JP4254661B2 - 半導体装置の製造方法 - Google Patents
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Description
図1に、本実施形態1における半導体装置の製造方法の製造工程断面図を示す。本実施形態1は、本発明の第1の発明に係り、基板上に半導体膜を形成する第1工程(a)、半導体膜から水素を除去する脱水素処理を行う第2工程(図1(b))、脱水素処理によって活性化した半導体膜に不純物元素を含む分子をドープ量に対応した密度で供給し当該半導体膜の結合手を終端させて不活性化する第3工程(図1(c))、不活性化した当該半導体膜にエネルギーを供給して当該結合手に結合した当該分子中の不純物元素を当該半導体膜にドーピングしつつ当該半導体膜を結晶化させる第4工程(図1(d))を備え、それらの工程を大気から隔離された環境下で連続的に行う。以下、具体的に説明する。
図2に、本実施形態2における半導体装置の製造方法の製造工程断面図を示す。本実施形態2は、本発明の第2の発明に係り、基板上に半導体膜を形成する第1工程(図2(a))と、半導体膜から水素を除去する脱水素処理を行う第2工程(図2(a))と、脱水素処理によって活性化した半導体膜の結合手を終端させて不活性化する第3工程(図2(b))と、不活性化した半導体膜にエネルギーを供給する第4工程(図2(c)〜(e))とを備え、エネルギーの照射時に、不純物元素を含む分子を供給し当該分子中の不純物元素を当該半導体膜にドーピングしつつ当該半導体膜を結晶化させる。さらに、各工程を大気から隔離された環境下で連続的に行う。以下、具体的に説明する。
2) 半導体膜表面が活性化された場合の不純物元素の吸着確率
3) レーザパルスの照射開始から照射終了までの時間
4) 不純物元素が単位時間当たりに半導体膜表面に衝突する量
5) チャンバ圧力(全圧)
上記のうち、上記1)は図3のY軸切片で把握することができる。上記2)〜4)は図3の直線の傾きにより把握することができる。
(半導体膜表面に付着する不純物元素量)=(半導体膜表面が活性化した場合の当該不純物元素の吸着確率)×(レーザ光の供給時間)×(不純物元素の単位時間当たりの衝突量)+(レーザ光の付与前に付着する当該不純物元素量)
に基づいて決定される。付着する不純物元素量は、すなわち供給する不純物元素量に対応しているので、上記式に基づいて適正な不純物元素量、それを含んだ分子の供給量を決定すればよい。
半導体膜102の製造工程(図1(a))では、基板100上に下地保護膜101を形成する。基板100の一例として、300mm×300mmの正方形状汎用無アルカリガラス基板を用いた。本例では基板温度を430℃として平行平板プラズマCVD法にて、下地保護膜101である酸化珪素膜を500nm程度堆積した。
次に、第1工程(半導体膜形成)(図1(a))として、後に薄膜トランジスタの能動層となる真性シリコン膜等の半導体膜102を堆積した。本例では下地保護膜101の堆積と連続して平行平板プラズマCVD法にて同一室内で堆積する。下地保護膜101を堆積した後、まず真空引きとAr封入を二回繰り返し、室内をArにて置換し、下地保護膜の形成時に使用したO2等のガスを室内より排出した。次に原料ガスであるシラン(SiH4)を100sccm流し、430℃の堆積温度で60秒間の処理を行なうことで非晶質シリコン膜である半導体膜102をおよそ50nm堆積した。
半導体膜202の製造工程(図2(a))では、基板200上に下地保護膜201を形成する。基板200の一例として、300mm×300mmの正方形状汎用無アルカリガラス基板を用いた。本例では基板温度を430℃として平行平板プラズマCVD法にて、下地保護膜201である酸化珪素膜を500nm程度堆積した。
次に、第1工程(半導体膜形成)(図2(a))として、後に薄膜トランジスタの能動層となる真性シリコン膜等の半導体膜202を堆積する。本例では下地保護膜201の堆積と連続して平行平板プラズマCVD法にて同一室内で堆積した。下地保護膜201を堆積した後、まず真空引きとAr封入を二回繰り返し、室内をArにて置換し、下地保護膜201の形成時に使用したO2等のガスを室内より排出した。次に原料ガスであるシラン(SiH4)を100sccm流し、430℃の堆積温度で60秒間の処理を行なうことで非晶質シリコン膜である半導体膜102をおよそ50nm堆積した。
図4(a)に示すように、基板600上に下地保護膜601が形成され、その上に上記製造方法で形成された多結晶シリコン層602中に多量に導入された捕獲準位を終端するためにプラズマ処理を行った。本例では、レーザ結晶化後、上記プラズマ処理室と同一の処理室によって、大気に曝すことなく連続で酸素プラズマ処理を行った。酸素プラズマ処理は、基板600をプラズマ処理室にセットし、この室内に酸素ガスを導入する。例えば99.999%酸素ガスをマスフローコントローラから導入し、ガス流量は1000sccmとした。処理室内圧力は1torrになるように調整した。室内のガス圧力が安定したらRF放電を開始し、酸素プラズマ603を発生させて多結晶化したシリコン膜中の捕獲準位の終端を行った。基板温度は350℃とし、投入したRF放電のパワーは0.15W/cm2とした。発生させた活性種により、600秒の処理時間で多結晶シリコン層の捕獲準位を十分低い密度にまで不活性化することに成功した。なお、この酸素プラズマ処理は、一旦大気に曝して別の装置で行なっても構わない。この場合には、装置に入れる前に半導体膜に形成された自然酸化膜を除去するために希フッ酸等で洗浄することが望ましい。
Claims (6)
- 基板上にアモルファスシリコン膜を形成する第1工程と、
前記アモルファスシリコン膜から水素を除去する脱水素処理を行う第2工程と、
前記アモルファスシリコン膜に不純物元素を含む分子をドープ量に対応した密度となるように不活性化ガスまたは不活性化ガスのプラズマで希釈したものを供給し当該アモルファスシリコン膜の結合手を終端させて不活性化する第3工程と、
不活性化した当該アモルファスシリコン膜にレーザ照射して当該結合手に結合した当該分子中の前記不純物元素を当該アモルファスシリコン膜にドーピングしつつ当該アモルファスシリコン膜を結晶化させる第4工程と、を含んでなり、
前記第1乃至前記第4工程を大気から隔離された環境下で行うことを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 前記第3工程は、
前記脱水素処理によって活性化したアモルファスシリコン膜に当該分子を水素で希釈したガスを供給して当該アモルファスシリコン膜の結合手を終端させるものである、請求項1に記載の半導体装置の製造方法。 - 前記第3工程は、
前記不純物元素を含む分子としてジボランを含み、前記ジボランが1/100以下の希釈量の雰囲気で実施される、請求項2に記載の半導体装置の製造方法。 - 基板上にアモルファスシリコン膜を形成する第1工程と、
前記アモルファスシリコン膜から水素を除去する脱水素処理を行う第2工程と、
前記アモルファスシリコン膜の結合手を終端させて不活性化する第3工程と、
不活性化した前記アモルファスシリコン膜にレーザ照射し結晶化する第4工程と、を含んでなり、
前記第1乃至第4工程を、大気から隔離された環境下で行い、
前記レーザ照射時に、不純物元素を当該アモルファスシリコン膜に供給しながらパルスレーザを一ヵ所当たり2回以上重ねて照射して前記不純物元素を前記アモルファスシリコン膜にドーピングしつつ当該アモルファスシリコン膜を結晶化させることを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 前記第4工程において、
前記不純物元素を含む分子を供給し、その供給量を、前記アモルファスシリコン膜表面が活性化した場合の当該不純物元素の吸着確率、前記レーザ照射時間、当該不純物元素の単位時間当たりの衝突量、及び当該レーザ照射前に付着する当該不純物元素量に基づいて決定する、請求項4に記載の半導体装置の製造方法。 - 前記第3工程は、
前記アモルファスシリコン膜の表面を水素プラズマまたは水素を含む雰囲気中に曝す工程であることを特徴とする請求項1乃至5のいずれかに記載の半導体装置の製造方法。
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