JP4217981B2 - 直動・回転複合アクチュエータ - Google Patents

直動・回転複合アクチュエータ Download PDF

Info

Publication number
JP4217981B2
JP4217981B2 JP2005031984A JP2005031984A JP4217981B2 JP 4217981 B2 JP4217981 B2 JP 4217981B2 JP 2005031984 A JP2005031984 A JP 2005031984A JP 2005031984 A JP2005031984 A JP 2005031984A JP 4217981 B2 JP4217981 B2 JP 4217981B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
holder
output shaft
cylinder tube
rotary
piston
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2005031984A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2006220178A (ja
Inventor
嘉一郎 三井
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
SMC Corp
Original Assignee
SMC Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by SMC Corp filed Critical SMC Corp
Priority to JP2005031984A priority Critical patent/JP4217981B2/ja
Priority to US11/342,538 priority patent/US7357065B2/en
Priority to DE102006005580A priority patent/DE102006005580B4/de
Publication of JP2006220178A publication Critical patent/JP2006220178A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP4217981B2 publication Critical patent/JP4217981B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F15FLUID-PRESSURE ACTUATORS; HYDRAULICS OR PNEUMATICS IN GENERAL
    • F15BSYSTEMS ACTING BY MEANS OF FLUIDS IN GENERAL; FLUID-PRESSURE ACTUATORS, e.g. SERVOMOTORS; DETAILS OF FLUID-PRESSURE SYSTEMS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • F15B15/00Fluid-actuated devices for displacing a member from one position to another; Gearing associated therewith
    • F15B15/02Mechanical layout characterised by the means for converting the movement of the fluid-actuated element into movement of the finally-operated member
    • F15B15/06Mechanical layout characterised by the means for converting the movement of the fluid-actuated element into movement of the finally-operated member for mechanically converting rectilinear movement into non- rectilinear movement
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10TTECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T74/00Machine element or mechanism
    • Y10T74/18Mechanical movements
    • Y10T74/18056Rotary to or from reciprocating or oscillating

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Fluid Mechanics (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Actuator (AREA)
  • Transmission Devices (AREA)

Description

本発明は、出力軸に直動及び回転の複合された動作を出力できるようにした直動・回転の複合アクチュエータに関するものである。
直動用のアクチュエータと回転用のアクチュエータとを組み合わせて、出力軸を直線的に駆動できるようにすると同時に該出力軸を回転駆動できるようにした直動・回転複合アクチュエータとして、上記出力軸の直線的な駆動を流体圧シリンダによって行い、上記出力軸の回転駆動を、回転駆動機構からスプラインナットを介して上記出力軸の一部に形成したスプライン軸部に伝達するようにしたものは、例えば、特許文献1に開示されているように、従来から知られている。
しかしながら、この種の直動・回転複合アクチュエータにおいては、上記特許文献1に記載のものを含めて、出力軸に回転力が伝達されるとピストン自体も回転するのが通例であり、そのため、出力軸を回転させる場合にも、ピストンのシール部における摩擦抵抗に抗して回転駆動機構を回転駆動する必要がある。また、一般的に、直動部分をシールするシール部材と回転部分をシールするシール部材とは、それぞれに適する構成にする必要があるが、上記ピストンのシール部は、直動と回転の両方のシールを受け持つため、シール性能や寿命の点で適切なものとは言えない。このような問題は、ピストンのシール部ばかりでなく、出力軸等に同様なシール部材がある場合についても言えることである。
更に、上記特許文献1に記載の複合アクチュエータでは、スプラインを有する軸とピストンとを一体構成にしているため、その製造に際して軸を2分割してその間にピストンを挟み込む等の手間を要すると共に、スプラインを有する軸がシリンダ室を貫通するため、シリンダ室と大気圧部の仕切りのために、スプラインの断面形状に合わせたシール材が必要になり、常に流体漏れの可能性を抱え、また、シリンダの作動中におけるシリンダ室への圧力流体の出入りにより、滑り軸受部の潤滑が不充分になることが懸念されるものである。
実公平8−8322号公報
本発明の技術的課題は、上述した直動・回転複合アクチュエータにおいて、出力軸を回転させる場合にも、ピストンのシール部における摩擦抵抗に抗して回転駆動機構を回転駆動する必要をなくすことにある。
本発明の他の技術的課題は、出力軸に回転力が与えられても、それがピストンには伝達されず、それによって、ピストン等のシール部に直動と回転の両方のシール機能を受け持たせず、シール性能を十分に発揮させると共に長寿命化できるようにした直動・回転複合アクチュエータを得ることにある。
本発明の他の技術的課題は、出力軸を回転させるためのホルダーを含む回転ユニットを大気圧環境に置き、それによってホルダーから出力軸に回転を伝達するスプラインを大気圧環境に置いて、その滑り軸受部の潤滑を長期にわたり安定化できるようにした直動・回転複合アクチュエータを得ることにある。
また、本発明の他の技術的課題は、シリンダ室を往復動するピストンのロッドにスプラインを形成することなく、それによって、スプラインの断面形状に合わせたシールを設ける必要をなくした直動・回転複合アクチュエータを得ることにある。
上記課題を解決するための本発明の直動・回転複合アクチュエータは、外側シリンダチューブ内に内側シリンダチューブを同心状かつ相互に固定された状態に設け、両シリンダチューブ間に形成される筒状のシリンダ室内に流体圧駆動される筒状のピストンと該ピストンに連なる筒状のロッドとを、シール部材を介して上記シリンダチューブの軸線方向に摺動自在に嵌装し、上記内側シリンダチューブ内に、筒状のホルダーを第1軸受を介して回転自在かつ軸方向移動は拘束された状態に設けると共に、このホルダーを回転駆動機構により回転駆動可能とし、該ホルダー及び上記ロッドの内部に出力軸を挿通して、この出力軸を、上記ホルダーに対しては相対的に回転しないが軸線方向には摺動するように連結すると共に、上記ロッドに対しては第2軸受により相互に回転自在ではあるが軸線方向には一体化されて移動するように連結したことを特徴とするものである。
上記直動・回転複合アクチュエータにおいて、上記ホルダーと上記出力軸とは、ホルダーに固定されたスプラインナットと上記出力軸の一部に形成されたスプライン軸部で連結される。
また、上記直動・回転複合アクチュエータにおいては、上記ホルダー及び出力軸が全て大気圧環境に配置される。
上述した本発明の直動・回転複合アクチュエータの好ましい実施形態においては、上記回転駆動機構が、上記外側シリンダチューブまたは内側シリンダチューブに設けられると共に、該回転駆動機構の回転を上記ホルダーに伝達する伝動機構を備えたものとして構成され、また、上記回転駆動機構が、上記出力軸の軸線上に上記ホルダーを直接回転駆動するものとして設けられる。
上記構成を有する本発明の直動・回転複合アクチュエータにおいては、外側シリンダチューブ内に内側シリンダチューブを同心状に設け、両シリンダチューブ間に形成される筒状のシリンダ室に流体圧駆動されるピストンを嵌装して直動ユニットを構成し、一方、上記内側シリンダチューブ内に軸受で支持されたホルダー、該ホルダーに固定されたスプラインナット、及び該ナットから回転力が伝達されるスプライン軸部を有する出力軸により回転ユニットを構成し、上記直動ユニットの内側シリンダチューブ内に回転ユニットのホルダーを軸受により回転自在に保持させると共に、スプライン軸部を有する出力軸をピストンのロッドに対して軸受により回転自在に連結しているので、出力軸の回転力はピストンには伝達されず、ピストンは往復動のみを行い、また、逆にピストンのシール部の摩擦が出力軸に抵抗として作用することもない。
更に、ホルダー及び出力軸を含む回転ユニットは常に大気圧環境にある構成としているため、出力軸の滑り軸受部の潤滑等に空気圧の影響を受けることがなく、それらの構成が簡単化される。
以上に詳述した本発明の直動・回転複合アクチュエータにおいては、出力軸を回転させる場合に、ピストンのシール部における摩擦抵抗に抗して回転駆動機構を回転駆動する必要がなく、また、出力軸に回転力が与えられても、それがピストンには伝達されないために、ピストンのシール部に直動と回転の両方のシール機能を受け持たせることがなく、シール性能を十分に発揮させると共に長寿命化することができる。また、出力軸を回転させるためのホルダーを含む回転ユニットを大気圧環境に置くようにしたので、直動・回転複合アクチュエータの構成を全体的に簡単化することができる。
図1は本発明に係る直動・回転複合アクチュエータの第1実施例を示している。この実施例の直動・回転複合アクチュエータは、直動ユニット10と回転ユニット20を結合することにより構成され、概略的には、上記直動ユニット10は、外側シリンダチューブ11内に内側シリンダチューブ12を同心状に設け、両シリンダチューブ11,12間に形成される筒状のシリンダ室13に流体圧駆動されるピストン14を嵌装して構成され、上記回転ユニット20は、上記内側シリンダチューブ12内に第1軸受22で支持されたホルダー21、該ホルダー21に固定されたスプラインナット23、及び該ナット23から回転力が伝達されるスプライン軸部25を有する出力軸24を備え、上記ホルダー21にそれを回転駆動するための回転駆動機構30を連結している。
更に具体的に説明すると、上記直動ユニット10は、同心状の外側シリンダチューブ11と内側シリンダチューブ12とを、それらの基端において互いに連結して、それらの間に中空円筒状のシリンダ室13を形成し、そこにピストンシール部14aを有するピストン14を嵌装している。このピストン14のロッド15は、ピストン14と同様に筒状をなし、その先端外面が外側シリンダチューブ11におけるロッドカバー16にシール部材17によりシールされると同時にその摺動をガイドされ、また、該ピストンロッド15の内面は内側シリンダチューブ12との間にシール部材18を介装してシールし、それによって上記ピストンロッド15を外側及び内側シリンダチューブ11,12の間から外部に導出している。
上記ピストン14を流体圧駆動するため、内側シリンダチューブ12の基端部には、シリンダ室13におけるピストン14で区画された一方の圧力室に圧縮空気等の圧力流体を給排するためのポート19を開設している。ピストン14で区画された他方の圧力室に圧力流体を給排するためのポートは図示していないが、必要に応じてロッドカバー16等に設けることができ、また、ピストン14におけるロッドカバー16側の圧力室に復帰ようスプリングを収容することもできる。
一方、上記回転ユニット20は、上記内側シリンダチューブ12内に一対の上記第1軸受22,22で回転自在ではあるが軸方向移動を拘束されて支持されたホルダー21を備え、該ホルダー21内にスプラインナット23を固定している。また、このホルダー21内には、該スプラインナット23から回転力が伝達されるスプライン軸部25を設けた出力軸24を備えている。この出力軸24は、ホルダー21内にスリーブ26で支持させ、上記スプラインナット23とスプライン軸部25により該ホルダー21に対して相対的に回転しないが軸線方向には摺動できるように挿通したものである。そして、該出力軸24は、上記ピストン14のロッド15に対して第2軸受27により回転自在ではあるが軸線方向には一体的に移動するように連結している。
また、上記内側シリンダチューブ12には、それに固定したブラケット28を介して、ホルダー21を回転駆動するための電動のモーター31を備えた回転駆動機構30を支持させ、その回転をホルダー21に伝達する伝動機構として、このモーター31の回転軸32に固定したプーリー33と、上記ホルダー21における内側シリンダチューブ12からの突出部に固定したプーリー34との間に、ベルト35を巻き掛けている。上記回転駆動機構30としては、電動のモーター31を用いる必要がなく、回転駆動を行うための適宜手段を採用することができる。上記伝動機構としても、上記プーリー及びベルト以外の巻き掛け伝動機構や歯車伝動機構等を用いることができる。また、図示の実施例では、その回転駆動機構30を内側シリンダチューブ12に支持させるようにしているが、外側シリンダチューブ11等の適宜固定部分に支持させることができる。
上記構成を有する直動・回転複合アクチュエータは、外側及び内側シリンダチューブ11,12間のシリンダ室13に圧力流体を給排してピストン14をその軸線方向に駆動すると共に、電動モーター31の駆動によりホルダー21を回転させると、該ホルダー21に固定されたスプラインナット23から出力軸24のスプライン軸部25に回転力が伝達され、また、ピストン14のロッド15先端部に上記第2軸受27を介して連結された出力軸24が、該ピストン14の駆動により直進駆動され、その結果、出力軸24に直動及び回転力が、相互に無関係な駆動力として伝達される。即ち、出力軸24の回転力はピストン14には伝達されず、ピストン14は往復動のみを行い、また、逆にピストン14のシール部の摩擦が出力軸24に抵抗として作用することもない。その結果、ピストン14のシール部14aに直動と回転の両方のシール機能を受け持たせることがなく、シール性能を十分に発揮させると共に長寿命化することができる。
更に、上述したところから明らかなように、内側シリンダチューブ12内に収容されているホルダー21及び出力軸24を含む回転ユニットは、常に大気圧環境にあるように構成されているため、スプライン軸がシリンダ室を貫通する場合のように、出力軸の滑り軸受部の潤滑等に空気圧の影響を受けることはない。
上記図1の第1実施例では、ホルダー21における内側シリンダチューブ12からの突出部にプーリー34を取付け、該プーリー34を含む伝動機構を介してモーター31から回転力を伝達するようにしているが、上記伝動機構を介在させることなく、ホルダー21自体を各種ロータリアクチュエータの回転軸として、直動・回転複合アクチュエータを構成することができる。
図2に示す第2実施例は、上記ホルダーを回転させる回転駆動機構30として、上記出力軸24の軸線上に該ホルダー41を直接的に回転駆動するスクリュータイプのロータリアクチュエータ42を設けた例を示すもので、このロータリアクチュエータ42を設けた点の構成を除いて、直動ユニット10及び回転ユニット20の構成及び作用は前記第1実施例の場合と実質的に変わるところがないので、第1実施例と同一の部分に同一の符号を付してそれらの説明を省略し、以下においては第1実施例と相違する部分についてのみ説明する。
この第2実施例の回転ユニット20における上記ホルダー41は、内側シリンダチューブ12の下端部を閉鎖する端蓋43を貫通し、更に、該端蓋43の外面に取り付けたロータリアクチュエータ42のケーシング44をも貫通して導出されている。そして、該ホルダー41の外周部に設けられるロータリアクチュエータ42は、上記ケーシング44とホルダー41との間に第2のシリンダ室45を形成し、このシリンダ室45内に回転駆動用ピストン46を嵌挿している。このピストン46は、シリンダ室45における該ピストン46の両側の圧力室に図示しない給排ポートから圧力流体を給排することにより、その軸線方向に摺動するものであるが、このピストン46の外面に複数の直線溝47を設けて、ケーシング44の内面に突設したピン48をそれらの溝47に嵌入しているので、上記摺動に際して軸線の周りの回転は該ピン48により拘束される。
また、上記ケーシング44内に位置するホルダー41の表面にヘリカル溝49を設け、そのヘリカル溝49にピストン46の内面に突設したピン50を嵌入している。従って、上記ピストン46の軸方向移動に伴って、該ピストン46の内面のピン50によりホルダー41が回転駆動される。
なお、上述した回転駆動機構は、第1及び第2実施例として例示した駆動機構に限るものではなく、他の機構を採用することができ、例えば、ホルダーの外周部にギヤを加工してそれに噛合するラックを直線往復動させるラックタイプのロータリアクチュエータ等を用いることもできる。
本発明に係る直動・回転複合アクチュエータの第1実施例を示す断面図である。 本発明に係る直動・回転複合アクチュエータの第2実施例を示す断面図である。
符号の説明
11 外側シリンダチューブ
12 内側シリンダチューブ
13 シリンダ室
14 ピストン
15 ピストンロッド
21,41 ホルダー
22,27 軸受
23 スプラインナット
24 出力軸
25 スプライン軸部
30 回転駆動機構
42 ロータリーアクチュエータ

Claims (5)

  1. 外側シリンダチューブ内に内側シリンダチューブを同心状かつ相互に固定された状態に設け、両シリンダチューブ間に形成される筒状のシリンダ室内に流体圧駆動される筒状のピストンと該ピストンに連なる筒状のロッドとを、シール部材を介して上記シリンダチューブの軸線方向に摺動自在に嵌装し、
    上記内側シリンダチューブ内に、筒状のホルダーを第1軸受を介して回転自在かつ軸方向移動は拘束された状態に設けると共に、このホルダーを回転駆動機構により回転駆動可能とし、該ホルダー及び上記ロッドの内部に出力軸を挿通して、この出力軸を、上記ホルダーに対しては相対的に回転しないが軸線方向には摺動するように連結すると共に、上記ロッドに対しては第2軸受により相互に回転自在ではあるが軸線方向には一体化されて移動するように連結した、
    ことを特徴とする直動・回転複合アクチュエータ。
  2. 上記ホルダーと上記出力軸とは、ホルダーに固定されたスプラインナットと上記出力軸の一部に形成されたスプライン軸部で連結されている、
    ことを特徴とする請求項1に記載の直動・回転複合アクチュエータ。
  3. 上記ホルダー及び出力軸を全て大気圧環境に配置している、
    ことを特徴とする請求項1または2に記載の直動・回転複合アクチュエータ。
  4. 上記回転駆動機構が、上記外側シリンダチューブまたは内側シリンダチューブに設けられると共に、該回転駆動機構の回転を上記ホルダーに伝達する伝動機構を備えている、
    ことを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載の直動・回転複合アクチュエータ。
  5. 上記回転駆動機構が、上記出力軸の軸線上に上記ホルダーを直接回転駆動するものとして設けられている、
    ことを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載の直動・回転複合アクチュエータ。
JP2005031984A 2005-02-08 2005-02-08 直動・回転複合アクチュエータ Active JP4217981B2 (ja)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2005031984A JP4217981B2 (ja) 2005-02-08 2005-02-08 直動・回転複合アクチュエータ
US11/342,538 US7357065B2 (en) 2005-02-08 2006-01-31 Compound linear motion and rotary actuator
DE102006005580A DE102006005580B4 (de) 2005-02-08 2006-02-06 Linearbewegungs- und Drehstellglied

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2005031984A JP4217981B2 (ja) 2005-02-08 2005-02-08 直動・回転複合アクチュエータ

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2006220178A JP2006220178A (ja) 2006-08-24
JP4217981B2 true JP4217981B2 (ja) 2009-02-04

Family

ID=36746154

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2005031984A Active JP4217981B2 (ja) 2005-02-08 2005-02-08 直動・回転複合アクチュエータ

Country Status (3)

Country Link
US (1) US7357065B2 (ja)
JP (1) JP4217981B2 (ja)
DE (1) DE102006005580B4 (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7700655B2 (en) 2002-06-06 2010-04-20 Institute Of Medicinal Molecular Design, Inc. Antiallergic agents
US8097759B2 (en) 2000-12-18 2012-01-17 Institute Of Medicinal Molecular Design, Inc. Inflammatory cytokine release inhibitor

Families Citing this family (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2006133479A1 (en) * 2005-06-15 2006-12-21 Razorback Vehicles Corporation Limited A pneumatic or hydraulic cylinder
FR2902848B1 (fr) * 2006-06-26 2010-04-30 Gregoire Peigne Roulement a bague, a deplacement axial et outillage de faconnage equipe d'un tel roulement
JP5184910B2 (ja) 2008-02-13 2013-04-17 株式会社岡本工作機械製作所 基板の平面研削装置
US8146478B2 (en) * 2009-04-10 2012-04-03 Force Protection Technologies, Inc. Mine resistant armored vehicle
US8033208B2 (en) * 2009-04-10 2011-10-11 Force Protection Technologies, Inc. Mine resistant armored vehicle
US8087919B2 (en) * 2009-05-28 2012-01-03 Athena Automation Ltd. Injection unit for an injection molding machine
US8146477B2 (en) 2010-05-14 2012-04-03 Force Protection Technologies, Inc. System for protecting a vehicle from a mine
CN102852878B (zh) * 2011-06-29 2015-09-02 基准精密工业(惠州)有限公司 旋转下压气缸
JP7428050B2 (ja) * 2019-08-22 2024-02-06 セイコーエプソン株式会社 回転モジュールおよびロボット
JP7157021B2 (ja) * 2019-08-23 2022-10-19 株式会社鷺宮製作所 アクチュエータ及びこれを備えたトライポッド構造体

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3798910A (en) * 1971-10-13 1974-03-26 Wilson B Eng Co Air powered rotary wire cutting and wrapping tool
US3973468A (en) * 1973-11-21 1976-08-10 Russell Jr Wayne B Multi-stage extendible and contractible shaft with shock absorption
US3989223A (en) * 1973-12-28 1976-11-02 Exxon Production Research Company Rotary motion failsafe gate valve actuator
JPH088322Y2 (ja) * 1989-10-04 1996-03-06 エヌオーケー株式会社 アクチュエータ
JPH088322A (ja) 1994-06-17 1996-01-12 D S Giken:Kk 搬送装置および基板取り扱い方法
US5727445A (en) 1996-11-06 1998-03-17 Sheldon/Van Someren, Inc. Actuator cylinder with mechanism to reduce stiction
DE19815314C2 (de) * 1998-04-06 2000-03-23 Daimler Chrysler Ag Hydraulisch betätigter Drehsteller
DE19904942B4 (de) 1999-02-06 2009-06-04 Bosch Rexroth Aktiengesellschaft Antriebsvorrichtung für eine Sende- und/oder Empfangseinrichtung, insbesondere für eine Sonar-Sende- und Empfangseinrichtung auf einem Schiff

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US8097759B2 (en) 2000-12-18 2012-01-17 Institute Of Medicinal Molecular Design, Inc. Inflammatory cytokine release inhibitor
US8263657B2 (en) 2000-12-18 2012-09-11 Institute Of Medicinal Molecular Design, Inc. Inhibitors against the production and release of inflammatory cytokines
US7700655B2 (en) 2002-06-06 2010-04-20 Institute Of Medicinal Molecular Design, Inc. Antiallergic agents

Also Published As

Publication number Publication date
US20060222531A1 (en) 2006-10-05
US7357065B2 (en) 2008-04-15
JP2006220178A (ja) 2006-08-24
DE102006005580B4 (de) 2009-07-30
DE102006005580A1 (de) 2006-08-17

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP4217981B2 (ja) 直動・回転複合アクチュエータ
JP4915002B2 (ja) トルク伝達装置及びこのトルク伝達装置を備えたドライブトレイン
JP6937563B2 (ja) 車両用ドア開閉装置
US9611922B2 (en) Anti-rotate cylinder apparatus
US20070062317A1 (en) Electric Cylinder
EP1780873A1 (en) Linear actuator
WO2019194143A1 (ja) 直動機構及びそれを備えた電動アクチュエータ
EA013274B1 (ru) Механизм эксцентрической зубчатой передачи и способ передачи с его помощью вращающего усилия
WO2010113410A1 (ja) ロータ駆動機構及びそれを備えるポンプ装置
JP2007160501A (ja) 回転式振動ドリル用振動装置
ATE423744T1 (de) Antriebsvorrichtung für eine greifeinrichtung
ES2171362T5 (es) Dispositivo de extrusion.
JP2007154998A (ja) 歯車減速機付電動機のグリース漏れ防止構造
US20200056689A1 (en) Linear Drive Actuator
US11009117B2 (en) Gearbox, weight reduction method therefor, and robot
JP2007210588A (ja) 電動パワーステアリング装置
JP6475444B2 (ja) 電動アクチュエータ
JP2005090746A (ja) 液圧式及び機械式の操作モードを備えたアクチュエータ
CA2048901C (en) Rotary servo actuator with internal valve
JP2020002879A (ja) ポンプ及び、ポンプを備えるギヤ装置
JP2010266016A (ja) 直動装置
WO2023276999A1 (ja) 直動アクチュエータ
US1107944A (en) Liquid-clutch.
JPS6044607A (ja) ロ−タリアクチユエ−タ
KR0163339B1 (ko) 무단변속을 위한 유성기어 회전체 제어장치

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20061024

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20080401

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20080507

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20080613

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20081007

A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20081029

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111121

Year of fee payment: 3

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 4217981

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121121

Year of fee payment: 4

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131121

Year of fee payment: 5

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250