JP4253610B2 - 電子線検査装置 - Google Patents
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Description
1.u∈V(G)を選び、uを1−閉路C1とみなす。i←1。
2.i=pならば、C=Cpとして終了。
3.i≠pならば、Ci上に連続している点ul,ul+1と隣接しているC上にない点のうちw(ul,v)+w(v,ul+1)−w(ul,ul+1)が最小の点vを選ぶ。
4.i←i+1とし、2〜4を繰り返す。
w(v1,ul+1)より、vが経路に挿入される。
SEMに有効である。また、電子線による検査装置でなくても、検査範囲が狭く、試料8を移動しながら、検査点を移動する場合には有効である。また、試料8を移動させる方法は、ここではXYステージの例を示したが、ステージが移動する一軸と回転軸を持つRθステージである場合、また、ステージが一軸方向に移動し、電子ビームがそれと直行する軸に移動する様な場合でも有効である。
(50)を介して対物レンズ(17)電流を対物レンズ制御電源(33)で制御して焦点位置を合わせる。対物レンズ(17)は設定された電流に対してある時定数(遅れ)を持って反応する。すなわち電流の変化幅が大きいほど目的の焦点位置に設定するのに時間がかかる。さらに対物レンズ電流を直接変更しながら画像を撮って先鋭度を求め、最も先鋭度の高い位置の対物レンズ電流に設定するAF(自動焦点合せ)を行う。
Tt=Ts+Tl+Tap
となる。ここでTapはパターン認識時間とAF実行時間の和でほぼ一定である。ステージ速度が単純な台形制御の場合、Tsは2測長点間の距離dの関数として
d<Vmax*Vmax/2*(1/α1+1/α2)のとき
Ts=√(2d*(1/α1+1/α2))
d>=Vmax*Vmax/2*(1/α1+1/α2)のとき
Ts=d/Vmax+Vmax/2*(1/α1+1/α2)
となる。ここでVmaxはステージ最高速度、α1は加速度、α2は減速度である。またTlは高さ変化Δhを用いて
Tl=A*exp(Δh/τ)
A,τは対物レンズ固有の定数である。
Claims (6)
- 制御可能な試料ステージを持ち、
複数の検査個所を予め決定した順序で自動的に電子ビームの照射位置に移動するように前記試料ステージを制御する制御装置を備えた走査電子顕微鏡において、
前記試料ステージは、試料をXとY方向に移動するXYステージであって、前記制御装置は、前記検査個所間のX方向またはY方向の移動時間の大きい方を、前記検査個所間の移動時間とし、前記複数の検査個所間における当該移動時間の合計を短縮する条件に基づいて前記検査個所の順番を入れ替えることを特徴とする走査電子顕微鏡。 - 請求項1において、
前記試料ステージは、X方向とY方向に独立して動くステージであることを特徴とする走査電子顕微鏡。 - 制御可能な試料ステージを持ち、複数の検査個所を予め決定した順序で自動的に電子ビームの照射位置に移動するように前記試料ステージを制御する制御装置を備えた走査電子顕微鏡において、
前記制御装置は、前記試料上の位置の高さ情報に基づいて得られる移動前後の対物レンズ電流の反応待ち時間と、前記検査個所間の移動時間の合算に基づいて得られる処理時間を計算し、前記複数の検査個所間の複数の移動経路における前記処理時間の合計時間を計算し、当該合計時間を短縮するように、前記検査個所の順番を入れ替えることを特徴とする走査電子顕微鏡。 - 請求項3において、
前記処理時間は、前記試料ステージの前記検査個所間の移動時間、検査個所間の対物レンズ電流幅による反応待ち時間、及びパターン認識時間とオートフォーカス実行時間の和の合算値であることを特徴とする走査電子顕微鏡。 - 制御可能な試料ステージを持ち、複数の検査個所を予め決定した順序で自動的に電子ビームの照射位置に移動するように前記試料ステージを制御する制御装置を備えた走査電子顕微鏡において、
前記制御装置は、試料の電位の分布を示す等電位線に沿った移動経路となるように、前記複数の検査個所の移動順序を入れ替えることを特徴とする走査電子顕微鏡。 - 制御可能な試料ステージを持ち、複数の検査個所を予め決定した順序で自動的に電子ビームの照射位置に移動するように前記試料ステージを制御する制御装置を備えた走査電子顕微鏡において、
前記制御装置は、前記検査個所間の電位差について、前記複数の検査個所間の合計値を計算し、当該合算値を短縮するように、前記複数の検査個所の移動順序を入れ替えることを特徴とする走査電子顕微鏡。
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