JP4277361B2 - Iii族窒化物半導体素子の製造方法 - Google Patents
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Description
【発明が属する技術分野】
Si基板上に、良質のIII族窒化物半導体層を形成した半導体素子に関する。
【0002】
【従来の技術】
窒素を構成元素とするIII族窒化物半導体結晶層は、短波長可視発光デバイスあるいは高周波電子デバイスの緩衝層、発光層、チャネル(channel)層等を構成するために利用されている(例えば、Mat.Res.Soc.Symp.Proc.,Vol.468(1977)、481〜486頁参照)。
【0003】
従来、上記のIII族窒化物半導体デバイスの積層用基板として、六方晶系のサファイアや炭化珪素単結晶が用いられてきた(例えば、Jpn.J.Appl.Phys.,Vol.34、Pt.2、No.10(1995)、L1332〜L1335頁参照)。
【0004】
最近では、Si単結晶を基板とする積層構造体から短波長発光素子を構成する例があるが(Appl.Phys.Lett.,72(4)(1998)、415〜417頁参照)、これはダイヤモンド構造型のSiを基板とすれば、(1)[011]結晶方向への劈開を利用して個別素子に裁断できる、(2)半導体レーザー素子にあって、劈開により簡便に光共振面を形成できるからである。また導電性の立方晶結晶材料から基板を構成すれば、オーミック電極が都合良く形成できる(Electron.Lett.,33(23)(1997)、1986〜1987頁参照)。
【0005】
しかし、Siを基板として使用した場合、ウルツ鉱(wurtzite)型の六方晶窒化ガリウムとの格子定数の差異(格子ミスマッチ度)は約17%に達し(上記のAppl.Phys.Lett.,72(1998)参照)、このため、Si基板上には、GaNを初めとして連続性のあるIII族窒化物半導体結晶層を積層するのは困難とされている。
【0006】
従来より、これを回避するため、Si単結晶基板上に緩衝層等の介在層を配置する技術手段が採られている。緩衝層(中間層)としては、窒化アルミニウム・ガリウム(AlGaN)を用いる例が知られ(第59回応用物理学会学術講演会(1998年9月)講演予稿集、312頁、17p−YA−15)、このAlGaN中間層は、1090℃の高温で形成されている。また、緩衝層として、窒化アルミニウム(AlN)を介在させる技術も開示されており(特開平10−242586号公報明細書参照)、この場合、緩衝層は840℃で成膜されている。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】
従来より行われている、Si基板上にAlN系の緩衝層を配置する方法では、緩衝層上のIII族窒化物半導体結晶層の表面の平坦性は必ずしも充分に確保されておらず(特開平10−242586号公報明細書参照)、このため緩衝層の成膜時に、表面に平坦性を与える複数の不純物を故意に添加(ドーピング)する煩雑な手段が採られている。
【0008】
本発明は、この従来技術の問題点に鑑み、Si結晶基板上に連続性のあるIII族窒化物半導体結晶層を安定して与える緩衝層の構成を提示し、これにより特性に優れるIII族窒化物半導体素子を提供することを目的としている。
【0009】
【課題を解決するための手段】
本発明者は、
[1]Si単結晶基板上に緩衝層を介して、窒化ガリウム系半導体の積層構造を有するIII族窒化物半導体素子において、Si基板の表面に、有機III族化合物またはIII族塩化物から生成する、主としてIII族金属元素から構成された堆積層を有し、該堆積層上に、III族窒化合物半導体結晶から構成される緩衝層を有し、さらにその上にIII族窒化物半導体層を有することを特徴とするIII族窒化物半導体素子、
[2]前記III族金属元素から構成される堆積層が、Si基板の表面を、有機III族化合物またはIII族塩化物に曝すことで形成されることを特徴とする[1]に記載のIII族窒化物半導体素子の製造方法、
[3]前記III族金属元素から構成される堆積層の生成温度をA、その上に形成される緩衝層の形成温度をB、さらにその上に形成されるIII族窒化物半導体層の形成温度をCとした場合、上記にA<B<Cなる関係があることを特徴とする[2]に記載のIII族窒化物半導体素子の製造方法、
[4]上記温度は、Aが200℃以上350℃以下で、Bが350℃を越え600℃以下であることを特徴とする請求項3記載のIII族窒化物半導体素子の製造方法、を成すことで上述の問題点を解決した。
【0010】
【発明の実施の形態】
本発明の堆積層とは、Si基板の表面を被覆するために比較的低温で形成される、III族金属元素を含む層である。一例を挙げれば、Si基板の表面上にガリウムを主体とする堆積層を形成するには、例えば、基板を加熱してトリメチルガリウム((CH3)3Ga)の蒸気を含む気体を噴霧すれば形成できる。またトリメチルガリウムの蒸気を含む気流中に、Si基板の表面を曝す手法によっても形成できる。所望する堆積層の構成によって、噴霧する気体の構成を変える。例えば、アルミニウムを主体とする堆積層を構成するには、トリメチルアルミニウム((CH3)3Al)などを用いる。インジウムを主体とする堆積層を構成するには、トリメチルインジウム((CH3)3In)や結合価を1価とするシクロペンタジエニルインジウム(C5H5In)(J.Crystal Growth,107(1991)、360〜364頁参照)が利用できる。
【0011】
堆積層を構成するための原材料には、上記のトリアルキル化合物の他に、三塩化ガリウム(GaCl3)や三塩化インジウム(InCl3)などのIII族金属元素の塩化物が利用できる。これらのイオン結合性、あるいは電気陰性度を相違する原子(原子団)から構成される物質は、共有結合性のSi表面に吸着し易く、堆積層が優位に形成できる。弗化物等の他のハロゲン化物も利用できないことはないが、特に弗化物にあっては、弗素イオンの作用により、Si基板の表面が浸食され、基板表面の平坦性が損なわれる欠点がある。堆積層は、これらの塩化物を含む溶液をSi基板表面に塗布する手法によっても形成できる。
【0012】
堆積層を形成するのに都合の良い温度は、概ね、150℃を越える温度である。高温では、Si基板表面からの脱離が顕著となり、堆積層が安定的に形成できなくなり不都合である。また、堆積層を構成する物質からIII族金属元素が遊離して凝集し、III族金属元素の液滴が発生してSi基板の表面が被覆できない不都合を招く。Si基板の表面を被覆する堆積層を安定して得るのに好ましい温度範囲は、200℃以上で350℃以下である。
【0013】
堆積層の形成を終了した後は、基板の温度を好ましくは350℃を越え600℃以下の温度に昇温し、緩衝層を形成する。緩衝層は、GaN、AlN、InNやそれらの混晶AlXGaYIn1-X-YN(0≦X,Y≦1、X+Y=1)から構成できる。緩衝層を形成する手段には、通常の気相成長(VPE)法、有機金属熱分解気相成長(MOCVD)法、或いは分子線エピタキシャル(MBE)法等の気相成長法を用いることができる。堆積層上に形成する緩衝層は、アンドープでも不純物がドーピングされていても差し支えはないが、層厚は50nm以下、好ましくは約20nm以下で約2nm以上とすることが好ましい。
【0014】
堆積層表面上に緩衝層を形成する利点は、Si基板表面と緩衝層との中間にもう1つの層が介在するため、Si基板との密着性の増した緩衝層が得られることである。また堆積層をその形成時の温度よりも高温に曝すことにより、堆積層中のメチル基や塩素などが脱離され、III族金属元素が表面に露呈する確率が増し、これより、窒化物半導体堆積層と緩衝層との密着性をより高めることができる。また、これにより連続性に優れる緩衝層が形成でき、この緩衝層は、この上に成長させるIII族窒化物半導体層をも連続性に優れるものとすることができる。
【0015】
堆積層と緩衝層とは、同一のIII族金属元素を含む材料から構成できる。例えば、堆積層をGaを主体として構成し、緩衝層をGaNから構成したり、Alを主体としてなる堆積層上に、AlXGa1-XN(0≦X≦1)なる緩衝層を形成するのが効果的である。また、堆積層と緩衝層とで、III族構成元素が異なっても構わない。例えば、堆積層がAlを主体として成り、緩衝層がGaNから構成されていても構わない。
【0016】
緩衝層上には、好ましくは緩衝層の成膜温度よりも高い温度で、III族窒化物半導体層を積層する。緩衝層の内部の結晶構成は、非晶質、多結晶、或いは単結晶、若しくはそれらの混在であって差し支えないが、素子の機能をなすためには結晶性に優れる単結晶から構成する必要があり、成膜温度を緩衝層よりも高温とすることにより結晶性を向上させることができる。III族窒化物半導体層は、一般式AlXGaYIn1-X-YN(0≦X,Y≦1、X+Y=1)から構成できる。また、窒素原子以外の砒素原子やリンを含む場合は、一般式AlXGaYIn1-X-YNaM1-a(0≦X,Y≦1、X+Y=1、Mは窒素以外の第V族元素を表し、0<a≦1)から構成できる。
【0017】
例えば、Si基板上にGaを主体とする堆積層を形成し、その上にGaN緩衝層、n形GaN下部クラッド層、n形窒化ガリウム・インジウム(GaYIn1-YN:0≦Y≦1)発光層、p形AlXGa1-XN(0<X≦1)上部クラッド層と順次積層すれば、短波長可視帯或いは近紫外帯の発光素子用途の積層構造体が構成できる。さらに、上記の積層構造体の表層に電流拡散層を設ければ、短波長レーザーダイオード用途の積層構造体となる。また、高比抵抗のSi結晶基板と高抵抗緩衝層からなる下地層に、高純度のn形GaYIn1-YN(0≦Y≦1)チャネル層、高純度のn形AlXGa1-XN(0<X≦1)スペーサ層、n形AlXGa1-XN(0<X≦1)電子供給層を順次積層すれば、変調ドーピングトランジスタ(MODFET)が構成できる。
【0018】
【実施例】
以下、本発明の詳細を、発光素子を作製する場合を例にして、より具体的に説明する。図1は、本実施例に係わる発光素子1Aの概略を示す平面模式図である。また、図2は、図1の破線A−A’の断面模式図である。
【0019】
短波長可視発光素子1Aは、Si単結晶を基板101とする積層構造体1Bを母体材料として構成されている。積層構造体1Bは、アンチモンドープn形Si基板101の表面上に堆積層102を介して形成した緩衝層103と、緩衝層103上のIII族窒化物半導体結晶層からなる発光部107を備える。
【0020】
{001}−Si単結晶基板101は、一般的なMOCVD反応炉内に設置した後、水素ガスから成る雰囲気中で280℃に加熱した。然る後、水素ガスにトリメチルガリウム((CH3)3Ga)の蒸気を添加し、このトリメチルガリウムの蒸気を随伴する水素ガスにSi基板101の表面を30秒間曝し、層厚を約1nmとする堆積層102を形成した。層厚は、一般的な偏光を利用する光学的層厚測定器を利用して測定した。
【0021】
堆積層102の形成終了後、直ちに雰囲気を構成するガスを水素のみとし、基板101の温度を430℃に昇温した。昇温速度は25℃/分に設定した。昇温後、トリメチルガリウムをGa源、アンモニア(NH3)を窒素源として、通常の常圧MOCVD法により、GaNから成る緩衝層103を成膜した。緩衝層103の層厚は約15nmとした。
【0022】
緩衝層103の成膜終了後、基板101の温度を1050℃に昇温し、上記の原料系を使用して、常圧MOCVD法でSiをドーピングしたn形GaN層(層厚=3μm)104を積層した。キャリア濃度は約3×1018cm-3とした。下部クラッド層とするn形GaN層104は亀裂も無く、良好な表面モフォロジーを有していた。引き続き、下部クラッド層104上に、890℃でインジウム組成比を約0.15とするn形Ga0.85In0.15N発光層105を常圧MOCVD法で積層した。発光層105は、インジウム組成比を相違する複数の相(phase或いはdomain)から成る多相構造の結晶層から構成した。また、発光層105のキャリア濃度は約9×1018cm-3に設定し、層厚は約8nmとした。発光層105上には、発光層105との接合界面105aでのアルミニウム組成比を0.20、表面側で0の、層厚を110nmとするマグネシウムドープp形AlXGa1-XN上部クラッド層106を積層した。なお上部クラッド層106はコンタクト層をかねている。これより、上記のn形下部クラッド層104、n形多相構造発光層105、及び上部クラッド層106より成るpn接合型のダブルヘテロ(DH)接合構造発光部107を備えた発光素子用途の積層構造体1Bを構成した。
【0023】
発光部107を構成する各層104、105、106は、何れも表面の平滑性に優れる連続膜から成っていた。特に、Si基板101と堆積層102あるいは緩衝層103との間には、空隙などは認められず、基板101との密着性に優れる積層構造体1Bが得られた。
【0024】
発光素子1Aは、基板101の裏面にn形オーミック電極109と、上部クラッド層106の表面にp形オーミック電極108を形成した構成した。双方のオーミック電極108、109は共にAlから構成している。
【0025】
電極108、109間に順方向に20mAの動作電流を流して、発光素子1Aを発光させた。発光素子1Aからは、発光中心波長を約465nmとし、半値幅を約14nmとする青緑色光が得られた。一般的な積分球を利用して測定される発光強度は約16μWの高強度となり、高輝度のIII族窒化物半導体発光素子が得られた。
【0026】
【発明の効果】
本発明の積層構造によると、Si基板との良好な密着性を有し、結晶性に優れるIII族窒化物半導体機能層が得られ、これにより高輝度のIII族窒化物半導体発光素子を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】実施例1の発光素子の断面模式図である。
【図2】図1のA−A’断面図である。
【符号の説明】
1A 発光素子
1B 積層構造体
101 Si結晶基板
102 堆積層
103 緩衝層
104 n形下部クラッド層
105 n形多相構造発光層
105a 発光層とp形上部クラッド層との接合界面
106 p形上部クラッド層
107 発光部
108 p形オーミック電極
109 n形オーミック電極
Claims (1)
- Si単結晶基板上に緩衝層を介して、窒化ガリウム系半導体の積層構造を有するIII族窒化物半導体素子において、200℃以上350℃以下の温度で、Si基板の表面に有機III族化合物またはIII族塩化物を曝すことで、主としてIII族金属元素から構成された堆積層を生成し、該堆積層上に、III族窒化合物半導体結晶から構成される緩衝層を350℃を越え600℃以下の温度で形成し、さらにその上にIII族窒化物半導体層を該緩衝層よりも高い温度で形成することを特徴とするIII族窒化物半導体素子の製造方法。
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