JP4249451B2 - データ転送方法 - Google Patents
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、フォトマスク用のストリームフォーマット形式の図形データを、Ｌｚ法を基本アルゴリズムとする圧縮プログラムに圧縮率の面で適したデータ構造に変換するためのデータ構造変換処理方法と、該図形データの情報を得るためのデータ転送方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
近年、電子機器の高機能化と軽薄短小の傾向から、ＡＳＩＣに代表される種々のＬＳｌには、ますます高集積化、高機能化が求められるようになってきた。
即ち、できるだけチップサイズを小さくして、高機能を実現することがＡＳＩＣ等のＬＳＩには求められている。
上記ＡＳＩＣ等のＬＳＩは、機能、論理設計、回路設計、レイアウト設計等を経て、フォトマスクパタン作製用の図形データ（設計図形データとも言う）を作製し、これを用いてフォトマスクを作製した後、フォトマスクのパタンをウエハ上に縮小投影露光等により転写して、半導体素子作製のプロセスを行うという数々の工程を経て作製されるものである。
フォトマスクは、一般には、上記図形データを用い、電子ビーム露光装置あるいはエキシマ波長等のフォト露光装置を用いて、フォトマスク用基板（フォトマスクブランクスとも言う）の遮光膜上に配設された感光性レジストに露光描画を行い、現像、エッチング工程等を経て、作製される。
即ち、ガラス基板の一面に遮光性の金属薄膜を設けたフォトマスク用基板の金属薄膜上に塗布、乾燥された感光性のレジスト上に、露光装置により電離放射線を所定の領域のみに照射して潜像を形成し、感光性のレジストを現像して、電離放射線の照射領域に対応した、所望の形状のレジストパターン得た後、更に、レジストパターンを耐エッチングレジストとして、金属薄膜をレジストパターン形状に加工して、所望の金属薄膜パターンを有するフォトマスクを得る。
上記フォトマスクパタン作製用の図形データは、種々の図形情報から構成され、Ｘ−Ｙ座標表現されており、Ｃａｌｍａ社のＧＤＳＩＩフォーマットデータであるストリームフォーマット形式のＧＤＳＩＩデータが一般的には用いられている。
そして、この図形データは、更に、電子ビーム露光装置あるいはエキシマ波長等のフォト露光装置にあった描画用データに変換されて、描画に供される。
【０００３】
ここで、１例として、ＧＤＳＩＩデータで多数のポリゴン図形を表わす図形データの構造について簡単に説明しておく。
ＧＤＳＩＩデータで１つのポリゴン図形Ｆｍを表示する場合、各頂点位置をＸ座標、Ｙ座標で、ｘｉ、ｙｉ（ｉ＝１〜ｎ）と表し、説明部（ヘッダー部）Ｈｍに、各頂点のＸ座標、Ｙ座標（ｘｉ、ｙｉ、ｉ＝１〜ｎ）を、隣接する頂点の一方向順に連ねて、図７（ａ）のように、Ｈｍ、ｘ１，ｙ１、ｘ２，ｙ２・・・ｘｎ、ｙｎの並びで表示する。
そして、１つのｎ頂点のポリゴン図形Ｆｍのデータとし、更に、このような１つのポリゴン図形のデータを連ねて並べて、図７（ｃ）に示すようにして、多数のポリゴン図形（Ｆ１〜Ｆｋ）を表示する。
説明部（ヘッダー部）Ｈｍは、更に、図７（ｂ）に示すように、図形タイプを表す部分Ｔｍ、サイズ、レコードタイプ、データタイプを表す部分ＳＺ、ＲＴ、ＤＴに細分化されている。
そして、例えば、図形タイプを表す部分Ｔｍ、サイズを表す部分ＳＺ、レコードタイプを表す部分ＲＴ、データタイプを表す部分ＤＴは、それぞれ、４バイト、２バイト、１バイト、１バイトで表示され、各座標は、それぞれ、４バイトで表示されている。
尚、図形タイプを表す部分Ｔｍは、サイズを表す部分、表示図形を表す部分等を含む。
【０００４】
しかし、フォトマスクのパタンをウエハ上に縮小投影露光等により転写する際、光近接効果と呼ばれる露光形状の歪みが発生する。
これは、フォトマスクのパターンが微細化し、露光形状のサイズ（ウエハ上の露光サイズ）が、露光光の波長に近づく、あるいは光の波長よりも小さくなったときに、光の回折現象により、フォトマスクのパタンの形状を忠実に露光することができなく、ウエハ上に露光される露光形状に歪みが発生するものである。
これに対応し、光の回折の影響を考慮し、フォトマスクのパタン（光を透過させる部分の形状 ）を補正して、ウエハ上に形成されるパタン形状を所望の形状にするために、上記フォトマスクパタン作製用の図形データを、所定の補正アルゴリズムを持つ補正ソフト（以下、ＯＰＣツールとも言う）を介して、データ補正をすることが行われている。
ＯＰＣツールからの出力も、ストリームフォーマット形式のＧＤＳＩＩデータである。
尚、このような光の回折の影響を考慮した補正を、光近接効果補正あるいはＯＰＣ補正（Ｏｐｔｉｃａｌ Ｐｒｏｘｉｍｉｔｙ Ｃｏｒｒｅｃｔ）と言う。
【０００５】
一方、フォトマスク作製においては、顧客側にて作製された、ＯＰＣ補正済データを、フォトマスク作製を行なうフォトマスク製造側に送信する場合が多々あるが、このような場合、顧客側にて、Ｌｚ法を基本とする圧縮プログラムを用いて、データを圧縮し圧縮されたデータを製造側に送り、送られたデータについては、製造側が復元プログラムを用いて復元して元のデータにする、データ転送方法が採られていた。
この図形データの転送方法のフローは、図５（ｂ）のように表わされる。
尚、Ｌｚ法は、一般的で、特開平８−２０４５８１号公報の［従来の技術］の欄にもその説明があるが、簡単には、入力データ列から辞書を作り、辞書に登録してあるデータ列がくると辞書の相対位置や対応する文字、数値で出力するもので、これによりデータ量の圧縮効果を得るものである。
しかし、近年のＡＳＩＣ等のＬＳｌの高集積化、高機能化に伴ない、設計図形データのデータ量が増大化し、更に、ＯＰＣ補正を施した場合、フォトマスクのパターンデータ量は、補正前のものに比べ格段と大きくなるため、圧縮プログラムを用いて圧縮されたデータ量も大きくなり、顧客側から製造側へのデータ送信時間も長くなり、実作業上、問題となってきた。
【０００６】
【特許文献１】
特開平８−２０４５８１号公報（第２頁の［０００２］欄〜第４頁［００２２］欄、図１）
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
上記のように、近年のＡＳＩＣ等のＬＳｌの高集積化、高機能化が一段と進む中、フォトマスクの設計図形データのデータ量が増大化し、ＯＰＣ補正を施した場合、更にフォトマスクのパターンデータ量は大きくなり、これに伴ない、顧客側からフォトマスク製造側へのデータ送信の際の圧縮ソフトを用いて圧縮されたデータ量も大きくなり、顧客側からフォトマスク製造側へのデータ送信時間は長くなり、この対応が求められていた。
本発明は、これに対応するもので、フォトマスク用のストリームフォーマット形式の図形データを、Ｌｚ法を基本アルゴリズムとする圧縮プログラムに圧縮率の面で適したデータ構造に変換するためのデータ構造変換処理方法を提供しようとするものである。
同時に、フォトマスク用のストリームフォーマット形式の図形データの情報を得るためのデータ転送方法で、データ送信時間は長くならないデータ転送方法を提供しようとするものである。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
本発明に関わる図形データのデータ構造変換処理方法は、フォトマスク用のストリームフォーマット形式の図形データで、各図形の表現がＸ座標、Ｙ座標の並びを有する図形データを、Ｌｚ法を基本アルゴリズムとする圧縮プログラムに圧縮率の面で適したデータ構造に変換するためのデータ構造変換処理であって、座標の並びを、先頭から順に、Ｘ座標毎の並び、Ｙ座標毎の並びに再配列し、得られたストリームフォーマット形式のデータを、データ圧縮用データとするものであることを特徴とするものである。
そして、上記において、図形データが、１つの図形を表す、説明部（ヘッダー部）Ｈｍと各Ｘ座標、Ｙ座標（ｘｉ、ｙｉ、ｉ＝１〜ｎ）との並びを、更に複数を連ねて、複数の多角形を表したもので、説明部（ヘッダー部）については、１つ以上の所定の範囲毎の並びに、先頭から順に、再配列するものであることを特徴とするものであり、該図形データが、ＧＤＳＩＩデータであることを特徴とするものである。
【０００９】
あるいは、本発明に関わる図形データのデータ構造変換処理方法は、フォトマスク用のストリームフォーマット形式の図形データで、各図形の表現がＸ座標、Ｙ座標の並びを有する図形データを、Ｌｚ法を基本アルゴリズムとする圧縮プログラムに圧縮率の面で適したデータ構造に変換するためのデータ構造変換処理であって、Ｘ、Ｙ座標を、それぞれ、並び順の差分表示に置き換えて、データ圧縮用データとするものであることを特徴とするものであり、該図形データが、ＧＤＳＩＩデータであることを特徴とするものである。
尚、ここで、説明部（ヘッダー部）は、通常、１つの図形表示毎に、サイズやレコードタイプ、データタイプ（例えば４バイト指定）を示す数値やコード等を連ねた部分を言う。
【００１０】
本発明のデータ転送方法は、フォトマスク用のストリームフォーマット形式の図形データで、各頂点位置をＸ座標、Ｙ座標で、ｘｉ、ｙｉ（ｉ＝１〜ｎ）と表し、説明部（ヘッダー部）Ｈｍに、各頂点のＸ座標、Ｙ座標（ｘｉ、ｙｉ、ｉ＝１〜ｎ）を、隣接する頂点の一方向順に連ねて、Ｈｍ、ｘ１，ｙ１、ｘ２，ｙ２・・・ｘｎ、ｙｎの並びで表示したデータを、１つのｎ頂点のポリゴン図形のデータとし、更に、このような１つのポリゴン図形のデータを連ねて並べて、多数のポリゴン図形を表示する図形データを、データ変換して送信し、送信先にて元の図形データを得るための、データ転送方法であって、前記多数のポリゴン図形を表示する図形データを、Ｌｚ法を基本アルゴリズムとする圧縮プログラムに圧縮率の面で適したデータ構造に変換して第１のデータを得るためのデータ構造変換処理と、データ構造変換処理後の第１のデータを、Ｌｚ法を基本アルゴリズムとする圧縮プログラムにてデータ圧縮して第２のデータを得るデータ圧縮処理と、データ圧縮処理により得られた第２のデータを送信する送信処理と、送信されてきた第２のデータを、前記データ圧縮処理に入力した第１のデータと同じ第３のデータに変換する第１のデータ復元処理と、第１のデータ復元処理により得られた第３のデータを第１のデータと同じ元の多数のポリゴン図形のデータを表示する図形データに復元して、第４のデータを得る第２のデータ復元処理とを行なうことを特徴とするものである。
そして、上記において、データ構造変換処理が、多数のポリゴン図形のデータを表示する図形データに対し、説明部（ヘッダー部）、座標の並びを、先頭から順に、説明部（ヘッダー部）毎の並び、各座標毎の並びに再配列し、得られたストリームフォーマット形式のデータを、データ圧縮用データとするものであることを特徴とするものである。
あるいはまた、上記において、データ構造変換処理が、各ポリゴン図形のデータの並びにおいて、ｘ、ｙ座標をそれぞれ並び順の差分表示に置き換えて、データ圧縮用データとするものであることを特徴とするものである。
また、上記において、多数のポリゴン図形のデータを表示する図形データが、ＧＤＳＩＩデータであることを特徴とするものである。
【００１１】
【作用】
本発明に関わる図形データのデータ構造変換処理方法は、このような構成にすることにより、フォトマスク用のストリームフォーマット形式の図形データを、Ｌｚ法を基本アルゴリズムとする圧縮プログラムに圧縮率の面で適したデータ構造に変換するためのデータ構造変換処理方法の提供を可能としている。
具体的には、座標の並びを、先頭から順に、Ｘ座標毎の並び、Ｙ座標毎の並びに再配列し、得られたストリームフォーマット形式のデータを、データ圧縮用データとするものであることにより、あるいは、Ｘ、Ｙ座標を、それぞれ、並び順の差分表示に置き換えて、データ圧縮用データとするものであることにより、これを達成している。
これは、設計データが、基本的に、Ｘ座標、Ｙ座標に添い、所定の同じ幅あるいは高さを持つものが多いという知見に基づくものである。
図形データとしては、具体的には、１つの図形を表す、説明部（ヘッダー部）Ｈｍと各Ｘ座標、Ｙ座標（ｘｉ、ｙｉ、ｉ＝１〜ｎ）との並びを、更に複数を連ねて、複数の多角形を表したものが挙げられ、更に具体的には、ＧＤＳＩＩデータが挙げられる。
【００１２】
本発明のデータ転送方法は、このような構成にすることにより、フォトマスク用のストリームフォーマット形式の図形データの情報を得るためのデータ転送方法で、データ送信時間は長くならないデータ転送方法の提供を可能としている。
【００１３】
【発明の実施の形態】
本発明に関わる図形データのデータ構造変換処理方法の実施の形態例を挙げ、図に基づいて説明する。
図１は本発明に関わる図形データのデータ構造変換処理方法の実施の形態の第１の例を説明するため図で、図２は本発明に関わる図形データのデータ構造変換処理方法の実施の形態の第２の例を説明するため図で、図３、図４は、それぞれ、図形をＸ−Ｙ座標上で表した図で、図５（ａ）は本発明のデータ転送方法のフロー図で、図５（ｂ）は従来のデータ転送方法のフロー図で、図６は従来のデータ圧縮を説明するための図である。
尚、図１中、図１（ａ）は入力図形データ、図１（ｂ）はデータ構造変換処理後のデータ、図１（ｃ）は圧縮後のデータを示し、また、図２中、図２（ａ）は入力図形データ、図２（ｂ）はデータ構造変換処理後のデータ、図２（ｃ）は圧縮後のデータを示している。
図５中、Ｓ１〜Ｓ１１、Ｓ２１〜Ｓ２８は、処理ステップを示している。
図３、図４中、１１１、１１２、１１３、２１１、２１２は図形である。
また、ｘ１〜ｘ４はｘ座標値で、ｙ１〜ｙ４はｙ座標値で、ｘ１１〜ｘ１７はｘ座標値、ｙ１１〜ｙ１６はｙ座標値である。
【００１４】
本発明に関わる図形データのデータ構造変換処理方法の実施の形態の第１の例を、図１に基づいて説明する。
説明を簡単にするため、処理対象を図３に示す図形からなる図形データとし、第１の例の図形データのデータ構造変換処理方法を、従来のデータ圧縮と比較しながら説明する。 処理対象の図形データでは、図形１１１、１１２、１２３は、それぞれ、説明部（ヘッダー部）と各頂点座標の並びで表され、図１（ａ）のような、説明部（ヘッダー部）と、座標との並び構造になっているものとする。
ここでは、説明部（ヘッダー部）を構成するサイズコードＳＺ、レコードタイプ、データタイプＤＴは、それぞれ、２バイト、１バイト、１バイト、各座標は、それぞれ、４バイトで表示されているとする。
図１（ａ）に示す図形データを、先頭から順に、説明部（ヘッダー部）毎の並び、各座標毎の並びに再配列すると、図１（ｂ）に示す並びの第１のデータが得られる。
更に、得られた図１（ｂ）に示す並びの第１のデータに対し、Ｌｚ法を基本アルゴリズムとする圧縮プログラムにて圧縮を施すと、図１（ｄ）に示すような辞書（参照テーブルとも言う）を作成し、図１（ｃ）に示す第２のデータが得られる。
尚、図１（ｃ）の四角で囲まれた部分である第２のデータの各要素はいずれも４バイトとする。
ここでは、繰り返し出てくる説明部（ヘッダー部）、各座標の１以上の並び列を全て辞書に登録するものとする。
そして、ここでは、図１（ｄ）に示すように、ＳＺ、ＲＴ、ＤＴの並び、ｘ１、ｘ２、ｘ２、ｘ１、ｘ１の並び、ｙ１、ｙ２、ｙ２の並び、ｙ３、ｙ３の並び、ｘ３、ｘ４は、それぞれ、文字Ａ、Ｂ、Ｃ、Ｄ、Ｅ、Ｆ、Ｇで表すものとして、辞書（参照テーブル）に登録されているものとする。
繰り返しがないものについてはそのまま示し、繰り返しがｎ回連続して続くものについては、その数値を文字Ｍ（＝Ａ〜Ｇ）に併せて、Ｍｎと表示するものとする。
このように、第１の例の図形データのデータ構造変換処理方法は、図１（ａ）に示す元の図形データから、図１（ｂ）に示す第１の図形データにデータ構造変換するものである。
【００１５】
これに対し、従来の圧縮では、図１（ａ）に示す元の処理対象の図形データ（図６（ａ）に示す図形データと同じ）を、そのまま、先の第１の例と同じ条件でＬｚ法を基本アルゴリズムとする圧縮プログラムにて圧縮を施すこととなるが、この場合、図６（ｃ）に示すような辞書（参照テーブルとも言う）を作成し、図６（ｂ）に示すデータが得られる。
この場合も、図６（ｂ）の四角で囲まれた部分であるデータの各要素はいずれも４バイトとする。
【００１６】
図１（ｃ）に示す第２のデータと、図６（ｂ）に示すデータとのデータ量を比較した場合、第１の例の図形データのデータ構造変換処理方法において得られた、図１（ｂ）に示す第１の例のデータを用いて、Ｌｚ法を基本アルゴリズムとする圧縮プログラムにて圧縮を施した場合に得られた、図１（ｃ）に示す第２のデータがデータ量が小さいことが分かる。
即ち、第１の例の図形データのデータ構造変換処理方法により、図１（ａ）に示す元の図形データから得られた図１（ｂ）に示す第１の図形データは、Ｌｚ法を基本アルゴリズムとする圧縮プログラムに圧縮率の面で適したデータ構造であることが分かる。
【００１７】
次ぎに、本発明に関わる図形データのデータ構造変換処理方法の実施の形態の第２の例を、図２に基づいて説明する。
説明を簡単にするため、第１の例の説明の場合の図１（ａ）に示す図形データを処理対象の図形データ（図２（ａ））とし、第２の例の図形データのデータ構造変換処理方法を、従来のデータ圧縮と比較しながら説明する。
図２（ａ）に示す図形データについて、Ｘ、Ｙ座標を、それぞれ、並び順の差分表示に置き換えると、図２（ｂ）に示す並びの第１のデータが得られる。
更に、得られた図２（ｂ）に示す並びの第１のデータに対し、Ｌｚ法を基本アルゴリズムとする圧縮プログラムにて圧縮を施すと、図２（ｄ）に示すような辞書（参照テーブルとも言う）を作成し、図２（ｃ）に示す第２のデータが得られる。
ここで、図２（ｃ）に示す第２のデータと、図６（ｂ）に示すデータとのデータ量を比較した場合、第１の例の図形データのデータ構造変換処理方法において得られた、図２（ｂ）に示す第１の例のデータを用いて、Ｌｚ法を基本アルゴリズムとする圧縮プログラムにて圧縮を施した場合に得られた、図２（ｃ）に示す第２のデータがデータ量が小さいことが分かる。
即ち、第２の例の図形データのデータ構造変換処理方法により、図２（ａ）に示す元の図形データから得られた図２（ｂ）に示す第１の図形データは、Ｌｚ法を基本アルゴリズムとする圧縮プログラムに圧縮率の面で適したデータ構造であることが分かる。
【００１８】
第２の例の場合、図４に示す図形２１１と図形２１２とは、全体としては、異なる形状であっても、図形２１１ののＡ１部、図形２１２のＡ２が同じ形状であれば、第２の例の図形データのデータ構造変換処理方法により得られる図２（ｂ）に示す第１の図形データは、圧縮の効果が得られる。
図４において、ｗ１、ｈ１、ｈ２は、それぞれ、幅あるいは高さを表す。
【００１９】
尚、上記、第１の例、第２の例では、説明を分かり易くするため、処理対象を、図１（ａ）（図２（ａ））に示す簡単な図形データとしたものであるが、処理対象の図形データとしては、これに限定されず、図形数の多い大容量の図形データを処理する場合にも、有効に適用できることは言うまでもない。
勿論、一般的なＧＤＳＩＩデータにも、適用できる。
例えば、第１の例の方法により、ＧＤＳＩＩデータを処理する場合には、第１の例の場合の説明部（ヘッダー部）毎の並びに代え、説明部（ヘッダー部）を、図７におけるＴｍと、ＳＺ、ＲＴ、ＤＴの組みに２分し、それぞれ毎の並びを作成して、処理を行なう。
この場合、各座標毎の並びの再配列については、第１の例と同様に行なう。
【００２０】
次に、本発明のデータ転送方法の実施の形態の１例を、図５（ａ）に基づいて、簡単に説明しておく。
本例は、フォトマスクの顧客側にて、フォトマスク用のストリームフォーマット形式の図形データで、各図形の表現がＸ座標、Ｙ座標の並びを有する元の図形データを、データ変換してから、フォトマスク製造側に送信し、送信先であるフォトマスク製造側にて元の図形データを得るための、データ転送方法である。
先ず、フォトマスクの顧客側にて、元の図形データ（Ｓ１）を、Ｌｚ法を基本アルゴリズムとする圧縮プログラムに圧縮率の面で適したデータ構造に変換して（Ｓ２）、第１のデータを得る。（Ｓ３）
ここでの第１のデータを得る処理方法としては、図１に示す第１の例の図形データのデータ構造変換処理方法や、図２に示す第２の例の図形データのデータ構造変換処理方法が採られる。
次いで、フォトマスクの顧客側にて、データ構造変換された第１のデータ（Ｓ３）を、Ｌｚ法を基本アルゴリズムとする圧縮プログラムにてデータ圧縮して（Ｓ４）、第２のデータ（Ｓ５）を得る。
ここでのデータ圧縮処理は、図５（ｂ）に示すデータ圧縮処理（Ｓ２２）に相当するものである。
次いで、フォトマスクの顧客側からデータ圧縮処理により得られた第２のデータ（Ｓ５）を、フォトマスク製造側に送信する。（Ｓ６）
次いで、フォトマスクの顧客側から送信されてきた第２のデータ（Ｓ７）を、第１のデータ復元処理（Ｓ８）を行ない、データ圧縮処理（Ｓ４）に入力した第１のデータ（Ｓ３）と同じ第３のデータ（Ｓ９）に変換する。
ここでの復元処理は、図５（ｂ）に示す復元処理（Ｓ２７）に相当するものである。
次いで、第１のデータ復元処理（Ｓ８）により得られた第３のデータ（Ｓ９）を、第２のデータ復元処理（Ｓ１０）を行ない、元の図形データ（Ｓ１）と同じ第４のデータ（Ｓ１１）を得る。
ここでの復元処理は、データ構造変換処理（Ｓ２）と言わば反対の処理である。
このようにして、フォトマスク製造側は、顧客側から送信されてきたデータから、元の図形データと同じ図形データを得ることができる。
【００２１】
【発明の効果】
本発明は、上記のように、フォトマスク用のストリームフォーマット形式の図形データを、Ｌｚ法を基本アルゴリズムとする圧縮プログラムに圧縮率の面で適したデータ構造に変換するためのデータ構造変換処理方法の提供を可能とした
同時に、フォトマスク用のストリームフォーマット形式の図形データの情報を得るためのデータ転送方法で、データ送信時間は長くならないデータ転送方法の提供を可能とした。
これにより、近年のＡＳＩＣ等のＬＳｌの高集積化、高機能化に伴ない、設計図形データのデータ量が増大化し、更に、ＯＰＣ補正を施した場合においても、図形データの転送を実用レベルで対応できるものとした。
【図面の簡単な説明】
【図１】 本発明に関わる図形データのデータ構造変換処理方法の実施の形態の第１の例を説明するため図である。
【図２】 本発明に関わる図形データのデータ構造変換処理方法の実施の形態の第２の例を説明するため図である。
【図３】 図形をＸ−Ｙ座標上で表した図である。
【図４】 図形をＸ−Ｙ座標上で表した図である。
【図５】 図５（ａ）は本発明のデータ転送方法のフロー図で、図５（ｂ）は従来のデータ転送方法のフロー図である。
【図６】 従来のデータ圧縮を説明するための図である。
【図７】 ＧＤＳＩＩデータの構造を説明するための図である。
【符号の説明】
１１１、１１２、１１３、２１１、２１２ 図形
ｘ１〜ｘ４ ｘ座標値
ｙ１〜ｙ４ ｙ座標値
ｘ１１〜ｘ１７ ｘ座標値
ｙ１１〜ｙ１６ ｙ座標値
【発明の属する技術分野】
本発明は、フォトマスク用のストリームフォーマット形式の図形データを、Ｌｚ法を基本アルゴリズムとする圧縮プログラムに圧縮率の面で適したデータ構造に変換するためのデータ構造変換処理方法と、該図形データの情報を得るためのデータ転送方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
近年、電子機器の高機能化と軽薄短小の傾向から、ＡＳＩＣに代表される種々のＬＳｌには、ますます高集積化、高機能化が求められるようになってきた。
即ち、できるだけチップサイズを小さくして、高機能を実現することがＡＳＩＣ等のＬＳＩには求められている。
上記ＡＳＩＣ等のＬＳＩは、機能、論理設計、回路設計、レイアウト設計等を経て、フォトマスクパタン作製用の図形データ（設計図形データとも言う）を作製し、これを用いてフォトマスクを作製した後、フォトマスクのパタンをウエハ上に縮小投影露光等により転写して、半導体素子作製のプロセスを行うという数々の工程を経て作製されるものである。
フォトマスクは、一般には、上記図形データを用い、電子ビーム露光装置あるいはエキシマ波長等のフォト露光装置を用いて、フォトマスク用基板（フォトマスクブランクスとも言う）の遮光膜上に配設された感光性レジストに露光描画を行い、現像、エッチング工程等を経て、作製される。
即ち、ガラス基板の一面に遮光性の金属薄膜を設けたフォトマスク用基板の金属薄膜上に塗布、乾燥された感光性のレジスト上に、露光装置により電離放射線を所定の領域のみに照射して潜像を形成し、感光性のレジストを現像して、電離放射線の照射領域に対応した、所望の形状のレジストパターン得た後、更に、レジストパターンを耐エッチングレジストとして、金属薄膜をレジストパターン形状に加工して、所望の金属薄膜パターンを有するフォトマスクを得る。
上記フォトマスクパタン作製用の図形データは、種々の図形情報から構成され、Ｘ−Ｙ座標表現されており、Ｃａｌｍａ社のＧＤＳＩＩフォーマットデータであるストリームフォーマット形式のＧＤＳＩＩデータが一般的には用いられている。
そして、この図形データは、更に、電子ビーム露光装置あるいはエキシマ波長等のフォト露光装置にあった描画用データに変換されて、描画に供される。
【０００３】
ここで、１例として、ＧＤＳＩＩデータで多数のポリゴン図形を表わす図形データの構造について簡単に説明しておく。
ＧＤＳＩＩデータで１つのポリゴン図形Ｆｍを表示する場合、各頂点位置をＸ座標、Ｙ座標で、ｘｉ、ｙｉ（ｉ＝１〜ｎ）と表し、説明部（ヘッダー部）Ｈｍに、各頂点のＸ座標、Ｙ座標（ｘｉ、ｙｉ、ｉ＝１〜ｎ）を、隣接する頂点の一方向順に連ねて、図７（ａ）のように、Ｈｍ、ｘ１，ｙ１、ｘ２，ｙ２・・・ｘｎ、ｙｎの並びで表示する。
そして、１つのｎ頂点のポリゴン図形Ｆｍのデータとし、更に、このような１つのポリゴン図形のデータを連ねて並べて、図７（ｃ）に示すようにして、多数のポリゴン図形（Ｆ１〜Ｆｋ）を表示する。
説明部（ヘッダー部）Ｈｍは、更に、図７（ｂ）に示すように、図形タイプを表す部分Ｔｍ、サイズ、レコードタイプ、データタイプを表す部分ＳＺ、ＲＴ、ＤＴに細分化されている。
そして、例えば、図形タイプを表す部分Ｔｍ、サイズを表す部分ＳＺ、レコードタイプを表す部分ＲＴ、データタイプを表す部分ＤＴは、それぞれ、４バイト、２バイト、１バイト、１バイトで表示され、各座標は、それぞれ、４バイトで表示されている。
尚、図形タイプを表す部分Ｔｍは、サイズを表す部分、表示図形を表す部分等を含む。
【０００４】
しかし、フォトマスクのパタンをウエハ上に縮小投影露光等により転写する際、光近接効果と呼ばれる露光形状の歪みが発生する。
これは、フォトマスクのパターンが微細化し、露光形状のサイズ（ウエハ上の露光サイズ）が、露光光の波長に近づく、あるいは光の波長よりも小さくなったときに、光の回折現象により、フォトマスクのパタンの形状を忠実に露光することができなく、ウエハ上に露光される露光形状に歪みが発生するものである。
これに対応し、光の回折の影響を考慮し、フォトマスクのパタン（光を透過させる部分の形状 ）を補正して、ウエハ上に形成されるパタン形状を所望の形状にするために、上記フォトマスクパタン作製用の図形データを、所定の補正アルゴリズムを持つ補正ソフト（以下、ＯＰＣツールとも言う）を介して、データ補正をすることが行われている。
ＯＰＣツールからの出力も、ストリームフォーマット形式のＧＤＳＩＩデータである。
尚、このような光の回折の影響を考慮した補正を、光近接効果補正あるいはＯＰＣ補正（Ｏｐｔｉｃａｌ Ｐｒｏｘｉｍｉｔｙ Ｃｏｒｒｅｃｔ）と言う。
【０００５】
一方、フォトマスク作製においては、顧客側にて作製された、ＯＰＣ補正済データを、フォトマスク作製を行なうフォトマスク製造側に送信する場合が多々あるが、このような場合、顧客側にて、Ｌｚ法を基本とする圧縮プログラムを用いて、データを圧縮し圧縮されたデータを製造側に送り、送られたデータについては、製造側が復元プログラムを用いて復元して元のデータにする、データ転送方法が採られていた。
この図形データの転送方法のフローは、図５（ｂ）のように表わされる。
尚、Ｌｚ法は、一般的で、特開平８−２０４５８１号公報の［従来の技術］の欄にもその説明があるが、簡単には、入力データ列から辞書を作り、辞書に登録してあるデータ列がくると辞書の相対位置や対応する文字、数値で出力するもので、これによりデータ量の圧縮効果を得るものである。
しかし、近年のＡＳＩＣ等のＬＳｌの高集積化、高機能化に伴ない、設計図形データのデータ量が増大化し、更に、ＯＰＣ補正を施した場合、フォトマスクのパターンデータ量は、補正前のものに比べ格段と大きくなるため、圧縮プログラムを用いて圧縮されたデータ量も大きくなり、顧客側から製造側へのデータ送信時間も長くなり、実作業上、問題となってきた。
【０００６】
【特許文献１】
特開平８−２０４５８１号公報（第２頁の［０００２］欄〜第４頁［００２２］欄、図１）
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
上記のように、近年のＡＳＩＣ等のＬＳｌの高集積化、高機能化が一段と進む中、フォトマスクの設計図形データのデータ量が増大化し、ＯＰＣ補正を施した場合、更にフォトマスクのパターンデータ量は大きくなり、これに伴ない、顧客側からフォトマスク製造側へのデータ送信の際の圧縮ソフトを用いて圧縮されたデータ量も大きくなり、顧客側からフォトマスク製造側へのデータ送信時間は長くなり、この対応が求められていた。
本発明は、これに対応するもので、フォトマスク用のストリームフォーマット形式の図形データを、Ｌｚ法を基本アルゴリズムとする圧縮プログラムに圧縮率の面で適したデータ構造に変換するためのデータ構造変換処理方法を提供しようとするものである。
同時に、フォトマスク用のストリームフォーマット形式の図形データの情報を得るためのデータ転送方法で、データ送信時間は長くならないデータ転送方法を提供しようとするものである。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
本発明に関わる図形データのデータ構造変換処理方法は、フォトマスク用のストリームフォーマット形式の図形データで、各図形の表現がＸ座標、Ｙ座標の並びを有する図形データを、Ｌｚ法を基本アルゴリズムとする圧縮プログラムに圧縮率の面で適したデータ構造に変換するためのデータ構造変換処理であって、座標の並びを、先頭から順に、Ｘ座標毎の並び、Ｙ座標毎の並びに再配列し、得られたストリームフォーマット形式のデータを、データ圧縮用データとするものであることを特徴とするものである。
そして、上記において、図形データが、１つの図形を表す、説明部（ヘッダー部）Ｈｍと各Ｘ座標、Ｙ座標（ｘｉ、ｙｉ、ｉ＝１〜ｎ）との並びを、更に複数を連ねて、複数の多角形を表したもので、説明部（ヘッダー部）については、１つ以上の所定の範囲毎の並びに、先頭から順に、再配列するものであることを特徴とするものであり、該図形データが、ＧＤＳＩＩデータであることを特徴とするものである。
【０００９】
あるいは、本発明に関わる図形データのデータ構造変換処理方法は、フォトマスク用のストリームフォーマット形式の図形データで、各図形の表現がＸ座標、Ｙ座標の並びを有する図形データを、Ｌｚ法を基本アルゴリズムとする圧縮プログラムに圧縮率の面で適したデータ構造に変換するためのデータ構造変換処理であって、Ｘ、Ｙ座標を、それぞれ、並び順の差分表示に置き換えて、データ圧縮用データとするものであることを特徴とするものであり、該図形データが、ＧＤＳＩＩデータであることを特徴とするものである。
尚、ここで、説明部（ヘッダー部）は、通常、１つの図形表示毎に、サイズやレコードタイプ、データタイプ（例えば４バイト指定）を示す数値やコード等を連ねた部分を言う。
【００１０】
本発明のデータ転送方法は、フォトマスク用のストリームフォーマット形式の図形データで、各頂点位置をＸ座標、Ｙ座標で、ｘｉ、ｙｉ（ｉ＝１〜ｎ）と表し、説明部（ヘッダー部）Ｈｍに、各頂点のＸ座標、Ｙ座標（ｘｉ、ｙｉ、ｉ＝１〜ｎ）を、隣接する頂点の一方向順に連ねて、Ｈｍ、ｘ１，ｙ１、ｘ２，ｙ２・・・ｘｎ、ｙｎの並びで表示したデータを、１つのｎ頂点のポリゴン図形のデータとし、更に、このような１つのポリゴン図形のデータを連ねて並べて、多数のポリゴン図形を表示する図形データを、データ変換して送信し、送信先にて元の図形データを得るための、データ転送方法であって、前記多数のポリゴン図形を表示する図形データを、Ｌｚ法を基本アルゴリズムとする圧縮プログラムに圧縮率の面で適したデータ構造に変換して第１のデータを得るためのデータ構造変換処理と、データ構造変換処理後の第１のデータを、Ｌｚ法を基本アルゴリズムとする圧縮プログラムにてデータ圧縮して第２のデータを得るデータ圧縮処理と、データ圧縮処理により得られた第２のデータを送信する送信処理と、送信されてきた第２のデータを、前記データ圧縮処理に入力した第１のデータと同じ第３のデータに変換する第１のデータ復元処理と、第１のデータ復元処理により得られた第３のデータを第１のデータと同じ元の多数のポリゴン図形のデータを表示する図形データに復元して、第４のデータを得る第２のデータ復元処理とを行なうことを特徴とするものである。
そして、上記において、データ構造変換処理が、多数のポリゴン図形のデータを表示する図形データに対し、説明部（ヘッダー部）、座標の並びを、先頭から順に、説明部（ヘッダー部）毎の並び、各座標毎の並びに再配列し、得られたストリームフォーマット形式のデータを、データ圧縮用データとするものであることを特徴とするものである。
あるいはまた、上記において、データ構造変換処理が、各ポリゴン図形のデータの並びにおいて、ｘ、ｙ座標をそれぞれ並び順の差分表示に置き換えて、データ圧縮用データとするものであることを特徴とするものである。
また、上記において、多数のポリゴン図形のデータを表示する図形データが、ＧＤＳＩＩデータであることを特徴とするものである。
【００１１】
【作用】
本発明に関わる図形データのデータ構造変換処理方法は、このような構成にすることにより、フォトマスク用のストリームフォーマット形式の図形データを、Ｌｚ法を基本アルゴリズムとする圧縮プログラムに圧縮率の面で適したデータ構造に変換するためのデータ構造変換処理方法の提供を可能としている。
具体的には、座標の並びを、先頭から順に、Ｘ座標毎の並び、Ｙ座標毎の並びに再配列し、得られたストリームフォーマット形式のデータを、データ圧縮用データとするものであることにより、あるいは、Ｘ、Ｙ座標を、それぞれ、並び順の差分表示に置き換えて、データ圧縮用データとするものであることにより、これを達成している。
これは、設計データが、基本的に、Ｘ座標、Ｙ座標に添い、所定の同じ幅あるいは高さを持つものが多いという知見に基づくものである。
図形データとしては、具体的には、１つの図形を表す、説明部（ヘッダー部）Ｈｍと各Ｘ座標、Ｙ座標（ｘｉ、ｙｉ、ｉ＝１〜ｎ）との並びを、更に複数を連ねて、複数の多角形を表したものが挙げられ、更に具体的には、ＧＤＳＩＩデータが挙げられる。
【００１２】
本発明のデータ転送方法は、このような構成にすることにより、フォトマスク用のストリームフォーマット形式の図形データの情報を得るためのデータ転送方法で、データ送信時間は長くならないデータ転送方法の提供を可能としている。
【００１３】
【発明の実施の形態】
本発明に関わる図形データのデータ構造変換処理方法の実施の形態例を挙げ、図に基づいて説明する。
図１は本発明に関わる図形データのデータ構造変換処理方法の実施の形態の第１の例を説明するため図で、図２は本発明に関わる図形データのデータ構造変換処理方法の実施の形態の第２の例を説明するため図で、図３、図４は、それぞれ、図形をＸ−Ｙ座標上で表した図で、図５（ａ）は本発明のデータ転送方法のフロー図で、図５（ｂ）は従来のデータ転送方法のフロー図で、図６は従来のデータ圧縮を説明するための図である。
尚、図１中、図１（ａ）は入力図形データ、図１（ｂ）はデータ構造変換処理後のデータ、図１（ｃ）は圧縮後のデータを示し、また、図２中、図２（ａ）は入力図形データ、図２（ｂ）はデータ構造変換処理後のデータ、図２（ｃ）は圧縮後のデータを示している。
図５中、Ｓ１〜Ｓ１１、Ｓ２１〜Ｓ２８は、処理ステップを示している。
図３、図４中、１１１、１１２、１１３、２１１、２１２は図形である。
また、ｘ１〜ｘ４はｘ座標値で、ｙ１〜ｙ４はｙ座標値で、ｘ１１〜ｘ１７はｘ座標値、ｙ１１〜ｙ１６はｙ座標値である。
【００１４】
本発明に関わる図形データのデータ構造変換処理方法の実施の形態の第１の例を、図１に基づいて説明する。
説明を簡単にするため、処理対象を図３に示す図形からなる図形データとし、第１の例の図形データのデータ構造変換処理方法を、従来のデータ圧縮と比較しながら説明する。 処理対象の図形データでは、図形１１１、１１２、１２３は、それぞれ、説明部（ヘッダー部）と各頂点座標の並びで表され、図１（ａ）のような、説明部（ヘッダー部）と、座標との並び構造になっているものとする。
ここでは、説明部（ヘッダー部）を構成するサイズコードＳＺ、レコードタイプ、データタイプＤＴは、それぞれ、２バイト、１バイト、１バイト、各座標は、それぞれ、４バイトで表示されているとする。
図１（ａ）に示す図形データを、先頭から順に、説明部（ヘッダー部）毎の並び、各座標毎の並びに再配列すると、図１（ｂ）に示す並びの第１のデータが得られる。
更に、得られた図１（ｂ）に示す並びの第１のデータに対し、Ｌｚ法を基本アルゴリズムとする圧縮プログラムにて圧縮を施すと、図１（ｄ）に示すような辞書（参照テーブルとも言う）を作成し、図１（ｃ）に示す第２のデータが得られる。
尚、図１（ｃ）の四角で囲まれた部分である第２のデータの各要素はいずれも４バイトとする。
ここでは、繰り返し出てくる説明部（ヘッダー部）、各座標の１以上の並び列を全て辞書に登録するものとする。
そして、ここでは、図１（ｄ）に示すように、ＳＺ、ＲＴ、ＤＴの並び、ｘ１、ｘ２、ｘ２、ｘ１、ｘ１の並び、ｙ１、ｙ２、ｙ２の並び、ｙ３、ｙ３の並び、ｘ３、ｘ４は、それぞれ、文字Ａ、Ｂ、Ｃ、Ｄ、Ｅ、Ｆ、Ｇで表すものとして、辞書（参照テーブル）に登録されているものとする。
繰り返しがないものについてはそのまま示し、繰り返しがｎ回連続して続くものについては、その数値を文字Ｍ（＝Ａ〜Ｇ）に併せて、Ｍｎと表示するものとする。
このように、第１の例の図形データのデータ構造変換処理方法は、図１（ａ）に示す元の図形データから、図１（ｂ）に示す第１の図形データにデータ構造変換するものである。
【００１５】
これに対し、従来の圧縮では、図１（ａ）に示す元の処理対象の図形データ（図６（ａ）に示す図形データと同じ）を、そのまま、先の第１の例と同じ条件でＬｚ法を基本アルゴリズムとする圧縮プログラムにて圧縮を施すこととなるが、この場合、図６（ｃ）に示すような辞書（参照テーブルとも言う）を作成し、図６（ｂ）に示すデータが得られる。
この場合も、図６（ｂ）の四角で囲まれた部分であるデータの各要素はいずれも４バイトとする。
【００１６】
図１（ｃ）に示す第２のデータと、図６（ｂ）に示すデータとのデータ量を比較した場合、第１の例の図形データのデータ構造変換処理方法において得られた、図１（ｂ）に示す第１の例のデータを用いて、Ｌｚ法を基本アルゴリズムとする圧縮プログラムにて圧縮を施した場合に得られた、図１（ｃ）に示す第２のデータがデータ量が小さいことが分かる。
即ち、第１の例の図形データのデータ構造変換処理方法により、図１（ａ）に示す元の図形データから得られた図１（ｂ）に示す第１の図形データは、Ｌｚ法を基本アルゴリズムとする圧縮プログラムに圧縮率の面で適したデータ構造であることが分かる。
【００１７】
次ぎに、本発明に関わる図形データのデータ構造変換処理方法の実施の形態の第２の例を、図２に基づいて説明する。
説明を簡単にするため、第１の例の説明の場合の図１（ａ）に示す図形データを処理対象の図形データ（図２（ａ））とし、第２の例の図形データのデータ構造変換処理方法を、従来のデータ圧縮と比較しながら説明する。
図２（ａ）に示す図形データについて、Ｘ、Ｙ座標を、それぞれ、並び順の差分表示に置き換えると、図２（ｂ）に示す並びの第１のデータが得られる。
更に、得られた図２（ｂ）に示す並びの第１のデータに対し、Ｌｚ法を基本アルゴリズムとする圧縮プログラムにて圧縮を施すと、図２（ｄ）に示すような辞書（参照テーブルとも言う）を作成し、図２（ｃ）に示す第２のデータが得られる。
ここで、図２（ｃ）に示す第２のデータと、図６（ｂ）に示すデータとのデータ量を比較した場合、第１の例の図形データのデータ構造変換処理方法において得られた、図２（ｂ）に示す第１の例のデータを用いて、Ｌｚ法を基本アルゴリズムとする圧縮プログラムにて圧縮を施した場合に得られた、図２（ｃ）に示す第２のデータがデータ量が小さいことが分かる。
即ち、第２の例の図形データのデータ構造変換処理方法により、図２（ａ）に示す元の図形データから得られた図２（ｂ）に示す第１の図形データは、Ｌｚ法を基本アルゴリズムとする圧縮プログラムに圧縮率の面で適したデータ構造であることが分かる。
【００１８】
第２の例の場合、図４に示す図形２１１と図形２１２とは、全体としては、異なる形状であっても、図形２１１ののＡ１部、図形２１２のＡ２が同じ形状であれば、第２の例の図形データのデータ構造変換処理方法により得られる図２（ｂ）に示す第１の図形データは、圧縮の効果が得られる。
図４において、ｗ１、ｈ１、ｈ２は、それぞれ、幅あるいは高さを表す。
【００１９】
尚、上記、第１の例、第２の例では、説明を分かり易くするため、処理対象を、図１（ａ）（図２（ａ））に示す簡単な図形データとしたものであるが、処理対象の図形データとしては、これに限定されず、図形数の多い大容量の図形データを処理する場合にも、有効に適用できることは言うまでもない。
勿論、一般的なＧＤＳＩＩデータにも、適用できる。
例えば、第１の例の方法により、ＧＤＳＩＩデータを処理する場合には、第１の例の場合の説明部（ヘッダー部）毎の並びに代え、説明部（ヘッダー部）を、図７におけるＴｍと、ＳＺ、ＲＴ、ＤＴの組みに２分し、それぞれ毎の並びを作成して、処理を行なう。
この場合、各座標毎の並びの再配列については、第１の例と同様に行なう。
【００２０】
次に、本発明のデータ転送方法の実施の形態の１例を、図５（ａ）に基づいて、簡単に説明しておく。
本例は、フォトマスクの顧客側にて、フォトマスク用のストリームフォーマット形式の図形データで、各図形の表現がＸ座標、Ｙ座標の並びを有する元の図形データを、データ変換してから、フォトマスク製造側に送信し、送信先であるフォトマスク製造側にて元の図形データを得るための、データ転送方法である。
先ず、フォトマスクの顧客側にて、元の図形データ（Ｓ１）を、Ｌｚ法を基本アルゴリズムとする圧縮プログラムに圧縮率の面で適したデータ構造に変換して（Ｓ２）、第１のデータを得る。（Ｓ３）
ここでの第１のデータを得る処理方法としては、図１に示す第１の例の図形データのデータ構造変換処理方法や、図２に示す第２の例の図形データのデータ構造変換処理方法が採られる。
次いで、フォトマスクの顧客側にて、データ構造変換された第１のデータ（Ｓ３）を、Ｌｚ法を基本アルゴリズムとする圧縮プログラムにてデータ圧縮して（Ｓ４）、第２のデータ（Ｓ５）を得る。
ここでのデータ圧縮処理は、図５（ｂ）に示すデータ圧縮処理（Ｓ２２）に相当するものである。
次いで、フォトマスクの顧客側からデータ圧縮処理により得られた第２のデータ（Ｓ５）を、フォトマスク製造側に送信する。（Ｓ６）
次いで、フォトマスクの顧客側から送信されてきた第２のデータ（Ｓ７）を、第１のデータ復元処理（Ｓ８）を行ない、データ圧縮処理（Ｓ４）に入力した第１のデータ（Ｓ３）と同じ第３のデータ（Ｓ９）に変換する。
ここでの復元処理は、図５（ｂ）に示す復元処理（Ｓ２７）に相当するものである。
次いで、第１のデータ復元処理（Ｓ８）により得られた第３のデータ（Ｓ９）を、第２のデータ復元処理（Ｓ１０）を行ない、元の図形データ（Ｓ１）と同じ第４のデータ（Ｓ１１）を得る。
ここでの復元処理は、データ構造変換処理（Ｓ２）と言わば反対の処理である。
このようにして、フォトマスク製造側は、顧客側から送信されてきたデータから、元の図形データと同じ図形データを得ることができる。
【００２１】
【発明の効果】
本発明は、上記のように、フォトマスク用のストリームフォーマット形式の図形データを、Ｌｚ法を基本アルゴリズムとする圧縮プログラムに圧縮率の面で適したデータ構造に変換するためのデータ構造変換処理方法の提供を可能とした
同時に、フォトマスク用のストリームフォーマット形式の図形データの情報を得るためのデータ転送方法で、データ送信時間は長くならないデータ転送方法の提供を可能とした。
これにより、近年のＡＳＩＣ等のＬＳｌの高集積化、高機能化に伴ない、設計図形データのデータ量が増大化し、更に、ＯＰＣ補正を施した場合においても、図形データの転送を実用レベルで対応できるものとした。
【図面の簡単な説明】
【図１】 本発明に関わる図形データのデータ構造変換処理方法の実施の形態の第１の例を説明するため図である。
【図２】 本発明に関わる図形データのデータ構造変換処理方法の実施の形態の第２の例を説明するため図である。
【図３】 図形をＸ−Ｙ座標上で表した図である。
【図４】 図形をＸ−Ｙ座標上で表した図である。
【図５】 図５（ａ）は本発明のデータ転送方法のフロー図で、図５（ｂ）は従来のデータ転送方法のフロー図である。
【図６】 従来のデータ圧縮を説明するための図である。
【図７】 ＧＤＳＩＩデータの構造を説明するための図である。
【符号の説明】
１１１、１１２、１１３、２１１、２１２ 図形
ｘ１〜ｘ４ ｘ座標値
ｙ１〜ｙ４ ｙ座標値
ｘ１１〜ｘ１７ ｘ座標値
ｙ１１〜ｙ１６ ｙ座標値
Claims (6)
- フォトマスク用のストリームフォーマット形式の図形データで、各図形の表現がＸ座標、Ｙ座標の並びを有する元の図形データを、データ変換してから送信し、送信先にて前記元の図形データを得るための、データ転送方法であって、前記元の図形データを、Ｌｚ法を基本アルゴリズムとする圧縮プログラムに圧縮率の面で適したデータ構造に変換して第１のデータを得るためのデータ構造変換処理と、データ構造変換処理後の第１のデータを、Ｌｚ法を基本アルゴリズムとする圧縮プログラムにてデータ圧縮して第２のデータを得るデータ圧縮処理と、データ圧縮処理により得られた第２のデータを送信する送信処理と、送信されてきた第２のデータを、前記データ圧縮処理に入力した第１のデータと同じ第３のデータに変換する第１のデータ復元処理と、第１のデータ復元処理により得られた第３のデータを第１のデータと同じ元の多数のポリゴン図形のデータを表示する図形データに復元して、第４のデータを得る第２のデータ復元処理とを行なうことを特徴とするデータ転送方法。
- 請求項１において、データ構造変換処理が、座標の並びを、先頭から順に、Ｘ座標毎の並び、Ｙ座標毎の並びに再配列し、得られたストリームフォーマット形式のデータを、データ圧縮用データとするものであることを特徴とするデータ転送方法。
- 請求項２において、図形データが、説明部（ヘッダー部）Ｈｍと、各Ｘ座標、Ｙ座標（ｘｉ、ｙｉ、ｉ＝１〜ｎ）の並びを含むもので、該図形データに対し、説明部（ヘッダー部）、座標の並びを、先頭から順に、説明部（ヘッダー部）毎の並び、各座標毎の並びに再配列し、得られたストリームフォーマット形式のデータを、データ圧縮用データとするものであることを特徴とするデータ転送方法。
- 請求項３において、図形データが、ＧＤＳＩＩデータであることを特徴とするデータ転送方法。
- 請求項１において、データ構造変換処理が、Ｘ、Ｙ座標を、それぞれ、並び順の差分表示に置き換えて、データ圧縮用データとするものであることを特徴とするデータ転送方法。
- 請求項５において、図形データが、ＧＤＳＩＩデータであることを特徴とするデータ転送方法。
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