JP4249451B2 - データ転送方法 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、フォトマスク用のストリームフォーマット形式の図形データを、Lz法を基本アルゴリズムとする圧縮プログラムに圧縮率の面で適したデータ構造に変換するためのデータ構造変換処理方法と、該図形データの情報を得るためのデータ転送方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
近年、電子機器の高機能化と軽薄短小の傾向から、ASICに代表される種々のLSlには、ますます高集積化、高機能化が求められるようになってきた。
即ち、できるだけチップサイズを小さくして、高機能を実現することがASIC等のLSIには求められている。
上記ASIC等のLSIは、機能、論理設計、回路設計、レイアウト設計等を経て、フォトマスクパタン作製用の図形データ(設計図形データとも言う)を作製し、これを用いてフォトマスクを作製した後、フォトマスクのパタンをウエハ上に縮小投影露光等により転写して、半導体素子作製のプロセスを行うという数々の工程を経て作製されるものである。
フォトマスクは、一般には、上記図形データを用い、電子ビーム露光装置あるいはエキシマ波長等のフォト露光装置を用いて、フォトマスク用基板(フォトマスクブランクスとも言う)の遮光膜上に配設された感光性レジストに露光描画を行い、現像、エッチング工程等を経て、作製される。
即ち、ガラス基板の一面に遮光性の金属薄膜を設けたフォトマスク用基板の金属薄膜上に塗布、乾燥された感光性のレジスト上に、露光装置により電離放射線を所定の領域のみに照射して潜像を形成し、感光性のレジストを現像して、電離放射線の照射領域に対応した、所望の形状のレジストパターン得た後、更に、レジストパターンを耐エッチングレジストとして、金属薄膜をレジストパターン形状に加工して、所望の金属薄膜パターンを有するフォトマスクを得る。
上記フォトマスクパタン作製用の図形データは、種々の図形情報から構成され、X−Y座標表現されており、Calma社のGDSIIフォーマットデータであるストリームフォーマット形式のGDSIIデータが一般的には用いられている。
そして、この図形データは、更に、電子ビーム露光装置あるいはエキシマ波長等のフォト露光装置にあった描画用データに変換されて、描画に供される。
【0003】
ここで、1例として、GDSIIデータで多数のポリゴン図形を表わす図形データの構造について簡単に説明しておく。
GDSIIデータで1つのポリゴン図形Fmを表示する場合、各頂点位置をX座標、Y座標で、xi、yi(i=1〜n)と表し、説明部(ヘッダー部)Hmに、各頂点のX座標、Y座標(xi、yi、i=1〜n)を、隣接する頂点の一方向順に連ねて、図7(a)のように、Hm、x1,y1、x2,y2・・・xn、ynの並びで表示する。
そして、1つのn頂点のポリゴン図形Fmのデータとし、更に、このような1つのポリゴン図形のデータを連ねて並べて、図7(c)に示すようにして、多数のポリゴン図形(F1〜Fk)を表示する。
説明部(ヘッダー部)Hmは、更に、図7(b)に示すように、図形タイプを表す部分Tm、サイズ、レコードタイプ、データタイプを表す部分SZ、RT、DTに細分化されている。
そして、例えば、図形タイプを表す部分Tm、サイズを表す部分SZ、レコードタイプを表す部分RT、データタイプを表す部分DTは、それぞれ、4バイト、2バイト、1バイト、1バイトで表示され、各座標は、それぞれ、4バイトで表示されている。
尚、図形タイプを表す部分Tmは、サイズを表す部分、表示図形を表す部分等を含む。
【0004】
しかし、フォトマスクのパタンをウエハ上に縮小投影露光等により転写する際、光近接効果と呼ばれる露光形状の歪みが発生する。
これは、フォトマスクのパターンが微細化し、露光形状のサイズ(ウエハ上の露光サイズ)が、露光光の波長に近づく、あるいは光の波長よりも小さくなったときに、光の回折現象により、フォトマスクのパタンの形状を忠実に露光することができなく、ウエハ上に露光される露光形状に歪みが発生するものである。
これに対応し、光の回折の影響を考慮し、フォトマスクのパタン(光を透過させる部分の形状 )を補正して、ウエハ上に形成されるパタン形状を所望の形状にするために、上記フォトマスクパタン作製用の図形データを、所定の補正アルゴリズムを持つ補正ソフト(以下、OPCツールとも言う)を介して、データ補正をすることが行われている。
OPCツールからの出力も、ストリームフォーマット形式のGDSIIデータである。
尚、このような光の回折の影響を考慮した補正を、光近接効果補正あるいはOPC補正(Optical Proximity Correct)と言う。
【0005】
一方、フォトマスク作製においては、顧客側にて作製された、OPC補正済データを、フォトマスク作製を行なうフォトマスク製造側に送信する場合が多々あるが、このような場合、顧客側にて、Lz法を基本とする圧縮プログラムを用いて、データを圧縮し圧縮されたデータを製造側に送り、送られたデータについては、製造側が復元プログラムを用いて復元して元のデータにする、データ転送方法が採られていた。
この図形データの転送方法のフローは、図5(b)のように表わされる。
尚、Lz法は、一般的で、特開平8−204581号公報の[従来の技術]の欄にもその説明があるが、簡単には、入力データ列から辞書を作り、辞書に登録してあるデータ列がくると辞書の相対位置や対応する文字、数値で出力するもので、これによりデータ量の圧縮効果を得るものである。
しかし、近年のASIC等のLSlの高集積化、高機能化に伴ない、設計図形データのデータ量が増大化し、更に、OPC補正を施した場合、フォトマスクのパターンデータ量は、補正前のものに比べ格段と大きくなるため、圧縮プログラムを用いて圧縮されたデータ量も大きくなり、顧客側から製造側へのデータ送信時間も長くなり、実作業上、問題となってきた。
【0006】
【特許文献1】
特開平8−204581号公報(第2頁の[0002]欄〜第4頁[0022]欄、図1)
【0007】
【発明が解決しようとする課題】
上記のように、近年のASIC等のLSlの高集積化、高機能化が一段と進む中、フォトマスクの設計図形データのデータ量が増大化し、OPC補正を施した場合、更にフォトマスクのパターンデータ量は大きくなり、これに伴ない、顧客側からフォトマスク製造側へのデータ送信の際の圧縮ソフトを用いて圧縮されたデータ量も大きくなり、顧客側からフォトマスク製造側へのデータ送信時間は長くなり、この対応が求められていた。
本発明は、これに対応するもので、フォトマスク用のストリームフォーマット形式の図形データを、Lz法を基本アルゴリズムとする圧縮プログラムに圧縮率の面で適したデータ構造に変換するためのデータ構造変換処理方法を提供しようとするものである。
同時に、フォトマスク用のストリームフォーマット形式の図形データの情報を得るためのデータ転送方法で、データ送信時間は長くならないデータ転送方法を提供しようとするものである。
【0008】
【課題を解決するための手段】
本発明に関わる図形データのデータ構造変換処理方法は、フォトマスク用のストリームフォーマット形式の図形データで、各図形の表現がX座標、Y座標の並びを有する図形データを、Lz法を基本アルゴリズムとする圧縮プログラムに圧縮率の面で適したデータ構造に変換するためのデータ構造変換処理であって、座標の並びを、先頭から順に、X座標毎の並び、Y座標毎の並びに再配列し、得られたストリームフォーマット形式のデータを、データ圧縮用データとするものであることを特徴とするものである。
そして、上記において、図形データが、1つの図形を表す、説明部(ヘッダー部)Hmと各X座標、Y座標(xi、yi、i=1〜n)との並びを、更に複数を連ねて、複数の多角形を表したもので、説明部(ヘッダー部)については、1つ以上の所定の範囲毎の並びに、先頭から順に、再配列するものであることを特徴とするものであり、該図形データが、GDSIIデータであることを特徴とするものである。
【0009】
あるいは、本発明に関わる図形データのデータ構造変換処理方法は、フォトマスク用のストリームフォーマット形式の図形データで、各図形の表現がX座標、Y座標の並びを有する図形データを、Lz法を基本アルゴリズムとする圧縮プログラムに圧縮率の面で適したデータ構造に変換するためのデータ構造変換処理であって、X、Y座標を、それぞれ、並び順の差分表示に置き換えて、データ圧縮用データとするものであることを特徴とするものであり、該図形データが、GDSIIデータであることを特徴とするものである。
尚、ここで、説明部(ヘッダー部)は、通常、1つの図形表示毎に、サイズやレコードタイプ、データタイプ(例えば4バイト指定)を示す数値やコード等を連ねた部分を言う。
【0010】
本発明のデータ転送方法は、フォトマスク用のストリームフォーマット形式の図形データで、各頂点位置をX座標、Y座標で、xi、yi(i=1〜n)と表し、説明部(ヘッダー部)Hmに、各頂点のX座標、Y座標(xi、yi、i=1〜n)を、隣接する頂点の一方向順に連ねて、Hm、x1,y1、x2,y2・・・xn、ynの並びで表示したデータを、1つのn頂点のポリゴン図形のデータとし、更に、このような1つのポリゴン図形のデータを連ねて並べて、多数のポリゴン図形を表示する図形データを、データ変換して送信し、送信先にて元の図形データを得るための、データ転送方法であって、前記多数のポリゴン図形を表示する図形データを、Lz法を基本アルゴリズムとする圧縮プログラムに圧縮率の面で適したデータ構造に変換して第1のデータを得るためのデータ構造変換処理と、データ構造変換処理後の第1のデータを、Lz法を基本アルゴリズムとする圧縮プログラムにてデータ圧縮して第2のデータを得るデータ圧縮処理と、データ圧縮処理により得られた第2のデータを送信する送信処理と、送信されてきた第2のデータを、前記データ圧縮処理に入力した第1のデータと同じ第3のデータに変換する第1のデータ復元処理と、第1のデータ復元処理により得られた第3のデータを第1のデータと同じ元の多数のポリゴン図形のデータを表示する図形データに復元して、第4のデータを得る第2のデータ復元処理とを行なうことを特徴とするものである。
そして、上記において、データ構造変換処理が、多数のポリゴン図形のデータを表示する図形データに対し、説明部(ヘッダー部)、座標の並びを、先頭から順に、説明部(ヘッダー部)毎の並び、各座標毎の並びに再配列し、得られたストリームフォーマット形式のデータを、データ圧縮用データとするものであることを特徴とするものである。
あるいはまた、上記において、データ構造変換処理が、各ポリゴン図形のデータの並びにおいて、x、y座標をそれぞれ並び順の差分表示に置き換えて、データ圧縮用データとするものであることを特徴とするものである。
また、上記において、多数のポリゴン図形のデータを表示する図形データが、GDSIIデータであることを特徴とするものである。
【0011】
【作用】
本発明に関わる図形データのデータ構造変換処理方法は、このような構成にすることにより、フォトマスク用のストリームフォーマット形式の図形データを、Lz法を基本アルゴリズムとする圧縮プログラムに圧縮率の面で適したデータ構造に変換するためのデータ構造変換処理方法の提供を可能としている。
具体的には、座標の並びを、先頭から順に、X座標毎の並び、Y座標毎の並びに再配列し、得られたストリームフォーマット形式のデータを、データ圧縮用データとするものであることにより、あるいは、X、Y座標を、それぞれ、並び順の差分表示に置き換えて、データ圧縮用データとするものであることにより、これを達成している。
これは、設計データが、基本的に、X座標、Y座標に添い、所定の同じ幅あるいは高さを持つものが多いという知見に基づくものである。
図形データとしては、具体的には、1つの図形を表す、説明部(ヘッダー部)Hmと各X座標、Y座標(xi、yi、i=1〜n)との並びを、更に複数を連ねて、複数の多角形を表したものが挙げられ、更に具体的には、GDSIIデータが挙げられる。
【0012】
本発明のデータ転送方法は、このような構成にすることにより、フォトマスク用のストリームフォーマット形式の図形データの情報を得るためのデータ転送方法で、データ送信時間は長くならないデータ転送方法の提供を可能としている。
【0013】
【発明の実施の形態】
本発明に関わる図形データのデータ構造変換処理方法の実施の形態例を挙げ、図に基づいて説明する。
図1は本発明に関わる図形データのデータ構造変換処理方法の実施の形態の第1の例を説明するため図で、図2は本発明に関わる図形データのデータ構造変換処理方法の実施の形態の第2の例を説明するため図で、図3、図4は、それぞれ、図形をX−Y座標上で表した図で、図5(a)は本発明のデータ転送方法のフロー図で、図5(b)は従来のデータ転送方法のフロー図で、図6は従来のデータ圧縮を説明するための図である。
尚、図1中、図1(a)は入力図形データ、図1(b)はデータ構造変換処理後のデータ、図1(c)は圧縮後のデータを示し、また、図2中、図2(a)は入力図形データ、図2(b)はデータ構造変換処理後のデータ、図2(c)は圧縮後のデータを示している。
図5中、S1〜S11、S21〜S28は、処理ステップを示している。
図3、図4中、111、112、113、211、212は図形である。
また、x1〜x4はx座標値で、y1〜y4はy座標値で、x11〜x17はx座標値、y11〜y16はy座標値である。
【0014】
本発明に関わる図形データのデータ構造変換処理方法の実施の形態の第1の例を、図1に基づいて説明する。
説明を簡単にするため、処理対象を図3に示す図形からなる図形データとし、第1の例の図形データのデータ構造変換処理方法を、従来のデータ圧縮と比較しながら説明する。 処理対象の図形データでは、図形111、112、123は、それぞれ、説明部(ヘッダー部)と各頂点座標の並びで表され、図1(a)のような、説明部(ヘッダー部)と、座標との並び構造になっているものとする。
ここでは、説明部(ヘッダー部)を構成するサイズコードSZ、レコードタイプ、データタイプDTは、それぞれ、2バイト、1バイト、1バイト、各座標は、それぞれ、4バイトで表示されているとする。
図1(a)に示す図形データを、先頭から順に、説明部(ヘッダー部)毎の並び、各座標毎の並びに再配列すると、図1(b)に示す並びの第1のデータが得られる。
更に、得られた図1(b)に示す並びの第1のデータに対し、Lz法を基本アルゴリズムとする圧縮プログラムにて圧縮を施すと、図1(d)に示すような辞書(参照テーブルとも言う)を作成し、図1(c)に示す第2のデータが得られる。
尚、図1(c)の四角で囲まれた部分である第2のデータの各要素はいずれも4バイトとする。
ここでは、繰り返し出てくる説明部(ヘッダー部)、各座標の1以上の並び列を全て辞書に登録するものとする。
そして、ここでは、図1(d)に示すように、SZ、RT、DTの並び、x1、x2、x2、x1、x1の並び、y1、y2、y2の並び、y3、y3の並び、x3、x4は、それぞれ、文字A、B、C、D、E、F、Gで表すものとして、辞書(参照テーブル)に登録されているものとする。
繰り返しがないものについてはそのまま示し、繰り返しがn回連続して続くものについては、その数値を文字M(=A〜G)に併せて、Mnと表示するものとする。
このように、第1の例の図形データのデータ構造変換処理方法は、図1(a)に示す元の図形データから、図1(b)に示す第1の図形データにデータ構造変換するものである。
【0015】
これに対し、従来の圧縮では、図1(a)に示す元の処理対象の図形データ(図6(a)に示す図形データと同じ)を、そのまま、先の第1の例と同じ条件でLz法を基本アルゴリズムとする圧縮プログラムにて圧縮を施すこととなるが、この場合、図6(c)に示すような辞書(参照テーブルとも言う)を作成し、図6(b)に示すデータが得られる。
この場合も、図6(b)の四角で囲まれた部分であるデータの各要素はいずれも4バイトとする。
【0016】
図1(c)に示す第2のデータと、図6(b)に示すデータとのデータ量を比較した場合、第1の例の図形データのデータ構造変換処理方法において得られた、図1(b)に示す第1の例のデータを用いて、Lz法を基本アルゴリズムとする圧縮プログラムにて圧縮を施した場合に得られた、図1(c)に示す第2のデータがデータ量が小さいことが分かる。
即ち、第1の例の図形データのデータ構造変換処理方法により、図1(a)に示す元の図形データから得られた図1(b)に示す第1の図形データは、Lz法を基本アルゴリズムとする圧縮プログラムに圧縮率の面で適したデータ構造であることが分かる。
【0017】
次ぎに、本発明に関わる図形データのデータ構造変換処理方法の実施の形態の第2の例を、図2に基づいて説明する。
説明を簡単にするため、第1の例の説明の場合の図1(a)に示す図形データを処理対象の図形データ(図2(a))とし、第2の例の図形データのデータ構造変換処理方法を、従来のデータ圧縮と比較しながら説明する。
図2(a)に示す図形データについて、X、Y座標を、それぞれ、並び順の差分表示に置き換えると、図2(b)に示す並びの第1のデータが得られる。
更に、得られた図2(b)に示す並びの第1のデータに対し、Lz法を基本アルゴリズムとする圧縮プログラムにて圧縮を施すと、図2(d)に示すような辞書(参照テーブルとも言う)を作成し、図2(c)に示す第2のデータが得られる。
ここで、図2(c)に示す第2のデータと、図6(b)に示すデータとのデータ量を比較した場合、第1の例の図形データのデータ構造変換処理方法において得られた、図2(b)に示す第1の例のデータを用いて、Lz法を基本アルゴリズムとする圧縮プログラムにて圧縮を施した場合に得られた、図2(c)に示す第2のデータがデータ量が小さいことが分かる。
即ち、第2の例の図形データのデータ構造変換処理方法により、図2(a)に示す元の図形データから得られた図2(b)に示す第1の図形データは、Lz法を基本アルゴリズムとする圧縮プログラムに圧縮率の面で適したデータ構造であることが分かる。
【0018】
第2の例の場合、図4に示す図形211と図形212とは、全体としては、異なる形状であっても、図形211ののA1部、図形212のA2が同じ形状であれば、第2の例の図形データのデータ構造変換処理方法により得られる図2(b)に示す第1の図形データは、圧縮の効果が得られる。
図4において、w1、h1、h2は、それぞれ、幅あるいは高さを表す。
【0019】
尚、上記、第1の例、第2の例では、説明を分かり易くするため、処理対象を、図1(a)(図2(a))に示す簡単な図形データとしたものであるが、処理対象の図形データとしては、これに限定されず、図形数の多い大容量の図形データを処理する場合にも、有効に適用できることは言うまでもない。
勿論、一般的なGDSIIデータにも、適用できる。
例えば、第1の例の方法により、GDSIIデータを処理する場合には、第1の例の場合の説明部(ヘッダー部)毎の並びに代え、説明部(ヘッダー部)を、図7におけるTmと、SZ、RT、DTの組みに2分し、それぞれ毎の並びを作成して、処理を行なう。
この場合、各座標毎の並びの再配列については、第1の例と同様に行なう。
【0020】
次に、本発明のデータ転送方法の実施の形態の1例を、図5(a)に基づいて、簡単に説明しておく。
本例は、フォトマスクの顧客側にて、フォトマスク用のストリームフォーマット形式の図形データで、各図形の表現がX座標、Y座標の並びを有する元の図形データを、データ変換してから、フォトマスク製造側に送信し、送信先であるフォトマスク製造側にて元の図形データを得るための、データ転送方法である。
先ず、フォトマスクの顧客側にて、元の図形データ(S1)を、Lz法を基本アルゴリズムとする圧縮プログラムに圧縮率の面で適したデータ構造に変換して(S2)、第1のデータを得る。(S3)
ここでの第1のデータを得る処理方法としては、図1に示す第1の例の図形データのデータ構造変換処理方法や、図2に示す第2の例の図形データのデータ構造変換処理方法が採られる。
次いで、フォトマスクの顧客側にて、データ構造変換された第1のデータ(S3)を、Lz法を基本アルゴリズムとする圧縮プログラムにてデータ圧縮して(S4)、第2のデータ(S5)を得る。
ここでのデータ圧縮処理は、図5(b)に示すデータ圧縮処理(S22)に相当するものである。
次いで、フォトマスクの顧客側からデータ圧縮処理により得られた第2のデータ(S5)を、フォトマスク製造側に送信する。(S6)
次いで、フォトマスクの顧客側から送信されてきた第2のデータ(S7)を、第1のデータ復元処理(S8)を行ない、データ圧縮処理(S4)に入力した第1のデータ(S3)と同じ第3のデータ(S9)に変換する。
ここでの復元処理は、図5(b)に示す復元処理(S27)に相当するものである。
次いで、第1のデータ復元処理(S8)により得られた第3のデータ(S9)を、第2のデータ復元処理(S10)を行ない、元の図形データ(S1)と同じ第4のデータ(S11)を得る。
ここでの復元処理は、データ構造変換処理(S2)と言わば反対の処理である。
このようにして、フォトマスク製造側は、顧客側から送信されてきたデータから、元の図形データと同じ図形データを得ることができる。
【0021】
【発明の効果】
本発明は、上記のように、フォトマスク用のストリームフォーマット形式の図形データを、Lz法を基本アルゴリズムとする圧縮プログラムに圧縮率の面で適したデータ構造に変換するためのデータ構造変換処理方法の提供を可能とした
同時に、フォトマスク用のストリームフォーマット形式の図形データの情報を得るためのデータ転送方法で、データ送信時間は長くならないデータ転送方法の提供を可能とした。
これにより、近年のASIC等のLSlの高集積化、高機能化に伴ない、設計図形データのデータ量が増大化し、更に、OPC補正を施した場合においても、図形データの転送を実用レベルで対応できるものとした。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明に関わる図形データのデータ構造変換処理方法の実施の形態の第1の例を説明するため図である。
【図2】 本発明に関わる図形データのデータ構造変換処理方法の実施の形態の第2の例を説明するため図である。
【図3】 図形をX−Y座標上で表した図である。
【図4】 図形をX−Y座標上で表した図である。
【図5】 図5(a)は本発明のデータ転送方法のフロー図で、図5(b)は従来のデータ転送方法のフロー図である。
【図6】 従来のデータ圧縮を説明するための図である。
【図7】 GDSIIデータの構造を説明するための図である。
【符号の説明】
111、112、113、211、212 図形
x1〜x4 x座標値
y1〜y4 y座標値
x11〜x17 x座標値
y11〜y16 y座標値
Claims (6)
- フォトマスク用のストリームフォーマット形式の図形データで、各図形の表現がX座標、Y座標の並びを有する元の図形データを、データ変換してから送信し、送信先にて前記元の図形データを得るための、データ転送方法であって、前記元の図形データを、Lz法を基本アルゴリズムとする圧縮プログラムに圧縮率の面で適したデータ構造に変換して第1のデータを得るためのデータ構造変換処理と、データ構造変換処理後の第1のデータを、Lz法を基本アルゴリズムとする圧縮プログラムにてデータ圧縮して第2のデータを得るデータ圧縮処理と、データ圧縮処理により得られた第2のデータを送信する送信処理と、送信されてきた第2のデータを、前記データ圧縮処理に入力した第1のデータと同じ第3のデータに変換する第1のデータ復元処理と、第1のデータ復元処理により得られた第3のデータを第1のデータと同じ元の多数のポリゴン図形のデータを表示する図形データに復元して、第4のデータを得る第2のデータ復元処理とを行なうことを特徴とするデータ転送方法。
- 請求項1において、データ構造変換処理が、座標の並びを、先頭から順に、X座標毎の並び、Y座標毎の並びに再配列し、得られたストリームフォーマット形式のデータを、データ圧縮用データとするものであることを特徴とするデータ転送方法。
- 請求項2において、図形データが、説明部(ヘッダー部)Hmと、各X座標、Y座標(xi、yi、i=1〜n)の並びを含むもので、該図形データに対し、説明部(ヘッダー部)、座標の並びを、先頭から順に、説明部(ヘッダー部)毎の並び、各座標毎の並びに再配列し、得られたストリームフォーマット形式のデータを、データ圧縮用データとするものであることを特徴とするデータ転送方法。
- 請求項3において、図形データが、GDSIIデータであることを特徴とするデータ転送方法。
- 請求項1において、データ構造変換処理が、X、Y座標を、それぞれ、並び順の差分表示に置き換えて、データ圧縮用データとするものであることを特徴とするデータ転送方法。
- 請求項5において、図形データが、GDSIIデータであることを特徴とするデータ転送方法。
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