JP4228146B2 - 研磨装置 - Google Patents
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Description
[発明の実施の形態1]
[発明の実施の形態2]
11 研磨液槽
12 研磨対象物
13 研磨液
14 気体
15 噴射ノズル
16 温度計
17 ヒーター
18 温度コントローラー
19 水槽
20 水
21 ポンプ
22 送風機
23 温度安定用ノズル
24 気体
Claims (6)
- 研磨液槽内の研磨液に研磨対象物を浸し、該研磨対象物の表面に気体を噴射することによって前記表面の研磨を行う研磨装置であって、
研磨時間中の前記研磨液の温度を一定に保つための温度調節手段を備え、
前記温度調節手段は、前記研磨液槽の周囲に水槽を設置し、該水槽内の水の温度を制御することにより、前記研磨液の温度を一定に保つことを特徴とする研磨装置。 - 前記温度調節手段は、前記水槽内に供給する所定の温度の水の流量を調整することにより、前記水槽内の水の温度を制御するようにしたことを特徴とする請求項1に記載の研磨装置。
- 前記温度調節手段は、前記水槽内に供給する水の温度を制御することにより、前記水槽内の水の温度を制御するようにしたことを特徴とする請求項1に記載の研磨装置。
- 前記温度調節手段は、前記水槽の周囲又は内部にヒーターを設置して該ヒーターの温度を制御することにより、前記水槽内の水の温度を制御するようにしたことを特徴とする請求項1に記載の研磨装置。
- 前記温度調節手段は、前記水槽に気体を吹き付ける気体吹付手段を設置し、該気体吹付手段により吹き付ける気体の温度を制御することにより、前記研磨液の温度を一定に保つことを特徴とする請求項1に記載の研磨装置。
- 前記温度調節手段は、前記水槽に所定の温度の気体を吹き付ける気体吹付手段を設置し、該気体吹付手段により吹き付ける気体の送風量を制御することにより、前記研磨液の温度を一定に保つことを特徴とする請求項1に記載の研磨装置。
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