JP4218831B2 - 工作機械ガイド装置およびそのコーティング方法 - Google Patents
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Description
ラジカル窒化法により該鋼材の表面に窒素拡散層を形成する工程と、
該窒素拡散層上にDLCをコーティングする工程とを備えることを特徴とする方法により実現する。
図1は本願発明が適用される例としての工作機械を示している。工作機械は工作機械のガイド装置1は、ガイドレールなどの固定体2と往復台などの移動体3とからなる。この工作機械では主軸台20のチャック21に加工物22を固定し、刃物が取り付けられた加工台などが載置される往復台たる移動体3が固定体に対して移動して加工物22を加工するものである。
ここで、固定体2の固定体面2aは、高い平面度を有する水平面である。移動体3は固定体面2aと対応するように高い平面度を有する面3aを備えていて、移動体3の面3aが固定体面2aに当接するような状態で移動体3が固定体2上に載置される。
また、対比するために、ガイド装置のすべり面に従来から使用されるポリテトラフルオロエチレン系プラスチックを金属板の面に貼り付けて、同じ測定を行った。
DLCの膜12のコーティングの場合の静摩擦時の引っ張り力と動摩擦時の引っ張り力を測定結果を図3Aに、一方、ポリテトラフルオロエチレン系プラスチックの場合の静摩擦時の引っ張り力と動摩擦時の引っ張り力を測定結果を図3Bに示す。このように、DLCコーティングを使用すると、ポリテトラフルオロエチレン系プラスチックの場合には静摩擦力と動摩擦力との差が大きいのに対し、DLCの膜12のコーティングの場合には静摩擦力と動摩擦力との差が小さくなる。すなわち、往復運動のように、移動体の方向転換を行うために動摩擦状態と静摩擦状態との間の遷移がある場合にも摩擦力の差が生じないため、予め補正する負荷が正確に把握できる。また、図3Aおよび図3Bからわかるように、特にウェイト重量が大きい場合に特に高い効果を得ることができることがわかる。
さらに、鋼材の基材の上に、窒化物の膜11を介して、DLCの膜のコーティングをおこなっているので、DLCの膜12の密着強度は高く剥離強度が高い。従って、長寿命のガイド装置を得ることができる。
続いて、第二の実施の形態について説明する。ほとんど構成は第一の実施の形態と同じなので、ここでは異なる部分についてのみ図2Bを参照して説明する。図2Bは本実施の形態における移動体3の面3aを拡大した概念図である。
第一の実施の形態では、移動体3の面3a(基材10)上にPVD法により窒化物の膜11を形成させたが、第二の実施の形態では、PVD法により窒化物の膜11の代わりに、ラジカル窒化法により窒素拡散層13を形成する点が異なっている。
応力除去焼鈍しからキサゲ作業の工程についてまでは同じである。キサゲ作業の工程の後に、加熱温度摂氏400度から560度で、真空度1から10(Torr)、直流電圧400Vから600Vで、電流0.05Aから0.3Aの処理条件で、ラジカル窒化法で厚さ50μmから150μmの厚さの窒素拡散層13を形成する工程を行う。たとえば、一窒化四鉄(Fe4N)などが添加された窒素拡散層13である。
その後、窒素拡散層13が形成された後に、窒素拡散層13の上に第一の実施の形態と同じようにDLCをコーティングする工程を行う。
これにより、さらに、DLCコーティングの耐久性が増すことになる。なお、DLCのコーティングの静摩擦力と動摩擦力の差の効果については、第一の実施の形態と同じである。
続いて、第三の実施の形態について説明する。ほとんど構成は第一の実施の形態と同じなので、ここでは異なる部分についてのみ図2Cを参照して説明する。図2Cは本実施の形態における移動体3の面3aを拡大した概念図である。
第一の実施の形態では、移動体3の面3a(基材10)上にPVD法により窒化物の膜11を形成させたが、第三の実施の形態では、第二の実施の形態のラジカル窒化法により窒素拡散層13を形成した後に第一の形態のPVD法による窒化物の膜11を形成させる点が異なっている。
応力除去焼鈍しからキサゲ作業までの工程については第一の形態と同じである。キサゲ作業の工程の後に、加熱温度摂氏400度から560度で、真空度1から10(Torr)、直流電圧400Vから600Vで、電流0.05Aから0.3Aの処理条件で、ラジカル窒化法で厚さ50μmから150μmの厚さの窒素拡散層13を形成する工程を行う。たとえば、一窒化四鉄(Fe4N)などが添加された窒素拡散層13である。
その後、窒素拡散層13が形成された後に、窒素拡散層13の上に第一の実施の形態と同じようにPVD法により窒化物の膜11をコーティングする工程を実施し、その窒化物の膜11の上にDLCをコーティングする工程を行う。
これにより、さらに、DLCコーティングの耐久性が増すことになる。なお、DLCのコーティングの静摩擦力と動摩擦力の差の効果については、第一の実施の形態と同じである。
2 固定体面
3 移動体
3a 面
10 基材
11 窒化物の膜
12 DLCの膜
13 窒素拡散層
Claims (6)
- 固定体の面と、移動軸を支える移動体の面とが互いに当接するすべり面を有する工作機械のガイド装置であって、
該移動体の面は、クロムモリブデン鋼からなっており、
該クロムモリブデン鋼の表面上にラジカル窒化法により窒素拡散層を形成し、
PVD法スパッタリングにより該窒素拡散層の上に形成された窒化物の膜の上にDLCがコーティングされていることを特徴とするガイド装置。 - 請求項1に記載のガイド装置であって、該窒化物の膜は窒化クロムであることを特徴とするガイド装置。
- 請求項1乃至2に記載のガイド装置であって、該固定体の面は焼入の後に研磨された面であることを特徴とするガイド装置。
- 請求項1に記載されたガイド装置を備える工作機械。
- 請求項4に記載の工作機械であって、該窒化物の膜は窒化クロムであることを特徴とする工作機械。
- 請求項4乃至5に記載の工作機械であって、該固定体の面は焼入の後に研磨された面であることを特徴とする工作機械。
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