JP4255997B2 - 半導体ウエハの外観検査装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体製造プロセスにおけるウエハの外観検査装置に関するもので、とくに検査用カメラや顕微鏡のレンズの焦点合わせ、被検査ウエハの位置修正など走査性能の向上に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
従来、ウエハ外観検査装置における測定器の光学系レンズの焦点合わせには、モニターにて像を確認しながらピントリングを手動にて回転させるマニュアル方式のほか、自動焦点方式としてレンズを前後に動かして像のコントラストが最大になる位置を検出したり、受光素子を用い像の位相差が小さくなる位置を検出して、像の焦点を合わせるなど、測定器側に焦点合わせ機構がついていた。
また、走査方向に対する被検査ウエハの結晶方向あるいはパターン溝方向を合わせるには、X−YテーブルのX軸Y軸の2軸の合成を行ったり、ウエハステージを回転方向に駆動する軸を備えているものではモニターを監視しながら位置修正していた。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、ウエハ走査時における、X−Yテーブルの各部品加工組立精度や案内ガイドの精度の誤差を要因とするピッチングやベースのたわみ、あるいはヨーイングによるウエハ走査面の変化に対して、従来のマニュアル方式による測定器の焦点合わせでは、人手による調整のため検査中はつねにモニターを監視していなければならず作業効率が悪く、測定器側の自動焦点合わせでは、像の焦点合わせに時間がかかるため、走査速度があげられず検査時間が増大し、スループットが長くなるなどの問題があった。
また、走査方向に対する検査ウエハの結晶方向あるいはパターン溝の方向あわせは、X−YテーブルのX軸Y軸の2軸の合成を行っても、走査によりパターン溝が測定視野からはずれるのを防ぐことはできるが、結晶方向あるいはパターン溝の方向の走査方向に対する傾きそのものは修正することができないなどの問題点があり、ウエハステージを回転方向に駆動する軸を備えているものでも人手による調整のため検査中はつねにモニターを監視していなければならず、作業者はウエハ上の異物や外観不良の検査という本来の作業以外に、被検査ウエハの位置修正も行わなければならないという問題点があった。
そこで、本発明は装置の上下誤差、ヨーイング量、直角度誤差を予め記憶させこれを基に自動的に誤差を補正し移動直線性を一定に保つことにより、走査性能が高く、走査速度が速くかつ、作業効率の高い半導体ウエハの外観検査装置を提供することを目的とする。
【0004】
【課題を解決するための手段】
上記問題点を解決するため、本発明はX軸およびY軸にそれぞれ駆動部を有するX−Yテーブルと、前記X−Yテーブルの最上部に固定され上下方向の駆動と周方向の回転を行なうステージ駆動部と、前記ステージ駆動部の上に固定されたウエハステージと、前記X−Yテーブルおよび前記ステージ駆動部とを制御する制御部と、検査用測定器を備え、前記X−Yテーブルを駆動させて半導体ウエハの全領域を走査しながら、前記ステージ駆動部の上下駆動により前記半導体ウエハと前記検査用測定器との距離を調整し、異物や外観不良を検査する半導体ウエハの外観検査装置において、
前記X−Yテーブルが、ベースと、前記ベース上に配置されたガイドレールに沿ってX軸方向に移動可能なX軸移動テーブルと、前記X軸移動テーブル上に配置されたガイドレールに沿ってX軸に対して直角なY軸方向に移動可能なX軸移動テーブルと、前記ベースに埋設された電機子巻線の固定子とX軸移動テーブルに埋設されたマグネットで構成されX軸移動テーブルを駆動するリニアモータと、前記X軸移動テーブルに埋設された電機子巻線の固定子とY軸移動テーブルに埋設されたマグネットで構成されY軸移動テーブルを駆動するリニアモータとをそなえ、
前記ステージ駆動部が、X軸およびY軸に対して直角な上下方向軸で回転可能な回転部を有し、前記Y軸移動テーブル上に固定された回転形モータと、前記回転部に固定された旋回ベースと、前記旋回ベースに設けられ半導体ウエハを上面に載置可能なウエハステージを前記上下方向軸に沿って駆動する上下軸機構部とで構成され、
前記X軸リニアモータと、Y軸リニアモータと、回転形モータおよび上下軸機構部とを制御する制御部をそなえ、
前記制御部が、前記ベースに対するX軸移動テーブルの全可動領域におけるピッチング変化量およびヨーイング変化量と、前記X軸移動テーブルに対するY軸移動テーブルの全可動領域におけるピッチング変化量およびヨーイング変化量と、前記X軸とY軸との直角度のずれ量とをあらかじめ記憶し、
走査時に、前記半導体ウエハの中心と検査用測定器との走査高さが一定になるように前記ピッチング変化量に基づいた補正量を前記上下軸機構部に指令し、前記半導体ウエハの中心がX軸およびY軸に沿って直進するよう前記ヨーイング変化量に基づいた補正量を前記X軸リニアモータおよびY軸リニアモータに指令し、前記検査用測定器に対する半導体ウエハの結晶方向あるいはパターン溝の方向が一定になるよう前記直角度のずれ量に基づいた補正量を回転形モータに指令するようにしている。
上記手段により、走査時におけるX−Yテーブルの任意の位置において、あらかじめ把握しておいた調整量だけ、走査動作指令時にウエハステージが自動的に上下し、X軸Y軸互いのヨーイング分の補正を行い、半導体ウエハの結晶方向やパタ−ン溝方向に対して微動回転補正するので、操作面高さや走査移動直線性が一定となり、半導体ウエハと測定器までの距離を一定にすることができ、操作方向に対する半導体ウエハの結晶方向あるいはパタ−ン溝の方向を一定に保つことができる。
【0005】
【発明の実施の形態】
本発明の実施例を図に基づいて詳細に説明する。
図1は、X−Yテーブルとステージ駆動部の斜視図、図2は半導体ウエハの外観検査装置の側面図である。
図において、1はX−Yテーブル、2はステージ駆動部、3はウエハステージ、4は半導体ウエハである。X−Yテーブル1はベース11、X軸移動テーブル13、Y軸移動テーブル15からなる。ベース11の上にX軸ガイドレール12が固定されている。X軸ガイドレール12にはめ合うガイドブロック(図示していない)上に、X軸移動テーブル13が固定されている。ベース11とX軸移動テーブル13はリニアモータとなっており、電機子巻線を備えた固定子がベース11に、マグネットを備えた移動子がX軸移動テーブル13に埋設してあり、X軸移動テーブル13は、X軸ガイドレール12により案内されX軸方向に移動できる。X軸移動テーブル13上には、X軸ガイドレール12に直交した方向にY軸ガイドレール14が固定されており、Y軸ガイドレール14にはめ合うガイドブロック(図示していない)上に、Y軸移動テーブル15が固定されている。
【0006】
X軸移動テーブル13とY軸移動テーブル15にはリニアモータとなっており、X軸移動テーブル13は移動子とともに電機子巻線を備えた固定子が埋設してあり、Y軸移動テーブル15にはマグネットを備えた移動子が埋設してある。
Y軸移動テーブル15は、Y軸ガイドレール14により案内されY軸方向に移動できるとともに、X軸の動作によりX軸方向にも移動できる。
ステージ駆動部2はY軸移動テーブル15の上に回転形モータ21を固定し、その回転部の先端に旋回ベース22が固定されており、旋回ベース22上に、上下軸機構部23があり、その上部にウエハステージ3を設けている。
従って、ウエハステージ3は、X−Y軸方向に移動できるとともに回転動作および上下動作ができるようになっていて、このウエハステージ3の上に半導体ウエハ4を載せるようになっている。ウエハステージ3に対向した位置に検査用測定器52が測定器ベース51に固定して配置してある。
【0007】
つぎに、動作について述べる。図3は上下方向に補正を行う状況を示した側面図、図4はY軸方向に補正を行う状況を示した側面図、図5はX軸方向に補正を行う状況を示した側面図である。
(1)走査高さHの補正を行う。図3において、L H0 は補正を行わない時の半導体ウエハ4の中心の軌跡、LH1は補正を行った時の半導体ウエハ4の中心の軌跡、RHは任意の点における上下方向の補正量、WH1は補正を行った時の半導体ウエハ4の位置、SH1は補正を行った時のウエハステージ3の位置、WH0は補正を行なわない時の半導体ウエハ4の位置、SH0は補正を行わない時のウエハステージ3の位置である。半導体ウエハ4は、X−Yテーブル1によって走査されるが、X−Yテーブル1を構成する各部品の加工組立精度や案内ガイドの精度の誤差を要因とするピッチングや移動物の位置によるベースのたわみあるいは自重によるベースのたわみにより軌跡L H0 が変化する。この変化量を予め測定し、図示しない制御器側にデータテーブルとしてもたせておき、Y軸移動テーブル15の走査時に検査用測定器52の焦点距離が一定になるようにプログラムしてある動作指令によってウエハステージ3を図3のように上下させる。このようにすると、走査高さHは軌跡L H1 のように一定になる。
【0008】
▲2▼X軸およびY軸のヨーイングの補正を行う。
図4、図5において、LX0, LY0は補正を行わない時の半導体ウエハ4の中心の軌跡、LX1, LY1は補正を行った時の半導体ウエハ4の中心の軌跡、RY は任意の点におけるY軸方向の補正量、WX0, WY0は補正を行なわない時の半導体ウエハ4の位置、SX0, SY0は補正を行なわない時のウエハステージ3の位置、WX1, WY1は補正を行った時の半導体ウエハ4の位置、SX1, SY1は補正を行った時のウエハステージ3の位置、RY は任意の点におけるY方向の補正量、RX は任意の点におけるX方向の補正量である。
前述の走査高さの補正と同様にX軸のヨーイング分を、予め測定し、図示しない制御器側にデータテーブルとして記憶させておく。そうするとY軸移動テーブル15の走査時に一定になるようにプログラムしてある動作指令によってウエハステージ3をヨーイングなく直進させることができる。
Y軸のヨーイング分は図5のように上記と同様にX軸で補正させる。このようにするとヨーイングを生ずることなく直進させることができる。
【0009】
▲3▼X軸とY軸との直角度のずれの補正を行う。
X軸とY軸の直角度がずれている場合、ウエハステージ3の任意の位置における走査方向に対する半導体ウエハ4の結晶方向あるいはパターン溝の方向がずれていくことに対しても、その直角度の誤差を事前に把握し、図示しない制御器側にデータテーブルとしてもたせておき、Y軸移動テーブル15の走査時に走査方向に対する半導体ウエハ4の結晶方向あるいはパターン溝の方向が一定になるようにプログラムしてある動作指令によってウエハステージ3を回転軸モータ21により微動回転させて方向を修正する。このようにすると直角度のずれがなく走査させることができる。
【0010】
このように、走査高さが一定となるため、移動直線性の走査性能が向上し、測定器側による焦点合わせは不要となり、走査速度が向上できる。さらに、スループットを向上することができるうえ、走査方向に対する半導体ウエハの結晶方向あるいはパターン溝の方向を一定にするため、作業者によるウエハの位置修正は不要となり、ウエハ上の異物や外観不良の検査作業に集中することができる。
【0011】
【発明の効果】
以上述べたように、本発明によれば装置の上下誤差、ヨーイング量、直角度誤差を予め記憶させこれを基に自動的に誤差を補正し移動直線性を一定に保つようにしたので、移動直線性の走査性能が向上し、走査速度を上げることができ、さらに作業効率を向上できる効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明のX−Yテーブルとステージ駆動部の斜視図である。
【図2】本発明の半導体ウエハの外観検査装置の側面図である。
【図3】本発明による上下方向に補正を行う状況を示した側面図である。
【図4】本発明によるY方向に補正を行う状況を示した側面図である。
【図5】本発明によるX方向に補正を行う状況を示した側面図である。
【符号の説明】
1:X−Yテーブル
11:ベース
12:X軸ガイドレール
13:X軸移動テーブル
14:Y軸ガイドレール
15:Y軸移動テーブル
2:ステージ駆動部
21:回転形モータ
22:旋回ベース
23:上下軸機構部
3:ウエハステージ
4:半導体ウエハ
5:検査装置
51:測定器ベース
52:検査用測定器
LH0,LX0, LY0:半導体ウエハ中心の軌跡(補正前)
LH1,LX1, LY1:半導体ウエハ中心の軌跡(補正後)
WH0,WX0, WY0:半導体ウエハの位置(補正前)
WH1,WX1, WY1:半導体ウエハの位置(補正後)
SH0,SX0, SY0:ウエハステージの位置(補正前)
SH1,SX1, SY1:ウエハステージの位置(補正後)
RH ,RX , RY :任意の点の補正量
Claims (1)
- X軸およびY軸にそれぞれ駆動部を有するX−Yテーブルと、前記X−Yテーブルの最上部に固定され上下方向の駆動と周方向の回転を行なうステージ駆動部と、前記ステージ駆動部の上に固定されたウエハステージと、前記X−Yテーブルおよび前記ステージ駆動部を制御する制御部と、検査用測定器を備え、前記X−Yテーブルを駆動させて半導体ウエハの全領域を走査しながら、前記ステージ駆動部の上下駆動により前記半導体ウエハと前記検査用測定器との距離を調整し、異物や外観不良を検査する半導体ウエハの外観検査装置において、
前記X−Yテーブルが、ベースと、前記ベース上に配置されたガイドレールに沿ってX軸方向に移動可能なX軸移動テーブルと、前記X軸移動テーブル上に配置されたガイドレールに沿ってX軸に対して直角なY軸方向に移動可能なX軸移動テーブルと、前記ベースに埋設された電機子巻線の固定子とX軸移動テーブルに埋設されたマグネットで構成されX軸移動テーブルを駆動するリニアモータと、前記X軸移動テーブルに埋設された電機子巻線の固定子とY軸移動テーブルに埋設されたマグネットで構成されY軸移動テーブルを駆動するリニアモータとをそなえ、
前記ステージ駆動部が、X軸およびY軸に対して直角な上下方向軸で回転可能な回転部を有し、前記Y軸移動テーブル上に固定された回転形モータと、前記回転部に固定された旋回ベースと、前記旋回ベースに設けられ半導体ウエハを上面に載置可能なウエハステージを前記上下方向軸に沿って駆動する上下軸機構部とで構成され、
前記X軸リニアモータと、Y軸リニアモータと、回転形モータおよび上下軸機構部とを制御する制御部をそなえ、
前記制御部が、前記ベースに対するX軸移動テーブルの全可動領域におけるピッチング変化量およびヨーイング変化量と、前記X軸移動テーブルに対するY軸移動テーブルの全可動領域におけるピッチング変化量およびヨーイング変化量と、前記X軸とY軸との直角度のずれ量とをあらかじめ記憶し、
走査時に、前記半導体ウエハの中心と検査用測定器との走査高さが一定になるように前記ピッチング変化量に基づいた補正量を前記上下軸機構部に指令し、前記半導体ウエハの中心がX軸およびY軸に沿って直進するよう前記ヨーイング変化量に基づいた補正量を前記X軸リニアモータおよびY軸リニアモータに指令し、前記検査用測定器に対する半導体ウエハの結晶方向あるいはパターン溝の方向が一定になるよう前記直角度のずれ量に基づいた補正量を回転形モータに指令することを特徴とする半導体ウエハの外観検査装置。
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