JP4270636B2 - 抵抗率測定器 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えばシリコンウェーハ等といった試料の抵抗率を例えば四探針法などによって測定する抵抗率測定器に関し、特に測定時の温度の違いによる抵抗率の測定精度の低下を防ぐ自動温度補正機能を有する抵抗率測定器に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来より試料の抵抗を測定するために、例えば四探針法を利用した抵抗率を測定する抵抗率測定器が使用されている。
このような抵抗率測定器の一例である、シリコンウェーハの抵抗率を測定する抵抗率測定器を概略説明する。
この抵抗率測定器は、電流計と、直流電流源と、電位差測定器と、4本の探針と、を備えている。したがって、この従来の抵抗率測定器によりシリコンウェーハの抵抗率を求める場合には、シリコンウェーハに対して4本の探針を接触させた状態にして直流電流源から直流電流を流し、電流計の電流値及び探針間の電圧値を表す電位差測定器の電圧値を測定する。これによって、測定された電流値及び電圧値に基づき、シリコンウェーハの抵抗率が求められるのである。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、シリコンウェーハには温度係数が存在する。この温度係数はシリコンウェーハの抵抗率が10Ω・cm以上の場合に、1℃当たり0.8%以上にも達する。このため、測定時のシリコンウェーハの温度により抵抗率が変化してしまう。これは、抵抗率を測定した日時で測定値が変動する要因となり、測定値の再現性及び精度に悪影響を与えることを意味する。
そこで、これを解消するために、抵抗率測定器が設置された部屋全体を一定温度に制御することが考えられるが、設備が大がかりであり、技術的にも難しい。
これにより、シリコンウェーハの温度を測定して温度補正値を算出し、測定された抵抗率に乗算することで目標温度でのシリコンウェーハの抵抗率を求めることも可能である。しかしながら、この作業には抵抗率測定器以外の器材が必要であり、しかも作業に手間がかかるという問題点があった。
【0004】
本発明は、上記した従来の事情に鑑みなされたもので、抵抗率測定時の温度の違いによる測定精度の低下を防止することができる抵抗率測定器を提供することを目的としている。
【0005】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために本発明に係る抵抗率測定器は、試料の抵抗率を測定する抵抗率計測手段を備えた抵抗率測定器において、試料の温度を測定する温度計測手段と、異なる抵抗率に基づいてそれぞれ定められた複数の温度係数のデータを記憶する温度係数記憶手段と、前記温度計測手段により得られた試料に対する経時的な2つの温度データの差と、前記抵抗率計測手段により得られた温度補正前の抵抗率に応じて温度係数記憶手段から選出された温度係数と、に基づき温度補正係数を求める温度補正係数算出手段と、前記温度補正前の抵抗率と、前記試料に対する経時的な2つの温度データと、前記温度補正係数とに基づいて、温度補正された抵抗率を演算する補正抵抗率演算手段とを備えたことを特徴とする抵抗率測定器とする。
【0006】
試料の種類は限定されない。例えばシリコンウェーハ,ガリウム砒素ウェーハなどのウェーハ類が挙げられる。
また、温度計測手段の種類は限定されない。例えば、試料の表面の温度を直接測定する表面温度計などでもよい。また、間接的な温度の測定手段として、予め測定室内に試料を一定時間放置して温度を安定させた後、この測定室内の温度を温度センサによって測定するものなどを採用することができる。
さらに、温度係数記憶手段においては、複数の温度係数のデータをパラメータ・テーブルで記憶する方が好ましい。なお、シリコンウェーハの場合、この温度係数はウェーハの種類によってもその値が変化する。そのため、そのウェーハ種類に合わせて、複数のパラメータ・テーブルを用意した方が好ましい。
【0007】
補正抵抗率演算手段では、次式(1)を利用して、温度が補正された後の抵抗率ρ′t 2 が求められる。
ρ′t2=ρt1{1−α(t1−t2)} (1)
ここで、ρt 1 は温度補正前の測定された抵抗率,t1は試料に対する前回の温度データ,t2は試料に対する今回の温度データ,αは温度補正前の抵抗率に基づく試料の温度係数である。なお(1)式は、経時的な2つの温度データt1,t2の差をΔtに置換すれば次式(2)となる。
【0008】
ρ′t2=ρt1(1−αΔt) (2)
式(2)中、α(Δt)は温度補正係数βである。そこで、この式を(3)式のように書き換えることもできる。
ρ′t2=ρt1(1−β) (3)
なお、温度補正後のρ′t 2 は、必要に応じてコンピュータ処理を施して、等高線マップ、3次元マップとして図形表示することができる。
【0009】
【作用】
上記抵抗率測定器によると、抵抗率計測手段により試料の温度補正前の抵抗率を測定し、しかも温度計測手段によりこの試料の温度を経時的に複数回測定するとともに、温度補正係数算出手段により温度補正係数βを求める。この温度補正係数βは、温度係数記憶手段から選出された温度係数αと、経時的な2つの温度データt1,t2の差Δtとを乗算することで得られる(α・Δt)。
その後、補正抵抗率演算手段により次の演算を行う。すなわち、この温度補正係数βと、経時的な温度データt1,t2とに基づいて、前記(3)式のρ′t2=ρt1(1−β)より温度補正後の抵抗率ρ′t 2 を求める。
このように、自動的に温度補正係数を求めて、抵抗率の温度補正を行うように構成したので、抵抗率測定時の温度の違いによって、測定精度が低下してしまうのを防止することができる。
【0010】
【発明の実施の形態】
本発明の一実施例に係る抵抗率測定器を、図面に基づいて詳細に説明する。なお、ここではシリコンウェーハの抵抗率を測定する抵抗率測定器を例に説明する。
図1はこの発明の一実施例に係る抵抗率測定器の自動温度補正機能の動作に関するフローチャートである。図2はこの発明の一実施例に係る抵抗率測定器の模式図である。図3はこの発明の一実施例に係る抵抗率測定器に用いられる温度計測手段の外観を示す斜視図である。
【0011】
図2に示すように、この抵抗率測定器は、電流計1と、直流電流源2と、電位差測定器3と、4本の探針4〜7と、制御部8とを備えている。
この制御部8は、シリコンウェーハWの抵抗率(温度補正前の抵抗率)を測定する抵抗率計測手段と、シリコンウェーハWの温度を測定する温度計測手段と、異なる抵抗率に基づいてそれぞれ定められた多数の温度係数のデータを、温度係数のパラメータ・テーブルとして記憶する温度係数記憶手段と、温度補正係数を算出する温度補正係数算出手段と、温度補正された抵抗率を演算する補正抵抗率演算手段とを有している。
【0012】
なお、この温度補正係数算出手段による温度補正係数βの算出方法は、まず温度計測手段によりシリコンウェーハWに対する前回の温度データt1と、今回の温度データt2との差Δtを求める。また一方、温度係数記憶手段のパラメータ・テーブル(シリコンウェーハの抵抗率温度係数表)の中から、温度補正前の抵抗率ρt 1 に対応した温度係数αを選出する。その後、Δt,αを乗算することで温度補正係数βが求められる。このパラメータ・テーブルを表1に示す。なお、このパラメータ・テーブルは、P型またはN型のドーパントを含むシリコンウェーハWの温度が18〜28℃である場合に適用される。
【0013】
【表1】
【0014】
また、この補正抵抗率演算手段は、温度補正前の抵抗率ρt 1 と、温度データt1,t2と、温度補正係数βとを、前述の式(3)に代入することで、温度補正された抵抗率ρ′t 2 を求める手段である。
さらに、この一実施例では、前記温度計測手段として、シリコンウェーハWの温度を間接的に測定するものが採用されている。すなわち、図3に示すように、シリコンウェーハWの温度を測定するウェーハ温度測定室20の一側板に、この室内温度を測定する温度センサ21が、片持ち状態で取り付けられている。よって、ウェーハ温度を測定する際には、このウェーハ温度測定室20の中にシリコンウェーハWを収納して一定時間放置することで、ウェーハ温度を室内温度と等しくさせる。その後、温度センサ21によりこの測定室20の温度を測定することで、間接的にシリコンウェーハWの温度を測定する。
【0015】
このように構成される抵抗率測定器を用いて、シリコンウェーハWの温度補正後の抵抗率を求める際には、まず図2に示すように、シリコンウェーハWの表面に探針4〜7を接触させ、この状態を保持して直流電流源2から直流電流を流し、電流計1の電流値A及び探針5及び探針6間の電圧値Vを表す電位差測定器3の電圧値を測定する。これによって、測定された電流値A及び電圧値Vに基づいて、温度補正前のシリコンウェーハWの抵抗率ρt 1 が求められる。
【0016】
次に、図1のフローチャートを参照して、この発明の一実施例に係る抵抗率測定器の自動温度補正機能の動作を説明する。
まず、ステップS101では、温度測定に関する設定を行う。すなわち、例えば温度補正を行うかどうか、基準になる温度を何度にするか、ウェーハの種類は何かなどの各種の設定をあらかじめ行っておく。
ステップS102では、シリコンウェーハWの温度を測定する。具体的な方法としては、前記ウェーハ温度測定室20に装着された温度センサ21を用いて行われる。
【0017】
すなわち、ウェーハ温度測定室20の中でシリコンウェーハWを一定時間放置することで、ウェーハ温度を室内温度と同じ温度とし、その後、この温度センサ21によってその測定室20内の温度を測定することで、間接的にこのシリコンウェーハWの温度t2を測定する。この方法を採用するようにしたので、温度が安定するまでに若干長い時間がかかるものの、比較的廉価な設備コストでもって、シリコンウェーハWの温度を測定することができる。なお、この抵抗率の温度補正を行う以前(例えば前日など)に、シリコンウェーハWの温度t1がこの測定方法でもって測定されているものとする。
【0018】
ステップS103では、前述した通常の四探針法によって温度補正前の抵抗率ρt 1 の測定を行う。
ステップS104では、この温度補正前の抵抗率ρt 1 に基づき、表1に示すパラメータ・テーブルの中から、対応する温度係数αを選出する。
また、ステップS105では、温度補正係数算出手段により温度補正係数βを求める。具体的にはこの選出された温度係数αと、経時的な2つの温度データの温度差(前回の温度データt1から今回の温度データt2を引いた値)Δtと、を乗算することで得られる。
【0019】
さらに、ステップS106では、補正抵抗率演算手段により、温度補正前の抵抗率と、温度データt1,t2と、温度補正係数βとを、前述の式(3)に代入して、温度補正後の抵抗率ρ′t 2 を求める。
ステップS107では、この温度補正後の抵抗率ρ′t 2 を、必要に応じてコンピュータ処理して、等高線マップまたは3次元マップなどに図形表示する。このように温度補正された抵抗率ρ′t 2 は、そのままコンピュータへ入力することができるために、このような処理時の作業効率が高まる。
【0020】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明に係る抵抗率測定器では、自動的に温度補正係数を求めた後、得られた温度補正係数、温度補正前の抵抗率及び試料の経時的な温度データに基づいて、温度補正後の抵抗率を算出するようにしたので、抵抗率測定時の温度の違いにより、測定精度が低下するのを防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明の一実施例に係る抵抗率測定器の自動温度補正機能の動作に関するフローチャートである。
【図2】この発明の一実施例に係る抵抗率測定器の模式図である。
【図3】この発明の一実施例に係る抵抗率測定器に用いられる温度計測手段の外観を示す斜視図である。
【符号の説明】
21 温度センサ(温度計測手段)、
W シリコンウェーハ(試料)。
Claims (8)
- 試料の抵抗率を温度測定室内で測定する抵抗率計測手段を備えた抵抗率測定器において、
試料の温度を間接的に測定する温度計測手段と、
異なる抵抗率に基づいてそれぞれ定められた温度係数のデータを記憶する温度係数記憶手段と、
前記温度計測手段により得られた試料に対する2つの温度データの差と、前記抵抗率計測手段により得られた温度補正前の抵抗率に応じて温度係数記憶手段から選出された温度係数とに基づいて温度補正係数を求める温度補正係数算出手段と、
前記温度補正前の抵抗率と、前記試料に対する2つの温度データと、前記温度補正係数とに基づいて、温度補正された抵抗率を演算する補正抵抗率演算手段とを備え、
前記温度計測手段は、前記温度測定室内に前記試料を収納して一定時間放置することで前記試料の温度を安定させてから前記温度測定室の温度を測定するよう前記温度測定室に取り付けられたことを特徴とする抵抗率測定器。 - 請求項1に記載の抵抗率測定器において、
前記試料はシリコンウェーハ又はガリウム砒素ウェーハなどのウェーハ類であることを特徴とする抵抗率測定器。 - 請求項2に記載の抵抗率測定器において、
前記シリコンウェーハはP型またはN型のドーパントを含むことを特徴とする抵抗率測定器。 - 請求項3に記載の抵抗率測定器において、
前記P型のドーパントはボロンであることを特徴とする抵抗率測定器。 - 請求項1に記載の抵抗率測定器において、
前記温度係数記憶手段はパラメータ・テーブルで構成されたことを特徴とする抵抗率測定器。 - 請求項5に記載の抵抗率測定器において、
前記パラメータ・テーブルは、シリコンウェーハの温度が室内温度である場合におけるシリコンウェーハの抵抗率温度係数表であることを特徴とする抵抗率測定器。 - 請求項6に記載の抵抗率測定器において、
前記シリコンウェーハの温度が18〜28℃であることを特徴とする抵抗率測定器。 - 試料の温度を測定するステップと、前記試料の抵抗率を温度測定室内で測定するステップと、前記試料に対する2つの温度データとの差と異なる抵抗率に基づいてそれぞれ定められた温度係数のデータから前記試料の抵抗率に応じて選出した温度係数とに基づいて温度補正係数を求めるステップと、前記試料の抵抗率と前記試料に対する2つの温度データと前記温度補正係数とに基づいて、温度補正された抵抗率を演算するステップとを備え、前記試料の温度を測定するステップでは、前記温度測定室内に前記試料を収納して一定時間放置することで前記試料の温度を安定させてから前記温度測定室の温度を測定することを特徴とする抵抗率測定方法。
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