JP4250642B2 - 不揮発性半導体メモリ - Google Patents
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Description
H. Watanabe, IEEE TED52, 2265, 2005 H. Watanabe et al, Ext. Abs. SSDM, 504, 2005
本発明の例に関わるメモリセルのゲート電極構造では、フローティングゲート電極が3層構造を有する。一つは、ゲート絶縁層(トンネル絶縁層)に接触する第1導電層、一つは、IPDに接触する第2導電層、最後の一つは、第1及び第2導電層の間の半導体層である。
IPDリークは、書き込み効率に大きな影響を及ぼす。
次に、最良と思われるいくつかの実施の形態について説明する。
A. 構造
図8は、第1実施の形態のゲート電極構造を示している。
図8のゲート電極構造の製造方法の例を説明する。
このように、第1実施の形態によれば、フローティングゲート電極が、2つの金属層によりポリシリコン層を挟み込んだサンドイッチ構造を有する。
A. 構造
図10は、第2実施の形態のゲート電極構造を示している。
図10のゲート電極構造の製造方法の例を説明する。
このように、第2実施の形態によれば、フローティングゲート電極は、2つのシリサイド層によりポリシリコン層を挟み込んだサンドイッチ構造を有する。
A. 構造
図12は、第3実施の形態のゲート電極構造を示している。
図12のゲート電極構造の製造方法の例を説明する。
このように、第3実施の形態によれば、フローティングゲート電極は、シリサイド層と金属層との間にポリシリコン層が挟み込まれたサンドイッチ構造を有する。
A. 構造
図14は、第4実施の形態のゲート電極構造を示している。
図14のゲート電極構造の製造方法の例を説明する。
このように、第4実施の形態によれば、フローティングゲート電極は、金属層とシリサイド層との間にポリシリコン層が挟み込まれたサンドイッチ構造を有する。
第5実施の形態は、第1乃至第4実施の形態のゲート電極構造を、複数のメモリセルが互いに隣接するセルアレイ構造を持つ不揮発性半導体メモリ、例えば、NAND型フラッシュメモリに適用した場合に、メモリセル同士の干渉(セル間干渉)を抑制する技術に関する。
なる関係を満たしていれば、従来の金属構造のフローティングゲート電極FGで生じるような問題は発生しない。
第6実施の形態は、フローティングゲート電極の形状に関する。本実施の形態は、第1乃至第4実施の形態のゲート電極構造との組み合わせで使用される。
以上のように、本発明の例によれば、不完全空乏層及び弱い蓄積層が発生する部分のみをメタル化又はシリサイド化するゲート電極構造を提案する。これにより、FGフリンジ結合による容量及びセル間容量を増大させることなく、不完全空乏層及び弱い蓄積層の発生を有効に防ぐことができる。また、メタル化又はシリサイド化する部分の厚さを制御することにより、メモリセルの微細化によるセル間干渉の問題も同時に解消することができる。
本発明の例によれば、新規なゲート電極構造により、IPDリークを抑制し、メモリセルの閾値の変動幅を正確にコントロールすることにより、メモリセルの微細化に貢献することができる。
Claims (22)
- 半導体基板と、前記半導体基板上の第1絶縁層と、前記第1絶縁層上のフローティングゲート電極と、前記フローティングゲート電極上の第2絶縁層と、前記第2絶縁層上のコントロールゲート電極とを具備し、前記フローティングゲート電極は、前記第1絶縁層に接触する第1金属層と、前記第2絶縁層に接触する第2金属層と、前記第1及び第2金属層の間の半導体層とから構成されることを特徴とする不揮発性半導体メモリ。
- 前記第1及び第2金属層は、アルミニウム、白金、銅、金、及び、これらの合金を含むグループから選択されることを特徴とする請求項1に記載の不揮発性半導体メモリ。
- 前記第1及び第2金属層の厚さは、それぞれ、0.4nm以上であることを特徴とする請求項1又は2に記載の不揮発性半導体メモリ。
- 前記第1及び第2金属層の厚さの合計を前記半導体層の厚さで割った値は、-2.2 nm-1 × (互いに隣接する2つのメモリセルのフローティングゲート電極同士の間隔) + 0.24より小さいことを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の不揮発性半導体メモリ。
- 半導体基板と、前記半導体基板上の第1絶縁層と、前記第1絶縁層上のフローティングゲート電極と、前記フローティングゲート電極上の第2絶縁層と、前記第2絶縁層上のコントロールゲート電極とを具備し、前記フローティングゲート電極は、前記第1絶縁層に接触する第1シリサイド層と、前記第2絶縁層に接触する第2シリサイド層と、前記第1及び第2シリサイド層の間の半導体層とから構成されることを特徴とする不揮発性半導体メモリ。
- 前記第1及び第2シリサイド層は、コバルトシリサイド、ニッケルシリサイド、タングステンシリサイド、チタンシリサイド、タンタルシリサイド、及び、ルテニウムシリサイドを含むグループから選択されることを特徴とする請求項5に記載の不揮発性半導体メモリ。
- 前記第1及び第2シリサイド層の厚さは、それぞれ、0.4nm以上であることを特徴とする請求項5又は6に記載の不揮発性半導体メモリ。
- 前記第1及び第2シリサイド層の厚さの合計を前記半導体層の厚さで割った値は、-2.2 nm-1 × (互いに隣接する2つのメモリセルのフローティングゲート電極同士の間隔) + 0.24より小さいことを特徴とする請求項5乃至7のいずれか1項に記載の不揮発性半導体メモリ。
- 半導体基板と、前記半導体基板上の第1絶縁層と、前記第1絶縁層上のフローティングゲート電極と、前記フローティングゲート電極上の第2絶縁層と、前記第2絶縁層上のコントロールゲート電極とを具備し、前記フローティングゲート電極は、前記第1絶縁層に接触する金属層と、前記第2絶縁層に接触するシリサイド層と、前記金属層及び前記シリサイド層の間の半導体層とから構成されることを特徴とする不揮発性半導体メモリ。
- 半導体基板と、前記半導体基板上の第1絶縁層と、前記第1絶縁層上のフローティングゲート電極と、前記フローティングゲート電極上の第2絶縁層と、前記第2絶縁層上のコントロールゲート電極とを具備し、前記フローティングゲート電極は、前記第1絶縁層に接触するシリサイド層と、前記第2絶縁層に接触する金属層と、前記シリサイド層及び前記金属層の間の半導体層とから構成されることを特徴とする不揮発性半導体メモリ。
- 前記金属層は、アルミニウム、白金、銅、金、及び、これらの合金を含むグループから選択される1つにより構成され、前記シリサイド層は、コバルトシリサイド、ニッケルシリサイド、タングステンシリサイド、チタンシリサイド、タンタルシリサイド、及び、ルテニウムシリサイドを含むグループから選択されることを特徴とする請求項9又は10に記載の不揮発性半導体メモリ。
- 前記金属層及び前記シリサイド層の厚さは、それぞれ、0.4nm以上であることを特徴とする請求項9乃至11のいずれか1項に記載の不揮発性半導体メモリ。
- 前記金属層の厚さ及び前記シリサイド層の厚さの合計を前記半導体層の厚さで割った値は、-2.2 nm-1 × (互いに隣接する2つのメモリセルのフローティングゲート電極同士の間隔) + 0.24より小さいことを特徴とする請求項9乃至12のいずれか1項に記載の不揮発性半導体メモリ。
- 半導体基板と、前記半導体基板上の第1絶縁層と、前記第1絶縁層上のフローティングゲート電極と、前記フローティングゲート電極上の第2絶縁層と、前記第2絶縁層上のコントロールゲート電極とを具備し、前記フローティングゲート電極は、前記第1絶縁層に接触する第1導電層と、前記第2絶縁層に接触する第2導電層と、前記第1及び第2導電層の間に配置され、中央がくびれた形を有する半導体層とから構成され、前記第1及び第2導電層は、金属層又はシリサイド層であることを特徴とする不揮発性半導体メモリ。
- 前記金属層は、アルミニウム、白金、銅、金、及び、これらの合金を含むグループから選択される1つにより構成され、前記シリサイド層は、コバルトシリサイド、ニッケルシリサイド、タングステンシリサイド、チタンシリサイド、タンタルシリサイド、及び、ルテニウムシリサイドを含むグループから選択されることを特徴とする請求項14に記載の不揮発性半導体メモリ。
- 前記第1及び第2導電層の厚さは、それぞれ、0.4nm以上であることを特徴とする請求項14又は15に記載の不揮発性半導体メモリ。
- 前記半導体層は、シリコンゲルマニウムを含む化合物半導体から構成されることを特徴とする請求項14乃至16のいずれか1項に記載の不揮発性半導体メモリ。
- 前記第1及び第2導電層の厚さの合計を前記半導体層の厚さで割った値は、-2.2 nm-1 × (互いに隣接する2つのメモリセルのフローティングゲート電極同士の間隔) + 0.24より小さいことを特徴とする請求項14乃至17のいずれか1項に記載の不揮発性半導体メモリ。
- 請求項5乃至8のいずれか1項に記載の不揮発性半導体メモリの製造方法において、前記第1シリサイド層は、第1ポリシリコン層を堆積した後、前記第1ポリシリコン層の全てをシリサイド化することにより形成し、前記第2シリサイド層及び前記半導体層は、前記第1シリサイド層上に第2ポリシリコン層を堆積した後、前記第2ポリシリコン層の一部をシリサイド化することにより形成することを特徴とする不揮発性半導体メモリの製造方法。
- 請求項9、11乃至13のいずれか1項に記載の不揮発性半導体メモリの製造方法において、前記シリサイド層及び前記半導体層は、前記金属層上にポリシリコン層を堆積した後、前記ポリシリコン層の一部をシリサイド化することにより形成することを特徴とする不揮発性半導体メモリの製造方法。
- 請求項10乃至13のいずれか1項に記載の不揮発性半導体メモリの製造方法において、前記シリサイド層は、ポリシリコン層を堆積した後、前記ポリシリコン層の全てをシリサイド化することにより形成することを特徴とする不揮発性半導体メモリの製造方法。
- 請求項14乃至18のいずれか1項に記載の不揮発性半導体メモリの製造方法において、前記半導体層のくびれは、前記第1導電層、前記半導体層及び前記第2導電層をRIEによりエッチングするときに、前記半導体層と前記第1及び第2導電層とのエッチングレートの違いを利用することにより形成することを特徴とする不揮発性半導体メモリの製造方法。
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