JP4246981B2 - レーザ加工装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、レーザ加工装置に関し、特にレーザ光を被加工部材上に走査させて加工を行うレーザ加工装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
入射したレーザ光を被加工部材上に集光させるとともにレーザ光の集光位置を走査させて加工を行う、従来のレーザ加工装置として、スキャンレンズとミラー(反射板)を用いたレーザ加工装置がある。
上記のレーザ加工装置では、図6に示すように、スキャンレンズ30の光軸に対して平行なx軸を回転軸とするx軸ミラー20xと、スキャンレンズ30の光軸及びx軸の双方の軸に垂直なy軸を回転軸とするy軸ミラー20yの角度を各々制御して、レーザ光10を任意の入射角度でスキャンレンズ30に入射して、レーザ光10を被加工部材80上に走査させる。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
上記のレーザ加工装置では、図7(A)に示すように、レーザ光10をミラー20x、20yに反射させ、ミラー20x、20yの角度をθ1だけ変化させると、反射されたレーザ光10の角度は「2*θ1」変化する(以下、「*」は特に断りがない限り乗算を示す)。平面90からレーザ光10までの距離(L1)に対して、平面90上で移動する距離(Y1)は、「Y1=L1*tan(2*θ1)」になる。例えば、ミラー20x、20yの回転角度の分解能が1°の場合、角度θ1=1°、距離L1=150mmの時、移動距離Y1=5.2mmとなり、50μm程度の微細な走査には適さない。
また、図7(B)に示すように、スキャンレンズ30の焦点距離をf30として、スキャンレンズ30からf30の距離に平面90を配置する。そして、スキャンレンズ30に対して、入射角θ2でレーザ光10を入射すると、平面90上に集光されるレーザ光10は、スキャンレンズ30の光軸から距離h2だけ移動した位置に集光される。この場合、「h2=f30*θ2」となる。50μm程度の微細な描画を走査するためには、x軸ミラー20xとy軸ミラー20yの角度を非常に高い分解能で制御する必要があり、その制御が非常に困難である。
また、縮小光学系を加えて微細な走査を可能にする方法もあるが、光学系の全長が長くなり、装置の小型化が困難である。
【0004】
本発明は、このような点に鑑みて創案されたものであり、より高い分解能を有し、微細な走査が容易なレーザ加工装置を提供することを課題とする。
【0005】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するための手段として、本発明の第1発明は、請求項1に記載されたとおりのレーザ加工装置である。
請求項1に記載のレーザ加工装置を用いれば、レーザ光を、集光レンズ、または発散レンズ及び集光レンズ、で構成されたレンズ群に通過させて、被加工部材上に集光させ、第1の屈折部材と第2の屈折部材を、任意の前記集光レンズによるレーザ光の集光光路中あるいは発散光路中、あるいは任意の前記発散レンズによるレーザ光の発散光路中、のいずれかの光路中に配置し、第1の屈折部材及び第2の屈折部材を回動させることで、より高い分解能を有し、微細な走査を容易にできる。
【0006】
また、本発明の第2発明は、請求項2に記載されたとおりのレーザ加工装置である。
請求項2に記載のレーザ加工装置を用いれば、レーザ光を、第2の集光レンズと第1の集光レンズに通過させて、被加工部材上に集光させ、第1の屈折部材と第2の屈折部材を、第2の集光レンズによるレーザ光の集光光路中あるいは発散光路中、あるいは第1の集光レンズによるレーザ光の集光光路中、のいずれかの光路中に配置し、第1の屈折部材及び第2の屈折部材を回動させることで、より高い分解能を有し、微細な走査を容易にできる。
【0007】
また、本発明の第3発明は、請求項3に記載されたとおりのレーザ加工装置である。
請求項3に記載のレーザ加工装置を用いれば、レーザ光を、第1の発散レンズと第1の集光レンズに通過させて、被加工部材上に集光させ、第1の屈折部材と第2の屈折部材を、第1の発散レンズによるレーザ光の発散光路中、あるいは第1の集光レンズによるレーザ光の集光光路中、のいずれかの光路中に配置し、第1の屈折部材及び第2の屈折部材を回動させることで、より高い分解能を有し、微細な走査を容易にできる。
【0008】
また、本発明の第4発明は、請求項4に記載されたとおりのレーザ加工装置である。
請求項4に記載のレーザ加工装置を用いれば、レーザ光を、第1の集光レンズに通過させて、被加工部材上に集光させ、第1の屈折部材と第2の屈折部材を、第1の集光レンズによるレーザ光の集光光路中に配置し、第1の屈折部材及び第2の屈折部材を回動させることで、より高い分解能を有し、微細な走査を容易にできる。
【0009】
【発明の実施の形態】
以下に本発明の実施の形態を図面を用いて説明する。図1は、本発明のレーザ加工装置の一実施の形態の概略構成図を示している。
本発明のレーザ加工装置では、レンズ群(集光レンズ、及び/または発散レンズ)と、屈折部材と、制御手段を用いて、入射したレーザ光10を被加工部材80上に集光させるとともに、レーザ光10の集光位置P2aを、より高い分解能で微細に走査可能である。
以下、第1の実施の形態〜第6の実施の形態について、順に説明する。各実施の形態では、レンズ群(集光レンズ、及び/または発散レンズ)の構成及び/または第1及び第2の屈折部材の配置位置が異なる。
ここで、集光レンズは、入射したレーザ光を所定の位置(例えば、当該集光レンズの焦点距離の位置)に集光させるとともに、集光させた所定の位置以降(例えば、当該集光レンズの焦点距離の位置よりも遠い位置)には発散させ、発散レンズは、入射したレーザ光を発散させる。
【0010】
また、第1及び第2の屈折部材は、例えば、透過型平行平板(平面ガラス等)、収差(球面収差、コマ収差等)を補正するための曲率をつけたレンズ(この場合のレンズは、集光も発散もほとんど行わないレンズ)等であり、入射及び出射されたレーザ光を、所定の屈折率で屈折させる。このとき、当該屈折部材へのレーザ光の入射角度、当該屈折部材の屈折率、及び当該屈折部材の厚さに応じて、当該屈折部材に入射されたレーザ光に対して当該屈折部材から出射されたレーザ光を、図8に示すように、ほぼ平行に移動可能である。
ここで、レーザ光10の進行方向をz軸に設定し、z軸に垂直な方向をx軸に設定し、z軸及びx軸の双方の軸に垂直な方向をy軸に設定する。また、第1の屈折部材40xと第2の屈折部材40yは、各々制御手段(例えば、数値制御装置と、駆動モータ(ガルバノメータ)等)により回動可能である。
そして、第1の屈折部材40xは、レーザ光10の進行方向(この場合、z軸方向)に対してほぼ垂直な第1の回転軸(この場合、x軸に平行な回転軸)を有し、当該第1の回転軸を中心として制御手段によって回動可能である。また、第2の屈折部材40yは、レーザ光10の進行方向(この場合、z軸方向)及び第1の回転軸(この場合、x軸に平行な回転軸)の双方に対してほぼ垂直な第2の回転軸(この場合、y軸に平行な回転軸)を有し、当該第2の回転軸を中心として制御手段によって回動可能である。
【0011】
◆[第1の実施の形態]
第1の実施の形態では、図1に示すように、レンズ群は第1の集光レンズ50及び第2の集光レンズ60で構成され、入射したレーザ光10を、第2の集光レンズ60で集光させた後発散させ、当該発散させたレーザ光10を第1の集光レンズ50で被加工部材80上に集光する。そして、第1の屈折部材40x及び第2の屈折部材40yを、第2の集光レンズ60によりレーザ光10を発散させた光路中に配置する。
図1に示す例では、第2の集光レンズ60の光軸はz軸とほぼ平行であり、第1の集光レンズ50の光軸もz軸とほぼ平行である。また、第1の集光レンズ50の光軸と第2の集光レンズ60の光軸が、ほぼ同一の光軸となるように配置している。
【0012】
この構成により、第1の屈折部材40xが回動することで、レーザ光10の入射角度(第1の屈折部材40xの表面に対する垂線と、入射したレーザ光10とによる角度)が変化し、当該入射角度と、当該屈折部材の屈折率(屈折部材の成分等に応じて異なる値を有する)と、当該屈折部材の厚さに応じて、当該屈折部材に入射されたレーザ光10に対して当該屈折部材から出射されたレーザ光10を、図8に示すように、ほぼ平行に移動可能である。この場合、第1の屈折部材40xは、入射したレーザ光10を、ほぼ平行にy軸方向に移動可能である。
同様に、第2の屈折部材40yが回動することで、レーザ光10の入射角度(第2の屈折部材40yの表面に対する垂線と、入射したレーザ光10とによる角度)が変化し、当該屈折部材に入射されたレーザ光10に対して当該屈折部材から出射されたレーザ光10を、図8に示すように、ほぼ平行に移動可能である。この場合、第2の屈折部材40yは、入射したレーザ光10を、ほぼ平行にx軸方向に移動可能である。
【0013】
図2(A)、(B)は、図1をx軸方向から見た概略図である。また、図2(A)、(B)では、集光レンズ50、60を、各々2枚のレンズで構成している例を示している。
図2(A)について説明する。レーザ光10の進行方向をz軸に設定し、z軸に垂直な方向をx軸に設定し、z軸及びx軸の双方の軸に垂直な方向をy軸に設定する。まず、レーザ光10は、第2の集光レンズ60に入射される。第2の集光レンズ60の光軸は、レーザ光10の進行方向とほぼ平行に配置されており、レーザ光10はほぼ入射角度0(ゼロ)で入射される。そして、第2の集光レンズ60と被加工部材80の間に、第1の集光レンズ50を配置する。本実施の形態では、第1の集光レンズ50の光軸と、第2の集光レンズ60の光軸がほぼ一致するように配置している。これにより、レーザ光10は、第2の集光レンズ60の光軸上の焦点距離f60の位置(P1)に向かって集光される。ここで、第2の集光レンズ60から出射されたレーザ光10がP1に集光するまでの光路(集光光路)の距離をLaとする。
【0014】
P1に集光されたレーザ光10は、P1以降では徐々に発散していく。ここで、P1以降発散して第1の集光レンズ50に到達するまでのレーザ光10の光路(発散光路)の距離をLbとする。また、第1の集光レンズ50は、f50の焦点距離を有する。ここで、第1の集光レンズ50に入射されたレーザ光10が集光されるためには、第1の集光レンズ50の光軸上の焦点f1(P1側の焦点)までの距離(f50)が、P1から第1の集光レンズ50までの距離Lbよりも短いことが必要である。この場合に、第1の集光レンズ50で被加工部材80上に集光されたレーザ光をP2として、第1の集光レンズ50からP2までの光路(集光光路)の距離をLcとすると、「(1/Lb)+(1/Lc)=1/f50」となる。また、Lcは、第1の集光レンズ50の光軸上の焦点f2(被加工部材側の焦点)までの距離(f50)よりも長い。
【0015】
そして、Lbに対応する発散光路中(第2の集光レンズ60により、レーザ光10を発散させた光路中)に、第1の屈折部材40xと第2の屈折部材40yを、各屈折部材の入射面の垂線がレーザ光10の進行方向(z軸方向)とほぼ平行になるように配置する。また、回動した場合に相互の屈折部材、及び第1と第2の集光レンズに干渉しないように配置する。この場合、各屈折部材40x及び40yにより、被加工部材80上に集光されるレーザ光の位置P2が、z軸と平行な方向に移動するが、移動量は無視できる程小さい。
このように、先行する第2の集光レンズ60で一旦結像点P1を作ってから、後続する第1の集光レンズ50で再度結像点P2を作り、被加工部材80上にレーザ光10を集光する。
【0016】
図2(B)は、図2(A)の状態(各屈折部材40x及び40yの入射面の垂線がレーザ光10とほぼ平行な状態)から、第1の屈折部材40xを回動させた状態を示している。
この場合、第1の集光レンズ50から見た結像点P1は、第1の屈折部材40xによりレーザ光10が屈折されているため、虚像点P1aに移動する。この虚像点P1aを、第1の集光レンズ50を用いて集光すると、結像点はP2からP2aに移動する。虚像点P1aは、軸外物点であるため、通常の再結像系によって、被加工部材80上に実像(この場合、P2a)が形成される。
【0017】
この移動量を走査量とすると、走査量は第1の屈折部材40xの回転角度に応じて変化する。この場合、第1の屈折部材40xを回動させたため、走査量はy軸方向に移動したが、第2の屈折部材40yを回動させれば、走査量をx軸方向に移動させることが可能である。
第1の屈折部材40xの回転角度を制御することにより、被加工部材80上のy軸方向に対する走査が可能であり、第2の屈折部材40yの回転角度を制御することにより、被加工部材80上のx軸方向に対する走査が可能になる。このようにして、被加工部材80上を、より高い分解能で微細に走査が可能である。
更に、走査したレーザ光10の外周部10aと内周部10bの角度(光軸に対する角度)を比較すると、外周部10aの角度の方が、光軸に対してより平行であり、被加工部材80に形成する加工穴の真直性(被加工部材の加工表面と、加工穴との直角の度合い)に寄与している。
【0018】
次に、図3(A)及び(B)を用いて、z軸方向への走査について説明する。
図2(A)に対して、第2の集光レンズ60を、被加工部材80と反対の方向に、光軸に沿って移動させると、被加工部材80上の結像点P2は、第2の集光レンズ60の移動方向(この場合、z軸と平行な方向)に移動し、第1の集光レンズ50からP2までの光路(集光光路)の距離Lc1が短くなる。また、この場合、第2の集光レンズ60の結像点P1から第1の集光レンズ50までの光路(発散光路)の距離をLb1とすると、「(1/Lb1)+(1/Lc1)=1/f50」となる。図2(A)に対する「(1/Lb)+(1/Lc)=1/f50」に対して、Lb1が大きくなったため、Lc1が小さくなる。
【0019】
また、図2(A)に対して、第2の集光レンズ60を、被加工部材80の方向に、光軸に沿って移動させる(Lb2>f50の範囲で移動させる)と、被加工部材80上の結像点P2は、第2の集光レンズ60の移動方向(この場合、z軸と平行な方向)に移動し、第1の集光レンズ50からP2までの光路(集光光路)の距離Lc2が長くなる。また、この場合、第2の集光レンズ60の結像点P1から第1の集光レンズ50までの光路(発散光路)の距離をLb2とすると、「(1/Lb2)+(1/Lc2)=1/f50」になる。図2(A)に対する「(1/Lb)+(1/Lc)=1/f50」に対して、Lb2が小さくなったため、Lc2が大きくなる。
【0020】
以上のz軸方向への走査については、第1の集光レンズ50を、被加工部材80の方向に、光軸に沿って移動させることによっても同様の効果が得られる。
z軸方向への走査が可能なことにより、第1の集光レンズ50と被加工部材80の間の距離を自由に設定することができる。このため、例えば、被加工部材80の深い凹部の底をレーザ加工する場合であっても、第1の集光レンズ50と被加工部材80とを干渉させることなく、レーザ加工することが可能である。
また、被加工部材80をz軸方向に移動させることなく第1の集光レンズ50あるいは第2の集光レンズ60をz軸方向に移動させると、被加工部材80上の結像点P2のスポット径を変更することができる。結像点P2のスポット径を変更することにより、単位面積当りのエネルギー量を調節することができる。
【0021】
◆[第2の実施の形態]
第2の実施の形態では、図4(A)に示すように、レンズ群は第1の集光レンズ50及び第2の集光レンズ60で構成され、入射したレーザ光10を、第2の集光レンズ60で集光させた後発散させ、当該発散させたレーザ光10を第1の集光レンズ50で被加工部材80上に集光する。そして、第1の屈折部材40x及び第2の屈折部材40yを、第1の集光レンズ50によりレーザ光10を集光させた光路中(この場合、Lcで示す集光光路中)に配置する。
第2の集光レンズ60の光軸はz軸とほぼ平行であり、第1の集光レンズ50の光軸もz軸とほぼ平行である。また、第1の集光レンズ50の光軸と第2の集光レンズ60の光軸が、ほぼ同一の光軸となるように配置する。その他の説明は、第1の実施の形態と同様であるので省略する。
【0022】
◆[第3の実施の形態]
第3の実施の形態では、図4(B)に示すように、レンズ群は第1の集光レンズ50及び第2の集光レンズ60で構成され、入射したレーザ光10を、第2の集光レンズ60で集光させた後発散させ、当該発散させたレーザ光10を第1の集光レンズ50で被加工部材80上に集光する。そして、第1の屈折部材40x及び第2の屈折部材40yを、第2の集光レンズ60によりレーザ光10を集光させた光路中(この場合、Laで示す集光光路中)に配置する。
第2の集光レンズ60の光軸はz軸とほぼ平行であり、第1の集光レンズ50の光軸もz軸とほぼ平行である。また、第1の集光レンズ50の光軸と第2の集光レンズ60の光軸が、ほぼ同一の光軸となるように配置する。その他の説明は、第1の実施の形態と同様であるので省略する。
【0023】
◆[第4の実施の形態]
第4の実施の形態では、図5(A)に示すように、レンズ群は第1の集光レンズ50及び第1の発散レンズ70で構成され、入射したレーザ光10を、第1の発散レンズ70で発散させ、当該発散させたレーザ光10を第1の集光レンズ50で被加工部材80上に集光する。そして、第1の屈折部材40x及び第2の屈折部材40yを、第1の集光レンズ50によりレーザ光10を集光させた光路中(この場合、Lcで示す集光光路中)に配置する。
第1の発散レンズ70の光軸はz軸とほぼ平行であり、第1の集光レンズ50の光軸もz軸とほぼ平行である。また、第1の集光レンズ50の光軸と第1の発散レンズ70の光軸が、ほぼ同一の光軸となるように配置する。その他の説明は、第1の実施の形態と同様であるので省略する。
【0024】
◆[第5の実施の形態]
第5の実施の形態では、図5(B)に示すように、レンズ群は第1の集光レンズ50及び第1の発散レンズ70で構成され、入射したレーザ光10を、第1の発散レンズ70で発散させ、当該発散させたレーザ光10を第1の集光レンズ50で被加工部材80上に集光する。そして、第1の屈折部材40x及び第2の屈折部材40yを、第1の発散レンズ70によりレーザ光10を発散させた光路中(この場合、Ldで示す発散光路中)に配置する。
第1の発散レンズ70の光軸はz軸とほぼ平行であり、第1の集光レンズ50の光軸もz軸とほぼ平行である。また、第1の集光レンズ50の光軸と第1の発散レンズ70の光軸が、ほぼ同一の光軸となるように配置する。その他の説明は、第1の実施の形態と同様であるので省略する。
【0025】
◆[第6の実施の形態]
第6の実施の形態では、図5(C)に示すように、レンズ群は第1の集光レンズ50で構成され、入射したレーザ光10を、第1の集光レンズ50で被加工部材80上に集光する。そして、第1の屈折部材40x及び第2の屈折部材40yを、第1の集光レンズ50によりレーザ光10を集光させた光路中(この場合、Lcで示す集光光路中)に配置する。
第6の実施の形態では、z軸方向への走査はできないが、レンズ群が1つの集光レンズ50であるため、装置の小型化が容易である。その他の説明は、第1の実施の形態と同様であるので省略する。
【0026】
本発明のレーザ加工装置は、本実施の形態で説明した構成等に限定されず、本発明の要旨を変更しない範囲で種々の変更、追加、削除が可能である。
本実施の形態で説明した集光レンズ及び発散レンズは、各々1枚のレンズで構成してもよいし、各々複数のレンズで構成してもよい。
また、第1の実施の形態〜第6の実施の形態で示した構成の他にも、種々の構成が可能である。例えば、第1〜第3の集光レンズで構成してもよく、更に複数の集光レンズ及び/または複数の発散レンズで構成してもよい。
第1の屈折部材40xと第2の屈折部材40yは、集光光路中あるいは発散光路中に配置すればよく、種々の配置が可能である。例えば、第1の屈折部材40xを集光光路中に配置し、第2の屈折部材40yを発散光路中に配置してもよい。
本発明のレーザ加工装置で用いるレーザ光は、半導体レーザ光、YAGレーザ光、CO2レーザ光等、種々のレーザ光を用いることが可能である。
また、本実施の形態の説明に用いた数値は一例であり、この数値に限定されるものではない。
【0027】
【発明の効果】
以上説明したように、請求項1〜4のいずれかに記載のレーザ加工装置を用いれば、より高い分解能を有し、微細な走査が容易なレーザ加工装置を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明のレーザ加工装置の一実施の形態の概略構成図である。
【図2】 y軸方向への走査を説明する図である。
【図3】 z軸方向への走査を説明する図である。
【図4】 本発明の他の実施の形態(第2及び第3の実施の形態)を説明する図である。
【図5】 本発明の他の実施の形態(第4〜第6の実施の形態)を説明する図である。
【図6】 従来のレーザ加工装置(スキャンレンズとミラー(反射板)を用いたレーザ加工装置)の概略構成図である。
【図7】 図6に示す従来のレーザ加工装置における走査方法及び走査精度を説明する図である。
【図8】 入射されたレーザ光を、ほぼ平行に移動可能な屈折部材を説明する図である。
【符号の説明】
10 レーザ光
40x 第1の屈折部材
40y 第2の屈折部材
50 第1の集光レンズ
60 第2の集光レンズ
80 被加工部材
Claims (4)
- 入射したレーザ光を被加工部材上に集光させるとともにレーザ光の集光位置を走査可能なレーザ加工装置であって、レンズ群と、第1及び第2の屈折部材とを備え、
前記レンズ群は、
入射したレーザ光を所定の位置に集光させるとともに集光させた所定の位置以降には発散させる集光レンズ、
または、入射したレーザ光を発散させる発散レンズ及び前記集光レンズ、
で構成され、
前記第1及び第2の屈折部材は、入射及び出射されたレーザ光を所定の屈折率で屈折させ、レーザ光の入射角度及び前記屈折率に応じて、当該屈折部材に入射されたレーザ光に対して当該屈折部材から出射されたレーザ光を平行に移動可能であり、
前記第1の屈折部材は、レーザ光の進行方向に対して垂直な第1の回転軸を有し、当該第1の回転軸を中心として回動可能であり、
前記第2の屈折部材は、レーザ光の進行方向及び第1の回転軸に対して垂直な第2の回転軸を有し、当該第2の回転軸を中心として回動可能であり、
入射したレーザ光を、前記レンズ群を用いて被加工部材上に集光させ、前記第1の屈折部材と第2の屈折部材を、任意の前記集光レンズによるレーザ光の集光光路中あるいは発散光路中、あるいは任意の前記発散レンズによるレーザ光の発散光路中、のいずれかの光路中に配置し、前記第1の屈折部材と前記第2の屈折部材を回動させ、前記集光光路あるいは前記発散光路のレーザ光を平行に移動させて前記被加工部材上の集光位置を移動させることで走査する、
ことを特徴とするレーザ加工装置。 - 請求項1に記載のレーザ加工装置であって、前記レンズ群は第1及び第2の前記集光レンズから成り、
入射したレーザ光を、前記第2の集光レンズで集光させた後発散させ、当該発散させたレーザ光を前記第1の集光レンズで被加工部材上に集光し、前記第1の屈折部材と第2の屈折部材を、前記第2の集光レンズによるレーザ光の集光光路中あるいは発散光路中、あるいは前記第1の集光レンズによるレーザ光の集光光路中、のいずれかの光路中に配置する、
ことを特徴とするレーザ加工装置。 - 請求項1に記載のレーザ加工装置であって、前記レンズ群は第1の前記発散レンズと第1の前記集光レンズから成り、
入射したレーザ光を、前記第1の発散レンズで発散させ、当該発散させたレーザ光を前記第1の集光レンズで被加工部材上に集光し、前記第1の屈折部材と第2の屈折部材を、前記第1の発散レンズによるレーザ光の発散光路中、あるいは前記第1の集光レンズによるレーザ光の集光光路中、のいずれかの光路中に配置する、
ことを特徴とするレーザ加工装置。 - 請求項1に記載のレーザ加工装置であって、前記レンズ群に代えて第1の前記集光レンズを備え、
入射したレーザ光を、前記第1の集光レンズで被加工部材上に集光し、前記第1の屈折部材と第2の屈折部材を、前記第1の集光レンズによるレーザ光の集光光路中に配置する、
ことを特徴とするレーザ加工装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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