縁樹脂層を積層または塗布形成し、銅はく単独または樹脂付き銅はくを積層し、加熱圧着することも可能である。加工孔および加工孔近傍の導体ランドや配線導体の密着性の向上および層間剥離等の防止を図り、積層信頼性を向上させ、さらに銅張積層板の板厚の安定化を図ることができるからである。   It is also possible to laminate or apply an adhesive insulating resin layer on the inner layer material 1, laminate a copper foil alone or a resin-coated copper foil, and perform thermocompression bonding. It is possible to improve adhesion of conductor lands and wiring conductors in the vicinity of processed holes and wiring holes and prevent delamination, improve lamination reliability, and stabilize the thickness of copper-clad laminates It is.

また、本実施の形態では、高密度実装に適した小径の加工孔を形成できるためレーザによる加工方法を採用した。   In the present embodiment, since a small-diameter processing hole suitable for high-density mounting can be formed, a laser processing method is employed.

なお、非貫通孔の直径は20〜100μmの範囲で形成することが望ましい。導電性めっきにより加工孔を埋設するに際し、20μm以下の場合、めっき液が加工孔内に侵入しにくく、めっきのつきまわりが悪く導通孔としての信頼性に欠け、100μm以上の加工孔を埋設すると、表層の導体厚が厚く、導体の細線化が困難となる。したがって加工孔の直径を20〜100μmの範囲とすることで、導通孔としての信頼性が高く、導体の細線化が可能となるからである。レーザ加工においては、焦点ビーム径が40〜120μmである炭酸ガスレーザを用いることが望ましい。これにより加工孔への導電性めっきの埋設に適した加工孔の仕上げ範囲として、20〜100μmを実現できるからである。   In addition, it is desirable to form the diameter of a non-through-hole in the range of 20-100 micrometers. When embedding a processed hole by conductive plating, if the thickness is 20 μm or less, the plating solution is difficult to penetrate into the processed hole, the plating is poor, and the reliability as a conductive hole is poor, and a processed hole of 100 μm or more is embedded. The surface conductor is thick, making it difficult to thin the conductor. Therefore, by setting the diameter of the processed hole in the range of 20 to 100 μm, the reliability as the conduction hole is high, and the conductor can be thinned. In laser processing, it is desirable to use a carbon dioxide laser having a focal beam diameter of 40 to 120 μm. This is because 20 to 100 μm can be realized as a finishing range of the processing hole suitable for embedding conductive plating in the processing hole.

また、非貫通孔の深さは40〜200μmの範囲で形成することが望ましい。直径が20〜100μmの範囲の非貫通孔に対応して、その深さを40〜200μmの範囲で形成することにより、一定のアスペクト比(深さ/孔径)を保ち、めっきの均一な電着性を図ることができるため、導通孔の信頼性を安定させることができるからである。   The depth of the non-through hole is preferably in the range of 40 to 200 μm. Corresponding to non-through holes with a diameter in the range of 20-100 μm, by forming the depth in the range of 40-200 μm, maintaining a constant aspect ratio (depth / hole diameter) and uniform electrodeposition of plating This is because the reliability of the conduction hole can be stabilized.

さらに、加工孔を形成したのち、加工孔をアルコール系溶液にて処理することで、加工後の加工孔内の異物や付着物を溶解除去することができ、次工程における加工孔への導電性めっきの形成を確実に行い、層間の導通孔としての電気的接続の信頼性を安定させることができる。   Furthermore, after forming the processing hole, the processing hole is treated with an alcohol-based solution, so that foreign matters and deposits in the processing hole after processing can be dissolved and removed. Plating can be reliably formed, and the reliability of electrical connection as a conduction hole between layers can be stabilized.

次に、図1(c)に示すように、さらに金属めっきを繰り返すことによりレーザビア5を金属めっきにより埋めてしまうことによってビア7を得る。この後表面にスクリーン印刷法や写真法などの手段を用いて、外層用の導体パターン8およびビア7上のランド9を形成し、図1(d)に示すような多層プリント配線板10を得ている。   Next, as shown in FIG. 1C, the via 7 is obtained by further filling the laser via 5 with metal plating by repeating metal plating. Thereafter, the outer layer conductor pattern 8 and the land 9 on the via 7 are formed on the surface using means such as a screen printing method or a photographic method to obtain a multilayer printed wiring board 10 as shown in FIG. ing.

この構成により、加工孔および加工孔近傍の導体や実装用の導体ランドの引き剥がし強度や密着性および耐熱性を向上することができ、表層と内層または両表層間の導通孔および導通孔近傍の表層の導体の強度を向上し、層間の電気接続的信頼性を向上することができる。   With this configuration, it is possible to improve the peeling strength, adhesion and heat resistance of the processing hole, the conductor in the vicinity of the processing hole, and the conductor land for mounting, and the conduction hole between the surface layer and the inner layer or both surface layers and in the vicinity of the conduction hole. The strength of the surface conductor can be improved, and the electrical connection reliability between the layers can be improved.

なお、以上の説明では内層材を硬質性基板で構成した例で説明したが、その他の合成樹脂基板、セラミック基板、表面に絶縁処理を施した金属基板、およびアラミド不織布に熱硬化性樹脂を含浸し半硬化して貫通孔を設け、この貫通孔に導電性ペーストを含浸し層間導通用の接着シートを形成する工程と、導電性ペーストを充填した孔を有する絶縁基板の両面に導電はくを積層し熱圧着した後その両面の導電はくを回路形成して両面に導体パターンを有した図1(e)に示すような内層材についても同様に実施可能である。   In the above description, the inner layer material has been described as an example of a rigid substrate. However, other synthetic resin substrates, ceramic substrates, metal substrates with surface insulation treatment, and aramid nonwoven fabrics are impregnated with thermosetting resin. Semi-cured to provide through holes, impregnating the through holes with a conductive paste to form an adhesive sheet for interlayer conduction, and conductive foil on both sides of the insulating substrate having holes filled with the conductive paste. It can be similarly applied to an inner layer material as shown in FIG. 1 (e) in which conductive films on both surfaces are formed after laminating and thermocompression bonding and a conductive pattern is formed on both surfaces.

この構成により、導体の厚みを薄くできるため、内層の導体回路の配線密度を向上させることができ、さらに表層と内層または両表層間の導通孔および導通孔近傍の表層の導体の強度を向上し、層間の電気接続的信頼性を向上しうる高多層のプリント配線板を提供することができる。   With this configuration, the thickness of the conductor can be reduced, so that the wiring density of the inner layer conductor circuit can be improved, and the strength of the surface layer and the inner layer or between the surface layers and the surface layer conductor near the conduction hole can be improved. In addition, it is possible to provide a high-layer printed wiring board capable of improving the electrical connection reliability between layers.

また、絶縁層を芳香族ポリアミドの織布または不織布に樹脂を含浸してなる基材とすることにより、レーザによる孔加工に適しているため高密度のプリント配線板を実現できる。   Moreover, since the insulating layer is a base material obtained by impregnating a resin in a woven or non-woven fabric of an aromatic polyamide, it is suitable for drilling with a laser, so that a high-density printed wiring board can be realized.

また、絶縁層をセラミック材とすることにより、未焼成のグリーンシート等の打ち抜き孔加工にも対応でき、生産性を向上させることも可能であり、さらに実装用の導体ランドの密着性が高く、高耐熱を要求されるプリント配線板を提供できるものである。   In addition, by using a ceramic material for the insulating layer, it is possible to cope with punching holes such as unfired green sheets, it is possible to improve productivity, and the adhesion of the conductor lands for mounting is high, It is possible to provide a printed wiring board that requires high heat resistance.

さらに、本実施の形態においてはレーザビア5は、非貫通孔としたが、ドリル等で加工して貫通孔とし、それを金属めっきで埋めてしまうことによって、貫通した導通孔およびその近傍の導体の強度を向上し、電気接続的信頼性を向上することもできる。   Furthermore, although the laser via 5 is a non-through hole in the present embodiment, it is processed by a drill or the like to form a through hole, which is filled with metal plating, so that the through hole and the conductor in the vicinity thereof are filled. Strength can be improved and reliability of electrical connection can be improved.

また、本実施の形態で用いた樹脂付き銅はく4に代えて、感光性樹脂層に銅はくを積層することも可能である。この場合、感光性樹脂層に非貫通孔を形成する際に、露光・現像条件によって、非貫通孔の断面形状を逆台形形状にすることもできる。この構成を採用することによって、積層板の厚さ方向に熱膨張に対して非貫通の導通孔の強度を向上させるとともに、部品実装時の導体ランドの耐熱強度および実装の信頼性を向上させることができる。   Moreover, it can replace with the copper foil 4 with a resin used in this Embodiment, and can laminate | stack copper foil on the photosensitive resin layer. In this case, when the non-through hole is formed in the photosensitive resin layer, the cross-sectional shape of the non-through hole can be changed to an inverted trapezoidal shape depending on exposure / development conditions. By adopting this configuration, the strength of the through holes that are not penetrating against thermal expansion in the thickness direction of the laminate is improved, and the heat resistance strength of the conductor lands and the reliability of mounting are improved when mounting components. Can do.

また、表面に絶縁化処理を施した金属板に絶縁層と銅はくを積層した銅張積層板の回路形成し、その上にビルドアップする構成を採用することも可能である。これにより高密度実装および放熱性に優れたプリント配線板を提供できる。   It is also possible to adopt a configuration in which a circuit is formed of a copper-clad laminate in which an insulating layer and copper foil are laminated on a metal plate whose surface has been subjected to insulation treatment, and build-up is performed thereon. Thereby, the printed wiring board excellent in high-density mounting and heat dissipation can be provided.

さらに、導電性めっきにより加工孔を埋設した後、銅張積層板の両面全域に形成された導電性めっき層を、10〜30μmの範囲の厚さまで研磨またはエッチングし、導電性めっき層を薄くする工程を追加して設けることにより、導体回路の形成における高密度および細線化を容易に実現できる。   Furthermore, after embedding the processed hole by conductive plating, the conductive plating layer formed on both sides of the copper-clad laminate is polished or etched to a thickness in the range of 10 to 30 μm to make the conductive plating layer thin. By providing additional steps, it is possible to easily realize high density and thinning in the formation of the conductor circuit.

(実施の形態2)
図2(a)〜(d)は本発明の一実施の形態における多層プリント配線板の製造方法を示す断面図である。図2における符号は図1と同じである。
(Embodiment 2)
2A to 2D are cross-sectional views illustrating a method for manufacturing a multilayer printed wiring board according to an embodiment of the present invention. The reference numerals in FIG. 2 are the same as those in FIG.

以上のように構成された多層プリント配線板の製造方法について、以下説明する。   A method for manufacturing the multilayer printed wiring board configured as described above will be described below.

まず、図2(a)に示すように、絶縁基板3の両側に銅はくをラミネートした銅張積層板の銅はくをスクリーン印刷法や写真法などの手段を用いて、内層用の導体パターン2を形成し、多層プリント配線板用の内層材1を得る。   First, as shown in FIG. 2 (a), a copper clad laminate having copper foil laminated on both sides of the insulating substrate 3 is coated with an inner layer conductor using means such as a screen printing method or a photographic method. A pattern 2 is formed to obtain an inner layer material 1 for a multilayer printed wiring board.

次に、図2(b)に示すように、絶縁基板3上に形成された内層用の導体パターン2を有する内層材1に、樹脂付き銅はく4をラミネートし、銅はくを除去した後、レーザ加工(加工条件:パルス幅6μs×1回+パルス幅3μs×1回+パルス幅2μs×1回)により孔径が50μmの非貫通孔を形成し、さらにドリル加工等により貫通孔を形成し金属めっきし、内外層を電気的に接続するレーザビア5および内層間を電気的に接続するスルーホール6を得る。   Next, as shown in FIG. 2 (b), the copper foil 4 with resin was laminated on the inner layer material 1 having the inner layer conductor pattern 2 formed on the insulating substrate 3, and the copper foil was removed. Then, non-through holes with a hole diameter of 50 μm are formed by laser processing (processing conditions: pulse width 6 μs × 1 time + pulse width 3 μs × 1 time + pulse width 2 μs × 1 time), and further, through holes are formed by drilling or the like. Then, metal plating is performed to obtain a laser via 5 that electrically connects the inner and outer layers and a through hole 6 that electrically connects the inner and outer layers.

次に、図2(c)に示すように、金属めっきにより埋める必要のないビアホールにマスク11を施し、さらに金属めっきを繰り返すことによりレーザビア5を金属めっきにより埋めてしまうことによってビア7を得る。この後マスク11を除去し、表面にスクリーン印刷法や写真法などの手段を用いて、外層用の導体パターン8およびビア7上のランド9を形成し、図2(d)に示すような多層プリント配線板10を得ている。   Next, as shown in FIG. 2C, a mask 11 is applied to a via hole that does not need to be filled with metal plating, and further, metal plating is repeated to fill the laser via 5 with metal plating, thereby obtaining a via 7. Thereafter, the mask 11 is removed, and a conductor pattern 8 for the outer layer and a land 9 on the via 7 are formed on the surface using means such as a screen printing method or a photographic method, and a multilayer as shown in FIG. A printed wiring board 10 is obtained.

このように選択的に必要な加工孔のみを埋設することによって消費する導電性材料を低減し、配線用の導体厚みを薄くすることで、導体の細線化が容易となり、さらにプリント配線板の軽量化を図ることができる。   By selectively burying only necessary processing holes in this way, the conductive material consumed is reduced, and the thickness of the conductor for wiring is reduced, making it easier to make the conductor thinner and further reducing the weight of the printed wiring board. Can be achieved.

また、図2(c)の工程において、表面の銅の金属めっきとは異なる金属めっきを繰り返すことによりレーザビア5を金属めっきにより埋めてしまうことによってビア7を得ることもできる。これにより、導通孔を形成する導電性物質を実装する要求特性に対応して選択することが可能であり、また、導体回路をエッチングにより形成する際のエッチング液を回路形成の工法に応じて選択することができる。   Further, in the step of FIG. 2C, the via 7 can be obtained by filling the laser via 5 with metal plating by repeating metal plating different from copper metal plating on the surface. As a result, it is possible to select according to the required characteristics for mounting the conductive material that forms the conduction hole, and the etching solution for forming the conductor circuit by etching is selected according to the circuit formation method can do.

特に、加工孔および加工孔近傍のみを金属めっきで形成することにより、部品実装での部品端子と導体ランドとのはんだ付け性や、接点電極としての接触抵抗を最少にし、さらに他の配線導体を銅はくのみで構成するため細線化が容易になる。   In particular, by forming only the processing hole and the vicinity of the processing hole by metal plating, the solderability between the component terminal and the conductor land in component mounting and the contact resistance as a contact electrode are minimized, and other wiring conductors are also used. Thinning is easy because it is composed only of copper foil.

(実施の形態3)
図3(a)〜(d)は本発明の一実施の形態における多層プリント配線板の製造方法を示す断面図である。図3において、12は内層材の表裏を導通化する貫通孔であり、その他の符号は図1と同じである。
(Embodiment 3)
3A to 3D are cross-sectional views showing a method for manufacturing a multilayer printed wiring board according to an embodiment of the present invention. In FIG. 3, 12 is a through-hole which makes the front and back of the inner layer material conductive, and the other symbols are the same as in FIG.

以上のように構成された多層プリント配線板の製造方法について、以下説明する。   A method for manufacturing the multilayer printed wiring board configured as described above will be described below.

まず、図3(a)に示すように、絶縁基板3の両側に銅はくをラミネートした銅張積層板にNCボール盤などを用いてスルーホール形成用の孔加工を施し、銅めっきにより両面を電気的に接続するスルーホール12を形成する。さらに銅張積層板の銅はくをスクリーン印刷法や写真法などの手段を用いて、内層用の導体パターン2を形成し、多層プリント配線板用の内層材1を得る。   First, as shown in FIG. 3 (a), a hole for forming a through hole is formed on a copper-clad laminate obtained by laminating copper foil on both sides of an insulating substrate 3 using an NC drilling machine, and both sides are formed by copper plating. A through hole 12 to be electrically connected is formed. Further, the inner layer conductor pattern 2 is formed by using the copper foil of the copper-clad laminate using a screen printing method or a photographic method to obtain the inner layer material 1 for the multilayer printed wiring board.

次に、図3(b)に示すように、絶縁基板3上に形成された内層用の導体パターン2を有する内層材1に、樹脂付き銅はく4をラミネートし、銅はくを除去した後、レーザ加工(加工条件:パルス幅6μs×1回+パルス幅3μs×1回+パルス幅2μs×1回)により孔径が50μmの非貫通孔を形成し、さらにドリル加工等により貫通孔を形成し金属めっきし、内外層を電気的に接続するレーザビア5および内層間を電気的に接続するスルーホール6を得る。   Next, as shown in FIG.3 (b), the copper foil 4 with a resin was laminated to the inner layer material 1 which has the conductor pattern 2 for inner layers formed on the insulating substrate 3, and the copper foil was removed. Then, non-through holes with a hole diameter of 50 μm are formed by laser processing (processing conditions: pulse width 6 μs × 1 time + pulse width 3 μs × 1 time + pulse width 2 μs × 1 time), and further, through holes are formed by drilling or the like. Then, metal plating is performed to obtain a laser via 5 that electrically connects the inner and outer layers and a through hole 6 that electrically connects the inner and outer layers.

次に、図3(c)に示すように、さらに金属めっきを繰り返すことによりレーザビア5を金属めっきにより埋めてしまうことによってビア7を得る。この後表面にスクリーン印刷法や写真法などの手段を用いて、外層用の導体パターン8およびビア7上のランド9を形成し、図3(d)に示すような多層プリント配線板10を得ている。   Next, as shown in FIG. 3C, the via 7 is obtained by further filling the laser via 5 with metal plating by repeating metal plating. Thereafter, the outer layer conductor pattern 8 and the land 9 on the via 7 are formed on the surface by using a screen printing method, a photographic method or the like to obtain a multilayer printed wiring board 10 as shown in FIG. ing.

なお、以上の説明では、内層材の表裏を導通化する貫通孔を樹脂付き銅はくの樹脂で埋め込むことで構成した例で説明したが、その他の導通孔に熱硬化性樹脂および導電性ペーストをあらかじめ埋め込んでおくことも可能である。この構成により加熱積層でのボイドや、板厚のばらつきを低減させることができる。   In the above description, the example has been described in which the through hole that makes the front and back of the inner layer material conductive is embedded with a resin-coated copper foil resin. However, the thermosetting resin and the conductive paste are provided in the other conductive holes. It is also possible to embed in advance. With this configuration, voids in heating lamination and variations in plate thickness can be reduced.

また、以上の説明では、表面の金属めっきと同じ金属めっきを繰り返すことによりビアを金属めっきにより埋めてしまうことで構成した例で説明したが、表面の金属めっきとは異なる金属めっきを繰り返すことにより埋めてしまう構成や、金属めっきにより埋める必要のないビアにマスクをし、さらに金属めっきを繰り返すことによりビアを埋めてしまい、この後マスクを除去する構成についても同様に実施可能である。   In the above explanation, the example in which the via is filled with the metal plating by repeating the same metal plating as the surface metal plating has been described, but by repeating the metal plating different from the surface metal plating, A configuration in which a mask is formed on a via that does not need to be filled by metal plating, a via is buried by repeating metal plating, and then the mask is removed can be similarly implemented.

本実施の形態による多層プリント配線板と従来のビルドアップによるIVHの場合を比較すると、ビア上にランドを形成することができるため配線収容能力および実装密度を大幅に向上できる。   When the multilayer printed wiring board according to the present embodiment is compared with the case of IVH by conventional build-up, a land can be formed on the via, so that the wiring capacity and the mounting density can be greatly improved.

以上のように本実施の形態によれば、飛躍的に実装密度を向上することができる多層プリント配線板を提供することができる。   As described above, according to the present embodiment, it is possible to provide a multilayer printed wiring board capable of dramatically improving the mounting density.

以上のように本発明は、貫通孔または非貫通孔上に部品等を実装することを可能にし、高温雰囲気中での部品はんだ付け後においても、寸法変化に耐えうる引き剥がし強度を有する実装用ランドを備えた高密度実装に適したプリント配線板を容易な方法で提供することができる。   As described above, the present invention makes it possible to mount a component or the like on a through hole or a non-through hole, and has a peeling strength that can withstand dimensional changes even after component soldering in a high temperature atmosphere. A printed wiring board suitable for high-density mounting having lands can be provided by an easy method.

(a)〜(e)は本発明の実施の形態1の多層プリント配線板の製造方法を示す工程断面図(A)-(e) is process sectional drawing which shows the manufacturing method of the multilayer printed wiring board of Embodiment 1 of this invention. (a)〜(d)は本発明の実施の形態2の多層プリント配線板の製造方法を示す工程断面図(A)-(d) is process sectional drawing which shows the manufacturing method of the multilayer printed wiring board of Embodiment 2 of this invention. (a)〜(d)は本発明の実施の形態3の多層プリント配線板の製造方法を示す工程断面図(A)-(d) is process sectional drawing which shows the manufacturing method of the multilayer printed wiring board of Embodiment 3 of this invention.

符号の説明Explanation of symbols

1 内層材
2 内層用の導体パターン
3 内層用の絶縁基板
4 樹脂付き銅はく
5 レーザビア
6 スルーホール
7 金属めっきにより埋めたビア
8 外層用の導体パターン
9 ビア上のランド
10 多層プリント配線板
11 マスク
12 内層間を電気的に接続するスルーホール
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Inner layer material 2 Inner layer conductor pattern 3 Inner layer insulating substrate 4 Resin copper foil 5 Laser via 6 Through hole 7 Via filled with metal plating 8 Outer layer conductor pattern 9 Land on via 10 Multilayer printed wiring board 11 Mask 12 Through hole for electrical connection between inner layers

Claims (33)

銅はくと絶縁層からなる銅張積層板に加工孔を形成し、前記加工孔が導電性めっきにより埋設されたプリント配線板。 A printed wiring board in which a processing hole is formed in a copper clad laminate made of copper foil and an insulating layer, and the processing hole is embedded by conductive plating. 加工孔が貫通孔である請求項1に記載のプリント配線板。 The printed wiring board according to claim 1, wherein the processed hole is a through hole. 加工孔が非貫通孔である請求項1に記載のプリント配線板。 The printed wiring board according to claim 1, wherein the processed hole is a non-through hole. 加工孔上に実装用の導体ランドを形成した請求項1に記載のプリント配線板。 The printed wiring board according to claim 1, wherein a conductor land for mounting is formed on the processed hole. 銅張積層板が内層に回路形成基板を有する多層の銅張積層板である請求項1に記載のプリント配線板。 The printed wiring board according to claim 1, wherein the copper-clad laminate is a multilayer copper-clad laminate having a circuit forming substrate as an inner layer. 請求項5に記載した多層の銅張積層板に層間接続のための非貫通孔を形成した請求項1に記載のプリント配線板。 The printed wiring board according to claim 1, wherein non-through holes for interlayer connection are formed in the multilayer copper-clad laminate according to claim 5. 回路形成基板が多層の回路形成基板である請求項5に記載のプリント配線板。 The printed wiring board according to claim 5, wherein the circuit forming substrate is a multilayer circuit forming substrate. 多層の回路形成基板の層間接続が導電性ペーストを充填した導通孔で形成されている請求項7に記載のプリント配線板。 The printed wiring board according to claim 7, wherein the interlayer connection of the multilayer circuit forming substrate is formed by a conduction hole filled with a conductive paste. 非貫通孔の断面形状が逆台形形状である請求項5に記載のプリント配線板。 The printed wiring board according to claim 5, wherein the cross-sectional shape of the non-through hole is an inverted trapezoidal shape. 加工孔の直径が20〜100μmの範囲で形成された請求項1に記載のプリント配線板。 The printed wiring board according to claim 1, wherein the diameter of the processed hole is in a range of 20 to 100 μm. 非貫通孔の深さが40〜200μmの範囲で形成された請求項5に記載のプリント配線板。 The printed wiring board according to claim 5, wherein the non-through hole has a depth of 40 to 200 μm. 導電性めっきが銅はくと異なる導電性物質で形成された請求項1に記載のプリント配線板。 The printed wiring board according to claim 1, wherein the conductive plating is formed of a conductive material different from copper foil. 加工孔及び加工孔近傍のみを金めっきで形成した請求項1に記載のプリント配線板。 The printed wiring board according to claim 1, wherein only the processed hole and the vicinity of the processed hole are formed by gold plating. 絶縁層が芳香族ポリアミドの織布または不織布に樹脂を含浸してなる基材である請求項1に記載のプリント配線板。 2. The printed wiring board according to claim 1, wherein the insulating layer is a base material obtained by impregnating a woven or non-woven fabric of aromatic polyamide with a resin. 絶縁層がセラミック材である請求項1に記載のプリント配線板。 The printed wiring board according to claim 1, wherein the insulating layer is a ceramic material. 貫通した導通孔を有する内層の回路形成基板の前記導通孔に予め熱硬化性樹脂を充填した請求項5に記載のプリント配線板。 The printed wiring board according to claim 5, wherein a thermosetting resin is filled in advance in the conduction hole of the inner-layer circuit forming substrate having a conduction hole penetrating therethrough. 銅はくと、表面に絶縁化処理を施した金属板と、絶縁層からなる銅張積層板である請求項1に記載のプリント配線板。 The printed wiring board according to claim 1, wherein the printed wiring board is a copper-clad laminate comprising a copper plate, a metal plate having a surface subjected to insulation treatment, and an insulating layer. 選択的に加工孔を埋設した請求項1に記載のプリント配線板。 The printed wiring board according to claim 1, wherein processing holes are selectively embedded. 銅はくと絶縁樹脂層からなる銅張積層板に加工孔を形成する工程と、前記加工孔を導電性めっきにより埋設する工程からなることを特徴とするプリント配線板の製造方法。 A method for producing a printed wiring board, comprising: forming a processed hole in a copper clad laminate comprising a copper foil and an insulating resin layer; and embedding the processed hole by conductive plating. 貫通した加工孔を施すことを特徴とする請求項19に記載のプリント配線板の製造方法。 The method for producing a printed wiring board according to claim 19, wherein a through hole is provided. 非貫通の加工孔を施すことを特徴とする請求項19に記載のプリント配線板の製造方法。 The method for manufacturing a printed wiring board according to claim 19, wherein a non-through hole is provided. レーザにて加工孔を施すことを特徴とする請求項19に記載のプリント配線板の製造方法。 The method for manufacturing a printed wiring board according to claim 19, wherein the machining hole is formed by a laser. 焦点ビーム径が40〜120μmである炭酸ガスレーザを用いる請求項22に記載のプリント配線板の製造方法。 The method for producing a printed wiring board according to claim 22, wherein a carbon dioxide laser having a focal beam diameter of 40 to 120 μm is used. 加工孔を形成したのち、前記加工孔をアルコール系溶液にて処理する請求項19に記載のプリント配線板の製造方法。 The method for manufacturing a printed wiring board according to claim 19, wherein the processed hole is treated with an alcohol-based solution after forming the processed hole. 銅はくが接着性樹脂付き銅はくである請求項19に記載のプリント配線板の製造方法。 The method for manufacturing a printed wiring board according to claim 19, wherein the copper foil is a copper foil with an adhesive resin. 銅はくと接着性を有する絶縁樹脂層とを積層し、加熱圧着して銅張積層板を形成する請求項19に記載のプリント配線板の製造方法。 The method for manufacturing a printed wiring board according to claim 19, wherein the copper foil and the insulating resin layer having adhesiveness are laminated and heat-pressed to form a copper-clad laminate. 接着性樹脂付き銅はくと、回路形成基板とを積層し、加熱圧着して多層の銅張積層板を形成する請求項19に記載のプリント配線板の製造方法。 The method for producing a printed wiring board according to claim 19, wherein the copper foil with adhesive resin and the circuit forming substrate are laminated and heat-pressed to form a multilayer copper-clad laminate. 接着性を有する絶縁樹脂基材に貫通孔を形成する工程と、前記貫通孔に導電性ペーストを充填する工程と、両面に銅はくを積層し加熱圧着する工程と、両面の銅はくを選択的にエッチングし導体回路を形成して回路形成基板を形成する請求項27に記載のプリント配線板の製造方法。 A step of forming a through-hole in an insulating resin base material having adhesiveness, a step of filling the through-hole with a conductive paste, a step of laminating copper foil on both sides and thermocompression bonding, and a copper foil on both sides 28. The method of manufacturing a printed wiring board according to claim 27, wherein the circuit forming substrate is formed by selectively etching to form a conductor circuit. 絶縁樹脂基材に芳香族ポリアミド不織布エポキシ樹脂基材を用いた請求項28に記載のプリント配線板の製造方法。 The method for producing a printed wiring board according to claim 28, wherein an aromatic polyamide nonwoven fabric epoxy resin substrate is used as the insulating resin substrate. 導電性めっきにより加工孔を埋設した後、銅張積層板の両面全域に形成された導電性めっき層を研磨またはエッチングする請求項19に記載のプリント配線板の製造方法。 The method for manufacturing a printed wiring board according to claim 19, wherein the conductive plating layer formed on both sides of the copper-clad laminate is polished or etched after embedding the processed hole by conductive plating. 10〜30μmの範囲の厚さまで導電性めっき層を研磨またはエッチングする請求項30に記載のプリント配線板の製造方法。 The manufacturing method of the printed wiring board of Claim 30 which grind | polishes or etches a conductive plating layer to the thickness of the range of 10-30 micrometers. 加工孔を形成した後、剥離可能なめっきレジストにて前記加工孔(と銅はく表面)を選択的に被覆し、導電性めっきの後前記めっきレジストを剥離除去する請求項19に記載のプリント配線板の製造方法。 The print according to claim 19, wherein after forming the processed hole, the processed hole (and the copper foil surface) is selectively covered with a peelable plating resist, and the plating resist is peeled and removed after conductive plating. A method for manufacturing a wiring board. 銅はくと異なる金属で導電性めっきを行う請求項32に記載のプリント配線板の製造方法。 The method for producing a printed wiring board according to claim 32, wherein the conductive plating is performed with a metal different from copper foil.
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